真空冷噴涂系統(tǒng)說明Swds

1、真空冷噴涂系統(tǒng)說明劉廣劍 2006.05目錄第1章 真空冷噴涂系統(tǒng)構(gòu)成與主要參數(shù)11.1 真空系統(tǒng)11.1.1 真空泵11.1.2 真空室21.2 送氣送粉系統(tǒng)31.2.1 高壓氣路31.2.2 送粉器31.2.3 噴槍31.2.4 基體固定41.3 噴涂輔助與傳感51.3.1 基體運動控制-電機51.3.2 壓力傳感-真空計6第2章 真空冷噴涂系統(tǒng)操作72.1 準備工作72.2 噴涂過程72.2.1 開始72.2.2 過程72.2.3 結(jié)束72.3 善后處理72.4 異常處理72.4.1 真空泵聲音異常72.4.2 真空室氣壓不夠低82.4.3 氦氣流量異常下降82.4.4 吹浮氣流量異常8

2、第3章 真空冷噴涂系統(tǒng)維護93.1 氦氣93.2 真空泵換（加）油93.3 噴嘴制作103.4 系統(tǒng)密封103.5 真空室清理10第4章 附錄及其它114.1 常用壓力單位換算表114.2 流量計流量換算114.3 目前系統(tǒng)參數(shù)狀態(tài)134.4 其它13第4章 附錄及其它第1章 真空冷噴涂系統(tǒng)構(gòu)成與主要參數(shù)1.1 真空系統(tǒng)1.1.1 真空泵真空泵。西安，閆先生（技術(shù)辦公沈陽，劉廠長（電氣技術(shù)銷售89730592，郭慶13704017807。真空協(xié)會，辦公室82219243，技術(shù)86376

3、407，咸寧路東二環(huán)交界點西南。旋片泵，2XT-70圖11 旋片泵電磁閥，DDCY-80Q機械增壓泵，ZJP-300潤滑機油油杯圖12 機械泵￥28800.0020050628，皮拉尼真空計測得極限真空，旋片泵2Pa，機械泵0.1Pa。1.1.2 真空室步進電機控制線放氣孔冗余引線圖13 真空室外形噴槍（噴嘴及附件）真空計壓力傳感器冗余引線圖14 真空室內(nèi)腔冗余引線有編號，寫于白色高溫膠帶。1.2 送氣送粉系統(tǒng)1.2.1 高壓氣路流量計吹浮氣流量主氣流量減壓閥圖15 高壓氣路1.2.2 送粉器吹浮氣噴嘴圖16 送粉罐吹浮氣噴嘴斜向下開口，向下吹氣便于對流。距離送粉罐底部有3cm左右距離，減少粉

4、末倒灌入吹浮氣阻塞吹浮噴嘴的可能性。1.2.3 噴槍噴槍結(jié)構(gòu)與定位，參見下圖。噴嘴制作方法見3.3。試驗中的噴涂距離，通過噴嘴定位高度（目前72mm）調(diào)節(jié)實現(xiàn)。72螺釘-固定噴嘴圖17 噴槍結(jié)構(gòu)及定位1.2.4 基體固定坐標步進電機在內(nèi)部基體固定在此圖18 基體固定側(cè)視圖(x, y)= (0, 0)X-8Y=5圖19基體固定頂視圖1.3 噴涂輔助與傳感1.3.1 基體運動控制-電機電機及控制器型號，北京卓立漢光儀器有限公司 SC3。按鈕REM圖110 步進電機控制器電機驅(qū)動程序參數(shù)設置。軟件名稱，Zolix Motion Manager 4。（所有的軟件在電腦 licj002備份軟件 有備份）

5、下面是有關(guān)重裝驅(qū)動程序之后的軟件參數(shù)的設置，只作為參考。XaxisYaxisZaxisObjectType 110Unit00-1motorAngle0.90.9-1pitch22-1Chuandong-1-1-1XiFen88-1MinDisplace.000625.000625-11.3.2 壓力傳感-真空計目前采用的是硅壓力傳感器，測量絕對壓力，型號VG-1，沈陽真研真空科技，吳春圖111 真空計控制器皮喇尼真空計（熱傳導真空壓力計），ZR-3，成都濱江儀器廠此種真空計最主要的特征為利用惠司同電橋精確測定溫度變化。其主要構(gòu)造分為兩部份，即裝于真空系統(tǒng)中的測壓管

6、及電源控制信號顯示系統(tǒng)。測壓管中具有一高電阻溫度系數(shù)材料制成的燈絲，通常由鉑銥合金制成。當燈絲通過電流而加熱，溫度維持在約100-125之間，燈絲的溫度在不同壓力下因熱傳導系數(shù)不同而有所變化，又燈絲溫度和電組成比例，因此經(jīng)由電阻之測量可得知，電阻的測量則可經(jīng)由惠司同電橋得到精確的數(shù)值。經(jīng)標準真空計校正后側(cè)定誤差約在正負1-2%之間。不同氣體種類的修正參數(shù)。氣體派藍尼真空計熱電偶真空計氮氣1.0 1.0 空氣1.0 1.0 氧氣1.0 0.9 二氧化碳1.0 1.0 氬氣0.8 0.7 氫氣1.2 1.8 氦氣- 0.9 13真空冷噴涂系統(tǒng)說明第2章 真空冷噴涂系統(tǒng)操作2.1 安全與禁忌不可先開

7、機械泵，其啟動氣壓應在10KPa或更低。流量計不可承受高氣壓（2MPa），否則內(nèi)部橡膠密封無法承受，需拆散重裝。磁力加熱攪拌器可能漏電，小心電擊。步進電機控制器的REM按鈕兼作急停按鈕。2.2 準備工作照明燈、步進電機、磁力加熱攪拌器、真空計、電機控制電機運動、真空計示數(shù)粉末、密封流量計、氣路閥門冷卻水固定基體，定位時參考電機運動坐標系圖19基體固定頂視圖。清理氣路，主要是送粉罐。電機程序，確認電機坐標已經(jīng)歸零，確認程序正確2.3 噴涂過程2.3.1 開始冷卻水旋片泵（說明書說需要3次啟動，以便于真空泵油潤滑）羅茨泵氣流量（先主氣，后送粉氣，這樣可以控制兩個流量參數(shù)）。磁力攪拌送粉。啟用步進電

8、機控制，基體運動，開始掃描噴涂2.3.2 過程調(diào)節(jié)各種參數(shù)（氣流壓力、主氣流量、吹浮氣流量、磁力攪拌速度、電機運動速度、噴涂距離），噴涂試驗。如果發(fā)現(xiàn)異常，參考2.5異常處理。2.3.3 結(jié)束磁力攪拌氦氣羅茨泵旋片泵冷卻水放氣步進電機歸零旋緊放氣孔2.4 善后處理試驗完畢，合上真空室上蓋，防止異物進入。關(guān)閉真空室照明燈等電源。2.5 異常處理2.5.1 真空泵聲音異常首先拉閘斷電，先斷機械泵的。檢查保險絲是否燒斷，其它參見真空泵說明書。2.5.2 真空室氣壓不正常準備階段氣壓不夠低，檢查真空室上蓋凡士林密封是否足夠，放氣孔是否旋緊，送粉罐是否旋緊。噴涂階段氣壓不夠低，檢查氣流量是否正常。噴涂階

9、段氣壓異常變低，檢查氦氣流量，很可能噴嘴或管道被堵。2.5.3 氦氣流量異常下降首先考慮管道被堵，且多為噴嘴出口阻塞，此時需拆下噴嘴用噴嘴模具或通針配合超聲清洗，如果噴嘴清理不干凈，很容易再次被堵。如果排除噴嘴被堵的情況，檢查送粉罐出氣口。噴嘴被堵，原因可能是送粉量太大或者粉末流動性差。其次可能氦氣用完，更換氦氣氣瓶。2.5.4 吹浮氣流量異常如果發(fā)現(xiàn)吹浮氣流量偏低甚至沒有，則檢查吹浮氣噴嘴。此時需拆下送粉罐上蓋，用超聲清洗配合壓縮空氣或水流清理粉末。第3章 真空冷噴涂系統(tǒng)維護3.1 氦氣電話：88242279。注意，換氦氣后保持流量計豎直，否則流量指示受重力影響而不準確。3.2 真空泵換（加

10、）油機械泵。如果潤滑機油油杯處看不到機油，則加油。泵體內(nèi)的高速真空油一般不用管。機加工車間有機床齒輪箱用機油，可用。旋片泵。靜置后，觀察油標，如果不見油，則需加油。如果油色黯，則需換油。￥1020元/升，可以通真空泵分銷商）聯(lián)系購買。真空協(xié)會價格偏貴。如果發(fā)現(xiàn)真空度達不到要求，可以懷疑旋片泵內(nèi)部需要清洗。需要拆洗全部零件，200503真空泵分銷商報價，清洗一次￥300500。出油孔油標加油孔圖31 旋片泵換真空泵油3.3 噴嘴制作圖32 噴嘴制作工具和材料制作模具。取合適厚度的塞尺（校北門外西，省計量局西鄰，￥25）切割成需要的噴嘴內(nèi)腔形狀，然后用細砂紙打磨甚至拋光

11、，注意要有一定錐度以便于拔出。制作毛胚。用割管器（色譜儀配件，切記保存）切割銅管。長度參考原噴嘴。壓制噴嘴。用臺鉗夾合扁銅管，小心不要讓模具無法拔出。密封接頭是色譜儀備件，目前全在VCS處，節(jié)約使用。3.4 系統(tǒng)密封各種橡膠圈，朝陽門或玉祥門有賣。真空脂真空協(xié)會有賣，￥75/盒。清洗橡膠圈忌用丙酮。3.5 真空室清理真空室排油口打開真空室上蓋，拆除傳感器和噴嘴支撐結(jié)構(gòu)，拔出過濾網(wǎng)，旋開上圖所示真空室排油口，想辦法讓異物從真空室排油口排出。第4章 附錄及其它4.1 常用壓力單位換算表4.2 流量計流量換算 計算方法 氣體簡化條件下只與密度有關(guān)系 玻璃轉(zhuǎn)子流量計的刻度，是生產(chǎn)廠在本廠條件下用近于理

12、想流體的水和干燥空氣作介質(zhì)標定得到的。但在流量計的使用現(xiàn)場，有兩種情形不能直接使用它的刻度值：一是測量介質(zhì)不是水和空氣，二是測且介質(zhì)雖為水和空氣，但其狀態(tài)(溫度壓力)與刻度狀態(tài)有別。這樣，在使用流量計時，為獲得正確測量結(jié)果，就出現(xiàn)了需要把刻度值進行修正的問題。因而，解決好玻璃轉(zhuǎn)子流量計刻度修正，是用好這種儀表的關(guān)鍵?？紤]到環(huán)保儀器使用轉(zhuǎn)子流量計大量的用采測氣體介質(zhì)流量，因此下文僅就氣體介質(zhì)測量時的密度修正進行討論。由于氣體介質(zhì)的粘度很小，故而討論時略去粘度影響。實踐證明，這不影響修正后的精度。下面是轉(zhuǎn)子流量計流量一般表達式。式(1)是不考慮介質(zhì)粘度影響的計算式。從(1)式可明顯得出：當一臺流量計浮子位置高度確定后，被測介質(zhì)密度是唯一的變數(shù)，如果被測介質(zhì)密度不同，則介質(zhì)通過流量計的流量也不同。因此，刻度修正實際上也就是流量修正。如果兩種不同密度1、2的介質(zhì)分別通過同臺轉(zhuǎn)子流量計時，若浮子平衡在同一位、置上，由(1)式得轉(zhuǎn)子流量計密度換算的基本式：氣體密度相關(guān)量有 溫度 壓強 分子量 4.3 目前系統(tǒng)參數(shù)狀態(tài)輸入0.8MPa泵口 (KPa)管道(KPa)真空室(KPa)全過濾200601090 L/min0.040.050.242 L/min0.140.5