真空冷噴涂系統(tǒng)說(shuō)明Swds

1、真空冷噴涂系統(tǒng)說(shuō)明劉廣劍 2006.05目錄第1章 真空冷噴涂系統(tǒng)構(gòu)成與主要參數(shù)11.1 真空系統(tǒng)11.1.1 真空泵11.1.2 真空室21.2 送氣送粉系統(tǒng)31.2.1 高壓氣路31.2.2 送粉器31.2.3 噴槍31.2.4 基體固定41.3 噴涂輔助與傳感51.3.1 基體運(yùn)動(dòng)控制-電機(jī)51.3.2 壓力傳感-真空計(jì)6第2章 真空冷噴涂系統(tǒng)操作72.1 準(zhǔn)備工作72.2 噴涂過(guò)程72.2.1 開(kāi)始72.2.2 過(guò)程72.2.3 結(jié)束72.3 善后處理72.4 異常處理72.4.1 真空泵聲音異常72.4.2 真空室氣壓不夠低82.4.3 氦氣流量異常下降82.4.4 吹浮氣流量異常8

2、第3章 真空冷噴涂系統(tǒng)維護(hù)93.1 氦氣93.2 真空泵換（加）油93.3 噴嘴制作103.4 系統(tǒng)密封103.5 真空室清理10第4章 附錄及其它114.1 常用壓力單位換算表114.2 流量計(jì)流量換算114.3 目前系統(tǒng)參數(shù)狀態(tài)134.4 其它13第4章 附錄及其它第1章 真空冷噴涂系統(tǒng)構(gòu)成與主要參數(shù)1.1 真空系統(tǒng)1.1.1 真空泵真空泵。西安，閆先生（技術(shù)辦公沈陽(yáng)，劉廠長(zhǎng)（電氣技術(shù)銷售89730592，郭慶13704017807。真空協(xié)會(huì)，辦公室82219243，技術(shù)86376

3、407，咸寧路東二環(huán)交界點(diǎn)西南。旋片泵，2XT-70圖11 旋片泵電磁閥，DDCY-80Q機(jī)械增壓泵，ZJP-300潤(rùn)滑機(jī)油油杯圖12 機(jī)械泵￥28800.0020050628，皮拉尼真空計(jì)測(cè)得極限真空，旋片泵2Pa，機(jī)械泵0.1Pa。1.1.2 真空室步進(jìn)電機(jī)控制線放氣孔冗余引線圖13 真空室外形噴槍（噴嘴及附件）真空計(jì)壓力傳感器冗余引線圖14 真空室內(nèi)腔冗余引線有編號(hào)，寫(xiě)于白色高溫膠帶。1.2 送氣送粉系統(tǒng)1.2.1 高壓氣路流量計(jì)吹浮氣流量主氣流量減壓閥圖15 高壓氣路1.2.2 送粉器吹浮氣噴嘴圖16 送粉罐吹浮氣噴嘴斜向下開(kāi)口，向下吹氣便于對(duì)流。距離送粉罐底部有3cm左右距離，減少粉

4、末倒灌入吹浮氣阻塞吹浮噴嘴的可能性。1.2.3 噴槍噴槍結(jié)構(gòu)與定位，參見(jiàn)下圖。噴嘴制作方法見(jiàn)3.3。試驗(yàn)中的噴涂距離，通過(guò)噴嘴定位高度（目前72mm）調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)。72螺釘-固定噴嘴圖17 噴槍結(jié)構(gòu)及定位1.2.4 基體固定坐標(biāo)步進(jìn)電機(jī)在內(nèi)部基體固定在此圖18 基體固定側(cè)視圖(x, y)= (0, 0)X-8Y=5圖19基體固定頂視圖1.3 噴涂輔助與傳感1.3.1 基體運(yùn)動(dòng)控制-電機(jī)電機(jī)及控制器型號(hào)，北京卓立漢光儀器有限公司 SC3。按鈕REM圖110 步進(jìn)電機(jī)控制器電機(jī)驅(qū)動(dòng)程序參數(shù)設(shè)置。軟件名稱，Zolix Motion Manager 4。（所有的軟件在電腦 licj002備份軟件 有備份）

5、下面是有關(guān)重裝驅(qū)動(dòng)程序之后的軟件參數(shù)的設(shè)置，只作為參考。XaxisYaxisZaxisObjectType 110Unit00-1motorAngle0.90.9-1pitch22-1Chuandong-1-1-1XiFen88-1MinDisplace.000625.000625-11.3.2 壓力傳感-真空計(jì)目前采用的是硅壓力傳感器，測(cè)量絕對(duì)壓力，型號(hào)VG-1，沈陽(yáng)真研真空科技，吳春圖111 真空計(jì)控制器皮喇尼真空計(jì)（熱傳導(dǎo)真空壓力計(jì)），ZR-3，成都濱江儀器廠此種真空計(jì)最主要的特征為利用惠司同電橋精確測(cè)定溫度變化。其主要構(gòu)造分為兩部份，即裝于真空系統(tǒng)中的測(cè)壓管

6、及電源控制信號(hào)顯示系統(tǒng)。測(cè)壓管中具有一高電阻溫度系數(shù)材料制成的燈絲，通常由鉑銥合金制成。當(dāng)燈絲通過(guò)電流而加熱，溫度維持在約100-125之間，燈絲的溫度在不同壓力下因熱傳導(dǎo)系數(shù)不同而有所變化，又燈絲溫度和電組成比例，因此經(jīng)由電阻之測(cè)量可得知，電阻的測(cè)量則可經(jīng)由惠司同電橋得到精確的數(shù)值。經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)校正后側(cè)定誤差約在正負(fù)1-2%之間。不同氣體種類的修正參數(shù)。氣體派藍(lán)尼真空計(jì)熱電偶真空計(jì)氮?dú)?.0 1.0 空氣1.0 1.0 氧氣1.0 0.9 二氧化碳1.0 1.0 氬氣0.8 0.7 氫氣1.2 1.8 氦氣- 0.9 13真空冷噴涂系統(tǒng)說(shuō)明第2章 真空冷噴涂系統(tǒng)操作2.1 安全與禁忌不可先開(kāi)

7、機(jī)械泵，其啟動(dòng)氣壓應(yīng)在10KPa或更低。流量計(jì)不可承受高氣壓（2MPa），否則內(nèi)部橡膠密封無(wú)法承受，需拆散重裝。磁力加熱攪拌器可能漏電，小心電擊。步進(jìn)電機(jī)控制器的REM按鈕兼作急停按鈕。2.2 準(zhǔn)備工作照明燈、步進(jìn)電機(jī)、磁力加熱攪拌器、真空計(jì)、電機(jī)控制電機(jī)運(yùn)動(dòng)、真空計(jì)示數(shù)粉末、密封流量計(jì)、氣路閥門(mén)冷卻水固定基體，定位時(shí)參考電機(jī)運(yùn)動(dòng)坐標(biāo)系圖19基體固定頂視圖。清理氣路，主要是送粉罐。電機(jī)程序，確認(rèn)電機(jī)坐標(biāo)已經(jīng)歸零，確認(rèn)程序正確2.3 噴涂過(guò)程2.3.1 開(kāi)始冷卻水旋片泵（說(shuō)明書(shū)說(shuō)需要3次啟動(dòng)，以便于真空泵油潤(rùn)滑）羅茨泵氣流量（先主氣，后送粉氣，這樣可以控制兩個(gè)流量參數(shù)）。磁力攪拌送粉。啟用步進(jìn)電

8、機(jī)控制，基體運(yùn)動(dòng)，開(kāi)始掃描噴涂2.3.2 過(guò)程調(diào)節(jié)各種參數(shù)（氣流壓力、主氣流量、吹浮氣流量、磁力攪拌速度、電機(jī)運(yùn)動(dòng)速度、噴涂距離），噴涂試驗(yàn)。如果發(fā)現(xiàn)異常，參考2.5異常處理。2.3.3 結(jié)束磁力攪拌氦氣羅茨泵旋片泵冷卻水放氣步進(jìn)電機(jī)歸零旋緊放氣孔2.4 善后處理試驗(yàn)完畢，合上真空室上蓋，防止異物進(jìn)入。關(guān)閉真空室照明燈等電源。2.5 異常處理2.5.1 真空泵聲音異常首先拉閘斷電，先斷機(jī)械泵的。檢查保險(xiǎn)絲是否燒斷，其它參見(jiàn)真空泵說(shuō)明書(shū)。2.5.2 真空室氣壓不正常準(zhǔn)備階段氣壓不夠低，檢查真空室上蓋凡士林密封是否足夠，放氣孔是否旋緊，送粉罐是否旋緊。噴涂階段氣壓不夠低，檢查氣流量是否正常。噴涂階

9、段氣壓異常變低，檢查氦氣流量，很可能?chē)娮旎蚬艿辣欢隆?.5.3 氦氣流量異常下降首先考慮管道被堵，且多為噴嘴出口阻塞，此時(shí)需拆下噴嘴用噴嘴模具或通針配合超聲清洗，如果噴嘴清理不干凈，很容易再次被堵。如果排除噴嘴被堵的情況，檢查送粉罐出氣口。噴嘴被堵，原因可能是送粉量太大或者粉末流動(dòng)性差。其次可能氦氣用完，更換氦氣氣瓶。2.5.4 吹浮氣流量異常如果發(fā)現(xiàn)吹浮氣流量偏低甚至沒(méi)有，則檢查吹浮氣噴嘴。此時(shí)需拆下送粉罐上蓋，用超聲清洗配合壓縮空氣或水流清理粉末。第3章 真空冷噴涂系統(tǒng)維護(hù)3.1 氦氣電話：88242279。注意，換氦氣后保持流量計(jì)豎直，否則流量指示受重力影響而不準(zhǔn)確。3.2 真空泵換（加

10、）油機(jī)械泵。如果潤(rùn)滑機(jī)油油杯處看不到機(jī)油，則加油。泵體內(nèi)的高速真空油一般不用管。機(jī)加工車(chē)間有機(jī)床齒輪箱用機(jī)油，可用。旋片泵。靜置后，觀察油標(biāo)，如果不見(jiàn)油，則需加油。如果油色黯，則需換油。￥1020元/升，可以通真空泵分銷商）聯(lián)系購(gòu)買(mǎi)。真空協(xié)會(huì)價(jià)格偏貴。如果發(fā)現(xiàn)真空度達(dá)不到要求，可以懷疑旋片泵內(nèi)部需要清洗。需要拆洗全部零件，200503真空泵分銷商報(bào)價(jià)，清洗一次￥300500。出油孔油標(biāo)加油孔圖31 旋片泵換真空泵油3.3 噴嘴制作圖32 噴嘴制作工具和材料制作模具。取合適厚度的塞尺（校北門(mén)外西，省計(jì)量局西鄰，￥25）切割成需要的噴嘴內(nèi)腔形狀，然后用細(xì)砂紙打磨甚至拋光

11、，注意要有一定錐度以便于拔出。制作毛胚。用割管器（色譜儀配件，切記保存）切割銅管。長(zhǎng)度參考原噴嘴。壓制噴嘴。用臺(tái)鉗夾合扁銅管，小心不要讓模具無(wú)法拔出。密封接頭是色譜儀備件，目前全在VCS處，節(jié)約使用。3.4 系統(tǒng)密封各種橡膠圈，朝陽(yáng)門(mén)或玉祥門(mén)有賣(mài)。真空脂真空協(xié)會(huì)有賣(mài)，￥75/盒。清洗橡膠圈忌用丙酮。3.5 真空室清理真空室排油口打開(kāi)真空室上蓋，拆除傳感器和噴嘴支撐結(jié)構(gòu)，拔出過(guò)濾網(wǎng)，旋開(kāi)上圖所示真空室排油口，想辦法讓異物從真空室排油口排出。第4章 附錄及其它4.1 常用壓力單位換算表4.2 流量計(jì)流量換算 計(jì)算方法 氣體簡(jiǎn)化條件下只與密度有關(guān)系 玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)的刻度，是生產(chǎn)廠在本廠條件下用近于理

12、想流體的水和干燥空氣作介質(zhì)標(biāo)定得到的。但在流量計(jì)的使用現(xiàn)場(chǎng)，有兩種情形不能直接使用它的刻度值：一是測(cè)量介質(zhì)不是水和空氣，二是測(cè)且介質(zhì)雖為水和空氣，但其狀態(tài)(溫度壓力)與刻度狀態(tài)有別。這樣，在使用流量計(jì)時(shí)，為獲得正確測(cè)量結(jié)果，就出現(xiàn)了需要把刻度值進(jìn)行修正的問(wèn)題。因而，解決好玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)刻度修正，是用好這種儀表的關(guān)鍵。考慮到環(huán)保儀器使用轉(zhuǎn)子流量計(jì)大量的用采測(cè)氣體介質(zhì)流量，因此下文僅就氣體介質(zhì)測(cè)量時(shí)的密度修正進(jìn)行討論。由于氣體介質(zhì)的粘度很小，故而討論時(shí)略去粘度影響。實(shí)踐證明，這不影響修正后的精度。下面是轉(zhuǎn)子流量計(jì)流量一般表達(dá)式。式(1)是不考慮介質(zhì)粘度影響的計(jì)算式。從(1)式可明顯得出：當(dāng)一臺(tái)流量計(jì)浮子位置高度確定后，被測(cè)介質(zhì)密度是唯一的變數(shù)，如果被測(cè)介質(zhì)密度不同，則介質(zhì)通過(guò)流量計(jì)的流量也不同。因此，刻度修正實(shí)際上也就是流量修正。如果兩種不同密度1、2的介質(zhì)分別通過(guò)同臺(tái)轉(zhuǎn)子流量計(jì)時(shí)，若浮子平衡在同一位、置上，由(1)式得轉(zhuǎn)子流量計(jì)密度換算的基本式：氣體密度相關(guān)量有 溫度 壓強(qiáng) 分子量 4.3 目前系統(tǒng)參數(shù)狀態(tài)輸入0.8MPa泵口 (KPa)管道(KPa)真空室(KPa)全過(guò)濾200601090 L/min0.040.050.242 L/min0.140.5