【2019年整理】硅片檢查作業(yè)(新)

1、硅片檢查作業(yè) Hairuri 中國無錫-江陰海潤科技有限公司 受控狀態(tài) 實(shí)施日期 2007 年 04 月 01 日 適用部門 硅片生產(chǎn)部 受控 實(shí)施責(zé)任者 車間主管 適用范圍 適用于清洗后硅片檢查作業(yè)。 對(duì)象產(chǎn)品 硅片 使用設(shè)備 使用材料 關(guān)鍵參數(shù) WT-1000少子壽命測(cè)定儀、MS203 p -t測(cè)定儀 一次性塑料手套、口罩、泡沫包裝盒 注意事項(xiàng)、自互檢要求 作業(yè)步驟與方法 1 檢查前準(zhǔn)備 用酒精擦拭檢查臺(tái)，確認(rèn)檢查臺(tái)上沒有其他硅片； 戴好口罩、手套（手套需用灑精擦拭）； 確認(rèn)工藝單上的晶體來源、編號(hào)、電阻率、規(guī)格尺寸、刀號(hào)、機(jī)臺(tái)號(hào)及備注; 清點(diǎn)硅片枚數(shù)與工藝單記錄是否一致； 測(cè)定前先點(diǎn)檢校

2、正p -t測(cè)量?jī)x； 將臺(tái)車上的樣品硅片同工藝單一起搬至p -t檢測(cè)臺(tái)上； 在線切割機(jī)抽檢數(shù)據(jù)表上寫明刀號(hào)、機(jī)器號(hào)、厚度、晶體來源及晶體編號(hào); 抽樣品檢測(cè) 抽樣品檢查項(xiàng)目： 中心厚度、TTV、表面質(zhì)量記錄在線切割機(jī)抽檢數(shù)據(jù)表上； 電阻率（取樣片中的一個(gè)值）記錄在電阻率測(cè)試記錄單上； 取頭尾各1枚測(cè)量少子壽命將值記錄填寫在工藝單的備注欄內(nèi)； 取樣片中的任意1枚測(cè)量對(duì)角線及寬度尺寸確認(rèn)值是否在規(guī)格范圍內(nèi); 1、 2、 3、 4、 產(chǎn)品檢測(cè) 將抽樣品返回母體； 按左圖1的檢查方式檢 查硅片外周的狀況；按照 左圖2的檢查方式分 8 個(gè)面來檢查硅的面狀況； 圖2 確認(rèn)所有片盒中除端數(shù)盒外是否都是滿盒； 外

3、觀檢查方法：圖1 生：本文件的更改，應(yīng)由建議者提出申請(qǐng)， 經(jīng)批準(zhǔn)后方可變更。 編制 審核 會(huì)審 批準(zhǔn) 變更內(nèi)容： 韓雄偉 孔衛(wèi)民 張洪亮 陳文杰 編號(hào) 版本號(hào) 總2頁 ZY/P-0010 a 第1頁 硅片檢查作業(yè) Hairuri中國無錫-江陰海潤科技有限公司 受控狀態(tài) 實(shí)施日期 2007 年 04 月 01 日 適用部門硅片生產(chǎn)部 受控 實(shí)施責(zé)任者 車間主管 能作業(yè)步驟與方法注意事項(xiàng)、自互檢要求 檢查內(nèi)容，將硅片中的等外品挑出暫放在指定位置（不良類別：崩邊、缺角、 4產(chǎn)品檢測(cè) 續(xù) TTV、超厚、超薄、裂紋、裂片、嚴(yán)線）判定參照檢查標(biāo)準(zhǔn); 將檢查后的合格硅片放在指定位置，每50枚隔一張白紙、每1

4、00枚隔一張海 綿； 為填充材。寫 92%時(shí)需及時(shí) 檢查后包裝 好合格證，粘貼在外包裝上并 將等外品放到等外品置場(chǎng)； 將零散的合格片同工藝單一起交給組長待合并； 將工藝單的記錄輸入電腦，并統(tǒng)計(jì)該根晶棒的合格率當(dāng)合格率 上報(bào)上長； 合并前核對(duì)工藝單的數(shù)據(jù)，確認(rèn)檢查零散合格片數(shù)量與工藝單數(shù)量是否一致； 一根棒的硅片最多分兩個(gè)盒包裝，合并的硅片合格證上只寫2個(gè)晶體編號(hào)（取 數(shù)量多的兩個(gè)晶體編號(hào)）； 、包裝入庫 將同一單晶、規(guī)格（電阻率、尺寸、等級(jí)）裝在同一紙板箱內(nèi)；（6寸為6盒/箱， 8寸為4盒/箱） 寫好裝箱單貼在包裝箱上； 注：本文件的更改，應(yīng)由建議者提出申請(qǐng)， 經(jīng)批準(zhǔn)后方可變更。 編制 審核 會(huì)審 批準(zhǔn) 變