光伏清洗設(shè)備培訓(xùn)詳解

1、光伏清洗設(shè)備培訓(xùn)詳解，偷出來的保密資料rena intex機(jī)器的操作手冊bydr. ihor melnykaxel herguth1. 一般規(guī)章1.1使用具有腐蝕性的化學(xué)品時(shí)需要具備足夠的防護(hù)措施，建議使用抗腐蝕的蓋板、衣服、鞋、手套和護(hù)目鏡。此外，需確保自己一旦發(fā)生事故的情況下，能找到適當(dāng)?shù)木o急噴淋沖洗設(shè)施。 1.2 決不在機(jī)器內(nèi)單獨(dú)工作。 1.3 不要打開或去除正在運(yùn)行的設(shè)備蓋板，因?yàn)槠鋬?nèi)部蒸汽為危險(xiǎn)性的酸或堿。2. rena intex機(jī)器正常操作的要求2.1 化學(xué)供應(yīng)和處理2.1.1 rena intex設(shè)備正常運(yùn)行情況下，要求穩(wěn)定的供應(yīng)hf15（l/h）、hno315（l/h）、hc

2、l5（l/h）、koh3（l/h）和di water，這些數(shù)值可以隨用量不同而變化。另外，建議備用hf150l、hno3250l、hcl75l、koh10l，提供給新化學(xué)槽使用。2.1.2 對于使用傳感器準(zhǔn)確測量化學(xué)品的流量，至少要求7l/min的流量。對于使用化學(xué)槽處理，裝載hf/ hno3的刻蝕槽，其最大體積為550l。2.2 壓縮空氣2.2.1 對rena intex設(shè)備的air knifes規(guī)定的操作壓力要求至少為4bar，air knifes不使用的情況下，壓力需為6bar。2.2.2 若air knifes的氣壓不足，刻蝕槽的hf和hno3可能會(huì)發(fā)生反向流動(dòng)，導(dǎo)致alkaline

3、bath的刻蝕產(chǎn)生棕色污點(diǎn)，因此造成產(chǎn)品品質(zhì)不良。2.2.3 若air knifes 2和air knifes 3的氣壓不足，可能硅片沒有被正確的吹干，因此將需要另外的清潔處理程序。注：當(dāng)air knifes動(dòng)作時(shí)請確認(rèn)所有的閥門都打開。3. 舊的刻蝕槽處理3.1 刻蝕槽3.1.1 選取菜單為manual etch bathfigure 1: manual etch bath: disposal of old bath3.1.2 “mode man”，通過按按鈕選擇手動(dòng)模式。3.1.3 按下“system draining”（屏幕的左邊），則刻蝕槽和儲(chǔ)備槽（tank）的化學(xué)品都將被排掉。按該按

4、鈕需謹(jǐn)慎！3.1.4 等化學(xué)品排放過程完成后，屏幕上顯示為“empty”，為下面程序做好準(zhǔn)備。3.1.5 沖洗刻蝕槽和儲(chǔ)備槽，按下“system rinsing”，兩槽將充滿水并開始循環(huán)。該程序可設(shè)定沖洗次數(shù)：“parameterparameter 2第三個(gè)欄位，屏幕的下邊”。3.1.6 沖洗之后將水排掉，保持刻蝕槽和儲(chǔ)備槽為空。figure 2: parameter parameter 2 : rinse time etch bath3.2 alkaline bath3.2.1 選取菜單為“manual alkaline”figure 3: parameter parameter 3 : r

5、insetime alkaline bath3.2.2 “mode man”，通過按按鈕選擇手動(dòng)模式。3.2.3 按下“draining”，則堿槽的化學(xué)品將被排掉。3.2.4 等化學(xué)品排放過程完成后，屏幕上顯示為“empty”，為下面程序做好準(zhǔn)備。3.2.5 沖洗堿槽，按下“rinsing”，堿槽將充滿水并開始循環(huán)。該程序可設(shè)定沖洗次數(shù)。3.2.6 沖洗之后將水排掉，保持堿槽為空。3.2.7 建議用水槍（在機(jī)器里，位于刻蝕槽邊）手動(dòng)沖洗蓋子。3.3 acidic bath3.3.1 選取菜單為“manual acidic”figure 4: manual acidic: draining an

6、d rinsing3.3.2 “mode man”，通過按按鈕選擇手動(dòng)模式。3.3.3 按下“draining”，則酸清洗槽的化學(xué)品將被排掉。3.3.4 等化學(xué)品排放過程完成后，屏幕上顯示為“empty”，為下面程序做好準(zhǔn)備。3.3.5 建議清潔酸清洗槽，按下“rinsing”，該槽將充滿水并開始循環(huán)。該程序可設(shè)定沖洗次數(shù)。3.3.6 沖洗之后將水排掉，保持酸清洗槽為空。3.3.7 建議用水槍手動(dòng)沖洗蓋子。4. 更換刻蝕槽化學(xué)品hf/ hno34.1 設(shè)備狀態(tài)為：化學(xué)品仍然在刻蝕槽中和部分在儲(chǔ)備槽（tank）中4.1.1 更換選單為manual etch bath4.1.2 “mode man

7、”，通過按按鈕選擇手動(dòng)模式。4.1.3 按下“change bath”，更換化學(xué)品hf/ hno3。4.1.4 刻蝕槽和儲(chǔ)備槽將會(huì)排干化學(xué)品，然后兩槽充滿水開始清洗。可設(shè)定沖洗次數(shù)參數(shù)。4.1.5 沖洗后水被排干，開始充填化學(xué)溶液，順序?yàn)橄萪i water，再化學(xué)品。4.1.6 刻蝕槽（etch bath）被自動(dòng)充滿，二次循環(huán)開始。4.1.7 等待溫度達(dá)到設(shè)定工藝溫度，刻蝕槽的指示燈將轉(zhuǎn)換為綠色讀值“ready” 和“full chem.”。4.1.8 切換到自動(dòng)模式“mode auto”開始生產(chǎn)。figure 5: manual etch bath: changing the bath5.

8、新的各槽的填充5.1 刻蝕槽（etch bath）5.1.1 在這個(gè)部分，你將找到新的刻蝕槽的hf/ hno3充填方法指示。設(shè)備的狀態(tài)應(yīng)該是：刻蝕槽及儲(chǔ)備槽（tank）內(nèi)水被排干并且清潔。5.1.2 選擇想要用的recipe從菜單欄“parameter parameter administration”。5.1.3 檢查化學(xué)品的比例在菜單欄“parameter parameter2”，檢查第一次充填的體積在菜單欄“manual etch bath”下的“set volume firstfill”。 figure 6: parameter parameter 2: setup for new e

9、tch bath5.1.4 檢查化學(xué)品供應(yīng)，特別是化學(xué)制品的備用量和至少6-7l/min的幫浦壓力。壓力不足可能導(dǎo)致抽取的化學(xué)品體積不正確，需要手動(dòng)校正。5.1.5 在選取菜單manual etch bath下，選擇“mode man”，通過按鈕選擇手動(dòng)模式。5.1.6 按下按鈕“pt filling chem”，di water被充進(jìn)儲(chǔ)備槽（tank），然后自動(dòng)添加化學(xué)品。已經(jīng)加進(jìn)去的化學(xué)品數(shù)量，顯示在“actual firstfill volum”，在屏幕的左下方。figure 7: manual etch bath: filling of bath5.1.7 若化學(xué)品沒有填充完全，機(jī)器會(huì)

10、等待（5分鐘）繼續(xù)填充。若沒有在機(jī)器的等待時(shí)間內(nèi)完成化學(xué)品的供應(yīng)，將有錯(cuò)誤報(bào)警“filling timeout”，填充自動(dòng)中斷。未完成填充的剩余化學(xué)品數(shù)量會(huì)顯示在“remaining volume”。若要繼續(xù)填充，按下按鈕“pt filling chem”，將倒數(shù)計(jì)算剩下的數(shù)量。5.1.8 在整個(gè)溶液填充過程，將大量放熱，刻蝕液的溫度會(huì)如圖中所示增加到45度。5.1.9 等待整個(gè)溶液填充過程完成，刻蝕槽的顯示讀值為“full chem.”，槽被充滿，二次循環(huán)自動(dòng)開始，化學(xué)溶液將通過熱交換器抽換。5.1.10 等待溶液溫度降到設(shè)定的工藝溫度范圍，刻蝕槽的狀態(tài)在屏幕上將變?yōu)椤皉eady”。5.1.

11、11切換到自動(dòng)模式“mode auto”開始生產(chǎn)。5.2 堿槽（alkaline bath）5.2.1選取菜單為“manual alkaline”。5.2.2選擇“mode man”，通過按鈕選擇手動(dòng)模式。5.2.3 填充堿槽naoh bath，按下按鈕“fill chem.”，di water首先被加入進(jìn)去，然后加入naoh。5.2.4 二次循環(huán)在填充過程內(nèi)就開始了。5.2.5 等待堿槽水位到達(dá)中間感應(yīng)器的高度，則屏幕上的顯示讀值為“full chem.”。5.2.6切換到自動(dòng)模式“mode auto”開始生產(chǎn)。5.3 清洗槽（rinse1和rinse2）5.3.1選取菜單為“manual

12、rinse1”或 “manual rinse2”5.3.2選擇“mode man”，通過按鈕選擇手動(dòng)模式。5.3.3 填充該槽，按下按鈕“fill di”。5.3.4 二次循環(huán)在填充過程中就開始了。5.3.5等待該槽水位到達(dá)中間感應(yīng)器的高度，則屏幕上的顯示讀值為“full”。5.3.6切換到自動(dòng)模式“mode auto”開始生產(chǎn)。5.4 酸清洗槽（acidic bath）5.4.1選取菜單為“manual acidic”。5.4.2選擇“mode man”，通過按鈕選擇手動(dòng)模式。5.4.3 填充酸槽acidic bath，按下按鈕“fill chem”，di water首先被加入進(jìn)去，然后按照

13、設(shè)定的參數(shù)值加入hf和hcl。5.4.4 二次循環(huán)在填充過程內(nèi)就開始了。5.4.5 等待酸槽水位到達(dá)中間感應(yīng)器的高度，則屏幕上的顯示讀值為“full chem.”（綠色）。5.4.6切換到自動(dòng)模式“mode auto”開始生產(chǎn)。6. 開始刻蝕6.1 填充刻蝕液6.1.1 機(jī)器在自動(dòng)模式下，堿槽和酸沖洗槽都已經(jīng)運(yùn)轉(zhuǎn)，hf/ hno3刻蝕槽（etch bath）是空的，此時(shí)刻蝕液處于儲(chǔ)備槽內(nèi)，刻蝕槽顯示為“empty”和“not ready”（黃色）。6.1.2 選取菜單為“manual etch bath”。6.1.3選擇“mode man”，通過按鈕選擇手動(dòng)模式。6.1.4 填充刻蝕槽，按下按

14、鈕“fill bath”。6.1.5 等待該槽完全充滿，屏幕上將顯示為“full chem.” 和“ready”（綠色）。6.1.6切換到自動(dòng)模式“mode auto”開始生產(chǎn)。 figure 8: manual etch bath: filling the bath6.2 選擇主要屏幕main screen6.3 按下按鈕“start”（在屏幕下方），開始生產(chǎn)。figure 9: main screen: starting process7. 工藝操作7.1.1 正常的工藝操作以硅被刻蝕掉的數(shù)量（=群眾差別）或通過化學(xué)分析來控制刻蝕率。最佳的刻蝕深度范圍為4.45.0m。為測量刻蝕深度，必須

15、在制絨刻蝕前后分別測量硅片的重量，并將數(shù)據(jù)記錄在excel文檔中。7.1.2 無論是使用新配溶液或儲(chǔ)備槽中的舊溶液，都必須通過刻蝕過程活化溶液。檔刻蝕液變的更活潑時(shí)，刻蝕率將變高，此時(shí)建議提高傳送帶帶速。這一活化過程大約需刻蝕500塊硅片。最佳刻蝕率范圍約為2.02.5m/min，傳送帶速為0.91.1m/min。7.1.3 因?yàn)樵O(shè)備操作時(shí)對應(yīng)不同的硅片型號可以設(shè)定各自不同的程序，那么在機(jī)器計(jì)算出的硅片刻蝕量（wafer erosion）上會(huì)有所不同，對應(yīng)于各自型號的硅刻蝕的最佳狀況。figure 10: parameter parameter 2: wafer erosion7.2 刻蝕槽補(bǔ)

16、充溶液7.2.1 若硅片刻蝕率低于1.5m/min，建議補(bǔ)充hf和hno3。切換選單“replenish rep. etch”；7.2.2 被增加入槽內(nèi)的化學(xué)品數(shù)量顯示在屏幕的左邊，建議補(bǔ)充量為小劑量（ rep. etch”，補(bǔ)充水量為5l/次，直到刻蝕率低于2.5m/min。注意每次添加水以后需要等待一段時(shí)間，讓溶液和水充分混合均勻。7.3 堿槽補(bǔ)充溶液7.3.1 在堿槽（koh bath）內(nèi)的水位顯示讀值為“not ready”時(shí)，必須添加堿液。切換選單“replenish rep. alkaline”；7.3.2被增加入槽內(nèi)的化學(xué)品數(shù)量顯示在屏幕的左邊。固定的比率h2o/koh=10/1

17、，相當(dāng)于4.5l的h2o和0.5l的koh。7.4 酸槽補(bǔ)充溶液7.4.1在酸槽（hcl/hf bath）內(nèi)的水位顯示讀值為“not ready”時(shí)，必須添加酸液。切換選單“replenish rep. acidic”；7.4.2被增加入槽內(nèi)的化學(xué)品數(shù)量顯示在屏幕的左邊。固定的比率h2o/hf/hcl=20/3/8，相當(dāng)于4l的h2o、0.5l的hf和1.5l的hcl。figure 11: replenish rep. etch: replenishment of etch solutionfigure 12: replenish rep. alkaline: replenishment of

18、 koh8. 啟動(dòng)設(shè)備8.1 打開總電源開關(guān)，開關(guān)位于灰色的電氣箱上；8.2 打開機(jī)器上的顯示器；8.3 登陸程序，“l(fā)ogin”位于窗口的右上角，填入相應(yīng)的帳號和密碼，點(diǎn)擊登陸；8.4 注意到，選擇“mode off”，則所有可操作的單位被顯示為“off”。此外，注意當(dāng)所有刻蝕液在儲(chǔ)備槽內(nèi)時(shí)，etch bath顯示為“not ready”；8.5 按下按鈕“mode auto”（在屏幕的右邊），機(jī)器切換為自動(dòng)模式，此時(shí)所有可操作單位的顯示從“off”轉(zhuǎn)變?yōu)椤癮uto”；8.6 機(jī)器自動(dòng)將刻蝕液從儲(chǔ)備槽中抽至刻蝕槽，對于etch bath顯示為“filling chem”。等幾分鐘直到etch

19、 bath填充滿時(shí)，顯示為“full chem”和“ready”。figure 13: main screen: login/logoff9. 關(guān)閉設(shè)備9.1 按下位于屏幕下方的“stop”按鈕；9.2 把etch bath的化學(xué)品排到儲(chǔ)備槽（tank）里。轉(zhuǎn)向手動(dòng)模式“mode man”，選取菜單“manual etch bath”然后點(diǎn)擊“drain bath”；9.3 等待etch bath直到所有溶液排至tank，屏幕顯示“empty”；9.4 按下位于屏幕右邊的“mode off”，變?yōu)殡x線模式；9.5 檢查一下所有推拉門窗的位置，使之能夠正確的上鎖；9.6 按下右上角的“l(fā)ogof

20、f”，門窗將被鎖上，同時(shí)跳出一個(gè)窗口；9.7 如果門窗位置沒有調(diào)整好，會(huì)有alert警報(bào)出現(xiàn)，再次登陸，調(diào)整好門窗位置并再次登出即可；9.8 關(guān)閉設(shè)備上的windows程序即關(guān)閉顯示器；9.9 關(guān)閉位于灰色電氣箱上的開關(guān)。不要使用機(jī)器上的主開關(guān)來關(guān)閉。10. 常見問題：一、工藝記錄操作要求1、根據(jù)rena工藝工程師的建議，我們在rena設(shè)備旁計(jì)算機(jī)內(nèi)記錄的生產(chǎn)測試片記錄（excel工作表）由原來的每班一個(gè)記錄改變?yōu)楝F(xiàn)在的每更換一次制絨槽溶液則開始一個(gè)新記錄。且要求生產(chǎn)人員在記錄測試片名字的時(shí)候由原來的隨機(jī)數(shù)字改為rena設(shè)備內(nèi)的實(shí)際數(shù)字，即若該5片測試片為該制絨槽生產(chǎn)的第 22222-2222

21、6片，則記錄中的片名應(yīng)為22201-22205，前三位數(shù)字表征當(dāng)前已生產(chǎn)實(shí)際片數(shù)的大約值，后兩位數(shù)字仍然為便于區(qū)分采用01- 05的方式。2、請各位工藝員在當(dāng)班時(shí)所做的任何參數(shù)更改或手動(dòng)加液情況，記錄在excel工作表上，便于跟蹤制絨槽實(shí)際穩(wěn)定情況。二、工藝參數(shù)調(diào)節(jié)規(guī)范在原來的工藝規(guī)程中規(guī)定新更換的制絨槽溶液需先投放約500片鈍化片待溶液穩(wěn)定后再正式投片生產(chǎn)。由于si原料緊張， si片價(jià)格昂貴，我們不得不重復(fù)使用鈍化片。這樣做的弊端是經(jīng)過多次減薄的si片在設(shè)備中容易破碎卡住滾動(dòng)條，并很難在不影響生產(chǎn)的情況下徹底清除，容易造成卡片，甚至更嚴(yán)重的情況是造成設(shè)備的損壞。因此rena的工藝工程師建議我們?nèi)∠褂免g化片的做法而改為下面的方法：1、 在新更換了制絨槽溶液以后（初始溶液配比已經(jīng)在菜單中有所改動(dòng)，比原來的配比略低），初始溫度設(shè)為10度，傳送速度設(shè)為0.8m/min。2、 先放5片測試片，測量記錄制絨前后的質(zhì)量并填入excel記錄表，如果刻蝕深度（etch depth）介于3