雷尼紹XL80激光干涉儀操作手冊

1、鐳射干涉儀操作手冊手 冊 內(nèi) 容一.RENISHAW 公司簡介1二.鐳射干涉儀原理 2(1)波的速度 3(2)干涉量測原理 3(3)鐳射干涉儀 4(4)鐳射干涉儀一般量測項目 4三.注意事項 5四.鐳射干涉儀防止誤差及保養(yǎng) 5(1)鐳射干涉儀防止誤差 5(2)鐳射干涉儀保養(yǎng)方法 6五.安全及注意事項 6六.鐳射光原理及特性 7七.鐳射硬件介紹 8八.鐳射架設(shè)流程圖 15九.定位量測原理及操作 16(1)線性定位量測原理 16(2)量測方式 17十.鐳射易發(fā)生之人為架設(shè)誤差 20(1)死徑誤差 20(2)余弦誤差 21(3)阿倍平移誤差 21十一.鐳射操作之步驟 22(1)軟件安裝之步驟 22(

2、2)執(zhí)行量測軟件 22(3)定位量測硬件架設(shè)之操作 23(4)鏡組架設(shè)前之注意事項 24(5)鏡組架設(shè)之步驟 24十二.定位量測之程序范例 29十三.定位量測之軟件操作步驟 30 熱漂移量測 38 快速功能鍵 44十四.動態(tài)軟件量測之操作 45(1)動態(tài)量測硬件之架設(shè) 45(2)執(zhí)行量測之軟件 46 (3)位移與時間 48 (4)速度與時間 49 (5)加速度與時間 50十五.角度量設(shè)之操作52(1)注意事項 52(2)鏡組架設(shè)的種類 53(3)鏡組架測之步驟 54(4)角度量測之軟件操作步驟 57十六.RX10旋轉(zhuǎn)軸之量測 62(1)說明 62(2)硬件配件之介紹 62(3)硬件操作之步驟

3、64(4)軟件操作之步驟 67十七.直度量測之操作 75(1) 直度之分類 75(2) 直度量測之硬件架設(shè) 75(3) 鏡組架設(shè)之步驟 75(4) 直度軟件之操作步驟 80十八.Z軸直度鏡組織架設(shè)方法 85十九.垂直度量測之操作 89(1) 垂直度鏡組架設(shè)之步驟 89(2) 軟件操作之步驟 95二十.平面度量測之原理與操作 101(1) 硬設(shè)備 101(2) 操作之原理 102(3) 鏡組架設(shè)之步驟 102(4) 軟件操作之步驟 110RENISHAW 公司簡介RENISHAW為一家英國公司,產(chǎn)品營銷全世界,主要產(chǎn)品有三次元量床之測頭、測針、BALLBAR循圓測試儀、鐳射干涉儀等等及產(chǎn)品經(jīng)NP

4、L(英國國家標(biāo)準(zhǔn))認(rèn)證為ISO 9001之合格廠商RENISHAW公司為機器設(shè)備制造商提供量測檢驗系統(tǒng)的儀器,提供各種用于機器精度檢定的量測設(shè)備進(jìn)而改善機器的精度RENISHAW XL80 高性能鐳射干涉儀是機床、三次元坐標(biāo)量床及其它定位裝置精度校準(zhǔn)用的高性能儀器,由于最新電子技術(shù)的應(yīng)用,使其鐳射波長非常穩(wěn)定并保持了低成本高效率的工作流程RENISHAW 產(chǎn)品介紹： 鐳射干涉儀量測系統(tǒng) 循圓測試儀器(BALLBAR)量測系統(tǒng) 三次元測頭測針系列 黏貼式光學(xué)尺系列鐳射干涉儀量測原理MICHELSON E0 干涉原理 兩個頻率振幅波長相同的鐳射光波因相位變化而發(fā)生不同程度的干涉a. 相長干涉(建設(shè)

5、性干涉)b. 相消干涉(破壞性干涉)相長干涉相消干涉1.波的速度 Vf 若f， const . 則 V const2.干涉量測原理3.鐳射干涉儀： 一般鐳射干涉儀均為氦氖鐳射,其鐳射光為紅色波長0.6329m 長期穩(wěn)定誤差0.05ppm以下(10個波長相差0.5個波) 其優(yōu)點：a. 測量范圍大b. 簡化以往光學(xué)儀器結(jié)構(gòu)c. 測量速度快 缺點： 易受大氣環(huán)境影響因波長常會隨溫度、氣壓、濕度而變化 (因鐳射光以空氣為傳遞介質(zhì))4.鐳射干涉儀一般量測項目： (一)定位精度、距離量測、重復(fù)性 (二)速度、加速度、動態(tài)量測 (三)角度量測：a.垂直方向角度(pitch) b.水平方向角度(yaw) (四

6、)真直度量測：a.垂直方向 b.水平方向 (五)直角度量測 (六)平面度量測 (七)平行度量測(八)旋轉(zhuǎn)角度量測注意事項：(1) 三腳架置于待測物適當(dāng)位置,地基穩(wěn)固不可搖晃及避免人員和機器碰觸的地方 (2) 三腳架之水平氣泡調(diào)至中央位置固定(3) 信號線之插頭,紅點表示向上,各線接頭缺口部份確實吻合方可插入(4) 各電源線、信號線連接或拔除時,各儀器需均在OFF狀態(tài),否則會對儀器造成傷害(5)給予穩(wěn)定獨立電源,確實不漏電環(huán)境中使用(6)短距離量測(50mm內(nèi))亦產(chǎn)生余弦誤差,先校直度再作定位(6)對焦時避免反射回來的鐳射光打在鐳射光射出口處(7)鐳射先熱機穩(wěn)定后,再做鐳射量測(8)操作中確認(rèn)X

7、C80(環(huán)境補償系統(tǒng))是監(jiān)控中,每7秒各偵測一項,以42秒為一次循環(huán)(9)鐳射干涉儀設(shè)備存放地點盡量保持干燥鐳射干涉儀防止誤差及保養(yǎng)1鐳射干涉儀防止誤差(1) 量測周圍環(huán)境應(yīng)盡量避免太陽光直接照射或突然流動的風(fēng)產(chǎn)生擾流現(xiàn)象(2) 裝設(shè)干涉鏡及反射鏡在被測機臺上時,必須牢固,否則機臺移動會造成不可預(yù)期的量測誤差(3)環(huán)境偵測感應(yīng)器與材料溫度感應(yīng)器是否作動,必須于量測前確實檢查, 以免造成不必要的誤差(4)要獲得最佳精度并減少誤差,建議遵守下列規(guī)定：a在校驗環(huán)境條件中執(zhí)行量測b激光束需作確實校直c需注意量測時的周圍條件d牢固地裝設(shè)鏡組(3) 在量測執(zhí)行中不可因其它因素而中斷,量測必須一次完成檢驗,

8、若發(fā)生量測中斷情形,必須重新執(zhí)行檢驗2鐳射干涉儀保養(yǎng)方法(1) 使用時應(yīng)防止碰撞及震動(2) 工作完畢應(yīng)循操作方法反順序逐一拆卸并且擦拭干凈置回儀器盒內(nèi)(3) 金屬平臺在使用完后應(yīng)擦拭干凈(4) 干涉鏡及反射鏡片應(yīng)使用光學(xué)鏡片專用擦拭紙做圓形回轉(zhuǎn)擦拭(注意嚴(yán)禁使用酒精或具有揮化性及腐蝕性之清潔液擦拭,請干擦,因鏡面有鍍一層藍(lán)色薄墨,而激光束是靠此薄墨產(chǎn)生折射與反射,如果使用具有揮化性或腐蝕性之清潔液會將此薄墨破壞,如果鏡面沒有薄墨折射率既減弱而影響光強,且無法再鍍上此薄墨,請注意小心使用)(5) 應(yīng)小心搬運尤其對鏡片類應(yīng)有適當(dāng)防護(hù)與防震,暫不用時以干凈東西覆蓋安全注意事項1.鐳射光屬二級鐳射,

9、建議勿長時間直視鐳射光2.鐳射預(yù)熱時可將鐳射光閘暫時關(guān)閉,鏡組對焦時再予以打開3.對焦時盡量避免反射之鐳射光打在鐳射頭的鐳射發(fā)射出口處,以免鐳射造 成不良影響4.架設(shè)鏡組前,先將機器欲測軸全行程來回移動,觀察機器移動空間并決定鏡組架設(shè)位置,當(dāng)鏡組架設(shè)至機臺后,使用手動慢速移動機器確定移動空間無 其它干涉物后,機器才可改為自動移動 5.架設(shè)或操作鐳射干涉儀時,閑雜人等避免靠近,以免拌到電源線或傳輸線6.確認(rèn)電壓伏特是否正確,并且所使用的電力來源盡量能夠獨立,并加穩(wěn)壓器.鐳射光原理及特性1. 光的相關(guān)原理 光為一種無質(zhì)量的微粒子(牛頓) 光為一種電磁波(馬克士威爾) 光具有粒子與波動的性質(zhì)2.光的

10、特性 方向性 直線性 波動性3.波的基本物理量 頻率f、周期T、振幅A、波長、其中波長是長度單位4.何謂鐳射光 對某種元素施予能量,使其原來穩(wěn)定的基態(tài)(低能階)變?yōu)椴环€(wěn)定的 激態(tài)(高能階),元素會由激態(tài)(高能階)釋放出能量后變回原來的基態(tài) (低能階) 再釋放能量的過程中會產(chǎn)生一種光,我們謂之鐳射光 5.鐳射光之特性 A.高單頻性： 光的頻率即是色,高純頻率即是高單色,一般可見光包含 紅、澄、黃、綠、藍(lán)、靛、紫、頻率純度較低 B.高方向性： 鐳射光配合聚光鏡的發(fā)散角度非常小,而一般光線其擴散 角度都非常大 C.高亮度性： 其光線亮度比一般光線亮度大數(shù)倍(視鐳射而定) 硬件介紹 XL80 鐳射頭X

11、C80 環(huán)境補償系統(tǒng)8XC80 環(huán)境補償系統(tǒng)插槽示意圖夾持器組線性定位量測鏡組角度量測鏡組Z軸直度量測鏡組及附件垂直度量測鏡平坦度量測鏡組旋轉(zhuǎn)軸量測系統(tǒng)鐳射頭微調(diào)平臺重負(fù)荷三腳架鐳射架設(shè)聯(lián)機流程圖1鐳射架設(shè)及量測流程表15定位量測原理及操作1線性定位量測原理：(一) 架設(shè)方式： 干涉鏡不動,移動反射鏡 反射鏡不動,移動干涉鏡(二) 何謂線性定位精度：CNC機器執(zhí)行時,程序之坐標(biāo)點未必是機器的坐標(biāo)點,程序坐標(biāo)點為理想值,機器坐標(biāo)點為實際值,兩者之間差為機器的定位精度(三) 線性定位誤差原因：誤差原因可能是導(dǎo)程誤差、控制器誤差、機器幾何誤差及震動等原因(四) 線性定位量測的目的：量測出機臺可能因零

12、件和組裝所造成的誤差,可利用機器參 數(shù)補償或重新組裝改進(jìn)機器加工機精度,確保機器加工的質(zhì)量(五) 鐳射干涉儀定位量測發(fā)生誤差的原因： a空氣、溫度、濕度、氣壓等影響 b待測物之熱膨脹系數(shù) c電子誤差 d死徑誤差(圖一) e阿倍(ABBE)誤差(圖二) f余弦(COS)誤差(圖三) g震動誤差 h鏡組熱膨脹飄移 鐳射干涉儀量測數(shù)據(jù)是以數(shù)值方式顯示,并沒有一般量測時 有人為讀值判定所產(chǎn)生的誤差162量測方式 a線性(linear)方式-單向-2次 b線性(linear)方式-雙向-2次17 C朝圣(pilgrim)方式-單向-2次 d朝圣(pilgrim)方式-雙向-2次18 e鐘擺(pendul

13、um)方式-單向-2次 f鐘擺(pendulum)方式-單向-2次 鐳射架設(shè)易發(fā)生之誤差1死徑誤差(如圖一所示)死徑誤差是一種與使用 XC80 自動補償?shù)木€性量測過程中的環(huán)境因子變化有關(guān)的誤差。在正常情況下,死徑誤差很小并且僅在恢復(fù)為基準(zhǔn)值之后和量測期間發(fā)生環(huán)境變化時出現(xiàn)。鐳射光波經(jīng)過干涉鏡后開始計算位移量,故干-反鏡組間隙越大,光波暴露大氣環(huán)境越多,受外在因素影響越大,如果干涉儀與反射鏡之間沒有移動,并且激光光束周圍的環(huán)境條件發(fā)生變化,則波長（在空氣中）將在整個路徑（LI + L2）上發(fā)生變化,但是鐳射量測系統(tǒng)僅在 L2 距離上得到補償。因此將引進(jìn)死路量測誤差,因為光束路徑 L1 沒有得到補

14、償。圖一 死徑誤差但是,如果在恢復(fù)為基準(zhǔn)值時固定光學(xué)鏡組和移動光學(xué)鏡組彼此相接,則死路誤差可以忽略不計,如下圖所示。2余弦誤差(如圖二所示)架設(shè)鐳射頭沒有真正與干-反射鏡成一直線所造成的誤差,即激光光束路徑與運動軸線之間有校直的偏差,而導(dǎo)致量測距離與實際移動距離之間有差異。圖二 余弦誤差3阿倍平移誤差(如圖三所示)激光束軸線不在行程軸在線,意即當(dāng)光束與預(yù)定校準(zhǔn)軸線平行但有一個偏移距離,進(jìn)行測量時會因俯仰或偏角引致 Abbe 偏置誤差。圖三 阿倍平移誤差鐳射操作之步驟(一)軟件安裝步驟：(1)將原廠Laser光盤軟件放入磁盤驅(qū)動器中,即會自動執(zhí)行安裝AUTORUN完成安裝,若計算機無法執(zhí)行自動安

15、裝,請點選軟件中Setup.exe執(zhí)行安裝,軟件安裝完成后,計算機會要求重新開 機,請點選稍后重新開機(2)接著安裝Laser在線輔助說明,軟件安裝完成后,計算機會要求 重新開機,請點選重新開機 (3)軟件安裝完成后請將XL80連結(jié)到計算機上,此時會出現(xiàn)找到 新硬件,請選擇自動安裝軟件(先確認(rèn)XL80之鐳射軟件光盤有在計算機內(nèi)),開始安裝驅(qū)動程序(4)XC80只要有安裝鐳射軟件即可自動搜尋到驅(qū)動程序注:適用WIN XP,WIN Vista操作系統(tǒng).(二)執(zhí)行量測軟件：(1)由開始工具列中選擇Renishaw LaserXL進(jìn)入(如圖一所示)(2)點選欲執(zhí)行之軟件:有線性測長(定位量測)、角度測

16、量、長距 離直線度測量、短距離直線度測量、回轉(zhuǎn)軸分度精度測量、 平面度測量、動態(tài)測量、雙軸線測量、數(shù)據(jù)分析(如圖二所示) 以上所有軟件均附上:但測量時須搭配鏡組.(3)除上述方法之外,亦可將快捷方式至于Windows桌面上,直接點 選即可 (圖一) (圖二)(三)定位量測系統(tǒng)架設(shè)操作： 步驟一：將所有硬件依圖所示,完成接線及架設(shè) 鏡組架設(shè)前之注意事項 (1) 先空跑預(yù)量測軸的行程,確實了解機床起點與終點,再架設(shè)鏡組(2) 減低死徑誤差,干涉鏡與反射鏡架設(shè)越近越好(3) 干-反鏡組需架于機臺的床臺與主軸上,因其是相對移動物體(4) 對焦時避免反射回來的鐳射光打在鐳射光射出口處(5) 對焦時近端調(diào)

17、平移、遠(yuǎn)程調(diào)角度步驟二：鏡組架設(shè)之步驟(1) 干涉鏡需置于鐳射頭與反射鏡之間,而當(dāng)中有一塊反射鏡是鎖在干涉鏡上(如圖一所示)圖一(2) 注意干涉鏡上所畫的箭頭,必須兩個箭頭分別指向兩個反射鏡 上(如圖二所示)圖二(3) 水平軸向量測鏡組架設(shè)(4) 垂直軸向量測鏡組架設(shè)(5) 斜背式車床量測鏡組架設(shè)旋轉(zhuǎn)鏡圖 1 旋轉(zhuǎn)鏡旋轉(zhuǎn)鏡可以與線性、角度或真直度光學(xué)鏡組結(jié)合使用，量測機器的對角線或傾斜軸線。它可以安裝在光學(xué)鏡組上，使設(shè)定快速、簡便。旋轉(zhuǎn)鏡用于使激光光束在垂直面上偏轉(zhuǎn) 0 至 135 度。它的主要應(yīng)用是量測或校準(zhǔn)斜床式車床或機器對角線。 以下兩個圖顯示在斜床式車床上使用旋轉(zhuǎn)鏡進(jìn)行線性量測的方法。

18、圖 2 顯示的配置用于軸線與水平面的夾角大于 45 度的量測。旋轉(zhuǎn)鏡與斜軸之間的準(zhǔn)直誤差應(yīng)調(diào)整在 ±2 度以內(nèi)?？梢允褂昧拷瞧髁繙y行程的斜角，并設(shè)定旋轉(zhuǎn)鏡與該斜角平行。圖 2 -斜軸與水平面的夾角大于 45 度時使用的旋轉(zhuǎn)鏡。圖 3 所示的配置用于 X 軸與水平面的夾角小于 45 度的車床。圖 3 - 斜軸與水平面的夾角小于 45 度時使用的旋轉(zhuǎn)鏡步驟三：鏡組調(diào)整(1)將鐳射光射出口轉(zhuǎn)至對焦用小孔射出口位置(如下圖)(2)當(dāng)反射鏡及干涉鏡皆準(zhǔn)備好后,將要量測的軸回歸原點(起點)或移 動到與原點相反的極限位置(終點)(3)將干涉鏡及反射鏡架到量測軸及另一輔助軸上(4)盡量將干涉鏡及反射

19、鏡之間的距離縮小,越靠近越好(避免死徑誤 差,如下圖)(5)兩鏡組靠近時可直接移動反射鏡組使光點重迭,再利用腳架上升,平移機構(gòu)將重迭光點移到接收孔,此時檢查計算機里接收光線的強度(6)將反射鏡移動至量測距離的極限,將偏離標(biāo)靶白點的激光束,用上下左右角度調(diào)整調(diào)到白點上(如下圖) (7)將反射鏡標(biāo)靶取下檢視反射回來之光點的重迭度,若光點不重迭,在近端不重迭時是兩鏡組上下或左右沒有在相同之位置高,必須調(diào)整分光鏡或反射鏡使之重迭,在遠(yuǎn)程不重迭時是因有角度偏差,必須調(diào)整鐳射頭的偏擺及傾斜角度使光點重迭(如下圖) (8)將重迭的光點利用腳架平移或上下調(diào)整,使光點落在鐳射頭對焦孔上 (9)將鐳射頭對焦孔轉(zhuǎn)至

20、接收孔位置上(如下圖),檢視光線的強度(10)將反射鏡移到近端的位置,檢視光線強度和遠(yuǎn)程的光線強度一樣即可(11)需注意光線強度超過50%即可量測,但近距離與遠(yuǎn)距離時光線強度需相同才可做量測 控制器程序范例X軸方向（例如X軸行程總共500mm，每20mm取一點，共25次）主程序0001 子程序0002（鐳射去的行程）O0001； O0002；G91G28X0.； G91G01X-20.F5000.；M98P0250002； G04X3.；G01X-3.F500.； M99；X3.； 子程序0003（鐳射回的行程）M98P0250003； O0003；M30； G91G01X20.F5000.；

21、 G04X3.； M99；Y軸方向（例如Y軸行程總共500mm，每20mm取一點，共25次）主程序0001 子程序0002（鐳射去的行程）O0001； O0002；G91G28Y0.； G91G01Y-20.F5000.；M98P0250002； G04X3.；G01Y-3.F500.； M99；Y3.； 子程序0003（鐳射回的行程）M98P0250003； O0003；M30； G91G01Y20.F5000.； G04X3.； M99；Z軸方向（例如Z軸行程總共400mm，每20mm取一點，共20次）主程序0001 子程序0002（鐳射去的行程）O0001； O0002；G91G28Z0

22、.； G91G01Z-20.F5000.；M98P0200002； G04X3.；G01Z-3.F500.； M99；Z3.； 子程序0003（鐳射回的行程）M98P0200003； O0003；M30； G91G01Z20.F5000.； G04X3.； M99； (四)進(jìn)入定位量測軟件(1)由開始工具列中選擇Renishaw LaserXL進(jìn)入(如圖一所示)(2)點選欲執(zhí)行之軟件:線性測長(定位量測) (如圖二所示) (圖一) (圖二)(3)點選線性測長，進(jìn)入定位量測軟件窗口(如圖三所示)圖三30工具列 (4)點選檔案,開新文件選擇欲設(shè)定模式：自動設(shè)定模式 手動設(shè)定模式 隨機設(shè)定模式選擇:

23、自動設(shè)定模式或按工具列中方塊(5)選擇確定后,自動進(jìn)入目標(biāo)設(shè)定,輸入目標(biāo)設(shè)定：如下圖31(6)完成后按進(jìn)入抓取數(shù)據(jù)啟動(7)完成后按輸入數(shù)據(jù)標(biāo)題(8)按后進(jìn)入自動數(shù)據(jù)抓取設(shè)定(9)設(shè)定完成后定進(jìn)入數(shù)據(jù)抓取(11)數(shù)據(jù)抓取結(jié)束后按完成跳出,點選檔案另存新檔或工具列中方塊(12)設(shè)定儲存路徑后,輸入文件名稱： (五)資料分析(1)按數(shù)據(jù)點選分析進(jìn)入數(shù)據(jù)分析或按工具列中方塊下圖為進(jìn)入分析系統(tǒng)畫面(每次進(jìn)入分析都會先顯示所有數(shù)據(jù)曲線)下圖為進(jìn)入分析系統(tǒng)畫面中的快速工具列(2)選取分析規(guī)范鐳射誤差補償圖表之范例下圖為VDI 3441之分析規(guī)范,此規(guī)范為德國針對機床的運行和定位精度校正的基本原理,為目前工

24、具機產(chǎn)業(yè)常用之規(guī)范(僅供參考)U:反轉(zhuǎn)背隙(reversal error),通稱背隙Ps:定位散布度(positional scatter),表示沿測試軸各個位置隨意的偏差對定位誤差之影響,可能被視同方向重復(fù)性之測試P:定位不確定度(positional uncertainty),沿測試軸之總偏差由定位偏差值,反轉(zhuǎn)誤差和在每一標(biāo)的點定位散布度計算得來Pa:定位偏差(positional deviation)沿測試軸各量測點間平均定位誤差之最大差異鐳射誤差補償圖表操作之流程與范例鐳射誤差補償圖表之范例(由上圖之誤差補償表設(shè)定完成后點選繪制誤差補償圖表即會進(jìn)入補償數(shù)值如下圖所示)(六)熱漂移下圖為

25、量測熱漂移之最典型的圖形(鋸齒狀),以時間取點,每趟來回為5分鐘,所以前5分鐘其誤差值比較大上圖量測是以設(shè)定點數(shù)用時間抓取(共500點每2秒抓一點),其方法如下:(1) 選擇目標(biāo)點手動設(shè)定模式設(shè)定定位目標(biāo)數(shù)編輯目標(biāo)值設(shè)定抓取數(shù)據(jù)啟動自動數(shù)據(jù)抓取設(shè)定開始量測(七)數(shù)據(jù)打印(1)按檔案選擇打印機設(shè)定(2)打印機設(shè)定中選擇所安裝的打印機(3)按打印印出所選擇的數(shù)據(jù)或按工具列中方塊(八)其它功能設(shè)定說明(1)配置系統(tǒng)說明(2)窗口功能切換設(shè)定說明警告信號及消除A：XL80 NOT RESPONDING鐳射無反應(yīng),表示電源無送入檢查鐳射ON/OFF及不斷電器之ON/OFF及最初之外接電源插座 ON/OF

26、F是否在開的位置B：SIGNAL LOW鐳射光線訊號太低表示對焦動作沒做好1重新做對焦動作2請無相關(guān)人員離開C：HEATER FULL ON鐳射加熱器正在運作表示目前無法做量測,等待十分鐘再看其是否消失恢復(fù)正常D：BEAM OBSTRUCTED鐳射光線被阻隔表示曾被遮到或主軸頭滴油及工作臺附近之無塵紙,報紙等飄起遮住光線1請無關(guān)人員離開2將主軸附近漏油擦干凈3清除工作臺附近之報紙及無塵紙4按歸零鍵消除AlarmE：XL80 NOT ON但( I )為綠燈鐳射機不正常表示計算機連接信號有問題1將鐳射頭隔10秒后再啟動2離開本系統(tǒng)再重新啟動3檢查與鐳射頭相關(guān)之信號線4若仍無法消除,則請與RENIS

27、HAW公司技術(shù)人員聯(lián)絡(luò)F：XC80 FAUL環(huán)境補償裝置失效檢查USB連結(jié)是否正常G：HIGH SPEED ERROR高速度誤差表示鐳射在擷取數(shù)據(jù)時,鏡頭移動太快或光線瞬間被擋到 MOVE OVERRUN過行程移動鏡頭移動距離須超過OVERRUN設(shè)定,檢查程序是否有消除背隙H：PREHEAT鐳射正在預(yù)熱中表示剛開機之狀態(tài),大約6分鐘左右可恢復(fù)正常,與C之不同為量測中可能出現(xiàn)但仍可執(zhí)行量測動作(不過不見得準(zhǔn)確),歸零消除再等待10分鐘,若仍無法消除,將鐳射OFF后再ONI：LASER UNSTABLE鐳射光線未達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)此時光線忽有忽無,待6分鐘左右鐳射之LED指示燈由紅轉(zhuǎn)黃并變綠燈時,即自動消除1經(jīng)6分鐘左右若無消除,以歸零強制消除,若長期處于黃燈,請檢查電源線是否正常,再啟動2檢查鐳射反射之光點是否打在鐳射光出口處快速功能鍵鍵盤按Ctrl+H會出現(xiàn)1干涉儀控制鍵,如圖一所示鍵盤按Shift Ctrl 不