自動化論文樣例

1、畢 業(yè) 論 文題 目：淺談京東方Final產(chǎn)線設(shè)備及操作 專 業(yè)： 電氣自動化 班 級： 電氣自動化1316班 學 生： 企業(yè)指導教師： 校內(nèi)指導教師： 黑龍江建筑職業(yè)技術(shù)學院建筑材料與工業(yè)技術(shù)學院二零一六年四月黑 龍 江 建 筑 職 業(yè) 技 術(shù) 學 院畢 業(yè) 論 文 任 務(wù) 書姓名： 專業(yè)： 電氣自動化 班級： 自動化1316 畢業(yè)論文題目：淺談京東方Final產(chǎn)線設(shè)備及操作立題目的和意義近年來隨著計算機在社會領(lǐng)域的滲透和大規(guī)模的發(fā)展，在以計算機為軸心的各種信息處理裝置的誕生，為適應這種新形勢，信息家電，網(wǎng)絡(luò)終端，廣播-通信等用途的液晶顯示行業(yè)進一步發(fā)展。液晶顯示器（LED）具有功耗低、體積

2、小、重量輕、超薄等許多其他顯示器無法比擬的優(yōu)勢。工作計劃：1.大量閱讀與該課題有關(guān)的資料及相關(guān)的論文，醞釀?wù)n題實施方案及相關(guān)措施。2.根據(jù)開題報告及指導教師對課題內(nèi)容、完成形式的要求得到相應的資料及結(jié)果。及時聽取指導教師的意見，完成初稿接受檢查。3.根據(jù)指導教師對初稿的評定結(jié)果進行改進，以利于論文的繼續(xù)進行。4.完成畢業(yè)論文的寫作并交指導教師評閱，根據(jù)指導教師提出的要求進行必要修改，進一步完善論文的攥寫。時間安排：2月10日2月30日 查閱資料3月 1日3月15日 提交論文開題報告，指導教師審閱開題報告合格后，寫作論文。3月16日4月15日 在指導老師的指導下，根據(jù)開題報告撰寫論文，并隨時向老

3、師報告寫作進度，聽取老師的指導意見，在老師的指導下完成論文初稿。4月15 日4月30日 在老師的指導下，對論文的不足之處進行修改完善，上交最終稿。5月1日5月15日 準備答辯。黑 龍 江 建 筑 職 業(yè) 技 術(shù) 學 院畢 業(yè) 論 文 評 語 年 月 日學生 專業(yè) 電氣自動化 班級 自動化1316 畢業(yè)論文題目： 淺談京東方Final產(chǎn)線設(shè)備及操作 指導教師評語： 指導教師（簽字) 答辯委員會評語：答辯委員會根據(jù)學生畢業(yè)論文材料及答辯情況作出以下評語：學生 畢業(yè)論文成績評定為 ，畢業(yè)答辯成績評定為 ，綜合成績評定為 。根據(jù)所提交之材料及畢業(yè)論文答辯成績，答辯委員會認為該學生已（未）完成黑龍江建筑

4、職業(yè)技術(shù)學院的教學計劃準予畢業(yè)（肄業(yè)）。對畢業(yè)論文的特殊評語： 答辯委員會主任（簽字）                               委員（簽字） 黑龍江建筑職業(yè)技術(shù)學院畢業(yè)論文淺談京東方Final產(chǎn)線設(shè)備及操作摘要：顯示器的發(fā)展走到今天，從單色到彩色，從模糊到清晰，從小到大，歷經(jīng)無數(shù)

5、的變化。北京京東方顯示技術(shù)有限公司不斷的改進和提高顯示器的生產(chǎn)技術(shù)，來適應消費者的需求。無論是顯示器生產(chǎn)的過程還是產(chǎn)線內(nèi)的設(shè)備，北京京東方顯示技術(shù)有限公司都有了很大的改變。關(guān)鍵詞：顯示器 生產(chǎn)過程 設(shè)備目 錄第一章 顯示器的發(fā)展過程11.1 顯示器的分類11.1.1 CRT顯示器21.2 各類標準3第二章 北京京東方顯示技術(shù)有限公司的簡介52.1 公司的標識52.2 公司的發(fā)展歷程5第三章 北京京東方顯示屏的生產(chǎn)過程8第四章 北京京東方產(chǎn)線的設(shè)備104.1 AOI104.1.1 AOI檢查原理104.1.2 AOI檢查流程104.2 OS104.2.1 OS檢查原理104.2.2 檢查流程10

6、4.3 EPM114.3.1 EPM檢查原理：114.3.2 EPM檢查流程114.4 AT114.4.1 AT測試原理：114.4.2 AT檢查流程12第五章 京東方Final產(chǎn)線操作員的主要工作135.1 FinalCVDrepair維修工藝13結(jié)束語17致 謝18參考文獻19II黑龍江建筑職業(yè)技術(shù)學院畢業(yè)論文第一章 顯示器的發(fā)展過程1.1 顯示器的分類顯示器的發(fā)展走到今天，從單色到彩色，從模糊到清晰，從小到大，歷經(jīng)無數(shù)的變化。各個廠商不斷的改進和完善顯示器的生產(chǎn)技術(shù)，以求其產(chǎn)品能夠適應消費者日趨變化的消費心理和消費行為。CRT顯示器是一種使用陰極射線管（Cathode Ray Tube）

7、的顯示器，陰極射線管主要有五部分組成：電子槍（Electron Gun），偏轉(zhuǎn)線圈（Deflection coils），蔭罩（Shadow mask)，熒光粉層（Phosphor)及玻璃外殼。它是目前應用最廣泛的顯示器之一，CRT純平顯示器具有可視角度大、無壞點、色彩還原度高、色度均勻、可調(diào)節(jié)的多分辨率模式、響應時間極短等LCD顯示器難以超過的優(yōu)點，按照不同的標準，CRT顯示器可劃分為不同的類型。LED顯示器LED就是light emitting diode，發(fā)光二極管的英文縮寫，簡稱LED。它是一種通過控制半導體發(fā)光二極管的顯示方式，用來顯示文字、圖形、圖像、動畫、行情、視頻、錄像信號等各種

8、信息的顯示屏幕。LCD顯示器LCD顯示器即液晶顯示器,優(yōu)點是機身薄，占地小，輻射小，給人以一種健康產(chǎn)品的形象，但實際情況并非如此。3D顯示器3D顯示器一直被公認為顯示技術(shù)發(fā)展的終極夢想，多年來有許多企業(yè)和研究機構(gòu)從事這方面的研究。日本、歐美、韓國等發(fā)達國家和地區(qū)早于20世紀80年代就紛紛涉足立體顯示技術(shù)的研發(fā)，于90年代開始陸續(xù)獲得不同程度的研究成果，現(xiàn)已開發(fā)出需佩戴立體眼鏡和不需佩戴立體眼鏡的兩大立體顯示技術(shù)體系。傳統(tǒng)的3D電影在熒幕上有兩組圖像（來源于在拍攝時的互成角度的兩臺攝影機），觀眾必須戴上偏光鏡才能消除重影（讓一只眼只受一組圖像），形成視差（parallax），產(chǎn)生立體感。1.1.

9、1 CRT顯示器球面顯像管現(xiàn)在我們已經(jīng)很難看到最早的采用綠顯、單顯顯像管的顯示器，就連初期的14"彩色顯示器也很少見到。當時這些顯示器都是陰極射線管（CRT）顯示器，采用的是孔狀蔭罩，其顯像管斷面基本上都是球面的，因此被稱做球面顯像管，這種顯示器的屏幕在水平和垂直方向上都是彎曲的，這種彎曲的屏幕造成了圖像失真及反光現(xiàn)象，也使實際的顯示面積較小。在此階段，對屏幕圖像的調(diào)整也由于受操作系統(tǒng)（主要是DOS系統(tǒng)）的限制，而只能采用電位器模擬調(diào)節(jié)，也就是顯示器下方的一排旋鈕，通過這些旋鈕可以對顯示效果進行簡單的調(diào)整（包括亮度、對比度以及屏幕大小及方向），這種方法缺乏直觀的控制度量，在進行模式轉(zhuǎn)

10、換時容易造成圖像顯示不正常出現(xiàn)故障的幾率也比較大。隨著顯示器技術(shù)和軟件技術(shù)的發(fā)展，這種采用電位器對顯示器進行模擬調(diào)節(jié)的技術(shù)也將慢慢被淘汰。平面直角顯像管到了1994年，為了減小球屏四角的失真和反光，新一代的“平面直角”顯像管誕生了。當然，它并不是真正意義上的平面，只是其球面曲率半徑大于2000毫米，四角為直角。它使反光和四角失真程度都減輕不少，再加上屏幕涂層技術(shù)的應用，使畫面質(zhì)量有了很大的提高。因此，各個顯示器廠商都迅速推出了使用“平面直角”顯像管的顯示器，并逐漸取代了采用球面顯像管的顯示器。從1998底開始，一種嶄新的完全平面顯示器出現(xiàn)了，它使CRT顯示器達到了一個新的高度。這種顯示器的屏幕

11、在水平和垂直方向上都是筆直的，圖像的失真和屏幕的反光都被降低到最小的限度?？v觀CRT顯示器的發(fā)展趨勢，由于人們對完美顯示效果的不斷追求，今后的CRT顯示器也將會更高的高度邁進。CRT顯示器歷經(jīng)發(fā)展，顯示質(zhì)量越來越好，但顯像管要求電子槍發(fā)出的電子束從一側(cè)偏向另一側(cè)的角度不能大于90度，這使得顯示器的厚度要與屏幕的對角線一樣長，對于具有更大可視面積的顯示器來說，就意味著更厚的機身和更大的體積。為了使大屏幕顯示器更為普及，廠商又開發(fā)出廣角偏轉(zhuǎn)線圈技術(shù)，它能使電子束的最大偏轉(zhuǎn)角度達到100度或更高一點，這樣在較短的距離內(nèi)就可以實現(xiàn)電子束的完全覆蓋，從而縮短顯像管以至機身的厚度2英寸左右。還有一種辦法就

12、是采用短頸顯像管，在顯像管的電子槍末端使用更小的部件，這也可以使機身的厚度減少1英寸左右。液晶顯示器由于CRT顯示器物理結(jié)構(gòu)的限制和電磁輻射的弱點，人們開始尋找更新的顯示媒體-液晶顯示器，它無輻射、全平面、無閃爍、無失真、可視面積大、體積重量小、抗干擾能力強，而視角太小、亮度和對比度不夠大等缺陷也隨著技術(shù)的提高有了相當?shù)倪M步，例如新產(chǎn)品TFT-LCD顯示器。目前限制液晶顯示器普及的唯一原因，是昂貴的石英基板和不高的良品率造成的高價位。隨著新近的低溫多結(jié)晶Si-TFT技術(shù)的成熟和大規(guī)模生產(chǎn)帶來的低成本，但是液晶顯示器的圖像色彩和飽和度不夠完善，而且其響應時間太長，一旦出現(xiàn)畫面的劇烈更新，它的弱點

13、就表露無異。1.2 各類標準在顯示器的發(fā)展過程中，由于對顯示器的輻射、節(jié)電、環(huán)保等方面的要求，顯示器的認證標準也應運而生。1987年，瑞典技術(shù)認可局就電磁放射對人體健康的影響提出了一個標準，即MPR-1。到了1990年，MPR-1進一步擴展成MPR-2，更詳細的列出了21項顯示器標準，包括閃爍度、跳動、線性、光亮度、反光度、字體大小等，對超低頻和更低頻輻射提出了最大限制，成為一種比較嚴格的電磁輻射標準。隨著時間的推移，人們對健康投入了更多的關(guān)注，如今MPR-2已經(jīng)成為顯示器最基本的低輻射標準，現(xiàn)在市場上的顯示器基本上都通過了該標準。1992年，瑞典專業(yè)雇員聯(lián)盟（TCO）在MPR-2的基礎(chǔ)上對節(jié)

14、能、輻射提出了更高的環(huán)保要求，即TCO92標準。TCO標準經(jīng)過不斷擴充和改進，逐漸演變成現(xiàn)在通用的世界性標準：TCO92包括了對顯示器的電磁輻射、自動電源關(guān)閉、耗電量、防火及用電安全、TCO驗證證明這五個方面的標準；TCO95又加入了對環(huán)保和人體工程學的要求，范圍擴大到整個微機系統(tǒng)；TCO99則提出了更全面、更嚴格的環(huán)保及用戶舒適度的標準。當然通過TCO認證的顯示器的售價也有所提高，但是物有所值。在這些嚴格的認證標準的控制下，顯示器對健康的影響也會越來越小?，F(xiàn)在的顯示器除了提高顯示質(zhì)量外，在其它方面也做著各種改進和革新，其中包括了USB接口技術(shù)的應用，標準化的接口規(guī)范、方便的連接、對多設(shè)備的支

15、持、真正的即插即用，它支持等時傳送模式，實時處理多媒體數(shù)據(jù)，保證圖像顯示不間斷，提高畫面質(zhì)量。第二章 對北京京東方顯示技術(shù)有限公司的介紹2.1 公司的標識圖2-1 公司的標識圓形球體與相對兩瓣狀體結(jié)合組成了相交的兩橢圓，形似電子運動軌跡，體現(xiàn)了“京東方”的行業(yè)特點。兩瓣狀體可寓意為合作伙伴。表示京東方與合作伙伴合作共贏、共同發(fā)展。標志中圓型球體造型體現(xiàn)企業(yè)自身所蘊涵的巨大技術(shù)與精神能量，由球體中心向四周的明暗漸變預示企業(yè)的蓬勃發(fā)展，同時也表現(xiàn)企業(yè)干部、員工之間強大的聚合力，是企業(yè)上下一心，共同奮進精神的寫照。標志瓣狀造型表現(xiàn)出企業(yè)精神理念的影響和傳播以及經(jīng)營生產(chǎn)領(lǐng)域的不斷拓展，以示對社會發(fā)展的

16、推動和積極的貢獻。標示以藍綠色為主色調(diào)，體現(xiàn)企業(yè)沉穩(wěn)、嚴謹?shù)淖黠L、順應時代發(fā)展的高科技概念和追求人類美好生活的理想。2.2 公司的發(fā)展歷程公司創(chuàng)立：京東方的前身是北京電子管廠。該廠于1956年成立，中國第一只電子管、晶體管、顯像管和第一塊集成電路、LCD顯示屏均誕生于此，曾被譽為“中國電子工業(yè)的搖籃”。但是，由于產(chǎn)品、技術(shù)、體制等種種原因，該廠在19861992期間處于連續(xù)7年虧損的困境。1993年4月，為了擺脫困境并適應中國改革開放及經(jīng)濟體制轉(zhuǎn)型的要求，在政府支持下，由企業(yè)管理層和員工共同出資，銀行將部分債務(wù)轉(zhuǎn)股，在原北京電子管廠基礎(chǔ)上進行股份制改制，成立了北京東方電子集團股份有限公司。轉(zhuǎn)型

17、創(chuàng)業(yè)（1993-1997年）：創(chuàng)立初期，面對連年虧損，觀念、體制、技術(shù)、產(chǎn)品老化等難題，公司確定了轉(zhuǎn)型創(chuàng)業(yè)求生存的目標，實施企業(yè)再造工程。一是市場化，建設(shè)“以市場為導向、追求經(jīng)濟效益”的體制和機制；二是國際化，引進國外資金、技術(shù)和管理，盤活存量，培養(yǎng)人才；三是專業(yè)化，形成精密電子零件與材料事業(yè)能力。利用1987年與松下合資的彩色顯象管（CRT）項目，發(fā)展與其配套的精密電子零件與材料事業(yè)；采用“請進來”的辦法，與旭硝子、日伸、日端等業(yè)內(nèi)知名的世界級公司成立了多個合資合作公司，初步形成了以CRT為龍頭的顯示產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)鏈。四年時間，京東方不僅實現(xiàn)了扭虧為盈，還從一家傳統(tǒng)國有工廠逐步轉(zhuǎn)變?yōu)橐患颐嫦蚴袌?/p>

18、的現(xiàn)代公眾公司。1997年6月，京東方在中國深圳證券交易所成功發(fā)行境內(nèi)上市外資股（B股）。發(fā)展主營（1998-2002年）：企業(yè)上市后，京東方圍繞以顯示為核心的主營業(yè)務(wù)，積極實施兩個戰(zhàn)略性轉(zhuǎn)變（以合資合作為主轉(zhuǎn)向發(fā)展主營事業(yè)為主，以電子零器件為主轉(zhuǎn)向以發(fā)展顯示業(yè)務(wù)為主），著力打造主營業(yè)務(wù)。在1995年成立的薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD）預研小組基礎(chǔ)上，加快對TFT-LCD產(chǎn)業(yè)和技術(shù)的跟蹤研究；1997年7月，與冠捷科技有限公司合資成立北京東方冠捷電子有限公司，進入顯示器領(lǐng)域。1998年12月，整合組建浙江京東方，進入真空熒光顯示屏（VFD）顯示領(lǐng)域。2000年12月，在中國深圳證券交

19、易所成功增發(fā)A股，成為同時擁有A、B股的上市公司。企業(yè)實力迅速提升，在電子百強企業(yè)排名由1998年的第99位躍升至2002年的第18位。邁進前沿（2003-2007年）2003年1月，京東方組建韓國全資子公司BOEHYDIS技術(shù)株式會社，收購其TFT-LCD業(yè)務(wù),進入TFT-LCD顯示領(lǐng)域。2003年4月，公司正式提出成為“顯示領(lǐng)域世界領(lǐng)先企業(yè)”的戰(zhàn)略目標，積極實施提升企業(yè)核心競爭力戰(zhàn)略，企業(yè)進入國際化經(jīng)營的新階段。2003年6月，北京京東方光電科技有限公司（BOEOT）注冊成立。同年9月，北京第5代TFT-LCD生產(chǎn)線項目開工。同年12月，京東方完成對冠捷科技有限公司26.36股份的收購，并

20、成為冠捷科技第一大股東。2005年5月，5代線項目成功量產(chǎn)。京東方緊緊圍繞創(chuàng)辦一家“顯示領(lǐng)域世界領(lǐng)先企業(yè)”的目標，全面強化與提升在顯示領(lǐng)域的核心競爭力，重點發(fā)展TFT-LCD為核心的新型平板顯示產(chǎn)業(yè)，創(chuàng)造了“境外收購、海外融資、國內(nèi)建設(shè)、帶動配套”發(fā)展模式；建立具有自主創(chuàng)新和自我發(fā)展能力的TFT-LCD事業(yè)基礎(chǔ)，大大提升了主營業(yè)務(wù)的水平和檔次，提升了企業(yè)自主創(chuàng)新能力和競爭力。實現(xiàn)領(lǐng)先（2008-2012年）自2008年以來，京東方開始實施“劍字”號戰(zhàn)略，力爭用20年的時間，使京東方由行業(yè)跟隨者成長為行業(yè)領(lǐng)先者。為強化移動和應用顯示領(lǐng)域核心能力，京東方于2008年3月開工建設(shè)成都第4.5代TFT

21、-LCD生產(chǎn)線，2009年10月成功量產(chǎn)；為填補大陸電視用TFT-LCD面板的空白，京東方于2009年4月在合肥投資建設(shè)中國內(nèi)地首條第6代TFT-LCD生產(chǎn)線，2010年10月量產(chǎn)；2009年10月，京東方在北京投資280億元建設(shè)中國大陸首條8.5代TFT-LCD生產(chǎn)線。加上已有的北京5代線，4條生產(chǎn)線將極大地豐富京東方的產(chǎn)品線，從而在整體上提升公司在TFT-LCD顯示領(lǐng)域的競爭力。目前，在經(jīng)營團隊的帶領(lǐng)下，京東方全體同仁堅定貫徹執(zhí)行“鋼劍戰(zhàn)略”，堅持客戶導向和SOPIC創(chuàng)新變革，加快產(chǎn)品與技術(shù)創(chuàng)新，通過產(chǎn)品、技術(shù)、管理創(chuàng)新和產(chǎn)能擴大、產(chǎn)業(yè)鏈延伸等措施，增強專業(yè)基礎(chǔ)能力，提升產(chǎn)品競爭力和產(chǎn)線盈

22、利力，建立價值創(chuàng)造驅(qū)動和長期穩(wěn)定盈利的企業(yè)發(fā)展模式，著力將京東方打造成為全球業(yè)內(nèi)最具活力和盈利力企業(yè)。所有的努力都源自共同的基點，那就是京東方的理想：創(chuàng)辦一家顯示領(lǐng)域世界領(lǐng)先企業(yè)，創(chuàng)新進取，正道經(jīng)營，為大眾提供滿意的顯示產(chǎn)品和服務(wù)，為客戶、投資者、員工創(chuàng)造最大價值，為社會文明進步做貢獻。第三章 北京京東方顯示屏的生產(chǎn)過程Array（陣列）àCF（彩膜)àCell（成盒）àModule（模組）陣列：取玻璃à用超純水清洗玻璃基板，去除異物à在干凈的玻璃表面，通過濺射沉積（Sputter）形成金屬薄膜à在已形成的金屬半導體、絕緣層的薄膜上面

23、均勻涂覆一層光刻膠à紫外線透過掩模板照射基板上的光刻膠，進行曝光。光刻膠曝光部分被顯影液溶解，留下部分圖案呈現(xiàn)所需形狀à把基板放入對應腐蝕氣體中，沒有有機層覆蓋的薄膜就會被腐蝕掉à用化學剝離液去除殘余的光刻膠，留下了所需形狀的金屬，半導體或絕緣體薄膜，完成一次光刻à通過化學氣象沉積（PECVD)形成半導體或絕緣體薄膜à反復進行45次上述工藝，各種不同材料和形狀的薄膜在玻璃基板上層疊構(gòu)成薄膜晶體管陣列和互聯(lián)線，實現(xiàn)TFT基板的制作à進行品質(zhì)檢測，進入下一道工序。彩膜：取玻璃à用超純水清洗玻璃基板，去除污染物à涂覆一層

24、黑色感光樹脂材料à經(jīng)過曝光、顯影等工藝，形成黑矩陣（BM）。涂覆一層感光的紅色有機感光層à曝光、顯影，形成與像素對應的紅色濾光層à重復之前的過程，制作出綠、藍濾光層à涂覆一層透明油劑保護層（overcoater）à在紅、綠、藍濾光層上整體沉積一層透明導電膜（ITO）作為全部像素電壓信號的公共電極à涂覆一層透明感光樹脂材料，經(jīng)過曝光顯影等流程形成襯墊物（PS）。圖3-1 成盒：清洗陣列基板（TFT）和彩膜（CF）基板à分別在兩塊基板上涂覆取向膜層（PI）à沿特定方向分別摩擦TFT基板和CF基板à在CF基板上

25、滴注（ODF）液晶分子à在TFT基板上圖封邊框膠（Sealant）à在真空環(huán)境下，講TFT基板和CF基板壓合在一起à對已經(jīng)粘合在一起的基板，按照所需大小進行切割，對切割完成的玻璃邊緣進行打磨以保證面板邊緣光滑à加入電學信號對成盒后的面板進行檢測。模組：清洗液晶盒（Cell）基板并干燥à在基板兩面都貼附偏光片à貼個向異性導電膠（ACF）軟性電路板壓合à驅(qū)動IC壓合，印刷電路板的壓合à背光源的組裝à至此TFTLCD組裝完成。第四章 北京京東方產(chǎn)線的設(shè)備4.1 AOIAOI Test：檢測Array工藝生產(chǎn)的P

26、attern Glass，檢出不良，取得不良坐標，并對不良進行分類，根據(jù)不良狀況判定產(chǎn)品等級，并上傳不良信息供以后的維修工程使用，我們的操作員要統(tǒng)計檢查的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)目前出現(xiàn)的問題，反饋給PI及前工藝，協(xié)助他們盡快解決問題。4.1.1 AOI檢查原理利用相鄰像素圖像之間的比較檢出缺陷。4.1.2 AOI檢查流程4.2 OSOS Test：繼AOI Test之后的另一道檢測工序，主要檢測的是金屬線的不良，取得不良坐標，并對不良進行分類，根據(jù)不良狀況判定產(chǎn)品等級，并上傳不良信息供以后的維修工程使用。我們的操作員要對監(jiān)測數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計和分析，發(fā)現(xiàn)一些特殊的或者批量的工藝不良，及時反饋前工藝，對工藝進行改

27、善，以上提到的兩種檢測設(shè)備是Gate和S/D Test的主要檢測設(shè)備，為我們的CUT Repair和CVD Repair提供不良信息，通過維修來提高產(chǎn)品的Yeild。檢測不良的準確度和檢出能力，影響到產(chǎn)品的實際良率。我們的操作員要嚴格把控檢測過程，及時發(fā)現(xiàn)設(shè)備問題，把因為工藝或者設(shè)備本身對產(chǎn)品造成的損失降到最小。4.2.1 OS檢查原理Pin To Pin方式精確測量電阻，構(gòu)造原理簡單。PinToSensor方式運營成本低（換pin減少），傳感器與電路距離穩(wěn)定性。Sensor To Sensor方式檢測速度快，無損檢測，運營成本低（不需換pin）。4.2.2 檢查流程StartàLo

28、ader（Carry-In）àInspection StageàVacuum OnàRecipe changeà AlignmentàRead VericodeàInspectionO/SàScan first line O/S Judge first lineàScan last line O/S Judge last lineàScan first NG pos Scan last NG posàHost CommunicationàVacuum BreakàDischa

29、rge ElectrostaticàUnloader（Carry-Out) à ENDà4.1EPM4.3 EPMEPM:屬于抽樣檢測設(shè)備，通過對有代表性的TFT器件電學參考書的測量對Array工藝生產(chǎn)的產(chǎn)品的電學特性進行整體評估，由于檢查的是各批次的共性，所以一旦測試結(jié)果出現(xiàn)異常則說明該批次所有產(chǎn)品的品質(zhì)存在問題。因為設(shè)備比較復雜，精密程度也比較高，除了對設(shè)備的足夠掌握之外，還要能對監(jiān)測數(shù)據(jù)的分析能力和其他檢測設(shè)備一樣，我們要對檢測結(jié)果進行統(tǒng)計和分析，及時匯報給相關(guān)部門，對產(chǎn)品工藝盡心嚴格把控。4.3.1 EPM檢查原理：EPM是一個接觸時測量的巨大“萬用表”系

30、統(tǒng)。屬于抽樣檢測設(shè)備，通過對有代表性的TFT器件電學參數(shù)的測量對Array工藝生產(chǎn)的產(chǎn)品的電學特性進行整體評估。主要可以測量IV曲線，電阻，電容等多個項目。由于檢查的是個批次產(chǎn)品的共性，所以一旦測試結(jié)果出現(xiàn)異常則說明該批次所有產(chǎn)品的品質(zhì)存在問題。4.3.2 EPM檢查流程AnnealàCleanàInline AOIàReview（檢出圖案不良）àTFT特性抽檢àArray Test（檢出電學不良）àCut repair（圖案殘留修復）àCVD repair（斷路連接修復）àSorter（陣列彩膜配對）4.4 AT

31、AT：是Array工藝的最后一道檢測工序，可以檢測出點不良、線不良幾乎所有不良，并對不良進行分類判級，我們要時時監(jiān)控LOT的檢測情況，發(fā)現(xiàn)特殊不良或者其它工藝異常后要及時進行記錄分析，把結(jié)果反饋給前工藝，即使對工藝進行改善，并對下一步維修起一定指導作用。4.4.1 AT測試原理：Sensor對光的調(diào)制作用GlassàGate Metal DepositionàGate PatterningàSinX Deposition a-Si Deposition n+a-Si PatterningàActive PatterningàData Metal

32、 DepositionàData Metal Patterning n+a-Si EtchàSinX DepositionàVia Hole PatterningàITO DepositionàPixel Patterning4.4.2 AT檢查流程G檢Flow檢出圖案不良à檢出短/斷路à圖案殘留修復à斷路連接修復D檢Flow檢出圖案不良à檢出短/斷路à圖案殘留修復à斷路連接修復àFinal檢Flow檢出圖案不良àTFT特性抽檢à檢出電學不良à圖

33、案殘留修復à斷路連接修復。第五章 京東方Final產(chǎn)線操作員的主要工作我們的操作員要統(tǒng)計檢查的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)出現(xiàn)的問題，對監(jiān)測數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計和分析，發(fā)現(xiàn)一些特殊的或者批量的工藝不良，都要及時反饋給前工藝，協(xié)助他們盡快解決問題。對工藝進行改善，嚴格把控檢測過程，及時發(fā)現(xiàn)設(shè)備問題，把因為工藝或者設(shè)備本身對產(chǎn)品造成的損失降到最小。我們還要對檢測結(jié)果進行統(tǒng)計和分析，及時匯報給相關(guān)部門，對產(chǎn)品工藝盡心嚴格把控。時時監(jiān)控LOT的檢測情況，發(fā)現(xiàn)特殊不良或者其它工藝異常后要及時進行記錄分析，把結(jié)果反饋給前工藝，及時對工藝進行改善，并對下一步維修起一定指導作用。同時，操作員還要對顯示屏進行維修，提高產(chǎn)品的合格率。5.1 FinalCVDrepair維修工藝圖5-1CVD：CVD過程是一個三個維修動作連續(xù)的工作zapping:zapping的過程是一個打孔的過程，類似于drain極的過孔contact:contact的過程是在通過zapping過程打