非晶硅薄膜電池-激光工藝介紹ppt課件

1、非晶硅薄膜電池激光工藝介紹,目錄,設(shè)計(jì)基本介紹 激光機(jī)簡介 激光器介紹 工藝標(biāo)準(zhǔn)具體介紹 附件,芯片段工藝流程圖,磨邊,清洗一,PECVD,二維碼/P1,清洗二,預(yù)熱,清洗那邊三,P4,P3,PVD,P6,退火,反壓,P2,芯片電性能測試,芯片段,P5激光絕緣刻線,磨邊清洗,P7異形激光掃邊,P8激光打孔,芯片切割,組件最終電性能測試灌膠,中空工藝,修邊,高壓釜,層壓/輥壓,自動/手動組裝,組件段工藝流程圖,裝接線盒,清潔包裝,BIPV工藝流程與相關(guān)工段,P1,P2,P3,激光在工藝過程中作用： 分割標(biāo)準(zhǔn)件成子電池； 讓子電池形成串聯(lián)； 絕緣和可靠性處理； 形狀切割需求,激光 氣浮支撐基片 采

2、用檢測級大理石作為主體基座，確保整機(jī)剛性和消除工作臺對激光頭的震動干涉,加工系統(tǒng),CCD(Charge Coupled Device)圖像智能定位系統(tǒng) P2、P3刻蝕時，以P1第一條線為定位基準(zhǔn)； CCD定位系統(tǒng)保證三層膜相鄰三條線的平行度,激光機(jī)構(gòu)成介紹,定位系統(tǒng),TCO、a-Si和背電極分別對應(yīng)1064nm紅外激光和532nm綠激光。1064nm紅外激光器可調(diào)功率9-11W，532nm紅外激光器可調(diào)功率0.6-0.9W,激光系統(tǒng),刻蝕區(qū)一側(cè)采用吹氣設(shè)備把刻蝕產(chǎn)生的塵埃吹離刻蝕區(qū)域，在相反的一側(cè)采用吸氣設(shè)備吸收氣體及塵埃,激光機(jī)構(gòu)成介紹,除塵系統(tǒng),PC主控制系統(tǒng)，人機(jī)界面友好 配備警示燈、蜂

3、鳴器、急停、激光安全鎖等安全警示、開關(guān)；電源：三相380+/-38VAC，12kW，50/60Hz；壓縮空氣壓力5kg/cm2以上,控制系統(tǒng),激光刻劃示意,進(jìn)料,P2/P3刻劃,出料,定位,捕捉P1,刻劃P2P3,激光器具體介紹,基本組成 泵浦源 工作物質(zhì) 諧振腔,激光產(chǎn)生的過程 1、泵浦源發(fā)出強(qiáng)光照射工作物質(zhì)，工作物質(zhì)吸收光子，電子經(jīng)過能級躍遷，發(fā)出另一種波長的光。 2、新產(chǎn)生的光在諧振腔內(nèi)往復(fù)震蕩，得到高能量密度和高指向性的光。 3、通過Q開關(guān)，倍頻晶體，光路等過程，對光進(jìn)行調(diào)整得到我們需要的激光。 我們現(xiàn)場所用激光泵浦源發(fā)出808nm的光，工作物質(zhì)發(fā)出1064nm的光,激光器具體介紹,特

4、點(diǎn) 單色性、相干性、方向性、高亮度,分類 氣體激光器:長范圍紫外到遠(yuǎn)紅外階段 液體激光器:在醫(yī)療或物質(zhì)分析方面有廣泛作用，波長覆蓋范圍321nm-1.168um 固體激光器:以紅寶石和石榴石兩類激光為代表，通常有較大的功率輸出。波長范圍可見光、近紅外波段.例摻釹釔鋁石榴石（簡稱Nd:YAG，波長1.064um） 半導(dǎo)體激光器:一般為0.61.55微米，主要在近紅外波段,激光器關(guān)鍵參數(shù)對工藝影響,工作物質(zhì) P1，P2，P3激光器所需波長不同，但可用同一物質(zhì)通過倍頻器實(shí)現(xiàn)頻率變化 調(diào)Q與鎖模作用 普通脈沖激光器輸出波形由一系列不規(guī)則的尖峰脈沖組成,通過調(diào)Q壓縮脈沖寬度，提高峰值功率 波長與能量匹配

5、于切割材料的選擇 切割材料與不需切割材料的晶體性質(zhì)決定激光波長與能量選擇 綠光對硅的破壞閾值遠(yuǎn)低于對TCO的破壞閾值,2021/2/1,關(guān)注要點(diǎn) 線寬、線貌、重疊率、光斑，絕緣性 可調(diào)參數(shù) 加工臺移動速度、焦距、電流、頻率,激光工藝關(guān)鍵參數(shù)對工藝影響,監(jiān)控工具 顯微鏡、卡尺、萬用表等,P5,P6,激光刻劃效果圖,激光一未刻斷,光斑變形,線距編大,總線寬過寬,刻線相交,掃邊膜層未完全去除,激光常見不良,不同激光工序參數(shù)以及刻劃膜層,激光工藝具體介紹,不同激光工序刻劃作用,激光工藝具體介紹,目的 加工方式 工藝選擇 檢測標(biāo)準(zhǔn) 異常處理,激光P1,目的 加工方式 工藝選擇 檢測標(biāo)準(zhǔn) 異常處理,激光P2,目的 加工方式 工藝選擇 檢測標(biāo)準(zhǔn) 異常處理,激光P3,目的 加工方式 工藝選擇 檢測標(biāo)準(zhǔn) 異常處理,激光P4,目的 加工方式 工藝選擇 檢測標(biāo)準(zhǔn) 異常處理,激光P5/異形,異形絕緣線,目的 加工方式 工藝選擇 檢測標(biāo)準(zhǔn) 異常處理