電子氣體化學(xué)品應(yīng)用與安全培訓(xùn)

1、 電子氣體化學(xué)品電子氣體化學(xué)品 應(yīng)用與安全應(yīng)用與安全 本節(jié)內(nèi)容本節(jié)內(nèi)容 l一、氣體輸送系統(tǒng)一、氣體輸送系統(tǒng) l二、化學(xué)品輸送系統(tǒng)二、化學(xué)品輸送系統(tǒng) l三、氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)三、氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng) l四、工藝安全管理及事故案例分析四、工藝安全管理及事故案例分析 l五、個人防護(hù)用品（五、個人防護(hù)用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)）及應(yīng)急反應(yīng) l六、廠務(wù)運(yùn)行管理實(shí)務(wù)六、廠務(wù)運(yùn)行管理實(shí)務(wù) 一、氣體輸送系統(tǒng)一、氣體輸送系統(tǒng) 1、半導(dǎo)體廠常用氣體分類及其輸送方式、半導(dǎo)體廠常用氣體分類及其輸送方式 半導(dǎo)體廠常用氣體半導(dǎo)體廠常用氣體屬性屬性輸送方式輸送方式備注備注 大宗氣體N 、Ar、He、H 、O 液罐 多用于液化氣

2、體，低 溫液體，體積膨脹率 大，會產(chǎn)生煙霧 長管拖車 用于大宗氣體難于液 化氣體 集氣格 用于高壓難于液化氣 體 特殊氣體 可燃?xì)怏w 腐蝕性氣體 毒性氣體 氧化性氣體 惰性氣體 大宗氣體：BSGS 非大宗氣體：GC/GR BSGS多配置加熱器， 主要形式有： ISO Tank、Tube Traller、Y-Cylinder 氣體輸送系統(tǒng)氣體輸送系統(tǒng) 2、氣柜的作用：、氣柜的作用： 、實(shí)現(xiàn)對工藝設(shè)備的連續(xù)供氣：采用雙瓶切換系統(tǒng)； 、安全地輸送工藝氣體至工藝設(shè)備： 、對工藝設(shè)備的安全考慮：壓力調(diào)節(jié)、氣體凈化、吹掃； 、對操作人員的安全考慮：柜體隔離、排風(fēng)系統(tǒng)、報警系統(tǒng)、緊急切斷、 全自動控制系統(tǒng)；

3、 、對環(huán)境的安全考慮：工藝生產(chǎn)要求、氣體的不同性質(zhì)、當(dāng)前項目預(yù)算、 將來項目擴(kuò)展需求。 3、氣柜使用中常見問題及注意事項：、氣柜使用中常見問題及注意事項： 、調(diào)壓時不準(zhǔn)或者不穩(wěn)： 原因是減壓閥具有機(jī)械滯后性，工作使用中可將調(diào)壓閥調(diào)至比所需壓力低一些， 氣體輸送系統(tǒng)氣體輸送系統(tǒng) 然后再等一會看壓力是否穩(wěn)定在所需壓力。 、日常工作如需操作氣柜，只需開窗操作，只有在換瓶時才開門! 、換鋼瓶時需要至少2個人共同操作，一個人操作，另一個人需要確認(rèn)每一步 是否正確、規(guī)范。 氣源、氣瓶的配管要用塑料管或者尼龍管，這樣發(fā)生燃燒事故時可燒掉從而 切斷氣源，降低危險性。 、氣柜上的過流保護(hù)開關(guān)參數(shù)不可調(diào)，安裝時必

4、須垂直安裝。 、SiH 等易燃?xì)怏w的鋼瓶最好配置Auto Guard（鋼瓶接口保護(hù)器），以防止 在換鋼瓶時發(fā)生事故。 、對于在我們管線分布上有潛在泄露點(diǎn)的地方，比如焊接點(diǎn)等連接點(diǎn)，要配 置帶抽風(fēng)的罩子，這樣可以更好的對人員和設(shè)備進(jìn)行保護(hù)。 氣體輸送系統(tǒng)氣體輸送系統(tǒng) 、氣柜最好配置雙瓶切換，這樣可以一側(cè)氣瓶用盡，另一側(cè)自動供氣，這樣 可以實(shí)現(xiàn)對工藝設(shè)備的連續(xù)供氣。 、不同特氣對減壓閥的選型也會有不同的要求，對于閥門的選型也是需要注 意的地方。比如如果我們有閥門壞了，需要更換，就需要注意更換閥門的型號。 、過流保護(hù)開關(guān)是個非常有必要安裝的部件，作用就是氣體流量異常變大的 時候可以把氣體停掉，一般正

5、帆都會建議客戶安裝過流保護(hù)開關(guān)。 二、化學(xué)品輸送系統(tǒng)二、化學(xué)品輸送系統(tǒng) 1、化學(xué)品在半導(dǎo)體工藝中的作用：、化學(xué)品在半導(dǎo)體工藝中的作用： 清洗芯片上的雜質(zhì)、微粒子； 刻蝕芯片圖案； 顯影芯片圖案； 研磨芯片； 清洗制程設(shè)備零配件 2、常用化學(xué)品性質(zhì)和分類：、常用化學(xué)品性質(zhì)和分類： 、酸性： 腐蝕性：H SO 、HCL、HNO 、HF、H PO 毒性：HF、Acetone 化學(xué)品輸送系統(tǒng)化學(xué)品輸送系統(tǒng) 、堿性：NH OH、KOH、Developer 、有機(jī)溶劑：IPA、光阻液 EKC、EBR、HMDS 、氧化性：H SO 、H O 、懸浮液（Slurry）：Oxlde（SS-25）、Tungste

6、n（W-2000） 3、化學(xué)品輸送系統(tǒng)操作安全、化學(xué)品輸送系統(tǒng)操作安全 、化學(xué)系統(tǒng)運(yùn)行需要的證照與認(rèn)證 操作人員的安全管理非常重要，所有操作人員應(yīng)具備以下資質(zhì)： 壓力容器操作許可證壓力容器操作許可證 危險化學(xué)品操作許可證危險化學(xué)品操作許可證 叉車操作許可證（如有使用）叉車操作許可證（如有使用） 化學(xué)品輸送系統(tǒng)化學(xué)品輸送系統(tǒng) 、熟知化學(xué)品安全技術(shù)說明書（MSDS/CSDS） 操作人員可以從中學(xué)習(xí)到化學(xué)品的特性，毒性，危害性，中毒預(yù)防措施，緊急 事故處理等。 、化學(xué)品系統(tǒng)的PPE使用 如酸桶更換作業(yè)時需使用的PPE：全面式呼吸器、防酸手套、防化服、安全鞋。 4、化學(xué)品輸送管道材質(zhì)：、化學(xué)品輸送管道

7、材質(zhì)： 酸堿類：內(nèi)管PFA，外管CPVC 溶劑類：工藝管線SUS316EP，或外管SUS304+PFA內(nèi)管方式 三、氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)三、氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng) 1、氣體化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng)關(guān)鍵部件、氣體化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng)關(guān)鍵部件 部件名稱部件名稱工作原理工作原理規(guī)格參數(shù)規(guī)格參數(shù) 電化學(xué)氣體偵測器 被測氣體在電解液表面反應(yīng)， 在電極間形成擴(kuò)散電流 輸出信號：繼電器，420mA 模擬量，POE網(wǎng)絡(luò)信號； Sensor工作環(huán)境040； Sensor使用壽命2年（1年） 紙帶式偵測器 被偵測氣體與紙帶反應(yīng)產(chǎn)生 色斑，色斑顏色深淺對光學(xué) 分析產(chǎn)生不同結(jié)果，判斷氣 體泄露濃度大小 輸出信號：繼電器，420mA 模擬量

8、，RS485；取樣管道 最長90米；工作環(huán)境要求 1040,20-80%rH；紙帶使 用壽命：3月（1月） 火焰?zhèn)蓽y器（UV/IR） 當(dāng)探測器檢測到火焰產(chǎn)生的 紅外線（IR）或紫外線（UV） 時，經(jīng)過內(nèi)部邏輯判斷，輸 出報警信號給出GMS系統(tǒng)聯(lián) 動 工作環(huán)境要求：-1050， 相對濕度1090%；輸出信號： 繼電器，RS485通訊 氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng) 液體泄漏感知帶 當(dāng)化學(xué)品遇到感知帶，引起 感知帶導(dǎo)電孔間短路，導(dǎo)致 感知帶阻值改變，從而判斷 是否有化學(xué)品泄漏 液體泄漏傳感器 電容式傳感器原理，當(dāng)傳感 器下側(cè)面有液體（化學(xué)品或 水），傳感器會感測到信號， 并輸出電壓信號至控制

9、單元， 進(jìn)行泄漏報警和動作連鎖 浮球液位開關(guān) 通過收液槽位上升帶動浮球 位置升高，浮球內(nèi)置磁鐵觸 發(fā)內(nèi)置磁感開關(guān)動作，從而 輸出報警信號至控制單元， 啟動泄漏報警和連鎖響應(yīng) 報警塔燈高亮LED顯示 氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng) 2、氣體監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計、氣體監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計 、必須監(jiān)測氣體種類 自然氣體（如SiH4），可燃性氣體（如CH4/H2）、毒性氣體（如PH3/AsH3）、 腐蝕性氣體（如HCL/HBR）、氧化性氣體（如O2/CL2）、惰性氣體密閉區(qū)域 （安裝O2探頭） 、偵測器安裝 、偵測器取樣管長度規(guī)定： 烷類氣體和氫氣取樣管最長30米，氨氣取樣管最長10米，HCL等酸類氣體取樣 管

10、最長5米 、偵測器安裝高度要求： 距地面1.7米左右，方便操作和觀察 氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng) 、偵測器取樣點(diǎn)位置規(guī)定： 特氣設(shè)備釋放源殼體排風(fēng)，特氣相對密度小于或等于0.75時，取樣點(diǎn)同時放置 在釋放源上方和廠方最高點(diǎn)易積氣處；特氣相對密度大于0.75時，取樣點(diǎn)設(shè)置 在釋放源下方距地面高度0.5米處 、偵測器安裝環(huán)境要求： 環(huán)境溫度0至40，環(huán)境濕度20%至80%RH，遠(yuǎn)離強(qiáng)電干擾 、偵測器探頭選型 、每種特氣原則上采用對應(yīng)氣體探頭 、同類型氣體混合排放采用毒性最強(qiáng)特氣探頭 、混合氣體偵測，采用最先到達(dá)報警濃度值特氣探頭 、特殊化學(xué)品泄露偵測，根據(jù)空氣反應(yīng)決定特氣探頭 氣體化學(xué)品

11、監(jiān)測系統(tǒng)氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng) 、GDS邏輯控制 本地?zé)羲镜責(zé)羲锌責(zé)羲锌責(zé)羲?緊急切斷緊急切斷 氣源氣源 廠務(wù)聯(lián)動廠務(wù)聯(lián)動備注備注 泄露濃度 12TVL或 25%LEL 黃燈報警黃燈報警不切斷不聯(lián)動 泄露濃度 TVL或 50%LEL 紅燈報警+ 蜂鳴 紅燈報警+ 蜂鳴 切斷聯(lián)動 緊急停止 按鈕 （EMO） 紅燈報警+ 蜂鳴 紅燈報警+ 蜂鳴 切斷聯(lián)動 氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)氣體化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng) 、基于數(shù)據(jù)總線網(wǎng)絡(luò)架構(gòu) 基于POE網(wǎng)絡(luò)通信環(huán)形網(wǎng)絡(luò)架構(gòu) 3、工作人員更換閥門時的操作注意事項：、工作人員更換閥門時的操作注意事項： 、更換一個閥門時如果太緊不能強(qiáng)行拆卸，可以把上方或者下方閥門的螺 絲擰松一

12、點(diǎn)，再擰需要更換的閥門就比較容易。 、用兩個扳手?jǐn)Q閥門螺絲時兩個扳手的夾角不能太大，而且最好用一只手兩 個扳手一塊用力。 、換墊片時要換干凈的手套，每次換閥門都要換墊片。 、擰緊螺絲的時候用手?jǐn)Q緊后再用扳手?jǐn)Q1/8圈就可以，不能使太大勁去擰， 容易使墊片變形。 四、工藝安全管理及事故案例分析四、工藝安全管理及事故案例分析 工藝安全管理（工藝安全管理（PSM）：通過執(zhí)行工程標(biāo)準(zhǔn)、最大實(shí)踐、工藝設(shè)計、系統(tǒng)操作 和維護(hù)程序，以最大限度地降低或消除化工過程運(yùn)行時造成的人員傷亡、財產(chǎn) 損失和環(huán)境破壞。 工藝安全管理的工藝安全管理的14個要素：個要素： 工藝安全信息（PSI），工藝危害分析，變更管理，開工

13、前安全檢查（ORI）， 操作規(guī)程，培訓(xùn)，機(jī)械完整性（MI），動火作業(yè)許可證，承包商，應(yīng)急準(zhǔn)備和 響應(yīng)，事件調(diào)查，商業(yè)機(jī)密，符合性審查，員工參與 五、個人防護(hù)用品（五、個人防護(hù)用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)）及應(yīng)急反應(yīng) 1、PPE： 主要用于保護(hù)雇員免受由于接觸化學(xué)輻射、電動設(shè)備、人力設(shè)備、機(jī)械設(shè)備或 在一些危險工作場所而引起的嚴(yán)重的工傷或疾病。 2、PPE的等級和分類的等級和分類 等級等級使用條件使用條件包含裝備包含裝備 LEVEL D-最低等級 滿足最低人身安全保護(hù)的要 求，僅用于可能受到污染物 侵?jǐn)_的低危害場合，在空氣 中不含毒害物時使用 安全眼鏡、安全帽、安全鞋、 工作服、工作手套（護(hù)目鏡、

14、面罩） 個人防護(hù)用品（個人防護(hù)用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)）及應(yīng)急反應(yīng) LEVEL C 當(dāng)需要呼吸保護(hù)時，皮膚會 接觸到毒害物時，應(yīng)知道空 氣中的污染物種類和濃度， 應(yīng)使用與污染物相應(yīng)的呼吸 器，呼吸器的吸附與中和能 力應(yīng)大于毒害物的濃度當(dāng)量 D級裝備、使用通過審批的： 呼吸器、帶頭套的防濺灑服 或防火服、雙層手套、靴子 LEVEL B 當(dāng)需要最大的呼吸防護(hù)時， 特別考慮吸入保護(hù)，而無須 特殊的皮膚保護(hù)時 D級裝備、自給式呼吸器、 帶頭套的防濺灑服或防火服、 雙層手套、靴子 LEVEL A-最高等級 需滿足最大的呼吸與皮膚防 護(hù)的場合，適用于毒害物不 能被識別的場合 D級裝備、自給式呼吸器、 全封

15、閉化學(xué)防護(hù)衣、內(nèi)層手 套 個人防護(hù)用品（個人防護(hù)用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)）及應(yīng)急反應(yīng) 3、使用PPE時應(yīng)注意事項！ 、脫衣服時，需抓緊衣服內(nèi)側(cè)脫下； 、防護(hù)衣最好為一次性使用，若多次使用需要清洗時，洗過之后不可曬干， 需晾干； 、A級防護(hù)衣需定期做氣密性檢查； 、穿A級防護(hù)衣時，穿戴者最好攜帶通訊工具和小刀。 4、啟動應(yīng)急反應(yīng)的六個關(guān)鍵： 、應(yīng)急人員組織：分工明確，職能清晰，要求需清楚；小組成員要固定， 并有培訓(xùn)計劃。 、應(yīng)急器材設(shè)備的準(zhǔn)備及使用：須列出物資清單及負(fù)責(zé)人；器材使用有效 個人防護(hù)用品（個人防護(hù)用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)）及應(yīng)急反應(yīng) 及安全檢查。 、人員疏散：逃生通道及集結(jié)點(diǎn)安全；廣播明確指示；疏散路線人員布點(diǎn)指揮，確保 安全有序離開危險區(qū)域；人員清點(diǎn)。 、