機械、擴散、分子泵工作原理

1、油擴散泵工作原理油擴散泵主要由泵體、 擴散噴嘴、蒸氣導(dǎo)管、油鍋、加熱器、擴散器、冷卻系統(tǒng)和噴射噴嘴等部分組成(見圖)。當(dāng)油擴散泵用前級泵預(yù)抽到低于1帕真空時，油鍋可開始加熱。沸騰時噴嘴噴岀高速的蒸氣流，熱運動的氣體分子擴散到蒸氣流中，與定向運動的油蒸氣分子碰撞。氣體分子因此而獲得動量，產(chǎn)生和油蒸氣 分子運動方向相同的定向流動。至U前級，油蒸氣被冷凝，釋出氣體分子，即被前級泵抽走而達(dá)到抽氣目的。 泵油的蒸氣壓直接影響泵的真空性能。但油擴散泵所使用的任何泵油，都是蒸氣壓不同的多組分的混合物。因此，要提高油擴散泵的抽氣和真空性能，泵在工作中自身還要對泵油進行分餾(一、物質(zhì)的分離和提純基本原理混合物的

2、分離是指用物理、化學(xué)方法將混合物中各組分分開，并恢復(fù)到原狀態(tài)，得到比較純的物質(zhì)。物質(zhì)的提純則只要將雜質(zhì)除去即可。物質(zhì)提純的原則為：不增(不引入新的雜質(zhì))、不變、易分離。實驗操作要簡便，不能繁雜。用化學(xué)方法除去溶液中的雜質(zhì)時，要想把被分離的物質(zhì)或離子盡可能除凈，需要加入過量的分離試劑， 在多步分離過程中，后加的試劑應(yīng)能夠把前面所加入的無關(guān)物質(zhì)或離子除去。二、常用的分離和提純方法1. 過濾過濾是除去溶液中混有不溶于溶劑的雜質(zhì)的方法。過濾時應(yīng)注意：(1) 一貼：將濾紙折疊好放入漏斗，加少量蒸餾水潤濕，使濾紙緊貼漏斗內(nèi)壁。(2) 二低：濾紙邊緣應(yīng)略低于漏斗邊緣，加入漏斗中液體的液面應(yīng)略低于濾紙的邊緣。

3、(3) 三靠：向漏斗中傾倒液體時，燒杯的夾嘴應(yīng)與玻璃棒接觸；玻璃棒的底端應(yīng)和漏斗中有三層濾紙?zhí)庉p輕接觸；漏斗頸的末端應(yīng)與 接受器的內(nèi)壁相接觸，例如用過濾法除去粗食鹽中少量的泥沙。2. 蒸發(fā)和結(jié)晶 蒸發(fā)是將溶劑氣化、使溶液濃縮從而使溶質(zhì)析出的方法。結(jié)晶是溶質(zhì)從溶液中析出晶體的過程，可以用來分離和提純幾種可溶性固體的混合物。加熱蒸發(fā)皿使溶液蒸發(fā)時，要用玻璃棒不斷攪拌溶液，防止由于局部溫度過高，造成液滴飛濺。當(dāng)蒸發(fā)皿中出 現(xiàn)較多的固體時，即停止加熱。結(jié)晶的原理是根據(jù)混合物中各成分在某種溶劑里的溶解度的不同，通過蒸發(fā)減少溶劑或降低溫度使溶解 度變小，從而使晶體析出。例如用結(jié)晶的方法將NaCI和KNO3

4、分離。3. 蒸餾蒸餾是提純或分離沸點不同的液體混合物的方法。用蒸餾原理進行多種混合液體的分離，叫分餾。例如將石油蒸餾可以得到煤 油、汽油、柴油等等。4. 分液和萃取 分液是把兩種互不相溶、密度也不相同的液體分離開的方法。萃取是利用溶質(zhì)在互不相溶的溶劑里的溶解度不同，用一種溶劑把溶質(zhì)從它與另一種溶劑所組成的溶液中提取出來的方法。萃取和分液經(jīng)常一起使用來分離物質(zhì)。選擇的萃取劑應(yīng)符合下列要求：(1) 和原溶液中的溶劑互不相溶；(2) 對溶質(zhì)的溶解度要遠(yuǎn)大于原溶劑；(3) 溶劑易揮發(fā)。在萃取和分液過程中要注意：(1) 將要萃取的溶液和萃取溶劑依次從上口倒入分液漏斗，其量不能超過漏斗容積的2/3，塞好塞

5、子進行振蕩。(2) 振蕩時右手捏住漏斗上口的頸部，并用食指根部壓緊塞子，以左手握住旋塞，同時用手指控制活塞，將漏斗倒轉(zhuǎn)過來用力振蕩。(3) 然后將分液漏斗靜置，待液體分層后進行分液，分液時下層液體從漏斗下口放出，上層液體從上口倒出。三、常見的分離方法選擇1. 對于固體與固體的混合物：(1) 雜質(zhì)易分解、易升華時，用加熱法，如碳酸鈉中混有NaHCO3 ；(2) 一種易溶，一種難溶，用過濾法，如 NaCI中混有泥沙；(3) 二者均易溶，但其溶解度隨溫度的影響不同，用結(jié)晶法，如NaCI中混有KNO3。2. 液體與液體的混合物：(1) 沸點相差較大時，用蒸餾法，如酒精與水的分離；(2) 互不混溶時，用

6、分液法，如四氯化碳與水的混合物的分離；(3) 在互不相溶溶劑中的溶解度不同時，用萃取法，如用CCI4萃取碘水中的碘。3. 氣體與氣體的混合物：洗氣吸收法。四、常見物質(zhì)分離、提純范例1. 物理方法的范例（1）溶解、過濾法MnO2與KCI的分離：采用溶解過濾法。除去炭粉中雜質(zhì)氧化銅或銅粉中鋅雜質(zhì)，采用鹽酸溶解、過濾法除雜。（2）加熱灼燒法氧化銅中混有炭粉，二氧化錳中混有炭粉采用在空氣中加熱灼燒法除雜。（3）溶解、結(jié)晶法例如，分離氯化鈉和硝酸鉀可根據(jù)兩種物質(zhì)的含量不同分別采用蒸發(fā)結(jié)晶法或降溫結(jié)晶法。2. 化學(xué)方法的范例（1）生成氣體法：如除去氯化鈉中碳酸鈉雜質(zhì)，加適量鹽酸。（2）生成沉淀法：如除去氯

7、化鈉溶液中氯化鈣雜質(zhì)，加適量的碳酸鈉溶液。（3）還原法：如銅粉中有氧化銅雜質(zhì)：在加熱條件下通入足量氫氣或一氧化碳。（4） 正鹽酸式鹽轉(zhuǎn)化法：例如，碳酸鈉溶液中含有碳酸氫鈉雜質(zhì)，向溶液中加入適量的氫氧化鈉，NaHCO3+NaOH=Na2CO3+H2O ；碳酸氫鈉溶液中含有少量碳酸鈉雜質(zhì)：向溶液中通入過量二氧化碳，Na2CO3+CO2+H2O=2NaHCO3 。（5）洗氣法：除去下列氣體中的雜質(zhì)，括號中為雜質(zhì)：CO（CO2）:堿溶液；H2（HCI）:水或堿溶液；CO2（HCI）:飽和碳酸氫鈉溶液； SO2（HCI）:飽和亞硫酸氫鈉溶液。（6） 加熱法：除去氮氣中氧氣：通過熾熱銅網(wǎng)；除去二氧化碳中C

8、O ,通過熾熱氧化銅粉末。（7）干燥法：常見干燥劑有氯化鈣、堿石灰、生石灰和濃硫酸。一般最后一步除去水蒸氣。在實際應(yīng)用中往往分離或提純一種物質(zhì)要用到多種方法：例如，粗鹽中含有Ca2+、Mg2+、SO42-等雜質(zhì)，提純方法：溶解、依次加入過量氯化鋇溶液、過量氫氧化鈉溶液、過量碳酸鈉溶液、過量鹽酸溶液，蒸發(fā)得到氯化鈉純凈物。再如，空氣中含有 二氧化碳、氧氣依次通過氫氧化鈉、熾熱銅網(wǎng)最后得到氮氣和稀有氣體等。）和凈化。分餾目的是使高蒸氣壓組分的油不進入高真空工作噴嘴（高真空端的噴嘴）；凈化目的是使高蒸氣壓組分的油在工作過程中不斷為前級泵 所抽除，使油逐漸趨于純凈.泵油分餾主要是利用泵油各組分的蒸發(fā)溫

9、度不同，使它們分別在不同的鍋爐面積上蒸發(fā)。當(dāng)工作后冷凝回流的泵油流到有保溫罩部分的泵壁時，油即得到預(yù)加熱，隨即流到油鍋周邊，經(jīng)鍋底環(huán)形加熱器加熱，輕餾分的油達(dá)到蒸發(fā)溫度便在外層蒸發(fā)而進入低真空工作噴嘴（靠近前級泵的噴嘴）;未能蒸發(fā)的某些輕餾分油也因比重較其他餾分油小而浮到油面上。由于外層蒸氣導(dǎo)管的限制，這部分餾分蒸發(fā)后仍進入低真空 工作噴嘴。重餾分的油在外層蒸氣導(dǎo)管中因未達(dá)到蒸發(fā)溫度而未蒸發(fā)，遂從外層由鍋底間的縫隙流到油鍋 中心蒸發(fā)，進入高真空工作噴嘴。輕、重餾分的油蒸氣這樣分道供給低真空工作噴嘴和高真空工作噴嘴這 一過程謂之分餾。從噴射噴嘴噴岀的油蒸氣在前級得不到充分的冷卻，蒸氣中的輕餾分即

10、未能完全冷凝而 被前級泵抽除。如此循環(huán)工作，泵油中的輕餾分便越來越少，重餾分的比例則越來越大，泵油便逐漸趨于 純凈。這一過程謂之凈化。泵油的分餾和凈化，對提高泵的極限真空有重要作用。擴散泵工作原理（轉(zhuǎn)帖）（2009-06-20 23:13:10）標(biāo)簽：擴散泵 內(nèi)腔 聚苯醚 真空泵 教育來源：天涯問答 /thread?tid=7d674b585a9f267b作者：浙江過客在地球大氣層任何地方造成真空要抽掉組成大氣層的分子（主要為氮、氧、二氧化碳，以及常見的約150種污染物）.分子的抽取一直要持續(xù)到獲得預(yù)期基本的真空水平。抽取的過程在此后通常會繼續(xù)以保持需要的 真空水平進行工作。這項工作可能涉及電

11、子顯微鏡、氣相色譜質(zhì)譜（GC-MS）表面分析、分子束系統(tǒng)、先進的材料焊接、大型真空爐，甚至模擬太空環(huán)境.最常見的一種用于高真空應(yīng)用的是油擴散真空泵 （或者更正確地說、蒸氣噴射泵 ） 。油擴散真空泵是最早、 最可靠的途徑，在25° C能創(chuàng)造10-10 Torr真空或更低。擴散泵的首次設(shè)計要追溯到1915年，發(fā)明者是IrvingLangmuir 。原來是用水銀擴散泵液，可以承受的溫度提高了，但缺點是有毒。噴射泵的設(shè)計經(jīng)過多年的改 進和合成液體的進步使得更高程度的真空能夠?qū)崿F(xiàn)。雖然測量氣壓的單位眾多，但Torr（ 陶而） 卻是最常用的。在海平面正常的大氣壓下， 無液氣壓計的水銀柱高 29.

12、92 英寸， 29.92 英寸等于 760毫米水銀或 760Torr 。 為了測量很高的真空下極低的壓力 , 也可使用微米 （1000 微米為 1 毫米）作單位，因此，真空擴散泵實現(xiàn)了 10-3 Torr 真空也可以說已經(jīng)到了 1 微米的真空。10-3 Torr 真空雖已大量抽取出大氣分子，但實際上在這一水平上真空擴散泵剛開始運作。因為油擴散真空 泵開始工作， 內(nèi)腔不能有完全的大氣壓。 相反,一個輔助低真空機械泵 （ 或前置真空泵 ） 能夠少量的抽壓， 它 首先使油擴散真空泵內(nèi)腔壓力減至約10-3Torr。在此時，油擴散真空泵開始工作使真空水平保持在10-3和10-10Torr 之間。由于真空

13、擴散泵不能直接自排氣壓，機械輔助泵的使用能維持適當(dāng)?shù)呐艍簵l件。雖然在某些應(yīng)用場合，他們已經(jīng)被一些更先進設(shè)計的產(chǎn)品替代，例如低溫泵或離子泵，但真空擴散泵仍受 青睞。因為他們有幾個好處 : 他們有可靠的而簡單的設(shè)計，運行無噪音振動，相對低廉的操作和維修。事 實上， 擴散泵仍然是最廉價的制造高真空環(huán)境的手段。 這些泵也容許存在超過作業(yè)條件的活性粒子和氣體。 而這對其他類型的高真空泵則有很大的破壞作用。體積上，最小的只稍大于一個咖啡杯。最大的直徑近一 米，高兩米。油擴散真空泵，采用不銹鋼內(nèi)腔并含有縱向疊加的錐形噴射口的內(nèi)室。通常有三個噴射口內(nèi)室其大小逐個 減小， 最大的在底部。在內(nèi)腔的底部是一灘特殊的

14、低蒸汽壓油。油由內(nèi)腔底部下設(shè)的電加熱器加熱煮沸， 氣化的油油向上移，從各個內(nèi)室的噴射口排出來。而水通過在內(nèi)腔外壁的循環(huán)使內(nèi)腔降溫，從而避免熱量 外溢并維持其長時間的運轉(zhuǎn)。之所以稱它為擴散泵的唯一理由是，根據(jù)觀察抽取氣體的分子滲透進蒸汽噴口的方式類似于一種氣體擴散 到另一種氣體里。 （ " 來源 HablanianMH， 高真空技術(shù)第二版 207 頁" ） 。從相當(dāng)大直徑的噴射口出來，高能 油滴以時速 750 英里每小時的速度在內(nèi)室和內(nèi)腔壁之間向下落去。這些油滴已達(dá)到了超音速，但卻沒有音 爆，主要因為部分真空狀態(tài)下分子間隔太大以至于不能傳導(dǎo)聲能。蒸汽噴口的捕捉率取決于他的密度

15、，速 率和分子量。高速噴口與在碰巧進入其內(nèi)部的氣體分子發(fā)生碰撞是由于氣體分子的熱運動。這通常會給分 子以向下的動力使它們能從泵的排氣口排出從而達(dá)到更高的真空水平。在內(nèi)腔底部，積淀下來的大氣氣體 分子被輔助泵消除，同時積淀下來的油則開始又一輪的循環(huán)。分子清除的作用是創(chuàng)造一個上層部分高真空的內(nèi)腔。而這一部分的高真空正是應(yīng)用中所需要的比如，用 于電子顯微鏡。為阻止熱量外溢，在內(nèi)腔外壁會有水從旋管中流動來降溫。在油被蒸發(fā)的內(nèi)腔底部溫度大約處于190° C到280° C之間。油有幾種，分別由硅氧烷、碳?xì)浠衔?、酯、全氟化物，聚苯醚制成。聚苯?(Santovac ? 5) 液或油在

16、25 多年來一直是全球的標(biāo)準(zhǔn)，它兼具高分子量， 低反應(yīng)活性和優(yōu)良的蒸汽力等優(yōu)點。泵液的選擇標(biāo)準(zhǔn)包括室溫下的低蒸汽壓力，低毒性，化學(xué)惰性還有蒸 發(fā)的熱量和成本。所有的油在大氣壓下都要有更高的沸點。分子量小的油傾向于在溫度范圍的低端達(dá)到沸 點，而分子量大的聚苯醚(446)則要到230° C和270° C之間才會沸騰。這已接近溫度范圍的高端。當(dāng)溫 度開始上升時真空內(nèi)腔的自動開關(guān)會關(guān)閉泵。因此，在使用聚苯醚的情況下，若開關(guān)溫度指示器仍是為輕 質(zhì)油設(shè)置在低溫，那內(nèi)腔就會自動關(guān)閉。各種油也有各種不同的熱分解溫度油分子在這一溫度時會分解并，并與任何存有的氧氣分子結(jié)合。對于 泵的運轉(zhuǎn)來說，

17、油的沸點并不特別重要，但是熱分解很重要。低沸點的油的熱分解溫度相應(yīng)也較低。由于內(nèi)腔本身除了油滴外，沒有移動的部分，因此真空擴散泵能夠長期穩(wěn)定運行。在各種擴散泵中，少量 的回流會發(fā)生。 顧名思義 , 所謂回流就是少量的油會向相反的方向移動， 移向泵的入口處進入進程流 - 電子 顯微鏡和焊接室操作的某個階段。在一些應(yīng)用中，回流的發(fā)生并無影響?？墒窃趯ξ镔|(zhì)純度要求苛刻的條 件下，它的發(fā)生是不容許的。有鑒于此，一些系統(tǒng)會附加一個液氮低溫冷阱，在油粒進入進程流之前將其 清除。但多數(shù)時候使用聚苯醚就可以了，因為它的高純度本身即可最大程度地減少回流。但對某些敏感場 合，這種方法也不能徹底進行保護。這就是為什

18、么半導(dǎo)體制造商早在幾年前就放棄真空擴散泵而轉(zhuǎn)用更加 昂貴的低溫泵和汽輪式分子泵的原因。由于油擴散真空泵的目的是通過清除分子來創(chuàng)造一個真空，所以在運作時腔內(nèi)壁必須要保持清潔。建議技 術(shù)員在操作時戴上手套，因為甚至是一個指印也可能會要求除去水蒸氣和其他分子。有時油擴散真空泵在 抽真空以降至理想水平時比平常緩慢， 原因可能是內(nèi)壁塑料表面在除濕， 或是有其它揮發(fā)性物質(zhì)或是泄露。 而這都會增加泵需要抽取的空氣中的分子。在對泵分拆進行例行維護清理時，最后一定要用干燥的氮來凈 化。擴散泵內(nèi)腔不是特別難以分拆，但故障超出日常維修范圍時工作可能很困難。最壞的情況是發(fā)生大量的氧 氣滲入和熱量升高致使油分解或變質(zhì)。

19、一般這會發(fā)生在輔助泵失靈或氣缸門壞了時，或當(dāng)制冷系統(tǒng)不能正 常工作時。高溫和高壓的共同作用會使油燒焦。而產(chǎn)生的膠狀物是很難清理的。但究竟會發(fā)生什么有賴于 油的品種及其發(fā)生分解的溫度。非硅樹脂烴類油的分解物最難清理。殘留物很象焦油并且很粘。在盡可能 去除污垢之后，維護人員可以用砂布清理接著再進行廣泛仔細(xì)的液滴爆破(類似于沙子爆破，但對表面的 損害更小，特別是對脆弱的鋁制噴射內(nèi)室來說)。最后，可用酒精，其他溶劑，肥皂水和除電離子水清理。硅樹脂制成的油類的殘留物較易于去除。而含有全氟化物的油類卻會分解形成氟化合物，這種物質(zhì)極具毒 性并對鋁制的噴射內(nèi)室造成很大傷害。最少污染和破壞性的是聚苯醚，部分原因

20、是它只會在很高溫度下分 解(350 ° Cvs300° C), 即使是分解產(chǎn)生的也是無毒的分子比如水和二氧化碳。但它的分解通常很難發(fā)生。 在被用于一次特制材料的焊接后，它是如此持久以至于還能被保留下來用于另一臺來替換的擴散泵。 擴散泵的結(jié)構(gòu)示意圖和工作原理2009-02-27 19:33當(dāng)擴散泵油被電爐加熱時，產(chǎn)生油蒸氣沿著導(dǎo)流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴岀。因噴嘴外面有機械泵提供的真空Pa),故油蒸氣流可噴岀一長段距離，構(gòu)成一個向?qū)鐨饪诜较蜻\動的射流。射流最后碰上由冷卻水冷卻的泵壁凝結(jié)為液體流回蒸發(fā)器，即靠油的蒸發(fā)噴射凝結(jié)重復(fù)循環(huán)來實現(xiàn)抽氣。由進氣口進入泵內(nèi)的氣體分子一旦落入蒸氣流

21、中便獲得向下運動的動量向下飛去。由于射流具有高流速(約200m/s)，高的蒸氣密度，且擴散泵油分子量大(300500)，故能有效地帶走氣體分子。氣體分子被帶往出口處再由機械泵抽走。擴散泵與機械泵的工作原理admin 發(fā)表于：2008-5-28 23:41 來源：機械企業(yè)網(wǎng)機械泵概念很廣，凡是由于真空泵內(nèi)結(jié)構(gòu)部件機械運動產(chǎn)生真空的都叫機械泵，下面我就比較具有代表性 的油封機械真空泵即旋片真空泵的原理介紹下：2X系列真空泵為雙級結(jié)構(gòu)。帶有旋片泵的轉(zhuǎn)子偏心地安裝在圓筒形的定子中，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時，裝在轉(zhuǎn)子槽中自由活動的旋片由于離心力和彈簧力的作用強力地被向外推岀，以它的頂部和定子內(nèi)壁貼緊。這樣 定子

22、上的進岀口被它們隔開。被它們所圍的通向進口的一部分容積隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而逐漸地并且周期地擴大， 同時通向出口的一部分容積也逐漸地并且周期地減少。這樣空氣或混合氣體首先被高真空級進口吸入，然 后被壓縮，通過它的排氣閥排岀。在工作過程中當(dāng)排氣壓強不足以推開排氣閥時，高真空級被壓縮的氣體 只能進一步被轉(zhuǎn)送到第二級，并且最后經(jīng)過第二級排氣閥而被排到大氣中去，這樣在泵的吸入口端就獲得 真空。排氣閥都浸在油中，油在泵中循環(huán)流動起潤滑和密封作用。泵裝有氣鎮(zhèn)閥，當(dāng)被抽氣體中含有少量水蒸氣時，開啟氣鎮(zhèn)閥向泵的排氣腔注入空氣，蒸汽可以和空氣一起排出，而不致在泵中凝結(jié)成水以防止油被凝結(jié)的水乳化，從而延長泵油的使用壽命。

23、該泵是用來對密封容器抽除氣體獲得高真空的基本設(shè)備，可單獨使用，也可作為前級泵?？捎糜谡婵找睙挕⒄婵蘸附?、真空澆鑄、真空干燥以及化工制藥，電真空器件等工業(yè)的真空作業(yè)。可在環(huán)境溫度5oC-40oC范圍內(nèi)和進口壓強小于1330pa的條件下，允許長時期連續(xù)工作。不適用于抽除含氧過高的、有毒的、有爆炸性的，對金屬有腐蝕作用的、對泵油起化學(xué)反應(yīng)的，以及含有顆粒塵埃的氣體，也不適于把氣體從一個容器輸送到另一個容器作輸送泵用。在6650pa到大氣壓的進口壓強下的連續(xù)工作時間，不得超過3min以免噴油或潤滑不良引起泵損。該系列真空泵可單獨使用，亦可作為增壓泵、擴散泵、分子泵及鈦泵的前級泵使用，沒有氣鎮(zhèn)閥時，可抽

24、 送適量的可凝性氣體、濕空氣或氣水混合氣體，但介質(zhì)中不能含有顆粒狀固體物質(zhì)。型號：2X-2/2X-4/2X-8/2X-15/2X-30/2X-70極限分壓強(Pa) : <6x 1-2極限全壓強(Pa) : < 1抽氣速率(L/s) : 2-70電機功率(kW) : 0.37-5.5葉片泵的工作原理及結(jié)構(gòu)發(fā)布時間： 2008-9-27 10:01:59 被閱覽數(shù)： 919 次 來源： 轉(zhuǎn)文字 大 中 小 （一）雙葉片泵的工作原理1. 定子 （內(nèi)腔型線 ）:1）兩段長半徑圓弧2）兩段短半徑圓弧3）四段過渡曲線2. 轉(zhuǎn)子: 有若干葉槽，內(nèi)有葉片。旋轉(zhuǎn)時，葉片受離心力及液壓力作用下，外頂

25、定子內(nèi)壁，并在槽內(nèi)往復(fù)滑動。3. 配油盤 : 在定子和轉(zhuǎn)子兩側(cè)，盤上有兩對吸、排口，在定子、轉(zhuǎn)子、葉片和配油盤之間形成若干個工作空間。 葉片由短轉(zhuǎn)向長半徑時 ,葉片間 V 增大， P 降低，經(jīng)配油盤吸油。葉片由長向短半徑時,葉片間 V 減小，經(jīng)配油盤的排出口排油。當(dāng)葉片位于密封區(qū)時,正好將吸、排口隔開，葉片間 V 不變，沒有困油問題。轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)一周，每工作 V 都吸、排兩次（雙作用泵）。（二）單作用葉片泵的工作原理 定子內(nèi)腔型線是圓，轉(zhuǎn)子軸與定子偏心。逆時針回轉(zhuǎn)時，工作 V 右半轉(zhuǎn)增大，左半轉(zhuǎn) V 減小。從兩側(cè)配 油盤的吸、排口吸排油。兩相鄰葉片轉(zhuǎn)到吸、排油口間的密封區(qū)時，所接觸定子曲線不是與轉(zhuǎn)子

26、同心的圓弧。密封區(qū)的圓心角略大 于相鄰葉片所占圓心角。葉間工作 V 先略有增大，然后略有縮小，會產(chǎn)生困油現(xiàn)象，但不太嚴(yán)重。通過在排出口邊緣開三角形卸荷 槽的方法即可解決。定子、轉(zhuǎn)子和軸承受徑向力作用，屬非卸荷式葉片泵。工作P不宜太高，Q的均勻性也比雙作用差。移動定子可改變偏心的方向及大小，可做成n恒定而Q可變的雙向或單向的無級變量泵。其中用得較多的是限壓式變量葉片泵。（三）內(nèi)反饋限壓式變量葉片泵3_3_213.gif （12.47 KB）2008-8-29 13:38作用力 Fx配油盤中線相對于定子中線順轉(zhuǎn)向偏轉(zhuǎn)了B角。排油p對定子的作用力F便在定子中線方向產(chǎn)生分力 Fx。當(dāng)Fx小于補償器彈簧

27、預(yù)緊力時：1）定子與轉(zhuǎn)子的偏心距保持最大值2）泵的 Q 隨排出 p 增加而稍有降低，如特性曲線中 AB 段所示當(dāng)排壓大于PB時，F(xiàn)x增大使定子向減小e的向移動，泵的 Q即隨排壓增加而迅速降低。當(dāng)升到 Pc時，e減小，Qt=漏泄量，則 Q=0，有Pmax。調(diào)節(jié)螺釘 6和 3，增大彈簧預(yù)緊力， PB, Pc 增大， 特性曲線 BC 段右移。 彈簧剛度越小， 則 BC 段越陡， Pc 與PB,越接近。螺釘3可變泵的最大e，而改變Qmax，AB段就上下平移。內(nèi)反饋限壓式變量泵只能單向變量。（四）葉片泵的結(jié)構(gòu)3_3_314.gif （17 KB）2008-8-29 13:38圖2 19示出典型的雙作用葉

28、片泵的結(jié)構(gòu)。定子和左、右配油盤裝在泵體中，用圓柱銷定位，右配油盤背后的槽e通排油腔，轉(zhuǎn)子通過花鍵帶動，傳動軸由滾針軸承和球軸承支承。下面介紹雙作用葉片泵結(jié)構(gòu)的主要部分：定子過渡曲線必須設(shè)計成使葉片在葉槽中移動速度的變化盡可能小，以免產(chǎn)生太大的慣性力，導(dǎo)致葉片與 定子的脫離或沖擊。為使葉片在吸入?yún)^(qū)能貼緊定子，雙作用葉片泵一般使葉片底部與排出油腔相通，配油盤端面環(huán)槽C有小孔與排岀腔相通單作用葉片泵由于葉片在轉(zhuǎn)過吸入?yún)^(qū)時向外伸岀的加速度較小，單靠離心力即足以保證葉片貼緊定子。雙作用泵的葉片數(shù) Z應(yīng)取偶數(shù)，保證轉(zhuǎn)子徑向力平衡。配油盤：1. 吸入口流速不能太高，否則，流動阻力太大，在吸油時就可能產(chǎn)生氣穴

29、現(xiàn)象。2. 右盤通排油腔。左盤的對應(yīng)位置上也開有不通的排口（盲孔），（c），使葉片兩側(cè)受力平衡。3盤上密封區(qū)的圓心角£必須 > =兩葉片之間的圓心角 2p/Z， （d），否則會使吸、排口溝通4. 而定子圓弧段的圓心角應(yīng)大于或等于£以免產(chǎn)生困油現(xiàn)象。5盤上三角節(jié)流槽，使相鄰葉片間的工作空間在從密封區(qū)轉(zhuǎn)入排岀區(qū)時，能逐漸地與排岀口相溝通，以免P驟增，造成液擊和噪聲，并引起瞬時流量的脈動。渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)和工作原理學(xué)習(xí) 2009-09-08 22:12 閱讀 105 評論 0字號：大中小來源:真空技術(shù)網(wǎng)日期:2009-6-8 訪問：208利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。渦輪分 子泵的優(yōu)點是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染