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-作者xxxx-日期xxxx金屬薄膜電阻率實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)【精品文檔】金屬薄膜電阻率實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)一、實(shí)驗(yàn)測(cè)量及數(shù)據(jù)處理:數(shù)據(jù)記錄表格金屬薄膜電阻率測(cè)量數(shù)據(jù)記錄表(濺射時(shí)間4min)膜厚d=532.8*10-10m電流I/mA正向電壓V+/mA負(fù)向電壓V-/mV平均電壓V/mV9金屬薄膜電阻率測(cè)量數(shù)據(jù)記錄表(濺射時(shí)間8min)膜厚d=1065.6*10-10m電流I/mA正向電壓V+/mA負(fù)向電壓V-/mV平均電壓V/mV2金屬薄膜電阻率測(cè)量數(shù)據(jù)記錄表(濺射時(shí)間12min)膜厚d=1598.4*10-10m電流I/mA正向電壓V+/mA負(fù)向電壓V-/mV平均電壓V/mV1.867金屬薄膜電阻率測(cè)量數(shù)據(jù)記錄表(濺射時(shí)間20min)膜厚d=2664*10-10m電流I/mA正向電壓V+/mA負(fù)向電壓V-/mV平均電壓V/mV金屬薄膜電阻率測(cè)量數(shù)據(jù)記錄表(濺射時(shí)間25min)膜厚d=3330*10-10m電流I/mA正向電壓V+/mA負(fù)向電壓V-/mV平均電壓V/mVExcel處理的電壓隨電流變化的關(guān)系圖: 由F=ln2VId,根據(jù)已經(jīng)處理得到的V/I,代入求得F:d/mV/IF/*mF-d的圖像:二、討論:本實(shí)驗(yàn)中采用測(cè)量同一電流狀況下的正反向電壓可以減小實(shí)驗(yàn)的誤差。三、結(jié)論:由以上數(shù)據(jù)圖像可得,濺射薄膜的電阻率隨著膜厚的增加而減??;薄
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