Horiba流量計中文說明書

1、C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved. 質(zhì)質(zhì)量流量控制器量流量控制器簡簡介介上海堀上海堀場貿(mào)場貿(mào)易有限公司易有限公司C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.質(zhì)量流量控制器主要是由傳感器、電路板和驅(qū)動閥三大部分組成。是能夠?qū)怏w流量做精密測量和控制的一種儀器。主要使用在半導(dǎo)體工業(yè)和平面顯示器制造和太陽能電子方面。質(zhì)量流量：質(zhì)量流量控制器感測的是通過的氣體的分子量，工作時不受外界的溫度和壓力的影響。CONTROLELECTRONICS(P-I-D)SIGNALPROCESSING電

2、電源源: :+/- +/- 15VDC15VDC設(shè)設(shè)定信號定信號: 05V: 05V輸輸出信號出信號: 05V: 05V進進氣端氣端出氣端出氣端 什么是什么是質(zhì)質(zhì)量流量控制器量流量控制器C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.閥驅(qū)動傳感器控制閥側(cè)流管 MFC MFC 的內(nèi)部的內(nèi)部結(jié)結(jié)構(gòu)構(gòu)圖圖C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved. 傳傳感器的感器的結(jié)結(jié)構(gòu)構(gòu)熱傳感器TuTuTdTdT.根據(jù)傳感器的結(jié)構(gòu)，當(dāng)沒有氣體流入時，傳感器兩邊的溫度呈拋物線狀均勻分布。 當(dāng)有氣體流過時，上流端的

3、自加熱電阻產(chǎn)生的熱量被帶走，從而兩端形成一定的溫度差，使傳感器兩邊的溫度曲線分布不再平衡。C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.傳傳感器感器側(cè)側(cè)流管流管傳傳感器在不同感器在不同壓壓力下的特征力下的特征必必須須使使側(cè)側(cè)流管流管設(shè)計為層設(shè)計為層流流結(jié)結(jié)構(gòu)，構(gòu)，這樣這樣才能流才能流出相出相對穩(wěn)對穩(wěn)定和精準(zhǔn)的流量定和精準(zhǔn)的流量 。 。（実用新案第號）（実用新案第號）側(cè)側(cè)流管在不同流管在不同壓壓力下的特征力下的特征C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.壓電壓電陶瓷陶瓷驅(qū)動驅(qū)動器器陶瓷的

4、堆棧結(jié)構(gòu)外殼構(gòu)造干燥的氮氣連接端口陶瓷陶瓷驅(qū)動驅(qū)動器的內(nèi)部器的內(nèi)部結(jié)結(jié)構(gòu)構(gòu)MFC MFC 的的閥結(jié)閥結(jié)構(gòu)構(gòu)C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.陶瓷陶瓷閥閥的工作效果的工作效果圖圖_+_+提供高的直流提供高的直流電壓電壓壓電元件移動方向壓電壓電元件的伸元件的伸長長MFC MFC 的的閥結(jié)閥結(jié)構(gòu)構(gòu)C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.5V0F l o w R a t e (sccm/slm)100 96 104 零點零點對實際對實際流量的影響流量的影響+200mv -200mv

5、200mV200mV 5000mV(5V) 5000mV(5V) 0.04(40.04(4）100SCCM100SCCM4 44SCCM4SCCM5V0F l o w R a t e (sccm/slm)100 4V3V2V1V80 60 40 20 C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.SCCM 標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘SLM 標(biāo)準(zhǔn)立方升每分鐘1000sccm = 1slmSCCM和SLM是指在標(biāo)準(zhǔn)條件下的體積單位。標(biāo)準(zhǔn)條件指溫度為零攝氏度，一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的條件。 在美國，標(biāo)準(zhǔn)條件被廣泛接受和認(rèn)同。 .然而，在其它不同的國家通常使用的流量

6、單位除了SCCM和SLM外還有CCM/ LM (日本) 溫度為 25C, 一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓NCCM/ NLM (日本) 溫度為20C, 一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 CCM作流量單位和SCCM作流量單位的MFC之間的流量相差大約為9.1%。什么是什么是SCCM /SLM SCCM /SLM 及區(qū)別及區(qū)別C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.氣體 AN2真實流量需要流量QA = C.F.A * QN2QA : 氣體 A的流量C.F.A: 氣體A 到N2的轉(zhuǎn)換因數(shù)QN2: N2的流量v轉(zhuǎn)換因數(shù)是一個平均值。但是實際的轉(zhuǎn)換因數(shù)可能會因為流量的范圍和外界的壓力和溫度的影響而稍有不同。 v轉(zhuǎn)換因數(shù)是使用氮氣進行轉(zhuǎn)換，如果是用其它氣體作為測量氣體，那么測出的氣體流量值則會偏差很大。 N2什么是什么是MFCMFC的的轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)換因數(shù)因數(shù)