電子潔凈廠房的火災(zāi)防護(hù)措施【畢業(yè)論文】

1、圖書分類號(hào): 密 級(jí):畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）題目：電子潔凈廠房的火災(zāi)防護(hù)措施clean workshop of fire protection measures學(xué)生姓名 班 級(jí) 學(xué)院名稱消防指揮專業(yè)名稱指導(dǎo)教師學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的學(xué)位論文，是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下，獨(dú)立進(jìn)行 研究工作所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用或參考的內(nèi)容外，本論文不含 任何其他個(gè)人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過(guò)的作品或成果。對(duì)本文的研究做出重 要貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)注。本人完全意識(shí)到本聲明的法律結(jié)果由本人承擔(dān)。論文作者簽名： 日期：年月日學(xué)位論文版權(quán)協(xié)議書本人完全了解關(guān)于收集、保存、使用學(xué)位論文的規(guī)

2、定，即：本校學(xué)生在 學(xué)習(xí)期間所完成的學(xué)位論文的知識(shí)產(chǎn)權(quán)歸所擁有。有權(quán)保留并向國(guó)家有關(guān)部 門或機(jī)構(gòu)送交學(xué)位論文的紙本復(fù)印件和電子文檔拷貝，允許論文被查閱和借 閱?？梢怨紝W(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容，可以將本學(xué)位論文的全部或部分 內(nèi)容提交至各類數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行發(fā)布和檢索，可以采用影印、縮印或掃描等復(fù)制 手段保存和匯編本學(xué)位論文。論文作者簽名： 導(dǎo)師簽名：日期：年 月 日日期：年 月 日摘要隨著我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展、社會(huì)的進(jìn)步和人民生活水平的提高，潔凈廠房已廣泛 應(yīng)用于電子、生物制藥、精密儀器制造等各行各業(yè)中，由于潔凈廠房在溫度、相對(duì)濕 度及潔凈度方面的巨大優(yōu)勢(shì)、它的重耍性也越來(lái)越多的被人們所認(rèn)識(shí)和接受。但與

3、此同時(shí)，近幾年來(lái)廣東lg電子車間、山東為高集團(tuán)醫(yī)藥高分子車間以及深 圳洋華高新科技廠手機(jī)觸摸屏車間等潔凈廠房均發(fā)生了火災(zāi)，使人民的生命財(cái)產(chǎn)造成 了較大的損失，其消防安全問(wèn)題也成為人們關(guān)注的重點(diǎn)。目前，國(guó)內(nèi)潔凈廠房仍屬于新型建筑，許多人對(duì)醫(yī)藥、電子工業(yè)潔凈廠房的消防 設(shè)計(jì)還有許多理解和認(rèn)識(shí)上的誤區(qū)。本課題研究，旨在根據(jù)潔凈廠房的建筑特點(diǎn)和火災(zāi)危害性，例如潔凈廠房因其生 產(chǎn)工藝需要，建筑本身跨度大，內(nèi)部?jī)x器精度高，因此對(duì)固定滅火設(shè)施的要求高，且 要求滅火后不能造成二次污染等特點(diǎn)，結(jié)合冃前常用的固定滅火設(shè)施的適用性及其特 點(diǎn)，為潔凈廠房早期火災(zāi)撲救和安全疏散難的問(wèn)題提岀解決方案。文章主耍分析了潔 凈

4、廠房的內(nèi)部特征、火災(zāi)特點(diǎn)以及可能引發(fā)火災(zāi)的因素，并以此為據(jù)，對(duì)火災(zāi)探測(cè)系 統(tǒng)、水系統(tǒng)、氣體系統(tǒng)以及防排煙系統(tǒng)進(jìn)行適用性分析，從而提出固定滅火設(shè)施設(shè)置 方式。關(guān)鍵詞：電子潔凈廠房；火災(zāi)；潔凈室；防排煙abstractalong with the development of our nature economyf the progress of the society and the improvement of people1s living standard, clean workshop has been widely used in electronics, biology pharma

5、cyz precision instrument manufacture industries, due to clean workshop in temperature, relative humidity and cleanliness of the importance of a huge advantage, it is increasingly being recognized and acceptedmeanwhile, in recent years, guangdong, shandong lg electronics shop for the high group and t

6、he medical macromolecule shop in shenzhen china hi-tech mobile screen factory workshop clean workshop is a fire, make people 1 s lives and property caused a loss, the fire safety problems also become the focusat presentf the domestic clean workshop still belongs to the new building, many people for

7、pharmaceuticalz electronic industrial clean workshop of fire protection design and many understanding and the misconceptions this research aims, according to the building characteristics and clean workshop, such as clean workshop fire harmfulness, due to its production process needs building itself

8、span, high precision instruments, internal fire extinguishing facilities for the high demand and requirements can cause secondary pollution after fire, combining the characteristics of fire extinguishing the applicability and its characteristics, the facilities for clean workshop early fire fighting

9、 and safe evacuation difficult problem solutions this paper analyzes the characteristics of the internal clean workshop, fire and may cause the characteristics of firef and the factors of fire detection system, water systerri/ air system, smoke control and extraction systems and applicability was an

10、alyzed, and then puts forward fireextinguishing facilities set modesmokekeywords: electronic； clean workshop ； fire； cleanroom；目錄中文摘要i英文摘要ii目錄iv1引言12潔凈廠房簡(jiǎn)介22.1潔凈廠房的類型22.2潔凈廠房?jī)?nèi)的設(shè)備33國(guó)內(nèi)外相關(guān)法律規(guī)范53.1國(guó)內(nèi)相關(guān)規(guī)范的規(guī)定（潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范）53.1.1防火和疏散53.1.2消防設(shè)施63.2國(guó)外潔凈廠房的防火標(biāo)準(zhǔn)63.2.1自動(dòng)滅火設(shè)施63.2.2潔凈室輔助措施自動(dòng)滅火設(shè)備設(shè)置規(guī)定73.3目前國(guó)內(nèi)存在的問(wèn)題74潔凈

11、廠房的火災(zāi)危害性94.1潔凈廠房的火災(zāi)特點(diǎn)94.1密封性好，排煙困難94.1.2安全疏散困難94.1.3火災(zāi)撲救困難94.1.4化學(xué)物質(zhì)有爆炸危險(xiǎn)94.2潔凈廠房的空間特性及生產(chǎn)中的潛在危險(xiǎn)9421廠房寬廣，人員分布密度小94.2.2分區(qū)設(shè)計(jì)特殊104.2.3機(jī)械密集，長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)104.2.4使用高溫檢測(cè)或制作成品10425各種管道錯(cuò)綜104.3生產(chǎn)過(guò)程中使用的化學(xué)物質(zhì)的危害性124.4潔凈廠房的火災(zāi)種類124.4.1機(jī)電設(shè)備火災(zāi)12442度化學(xué)物質(zhì)火災(zāi)134.4.3排氣設(shè)備火災(zāi)134.4.4空調(diào)特性對(duì)火災(zāi)的影響135潔凈廠房火災(zāi)防護(hù)措施155火災(zāi)探測(cè)系統(tǒng)155.2滅火系統(tǒng)175.2.1水系

12、統(tǒng)175.2.2化學(xué)系統(tǒng)185.3防排煙系統(tǒng)185.4廠區(qū)自救方案布置195.4.1緊急應(yīng)變計(jì)劃規(guī)劃195.4.2選擇參與緊急應(yīng)變計(jì)劃成員205.4.3相關(guān)資料收集整理215.4.4預(yù)案結(jié)構(gòu)216結(jié)論246. 1木文的主要工作與結(jié)論246. 2不足之處及下一步工作24參考文獻(xiàn)26致謝271引言隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和提高，不論是熱工儀器，還是電氣儀表和電信設(shè)備等高新 技術(shù)產(chǎn)品，大部分是由大量電子元件所構(gòu)成的，而生產(chǎn)和制作這些電子元件的廠房車 間有其特殊的要求，即嚴(yán)格的潔凈度，而此類生產(chǎn)電子設(shè)備的對(duì)空氣潔凈度有很高要 求的廠房被統(tǒng)稱為電子潔凈廠房。潔凈廠房是投入大量人力、物力以及資金的高科技 工業(yè)廠

13、房，廠房車間的各方面安全指數(shù)標(biāo)準(zhǔn)都比較高，但是由于此類廠房車間所使用 的生產(chǎn)原料多為毒性、腐蝕性及易燃性氣體、液體，加上大量的電子精密儀器設(shè)備， 以及潔凈室封閉的特性、內(nèi)部空調(diào)系統(tǒng)回風(fēng)快速的因素，使發(fā)生火災(zāi)的因素大增。且 起火后這些化學(xué)物質(zhì)還會(huì)產(chǎn)生大量的有害氣體，真至有毒氣體，消防隊(duì)員很難進(jìn)入， 導(dǎo)致火勢(shì)無(wú)法得到有效控制，其屮尤以臺(tái)灣聯(lián)瑞電子晶圓廠及口本三洋半導(dǎo)體廠火災(zāi) 事故教訓(xùn)最為深刻。因此，類似生產(chǎn)半導(dǎo)體等電子潔凈廠房的防火工作就成為消防安 全工作的重點(diǎn)，而其防火及安全工程最重要環(huán)節(jié)z即是消防系統(tǒng)。本文以電子潔凈 廠房特點(diǎn)及火災(zāi)危險(xiǎn)性為依據(jù)，以固定滅火設(shè)施為主要研究對(duì)彖，提出適用于此類廠

14、房消防系統(tǒng)設(shè)置的一些建議，以期做好廠房車間的消防安全工作，確保電子潔凈廠房 的安全穩(wěn)定發(fā)展。2潔凈廠房簡(jiǎn)介當(dāng)今，部分產(chǎn)業(yè)如生物制品工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、精密的微電子工業(yè)、部分精密的機(jī) 械加工業(yè)等為達(dá)到產(chǎn)品的技術(shù)要求對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境提出了特殊的要求，它們共同的特點(diǎn) 就是生產(chǎn)應(yīng)在對(duì)空氣中塵粒、溫度、濕度、壓力和噪聲進(jìn)行控制的廠房?jī)?nèi)完成，這種 廠房就稱為潔凈廠房o潔凈廠房是由空氣潔凈度等級(jí)進(jìn)行分級(jí)的，潔凈廠房?jī)?nèi)的空氣潔 凈度等級(jí)表示值根據(jù)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范征求意見稿中的定義是每立方米空氣中粒 徑大于等于0.1 um的最大允許粒子數(shù)的常用對(duì)數(shù)值(以10為底，到小數(shù)點(diǎn)后一位，其 余尾數(shù)舍去)。一般有一級(jí)到六級(jí)(即十

15、級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)、百萬(wàn)級(jí)等)。2.1潔凈廠房的類型在半導(dǎo)體工業(yè)中，潔凈室的技術(shù)已經(jīng)發(fā)展了很多年，針對(duì)不同生產(chǎn)及潔凈等級(jí)需 求的潔凈室，其形態(tài)大致上可分為以下六種：(1) 紊流式(turbulent air flow type)：利用潔凈空氣稀釋潔凈室內(nèi)的微粒 子，使用在潔凈度為is0class5-9等清潔度要求不高的場(chǎng)合，生產(chǎn)設(shè)備位置可依生產(chǎn) 變更重新布置，操作人員對(duì)潔凈度的影響大，其運(yùn)轉(zhuǎn)電費(fèi)較低。(2) 水平層流式(horizontal laminar air flow type)：全面單向?qū)恿鞯囊?種，利用潔凈空氣置換潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的微粒子，上游產(chǎn)生微粒子會(huì)污染下游，多使用 在醫(yī)

16、院手術(shù)室，半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用較少。生產(chǎn)設(shè)備位置很難重新布置，操作人員對(duì)下游 潔凈度有影響，其運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用高。(3) 垂直層流式(vertical laminar air f 1 ow type):全面單向?qū)恿鞯囊环N, 利用潔凈空氣置換潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的微粒子，潔凈度能達(dá)到is0class2-4,生產(chǎn)設(shè)備位 置可依生產(chǎn)變更重新布置，操作人員對(duì)潔凈度的影響小，運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用很高，必須設(shè)置回 風(fēng)用高架地板。(4) 濕流式(mixing air flow type)：潔凈室中間為層流式，周邊則采用亂流 式，局部空間要求高潔凈度，生產(chǎn)設(shè)備位置可依生產(chǎn)變更重新布置，操作人員對(duì)潔凈 度的影響小，運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用較高，必須設(shè)置回風(fēng)用高

17、架地板。(5) 隧道式(tunnel type)：生產(chǎn)區(qū)采用層流式，維修區(qū)采用亂流式，使用在 工作機(jī)器集中且排列整齊的場(chǎng)合，生產(chǎn)設(shè)備位置很難依生產(chǎn)變更重新布置，操作人員 對(duì)潔凈度的影響很小，運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用較高，必須設(shè)置回風(fēng)用高架地板。(6) 包裹式(enclosure type)：以垂壁將操作人員與生產(chǎn)空間隔離，生產(chǎn)空間 采用層流式，其他空間采用亂流式，是微型環(huán)境式之一，生產(chǎn)空間潔凈度可達(dá) is0classl-2,生產(chǎn)設(shè)備位置很難依生產(chǎn)變更重新布置，操作人員對(duì)潔凈度的影響很小,運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用較高，必須設(shè)置回風(fēng)用高架地板。2.2潔凈廠房?jī)?nèi)的設(shè)備在半導(dǎo)體潔凈廠房當(dāng)屮，為了達(dá)到所需的潔凈度要求，必須依賴許多系統(tǒng)

18、設(shè)備的 相互配合，才能維持廠房的運(yùn)作，首先將fi前半導(dǎo)體工廠所采用的建筑配置加以說(shuō)明： 在半導(dǎo)體工廠中通常包含了三個(gè)主要的區(qū)域：s. a. p (suppl y air plenum) > c/r(clean room)或稱 fab、subfab 或稱 r. a. p (return air plenum)。s. a. p 為主要的供風(fēng)層, 位于半導(dǎo)體廠房的頂層，負(fù)責(zé)供應(yīng)潔凈室空調(diào)所需的空氣；在s.a.p k的fab主要的 半導(dǎo)體生產(chǎn)區(qū)，也就是一般所定義的潔凈室；subfab位于潔凈室下層，為潔凈空氣流 入后吹入回風(fēng)區(qū)，下吹的回風(fēng)經(jīng)由建筑周圍的回風(fēng)豎井回到最頂端的s. a.p,在subf

19、ab 中放置了許多生產(chǎn)供給及排放設(shè)備，即為整個(gè)半導(dǎo)體廠房的建筑結(jié)構(gòu)。接下來(lái)對(duì)這些 半導(dǎo)體廠房系統(tǒng)中主要設(shè)備作簡(jiǎn)要的介紹：(1) 潔凈室：為半導(dǎo)體廠房屮主要負(fù)責(zé)生產(chǎn)的區(qū)域，所有對(duì)半導(dǎo)體的加工都在 這里進(jìn)行，其潔凈度依各區(qū)域的不同而有所區(qū)分，其主要構(gòu)成設(shè)備有ffu (fan filter unit)、高架地板等；ffu為一組結(jié)合小型風(fēng)機(jī)及i1epa濾網(wǎng)的設(shè)備，為構(gòu)成潔凈室天 花板的主要單元，可同時(shí)達(dá)到制造潔凈室內(nèi)層流及過(guò)濾回風(fēng)的功能；而在下吹氣流的 下游處，也就是潔凈室的地板，采用的是有開孔的高架地板，利用開孔使得氣流得以 下吹至回風(fēng)區(qū)，而在潔凈室屮可形成一股不斷下吹的氣流，以將潔凈室屮的塵粒帶走

20、。(2) 空調(diào)通風(fēng)設(shè)備：空調(diào)系統(tǒng)顧名思義是負(fù)責(zé)潔凈室屮溫度和濕度控制的設(shè)備, 此外因潔凈度的要求，還必須能達(dá)到室內(nèi)正壓、空氣微粒過(guò)濾及提供生產(chǎn)設(shè)備的冷卻 水、主要的控制設(shè)備有mau (make up air unit)、外氣空調(diào)箱、ffu以及位于s. a. p 或subfab等的顯熱軟管等。(3) 電氣設(shè)備：在半導(dǎo)體工廠屮，要使得所有的設(shè)備運(yùn)作，還是必須要有一套 穩(wěn)定的電力供應(yīng)設(shè)備，其屮包含了：高低壓變電設(shè)備、動(dòng)力配電、照明和緊急發(fā)電設(shè) 備等。(4) 生產(chǎn)管路設(shè)備：在半導(dǎo)體的生產(chǎn)中，用來(lái)提供生產(chǎn)所需要的高濃度化學(xué)液 體或氣體的系統(tǒng)，主要包含了有：空氣壓縮機(jī)、氫氣發(fā)生器、氣體儲(chǔ)槽、緊急發(fā)電設(shè) 備

21、等。(5) 生產(chǎn)廢氣處理設(shè)備：在機(jī)器的任一生產(chǎn)過(guò)程結(jié)束后，必定會(huì)殘留了許多含 有毒性、可燃性、酸性、堿性的溶劑蒸汽，雖然生產(chǎn)已經(jīng)結(jié)束，還是需要將這些危險(xiǎn) 氣體加以處理，以免發(fā)生危險(xiǎn)，尤其是生產(chǎn)結(jié)束后產(chǎn)生的廢熱處理，也是必須要注意 的一項(xiàng)。(6) 廢水處理設(shè)備：如同高濃度的生產(chǎn)廢氣一般，在生產(chǎn)結(jié)束后所剩余的液態(tài) 化學(xué)物質(zhì)，除溶劑需瓶裝并送回原供應(yīng)廠處理外，其含有酸堿及iif的廢水均需處理后才能排放。（7）消防設(shè)備：消防設(shè)備是潔凈廠房發(fā)?；馂?zāi)時(shí)主要的應(yīng)變系統(tǒng)，也是木研究 所將討論的重點(diǎn)，在后面的章節(jié)中將詳細(xì)描述。（8）安全防護(hù)設(shè)備：在半導(dǎo)體廠房的復(fù)雜管路系統(tǒng)中，雖然在建造過(guò)程中有嚴(yán) 格的管理與驗(yàn)收

22、程序，但在運(yùn)轉(zhuǎn)后還是有發(fā)牛管路泄漏的可能性，因此安全防護(hù)設(shè)備 包含了特殊氣體泄漏報(bào)警系統(tǒng)，以及人員受強(qiáng)酸強(qiáng)堿腐蝕的眼部以及全身沖洗器；此 外災(zāi)害的早期探測(cè)裝置也將在后面加以討論。（9）中央監(jiān)控設(shè)備：在這么多的系統(tǒng)中，必須還要包含一套能控制、監(jiān)視、管 理的中央控制系統(tǒng)，以集中監(jiān)控管理所有的設(shè)備，不僅可將牛產(chǎn)流程最佳化、以發(fā)揮 最高功效，更可以將災(zāi)害發(fā)牛時(shí)的應(yīng)變措施加以聯(lián)動(dòng)，以提升廠房災(zāi)害監(jiān)控系統(tǒng)的效 率和安全性。內(nèi)外相關(guān)規(guī)范潔凈廠房在國(guó)內(nèi)雖然發(fā)展迅速，但是由于其發(fā)展集屮于近幾年，仍然屬于新興產(chǎn) 業(yè)，國(guó)內(nèi)相關(guān)法律法規(guī)并不健全。為了更好的研究潔凈廠房設(shè)計(jì)方案，通過(guò)查閱國(guó)內(nèi) 外規(guī)范，經(jīng)過(guò)對(duì)比如下：3.

23、1國(guó)內(nèi)相關(guān)規(guī)范的規(guī)定（潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范由于潔凈廠房的特殊性，我國(guó)于2001年頒布了 gb50073-2001潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī) 范（以下簡(jiǎn)稱“潔規(guī)”）。并規(guī)定潔凈廠房在消防設(shè)計(jì)中應(yīng)注意以下方面：3.1.1防火和疏散第4.3.1條潔凈廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。吊頂材料應(yīng)為菲燃燒體，其耐 火極限不宜小于0.25小時(shí)。第4. 3.4條甲、乙類生產(chǎn)或設(shè)置在甲、乙類生產(chǎn)環(huán)境中的裝配式潔凈室，其頂 棚和壁板（包括內(nèi)部填充物）應(yīng)為菲燃燒體。第4.3.5條在一個(gè)防火區(qū)內(nèi)的綜合性廠房，其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng) 設(shè)置菲燃燒體隔墻封閉到頂。隔墻及其相應(yīng)頂板的耐火極限不應(yīng)低于1小時(shí)，隔墻上 的門窗耐火極限不應(yīng)低于

24、0. 6小時(shí)。穿過(guò)隔墻或頂板的管道周圍空隙應(yīng)采用菲燃燒材 料緊密填塞。第4. 3.6條技術(shù)豎井井壁應(yīng)為非燃燒體，其耐火極限不應(yīng)低于1小時(shí)。井壁上 檢查門的耐火極限不應(yīng)低于06小時(shí)；豎井內(nèi)在各層或間隔一層樓板處，應(yīng)采用相當(dāng) 于樓板耐火極限的非燃燒體作水平防火分隔；穿過(guò)水平防火分隔的管道周圍空隙，應(yīng) 采用非燃燒材料緊密填塞。第4. 3.7條 潔凈廠房每一生產(chǎn)層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全岀口的數(shù) 量，均不應(yīng)少于兩個(gè)。但符合下列要求者，可設(shè)置一個(gè)安全出口：一、甲、乙類生產(chǎn)廠房每層的總建筑面積不用過(guò)50】，且同一時(shí)間內(nèi)的生產(chǎn)人員 總數(shù)不超過(guò)5人；二、丙、丁、戊類生產(chǎn)廠房，符合國(guó)家現(xiàn)行的建筑設(shè)計(jì)防火

25、規(guī)范的規(guī)定者。安全出口應(yīng)分散均勻布置，從生產(chǎn)地點(diǎn)至安全出口不用經(jīng)過(guò)曲折的人員凈化路線。第4. 3.8條潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)和潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向 開啟。安全疏散門不得采用吊門、轉(zhuǎn)門、側(cè)拉門以及電控自動(dòng)門。第4. 3.9條當(dāng)潔凈廠房同層外墻上可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門窗，其洞 口間距大于80米時(shí)，則應(yīng)在該段外墻的適當(dāng)部位設(shè)置專用消防口。專用消防口的寬度 不應(yīng)小于750毫米，高度不應(yīng)小于1800毫米，并應(yīng)有明顯標(biāo)志。樓層的專用消防口應(yīng) 附設(shè)陽(yáng)臺(tái)，并從二層起向上設(shè)爬梯。3.1.2消防設(shè)施第6.4. 1條潔凈廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類和建筑物耐火等級(jí)等因素確 定消防設(shè)施。第6.

26、4.2條潔凈廠房室內(nèi)消火栓給水系統(tǒng)的消防用水量不應(yīng)小于10升/秒，每 股水量不應(yīng)少于5升/秒。第6.4.3條 潔凈廠房的消火栓設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：一、消火栓的水槍充實(shí)水柱，不應(yīng)小于10米。二、消火栓的栓口直徑應(yīng)為65毫米，配備的水帶長(zhǎng)度不應(yīng)超過(guò)25米，水槍噴嘴 口徑不應(yīng)小于19毫米。第6.4.4條潔凈室及其技術(shù)夾道和技術(shù)夾層內(nèi)，均宜同時(shí)設(shè)置鹵代烷或二氧化 碳等滅火設(shè)施和消防給水系統(tǒng)。對(duì)設(shè)有貴重設(shè)備儀器或牛產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性較大的潔凈 室，以及當(dāng)火災(zāi)發(fā)牛時(shí)消防人員難以進(jìn)入撲救的技術(shù)夾層和技術(shù)夾道等部位，應(yīng)同時(shí) 設(shè)置鹵代烷或二氧化碳等固定滅火裝置和消防給水系統(tǒng)。3.2國(guó)外潔凈廠房的防火標(biāo)準(zhǔn)目前國(guó)內(nèi)半

27、導(dǎo)體工廠為投保需要，大多依國(guó)外nfpa及fm標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置消防安全設(shè) 備。由于國(guó)內(nèi)消防安全設(shè)備相關(guān)設(shè)置規(guī)定有許多模糊的地方，國(guó)內(nèi)廠商為兼顧投保需 要及盡快取得營(yíng)業(yè)執(zhí)照，常按國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)設(shè)置兩套消防安全設(shè)備，以下簡(jiǎn)介國(guó) 外潔凈廠房及其設(shè)備的防火標(biāo)準(zhǔn)。3.2.1自動(dòng)滅火設(shè)施3. 2. 1. 1潔凈廠房?jī)?nèi)自動(dòng)噴水系統(tǒng)設(shè)置規(guī)定（1）潔凈廠房及個(gè)別潔凈室內(nèi)應(yīng)設(shè)置密閉濕式自動(dòng)噴水系統(tǒng)，并應(yīng)依下列規(guī)定 設(shè)置：t動(dòng)噴水系統(tǒng)需依nfpa 13 （i動(dòng)噴水系統(tǒng)設(shè)置標(biāo)準(zhǔn)）規(guī)定安裝。在放射區(qū)域3000ft2 （平方英尺）設(shè)計(jì)面積上，持續(xù)防水能力不小于一小時(shí)，且 灑水密度不得小于8mm/ft2o潔凈室無(wú)塵區(qū)域下風(fēng)處，應(yīng)裝

28、設(shè)快速反應(yīng)噴頭。噴頭動(dòng)作溫度應(yīng)為57-77°cz間。（2）若有下列狀況z的，且無(wú)法有效改善時(shí)，應(yīng)在屋頂至潔凈室天花板z間 加裝噴頭。屋頂或天花板具可燃性。高效率空氣潔凈網(wǎng)（i1epa）或細(xì)微顆粒潔凈網(wǎng)（ulpa）的濾網(wǎng)模組，不能符合fm7-72. 1.2.7或ul 586相關(guān)規(guī)定者。連接hepa或ulpa濾網(wǎng)模組與空調(diào)風(fēng)車的風(fēng)管，為可燃的塑料材質(zhì)或彈性管路。3. 2.1. 2設(shè)置二氧化碳或海龍?zhí)娲到y(tǒng)的相關(guān)規(guī)定：（1）采用二氧化碳自動(dòng)滅火設(shè)備對(duì)于開放空間采用局部防護(hù)系統(tǒng)，并至少可維持放射三十秒以上。對(duì)于設(shè)備平臺(tái)下方的防火，應(yīng)采用全區(qū)放射系統(tǒng)，在一分鐘內(nèi)至少應(yīng)達(dá)到50%的 濃度。（2）

29、采用海龍?zhí)娲到y(tǒng)對(duì)于設(shè)備平臺(tái)下方的防護(hù)，應(yīng)采用全區(qū)放射系統(tǒng)，在10秒內(nèi)至少應(yīng)達(dá)到7%的濃 度。3.2.2潔凈室輔助措施自動(dòng)滅火設(shè)備設(shè)置規(guī)定（1）制作氣體鋼瓶隔離室，應(yīng)設(shè)于自動(dòng)噴水設(shè)備放射區(qū)域（3000ft2）的范圍內(nèi), 其灑水密度不得小于10mm/ft2,且應(yīng)裝置動(dòng)作溫度為141°c的標(biāo)準(zhǔn)噴頭。（2）矽烷供應(yīng)（車載式）系統(tǒng)，其噴水密度不得小于12mm/ft2,水量應(yīng)能維持 上述噴射量連續(xù)噴射兩小時(shí)；并能在啟動(dòng)的同時(shí)自動(dòng)關(guān)閉緊急遮斷閥。（3）自燃性與易燃性生產(chǎn)過(guò)程用的氣體鋼瓶柜，應(yīng)裝置動(dòng)作溫度為74°c的噴頭 于鋼瓶柜內(nèi)。（4）可燃性質(zhì)的洗滌器或其內(nèi)被洗滌物為可燃物時(shí)，應(yīng)在其

30、進(jìn)氣端設(shè)置自動(dòng)噴 水設(shè)備。而每具灑水頭最少應(yīng)可提供25gpm（加侖/分鐘，流量單位）的流量，其排氣管 若為可燃性材料，應(yīng)在管道上加設(shè)噴頭。（5）屋頂至潔凈室天花板間的灑水設(shè)備，應(yīng)設(shè)于坊社區(qū)與3000ft2的范圍內(nèi)，其灑 水密度不可低于10mm/ft2,切應(yīng)裝設(shè)動(dòng)作溫度為57-77°c的噴頭。（6）高度未滿2.4公尺的儲(chǔ)藏柜，應(yīng)于其頂蓋中央設(shè)置一個(gè)噴頭；對(duì)于2. 4公 尺以上的儲(chǔ)藏柜應(yīng)額外設(shè)置噴頭，且每個(gè)噴頭的水壓應(yīng)維持在50psi （壓力單位 1 psi=6.895kpa=0.006895mpa）以上。若儲(chǔ)藏柜放置裝填不可用水滅火的化學(xué)物質(zhì)鋼瓶, 應(yīng)設(shè)海龍或二氧化碳自動(dòng)滅火系統(tǒng)替代自

31、動(dòng)噴水設(shè)備。3.3目前國(guó)內(nèi)存在的問(wèn)題國(guó)內(nèi)現(xiàn)行關(guān)于潔凈廠房的消防法規(guī)，對(duì)于這些火災(zāi)危險(xiǎn)性較高的工廠而言，合法 不代表安全。在規(guī)范的內(nèi)容上沒(méi)有國(guó)外的詳細(xì)、適用，建議參考國(guó)外法令，增加相關(guān) 的安全法規(guī)。此外，通過(guò)實(shí)地調(diào)研了解發(fā)現(xiàn)部分工廠對(duì)于火災(zāi)預(yù)防知識(shí)不夠了解，對(duì) 于火災(zāi)預(yù)防的重視不夠，因此提出以下建議：（1）平時(shí)消防單位應(yīng)與相關(guān)單位溝通，及時(shí)檢查，發(fā)現(xiàn)問(wèn)題及時(shí)指正，并定期參 加潔凈廠房火災(zāi)搶救演練，藉此收集相關(guān)資訊，培養(yǎng)救災(zāi)合作默契。(2) 應(yīng)針對(duì)轄區(qū)各半導(dǎo)體工廠訂立消防搶救計(jì)劃，定期更新，以掌握工廠內(nèi)部分 布、化學(xué)物質(zhì)種類、消防設(shè)備及個(gè)人防護(hù)裝備的資料。在發(fā)?；馂?zāi)時(shí)，據(jù)此迅速展開 撲救工作。(3

32、) 傳統(tǒng)消防救災(zāi)觀念與做法應(yīng)有所改進(jìn)。單純性依靠消防部隊(duì)出動(dòng)滅火很可能 會(huì)貽誤最佳滅火時(shí)機(jī)，國(guó)內(nèi)消防部門應(yīng)針對(duì)此類具有高危險(xiǎn)性的廠房指定相應(yīng)規(guī)劃。4潔凈廠房的火災(zāi)危害性潔凈廠房因?yàn)槠涮厥獾纳a(chǎn)需要，廠房?jī)?nèi)部布局復(fù)雜，生產(chǎn)中使用有易燃易爆的 化學(xué)危險(xiǎn)品，火災(zāi)隱患較多。4.1潔凈廠房的火災(zāi)特點(diǎn)4丄1密封性好，排煙困難醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房由于潔凈無(wú)菌的工藝要求，密封性好，然而一旦發(fā)?；馂?zāi)，有 毒高溫?zé)煔獠灰准皶r(shí)擴(kuò)散，甚至?xí)够馂?zāi)轟燃情況提前發(fā)生。同時(shí)，由于熱量無(wú)處泄 漏，火源的熱輻射經(jīng)四壁反射使室內(nèi)迅速升溫，大大縮短整個(gè)房間各部位材料達(dá)到燃 點(diǎn)的時(shí)間。當(dāng)廠房外墻無(wú)窗時(shí)，室內(nèi)發(fā)生火災(zāi)往往一時(shí)不容易被外界發(fā)

33、現(xiàn)，發(fā)現(xiàn)后也 不容易選定撲救突破口。4.1.2安全疏散困難疏散通道迂回曲折，增加了疏散路線上的障礙，延長(zhǎng)了安全疏散的距離和時(shí)間。 電子工業(yè)潔凈廠房要求有良好的封閉性，要與外界盡量隔離，因此，在任何與外界相 通的地方都采取了相應(yīng)的隔離措施，工作人員必須經(jīng)過(guò)清洗、更衣、消毒等隔離間方 可進(jìn)入潔凈區(qū)，同時(shí)，各工作間相互分隔，門中有門，這些多門出入、門中門的 設(shè)計(jì)大大延長(zhǎng)了人員的疏散時(shí)間，對(duì)火災(zāi)時(shí)人員疏散極為不利。4.1.3火災(zāi)撲救困難建筑或裝修材料采用非難燃材料，增加了火災(zāi)時(shí)的撲救難度。電子工業(yè)潔凈廠房 在使用上有溫度的要求，其內(nèi)部除了配置控溫設(shè)備外，在廠房的設(shè)計(jì)建造上考慮了一 定的保溫措施。但岀于

34、多方面的考慮，相當(dāng)多電子制造企業(yè)的潔凈廠房區(qū)的墻體和頂 板部分往往采用現(xiàn)成的有保溫作用的泡沫或多孔塑料的彩鋼板，而很少用砌塊磚加保 溫材料。這一方面增加了廠房的火災(zāi)荷載，與磚墻相比，墻體的耐火極限大大降低， 另一方面也將燃燒時(shí)釋放濃煙和有毒氣體的高分子材料引入封閉的潔凈廠房，給人員 疏散帶來(lái)極大的威脅。4.1.4化學(xué)物質(zhì)有爆炸危險(xiǎn)電子工業(yè)潔凈廠房經(jīng)常使用各種易燃易爆化學(xué)危險(xiǎn)物品，且木身化學(xué)反應(yīng)也有燃 燒爆炸危險(xiǎn)，制作工藝過(guò)程中很多措施的火災(zāi)危險(xiǎn)性都較大。這些工藝問(wèn)題難以從建 筑構(gòu)造或建筑布局中加以防范，使得廠房的火災(zāi)危險(xiǎn)性等級(jí)大大增加。4.2潔凈廠房的空間特性及生產(chǎn)中的潛在危險(xiǎn)421廠房寬廣，

35、人員分布密度小潔凈廠房為配合不同性質(zhì)用途、不同流暢設(shè)備儀器的擺設(shè)及便于修改使用方式等 要求，各廠房均建造的十分寬敞高大。由于廠房寬廣，加上運(yùn)用高度自動(dòng)化的儀器及 設(shè)備，使得廠房人員分布的密度變的極小，且每個(gè)作業(yè)人員熟知的工作區(qū)域極為有限, 一旦災(zāi)害發(fā)生，萬(wàn)一探測(cè)裝置或警報(bào)設(shè)備故障的話，勢(shì)將難以發(fā)現(xiàn)并及時(shí)進(jìn)行應(yīng)變。4.2.2分區(qū)設(shè)計(jì)特殊潔凈室內(nèi)多為一封閉的區(qū)域劃分，門窗數(shù)量極少或者沒(méi)有，一旦起火，大量的煙、 熱會(huì)聚集在內(nèi)，難以排除。在廠房設(shè)計(jì)之初，為了避免一旦有一個(gè)區(qū)域受到污染波及 其他區(qū)域，當(dāng)確定己有狀況發(fā)牛時(shí)，整棟潔凈室的空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)關(guān)閉，使得煙、 熱更不易排到室外。此外，為了減少空氣

36、的流動(dòng)及污染源的侵入，所有人、車、器材 及設(shè)備進(jìn)入潔凈室時(shí)，均需要經(jīng)過(guò)嚴(yán)密的換鞋、更衣、洗漱及吹淋等步驟。而為達(dá)成 上述目的，通常會(huì)使建筑內(nèi)的平面布置較為曲折，由外入內(nèi)須通過(guò)重重電子管制門， 延遲應(yīng)變?nèi)藛T進(jìn)入搶救時(shí)間。4.2.3機(jī)械密集，長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)因?yàn)楝F(xiàn)在國(guó)內(nèi)土地價(jià)格越來(lái)越高，造成寸土寸金的現(xiàn)狀，許多潔凈廠房都盡可能 的充分利用空間，形成單位面積的設(shè)備數(shù)量過(guò)高，造成建筑中原木設(shè)計(jì)的動(dòng)線及搶救 設(shè)備被遮蔽或移位。因機(jī)械密度過(guò)高，且設(shè)備都固定在室內(nèi)，不易移動(dòng)，可能的防護(hù) 死角便相對(duì)的增加，這不僅會(huì)造成火災(zāi)確認(rèn)比較困難，且應(yīng)變?nèi)藛T入內(nèi)時(shí)，亦不易找 到火點(diǎn)進(jìn)行搶救。此外，潔凈廠房大多屬于二十四小時(shí)連

37、續(xù)運(yùn)作，機(jī)械必須長(zhǎng)時(shí)間運(yùn) 轉(zhuǎn)，容易過(guò)熱而起火。424使用高溫檢測(cè)或制作成品在晶體、發(fā)光兩極體及ic等各種電子產(chǎn)品的制作過(guò)程中，經(jīng)常會(huì)進(jìn)行高溫檢測(cè) 或高溫成型的步驟，萬(wàn)一在這些高溫的過(guò)程中稍有不慎，極易發(fā)生火災(zāi)。425各種管道錯(cuò)綜潔凈廠房?jī)?nèi)充滿各種儀表、機(jī)械、化學(xué)氣體及化學(xué)液體等管路，其中不乏易燃、 易爆的液體或氣體，這些管道的承載量大，經(jīng)常連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，而且有的管道就設(shè)置在墻 內(nèi)，萬(wàn)一發(fā)生泄漏，將難以及時(shí)發(fā)現(xiàn)和處理；萬(wàn)一泄漏出的易燃易爆氣體聚集到爆炸 下限時(shí)，就有可能發(fā)牛起火或者爆炸。各種有毒化學(xué)氣體及流淌火就會(huì)順著管道迅速 蔓延至廠區(qū)各處。而且場(chǎng)內(nèi)管路四處連通，其穿透處及管路木身，若未能有效的予

38、以 堵漏或者關(guān)閥，將成為煙熱在廠區(qū)中流竄的最佳途徑。煙氣在潔凈廠房?jī)?nèi)部流動(dòng)的方 式如下圖所示：k回鳳及管路區(qū)0制程區(qū)圖4. 2. 5. 1半導(dǎo)體潔凈室通風(fēng)系統(tǒng)剖面圖（一圖4. 2. 5. 2半導(dǎo)體潔凈室通風(fēng)系統(tǒng)剖面圖（二7©圖4. 2. 5. 3半導(dǎo)體潔凈室通風(fēng)系統(tǒng)剖面圖三）4.3生產(chǎn)過(guò)程中使用的化學(xué)物質(zhì)的危害性集成電路生產(chǎn)過(guò)程中所使用的化學(xué)物質(zhì)具有自燃性、爆炸性、熱分解性及強(qiáng)氧化 性等高度反應(yīng)性，對(duì)人的安全及健康有嚴(yán)重的危害性。然而在集成電路的制作過(guò)程中, 必須要使用這些高危險(xiǎn)性的化學(xué)物質(zhì)，因?yàn)槠渲薪^大多數(shù)在目前并沒(méi)有替代品，若是 不使用這些化學(xué)物質(zhì)的話，根本無(wú)法生產(chǎn)。為了制造集成

39、電路的精密結(jié)構(gòu)，制作過(guò)程中所使用的化學(xué)物質(zhì)必須保持氣體狀態(tài) 并迅速均勻的供給。因此，多數(shù)化學(xué)物質(zhì)原料是低沸點(diǎn)，但在使用時(shí)需加高溫使其氣 化，而后進(jìn)行使用的液化氣體。這些化學(xué)物質(zhì)在常溫下是氣態(tài)，因此大部分儲(chǔ)存在高 壓容器中，常有發(fā)生泄漏及引發(fā)其它意外事故發(fā)生的潛在危險(xiǎn)性。其使用過(guò)程的升溫 過(guò)程也具有很高的火災(zāi)危險(xiǎn)性。此外，某些化學(xué)物質(zhì)混合有可能會(huì)產(chǎn)生新的危害效應(yīng)一一例如激烈反應(yīng)、放熱、 起火燃燒或爆炸。在儲(chǔ)存時(shí)應(yīng)盡量避免將這些物質(zhì)放在沒(méi)有隔離的同一空間。在生產(chǎn) 過(guò)程中使用此類化學(xué)物質(zhì)混合的危害將在后面詳細(xì)描述。4.4潔凈廠房的火災(zāi)種類4.4.1機(jī)電設(shè)備火災(zāi)在生產(chǎn)過(guò)程中需要許多的電子儀器以及機(jī)電設(shè)

40、備的配合，而在潔凈室的干燥環(huán)境 下受人為疏忽或設(shè)備異常的影響，生產(chǎn)中會(huì)有不小的幾率發(fā)生屯路短路、靜電等等的 情形發(fā)生，這些都極易因其瞬間高壓產(chǎn)生的火花陰燃電子設(shè)備造成火災(zāi)。在潔凈室通 常為封閉的情形下，由于在潔凈廠房中通常是封閉環(huán)境，若無(wú)法早期撲火火災(zāi)，其迅 速擴(kuò)散的煙塵將對(duì)潔凈室中的其他設(shè)備有著極大的傷害性，因此也必須注意在機(jī)電設(shè) 備方面的火災(zāi)安全。4.4.2化學(xué)物質(zhì)火災(zāi)在生產(chǎn)中將利用到的高濃度化學(xué)物質(zhì)有：sihi、hf、也、ph3等等。sihj的是一種 極易自燃的氣體，其燃點(diǎn)接近室溫，容易在室溫下自燃；出是一種不穩(wěn)定的高危險(xiǎn)易 燃物，在一般情況下容易被靜電產(chǎn)生的火花點(diǎn)燃，在燃燒中釋放大量的

41、熱量。以上兩 種物質(zhì)，在半導(dǎo)體廠房的生產(chǎn)過(guò)程中，都有高的危險(xiǎn)發(fā)牛幾率，尤其在生產(chǎn)過(guò)程中需 要許多的加熱過(guò)程，更增加了高濃度化學(xué)物質(zhì)加速反應(yīng)的現(xiàn)象，因此在化學(xué)反應(yīng)過(guò)程 中，若對(duì)其產(chǎn)牛的熱量無(wú)法加以控制，極有可能產(chǎn)生瞬間的高熱釋放，進(jìn)而發(fā)牛大火 甚至爆炸。4.4.3排氣設(shè)備火災(zāi)火災(zāi)的發(fā)生不一定都在廠房的fab區(qū)中，在潔凈室的下層subfab區(qū)中，輸送管 路中也有許多的易燃性物質(zhì)，如牛產(chǎn)中用的高濃度化學(xué)物質(zhì)以及廢液及廢氣排放管等, 也都含有易燃物。在舊式的半導(dǎo)體廠房的排氣管路中，通常都是將所有的酸毒性物質(zhì) 一起排放，在此狀況下極有可能因原先生產(chǎn)過(guò)程結(jié)朿后帶有的熱量或化學(xué)反應(yīng)自行點(diǎn) 燃，若在封閉的排放

42、管路中發(fā)牛燃燒，勢(shì)必因熱膨脹產(chǎn)牛瞬間高壓，造成管路爆裂。 如此一來(lái)，其中的生產(chǎn)廢氣以及煙塵，將不僅在subfab區(qū)域擴(kuò)散，更可能隨廠房的循 環(huán)氣流而擴(kuò)散到整個(gè)廠區(qū)，造成大量污染。4.4.4空調(diào)特性引發(fā)次級(jí)災(zāi)害因潔凈室中潔凈度的等級(jí)要求極高，故廠區(qū)使用全面空調(diào)的設(shè)計(jì)，已將廠區(qū)中的 煙塵排除，以免空氣中的塵粒附著于半導(dǎo)體上，造成電路損害，但在發(fā)?；馂?zāi)時(shí)，可 能也因此空調(diào)特性，造成火災(zāi)所產(chǎn)生的煙塵蔓延到全廠區(qū)，造成全面性的損害，以下 為可能影響煙塵擴(kuò)散的空調(diào)特性：(1) 全廠區(qū)空調(diào)(2) 24小時(shí)循環(huán)回風(fēng)(3) 每小時(shí)換氣次數(shù)多于一般建筑(4) 利用ffu (送風(fēng)單元)自天花板引入潔凈空氣(5) 氣

43、流可穿透的高架地板因燃燒所產(chǎn)生的煙塵借由廠內(nèi)的空調(diào)機(jī)制，快速蔓延至全廠區(qū)，而造成全面性的 危害，不僅使得半導(dǎo)體因塵粒的附著而成為瑕疵品，更重要的對(duì)牛產(chǎn)設(shè)備造成永久性 的傷害，使得整個(gè)廠房因?yàn)闊焿m的擴(kuò)散而付之一炬。故煙塵的影響可視為最嚴(yán)重的部 分；為避免廠房中設(shè)備在火災(zāi)發(fā)生時(shí)，煙塵造成巨大的損失，在采用各種所需設(shè)備之 時(shí)，就必須考慮三種指標(biāo)：火災(zāi)蔓延指標(biāo)(fpi)、煙氣損失指標(biāo)(sdi)、腐蝕損害指 標(biāo)(cdi)o各種材質(zhì)的此三種指標(biāo)是以fm4910為指標(biāo)，在fmrc進(jìn)行試燒及量測(cè)所得, 參考其指標(biāo)而進(jìn)行設(shè)備機(jī)器材料的選用，對(duì)于控制火災(zāi)的易燃物與燃燒程度，有相當(dāng) 的效果。5潔凈廠房火災(zāi)防護(hù)措施上

44、章所提及的火災(zāi)種類，都是確實(shí)在半導(dǎo)體廠房當(dāng)中發(fā)生過(guò)的案例，要如何應(yīng)對(duì) 如此高危險(xiǎn)性的災(zāi)害，并對(duì)災(zāi)害范圍加以控制，最重要的是能夠在發(fā)?；馂?zāi)后加以迅 速反應(yīng)并且復(fù)原，這些都是半導(dǎo)體工廠中選用消防設(shè)備的基準(zhǔn)，以下將分為火災(zāi)探測(cè) 系統(tǒng)及滅火系統(tǒng)兩部分來(lái)進(jìn)行簡(jiǎn)介：5.1火災(zāi)探測(cè)系統(tǒng)潔凈室中，由于其特殊的氣流狀況，也就是持續(xù)下吹的氣流，其相對(duì)一般火災(zāi)監(jiān) 測(cè)最大的不同，就是一般建筑物內(nèi)，其火災(zāi)探測(cè)器的放置位置，通常都位于天花板上。 因?yàn)闊峥諝馊菀纂S著密度的變化而上升，而使得偵測(cè)器能夠感應(yīng)到；然而在半導(dǎo)體廠 房中，因?yàn)槌掷m(xù)下吹氣流的緣故，若單純只裝設(shè)火焰探測(cè)器時(shí)，火源所產(chǎn)生的熱空氣 無(wú)法立即上升，因此探測(cè)器無(wú)

45、法迅速測(cè)得火災(zāi)的發(fā)生，等到有感應(yīng)z時(shí)，火災(zāi)可能已 經(jīng)蔓延擴(kuò)大；故而現(xiàn)今的火災(zāi)探測(cè)觀念當(dāng)中，通常都將煙塵的濃度作為偵測(cè)的指標(biāo)， 在潔凈廠房?jī)?nèi)，主要使用的有下列幾種：火焰探測(cè)器、感煙探測(cè)器、極早期火災(zāi)探測(cè) 器；火焰探測(cè)器是利用對(duì)溫度的感應(yīng)進(jìn)行探測(cè)；感煙探測(cè)器是利用對(duì)塵粒的感應(yīng)進(jìn)行 對(duì)火災(zāi)發(fā)生的判斷；而極早期火災(zāi)探測(cè)器vesdacvery eeir 1 y smoke detect apparatus） 是針對(duì)潔凈室內(nèi)每六秒席卷整個(gè)廠房的氣流特性來(lái)設(shè)計(jì)的，此偵測(cè)設(shè)備每四秒即從廠 房空氣內(nèi)采樣，將所防護(hù)區(qū)域內(nèi)空氣吸入后與三十小時(shí)前的數(shù)據(jù)加以對(duì)比，如果有異 常時(shí)，即馬上反應(yīng)至屮央控制系統(tǒng)，以利初期探測(cè)到

46、火焰在小范圍屮悶燒產(chǎn)生的煙塵 微粒o vesda的布置位置通常位于整個(gè)廠房空調(diào)的下風(fēng)處，如subfab及回風(fēng)豎井下端。 若探測(cè)器所設(shè)區(qū)域在火災(zāi)發(fā)生時(shí)有爆炸的可能，必須選用等級(jí)為classi、div2 （以半 導(dǎo)體生產(chǎn)所用的化學(xué)物質(zhì)而言）等級(jí)的防爆型探測(cè)器。結(jié)合以上內(nèi)容，通過(guò)對(duì)比分析發(fā)現(xiàn)，應(yīng)當(dāng)在下列生產(chǎn)區(qū)應(yīng)設(shè)置火焰探測(cè)器，且當(dāng) 警報(bào)系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)，應(yīng)聯(lián)動(dòng)關(guān)閉氣體輸送管道上的白動(dòng)緊急遮斷閥，并同時(shí)啟動(dòng)噴水系 統(tǒng)（噴頭的數(shù)量和位置，應(yīng)能涵蓋探測(cè)器的探測(cè)范圍）。（1）矽烷供應(yīng)系統(tǒng)。（2）氣體鋼瓶柜。（3）濕式清洗臺(tái)頭罩、作業(yè)平臺(tái)及下方。（4）配送依然性液體的閥門連接箱（vmb）內(nèi)。（5）易燃?xì)怏w排氣管內(nèi)。

47、其它相關(guān)事項(xiàng)：火災(zāi)偵測(cè)系統(tǒng)最好選用極早期預(yù)警式。氫的燃燒火焰幾乎不會(huì)釋放出紅外線，故類似的半導(dǎo)體廠內(nèi)特殊區(qū)域，應(yīng)使用紫外線火焰探測(cè)器。此外還應(yīng)當(dāng)注意，火災(zāi)探測(cè)器的反應(yīng)能力受到以下因素的影響：(1) 天花板高度的影響：探測(cè)器安裝的高度越高，要與安裝在抵觸的探測(cè)器一樣 在短時(shí)間內(nèi)反應(yīng)，設(shè)計(jì)者應(yīng)隨著安裝高度的提升，推算為確保探測(cè)器能力而縮小安裝 距離，美國(guó)消防工程學(xué)會(huì)建議的探測(cè)器安裝高度之間關(guān)系如下表。天花板高度標(biāo)準(zhǔn)間距百分比0-10100%10-1291%12-1484%14-1677%16-1871%18-2064%20-2258%22-2452%24-2646%26-2840%28-3034%

48、表5.1.1探測(cè)器配置與安裝高度之間的關(guān)系(2) 潔凈室強(qiáng)制通風(fēng)影響：強(qiáng)制通風(fēng)系統(tǒng)對(duì)感煙探測(cè)器影響很大，故國(guó)外法規(guī)要 求將感煙探測(cè)器安裝于遠(yuǎn)離出風(fēng)口，接近回風(fēng)口處，或者直接安裝在回風(fēng)管內(nèi)如圖 5.1.1所示。但是，由于hvac系統(tǒng)在火災(zāi)時(shí)可能會(huì)自動(dòng)關(guān)閉，所以不能因在回風(fēng)管內(nèi) 增設(shè)了火災(zāi)探測(cè)器，而減少潔凈廠房?jī)?nèi)內(nèi)其它位置的火災(zāi)探測(cè)器。風(fēng)管槍修門導(dǎo)線暫配線盒圖5.1.1回風(fēng)管內(nèi)探測(cè)器設(shè)計(jì)示例(3) 潔凈室強(qiáng)制換氣影響：在潔凈室內(nèi)由于換氣頻率高，對(duì)于火災(zāi)生成的煙粒子 有很人的稀釋作用，為維持早期偵測(cè)功能，設(shè)置的煙氣探測(cè)器間距應(yīng)該減少，在工程 施工中可采用如下表所示的布置間距。air changs/m

49、inair changes/hr探測(cè)器間距ft2（m2）160.0125(11.51)230.0250(23. 23)320.0375(34.84)415500 (46. 65)512625(58. 06)610750(69. 68)7& 6875(81.29)87.5900(83.61)96.7900(83.61)106.0900(83.61)表5.1.2潔凈室換氣次數(shù)與感煙探測(cè)器配置關(guān)系表5.2滅火系統(tǒng)滅火系統(tǒng)依滅火介質(zhì)區(qū)分時(shí)，可分為水系統(tǒng)以及化學(xué)系統(tǒng)，在一般居住空間以及 大型建筑，利用水進(jìn)行滅火是既經(jīng)濟(jì)又有效的方法，但在工廠或?qū)嶒?yàn)室等單位面積含 有大量易燃危險(xiǎn)物質(zhì)的場(chǎng)所，利用水進(jìn)

50、行滅火不但效率不高，更有可能因所發(fā)生火災(zāi) 類型不同而引發(fā)更猛烈的大火，因此在高科技廠房配備兩種滅火介質(zhì)進(jìn)行滅火，有其 絕對(duì)的必耍性。5.2.1水系統(tǒng)以水作為控制火勢(shì)或滅火劑的滅火系統(tǒng)，其滅火原理主要利用水將火場(chǎng)溫度降至 燃點(diǎn)以下，在半導(dǎo)體廠房中設(shè)置的水系統(tǒng)滅火設(shè)施主耍有以下兩種：（1）消防栓：在消防戰(zhàn)略上，大量的水澆淋在半導(dǎo)體設(shè)備上，通常會(huì)造成無(wú)法 復(fù)原的損失，在高電壓系統(tǒng)的滅火上更有其危險(xiǎn)性，因此在使用時(shí)機(jī)的設(shè)定，必須先 行建立一套完整的消防計(jì)劃再行使用，如未經(jīng)規(guī)劃使用則必定對(duì)廠房設(shè)備造成極大損 失。（2）自動(dòng)噴水系統(tǒng)：自動(dòng)噴水系統(tǒng)利用定壓及定量的水來(lái)進(jìn)行控制火勢(shì)的自動(dòng) 設(shè)備，其重點(diǎn)在火災(zāi)發(fā)

51、生時(shí)的自動(dòng)型，潔凈廠房采用的自動(dòng)噴水系統(tǒng)的誤噴幾率必須 低于百萬(wàn)分之一。在國(guó)外法規(guī)中，自動(dòng)噴水系統(tǒng)是建筑物的必要設(shè)備。自動(dòng)噴水系統(tǒng) 在風(fēng)險(xiǎn)控制上等于最后一道保護(hù)。在噴頭動(dòng)作時(shí)，在潔凈室內(nèi)的機(jī)器設(shè)備等于處于放 棄的狀態(tài)，也就是該區(qū)域的機(jī)器設(shè)施將無(wú)法進(jìn)行災(zāi)害復(fù)原。在潔凈室下吹層流的冷卻 特性之下，nfpa將潔凈室中的自動(dòng)噴水裝置要求定為qr（quick response）等級(jí)，其 rti （反應(yīng)時(shí)間指標(biāo)）必須在50以下，一般噴水系統(tǒng)可以分為干式、濕式、預(yù)作用以 及噴淋系統(tǒng)。（3）細(xì)水霧滅火系統(tǒng)細(xì)水霧滅火系統(tǒng)除了具有水系統(tǒng)的冷卻降溫作用，另外還有對(duì)液體的乳化和稀釋 作用，在滅火的過(guò)程中，往往會(huì)有幾種

52、作用同時(shí)發(fā)生，從而有效滅火。細(xì)水霧滅火系統(tǒng)相對(duì)于水噴淋滅火系統(tǒng)或常規(guī)水噴霧滅火系統(tǒng)，細(xì)水霧滅火系統(tǒng) 具有以下的優(yōu)點(diǎn)：a. 用水量大大降低。通常而言常規(guī)水噴霧用水量是水噴淋的70%90%, 而細(xì)水霧滅火系統(tǒng)的用水量通常為常規(guī)水噴霧的20%以下。b. 降低了火災(zāi)損失和水潰損失。對(duì)于水噴淋系統(tǒng)，很多情況下由于使用大 量水進(jìn)行火災(zāi)撲救造成的水漬損失還要高于火災(zāi)損失。c. 減少了火災(zāi)區(qū)域熱量的傳播。由于細(xì)水霧的阻隔熱輻射作用，有效控制 火災(zāi)蔓延。d. 電氣絕緣性能更好，可以有效撲救帶電設(shè)備火災(zāi)。e. 能夠有效撲救低閃點(diǎn)的液體火災(zāi)。此外，相對(duì)于氣體滅火系統(tǒng)，細(xì)水霧系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)表現(xiàn)在：a. 細(xì)水霧對(duì)人體無(wú)害，

53、對(duì)環(huán)境無(wú)影響，適用于有人的場(chǎng)所。在潔凈廠房?jī)?nèi)人員 未安全疏散前，若采用氣體滅火系統(tǒng)，則很有可能造成人員傷亡，而細(xì)水霧 滅火系統(tǒng)可有效避免這一弊端。b. 細(xì)水霧具有很好的冷卻作用，可以有效避免高溫造成的結(jié)構(gòu)變形，且滅火后 不會(huì)復(fù)燃。c. 細(xì)水霧系統(tǒng)的水源更容易獲取，滅火的可持續(xù)能力強(qiáng)；d. 可以有效降低火災(zāi)中的煙氣含量及毒性，便于人員疏散。由于細(xì)水霧滅火系統(tǒng)具有較好的電氣絕緣性，因此在潔凈廠房中采用此系統(tǒng)作為 滅火措施更加安全，且造成的損失相對(duì)于普通水系統(tǒng)大大降低。5.2.2化學(xué)滅火系統(tǒng)在半導(dǎo)體廠房中，主要使用的化學(xué)滅火器有：鹵代烷滅火器、inergen.二氧化碳 系統(tǒng)等。海龍滅火劑的主要滅火能

54、力在于火災(zāi)發(fā)生時(shí)，能于高溫下分解成為氟及氨基, 與協(xié)助反應(yīng)的碳?xì)浠Y(jié)合，以達(dá)到終止燃燒的目的；inergen以及二氧化碳系統(tǒng)則利 用二氧化碳置換空氣中的氧氣，使其助燃能力降低。在目前半導(dǎo)體廠房使用的區(qū)域多 為電器供應(yīng)室以及電腦機(jī)房，此類房間都是充滿電器設(shè)備的小型空間。因電器設(shè)備在 運(yùn)作中若利用水進(jìn)行滅火，將容易形成短路、漏電等狀況而造成二次災(zāi)害；另外，由 于化學(xué)滅火系統(tǒng)是以氣態(tài)進(jìn)行滅火，在潔凈室中若遇下吹氣流時(shí)，其涵蓋范圍容易因 氣流擾動(dòng)而變小甚至稀釋，因此只使用在限制區(qū)域的滅火。5.3防排煙系統(tǒng)潔凈廠房由于其特殊的工藝設(shè)計(jì)，結(jié)合其廠房特點(diǎn)及設(shè)計(jì)工藝發(fā)現(xiàn)，應(yīng)于以下開 口設(shè)置防煙閥門：（1）不同

55、區(qū)域或用途分隔墻的貫穿孔。（2）供避難逃生設(shè)施用走廊及水平出口的防火構(gòu)造墻壁穿孔。（3）垂直管道間敞開的穿孔。（4）升降梯間的穿孔。（5）避難區(qū)域的穿孔。（6）若配合機(jī)械排煙系統(tǒng)，在特殊設(shè)計(jì)需要時(shí)，可以不安裝防煙閥門，閥門的 開關(guān)應(yīng)有感煙探測(cè)器聯(lián)動(dòng)。此外，應(yīng)在以下開口處設(shè)置防火閥門：（1）不同區(qū)域或者分隔墻的貫穿孔。（2）供避難逃生設(shè)施用的走廊和水平出口防火墻的穿孔。（3）垂育管道間開壁的穿孔。（4）天花板的穿孔。（5）鏤空中庭周圍墻壁構(gòu)件的穿孔。（6）建筑物外部開口依規(guī)定需要有防火庇護(hù)時(shí)，外墻的穿孔。（7）避難區(qū)域的穿孔。（8）防火閥門的啟動(dòng)溫度，須高出風(fēng)管內(nèi)溫度約28°c,但不得

56、低于7rco若 配合機(jī)械煙控系統(tǒng)需要，啟動(dòng)關(guān)閉作用溫度上限應(yīng)增至140°co5.4廠區(qū)自救方案設(shè)計(jì)5.4.1緊急應(yīng)變預(yù)案規(guī)劃潔凈廠房應(yīng)依法實(shí)施緊急事故應(yīng)變措施，并有相應(yīng)的防火管理制度。每個(gè)潔凈廠 房有不同的危害物質(zhì)、生產(chǎn)和組織方案，因此每一家工廠的緊急應(yīng)變預(yù)案也會(huì)隨z不 同。在擬定計(jì)劃時(shí)，所規(guī)劃的應(yīng)變結(jié)構(gòu)、人員組織及應(yīng)變職責(zé)等都應(yīng)盡量與場(chǎng)內(nèi)實(shí)際 的組織和現(xiàn)狀相配合，并在草擬完畢后分送廠內(nèi)各相關(guān)單位、人員研究，從不同角度 及立場(chǎng)提出執(zhí)行上的困難及修改建議，以完善預(yù)案。下圖為緊急應(yīng)變預(yù)案訂制過(guò)程示 意圖。圖54丄1緊急應(yīng)變預(yù)案制定過(guò)程示意圖5.4.2選擇參與緊急應(yīng)變計(jì)劃成員緊急應(yīng)變預(yù)案最

57、好由場(chǎng)內(nèi)各單位資深人員共同探討并協(xié)調(diào)擬定，以確定每個(gè)單位 的職責(zé)與工作，并對(duì)預(yù)案內(nèi)容和職責(zé)分擔(dān)達(dá)成共識(shí)。在選擇參與協(xié)調(diào)工作的成員時(shí)應(yīng) 考慮下列原則：(1) 參與成員必須了解該單位平時(shí)工作情形及應(yīng)變能力，且能代表該單位做出決定。(2) 組成成員必須具有廣泛性且涵蓋所有可能參與緊急應(yīng)變的工作單位，參與 成員必須有共識(shí)且熱心合作。(3) 除廠區(qū)人員，亦可邀請(qǐng)市政府及鄉(xiāng)鎮(zhèn)代表共同參與預(yù)案的規(guī)劃及檢查。 5.4.3相關(guān)資料收集整理想要訂立一份完善的緊急應(yīng)變預(yù)案，周全詳細(xì)的事前資料收集整理是不可或缺的。 以下列舉幾項(xiàng)重要圖紙及資料，可供參考。(1) 廠區(qū)平面圖及消防設(shè)備設(shè)置圖。(2) 工廠組織結(jié)構(gòu)及人員名單。(3) 工廠臨近地區(qū)圖及人口分布圖。(4) 歷年氣象資料。(5) 廠內(nèi)使用各項(xiàng)化學(xué)物質(zhì)資料，如化學(xué)物質(zhì)儲(chǔ)存量、儲(chǔ)存位置、防護(hù)設(shè)備及 物質(zhì)安全資料卡等。(6) 場(chǎng)內(nèi)具有的應(yīng)變裝備種類、數(shù)