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1、pvd真空鍍膜機作業(yè)指導書 pvd真空鍍膜機作業(yè)指導書 一開機 1. 檢查水路是否暢通，確定冷卻塔、激進泵是否正常工作（水壓需達到0.4mpa以上）。 2. 檢查氣路是否暢通，確定空壓機是否正常工作（氣壓需達到0.5mpa）。 3開啟電源開關，打開開機、維持泵開關，待真空計的熱偶計讀數(shù)在10pa以下時，打開集中泵溫控儀1、2，集中泵1、2四個開關。即集中泵升溫（大約1小時左右）。 4. 距加熱時間約10分鐘左右，開啟低溫捕集器，待6分鐘冷卻時間過后，按f1啟動低溫捕集器。待溫控儀上的設定溫度達到時，即可正常生產(chǎn)操作。 二生產(chǎn)操作 1. 確定真空室內(nèi)膜料、離子源燈絲、工件架已按要求放置完畢。 2

2、. 開啟粗抽泵，將抽氣手自動檔切換至自動檔，打開自動抽氣開關，待真空室大門吸合即可。 3. 當羅茨泵自動開啟時，按低溫捕集器f2，開啟捕集器制冷功能。 4. 此操作應工藝的不同而有較大的變化，此處不一一詳述，即為口述。 5. 工藝完成后，關閉電子槍、離子源（必需先歸零燈絲電 流，再關電源）等開關，打開自動充氣開關，待精抽閥閉合后，將抽氣手自動檔切換至手動檔（此處必需留意除維持泵、集中泵、粗抽泵、開機這四個開關是按下去的外，其他開關都不行按下，以免操作失誤造成集中泵暴露大氣?。?，按捕集器f3，開啟回溫功能，待低溫捕集器溫度回溫到30攝氏度以上，打開充氣閥，待真空室門打開，關閉充氣閥。（注：自動抽氣與自動充氣開關嚴禁混淆） 6. 以上循環(huán)，即為正常操作流程。 三停機 1. 將真空室門吸合，抽至肯定真空，關閉除停機開關 的全部開關。（注：此停機開關，正常生產(chǎn)中嚴禁開啟） 2. 待真空鍍膜機冷卻一小時后，方可關閉電源，空壓機， 冷卻塔，激進泵。 注：以上全部操作必需嚴格執(zhí)行，未經(jīng)允許 不行更改，若應操作失誤造成鍍膜機受到損壞，影響等因素，操作員將擔當相應責任。 警告:本機器有多處高壓變壓器，電壓高

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