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文檔簡介
傳感器原理及應(yīng)用,(自動檢測技術(shù)/非電量測量技術(shù))一、本課程的專業(yè)地位:專業(yè)必修課。二、本課程的主要內(nèi)容1、傳感器、測量及誤差的基本知識;2、常用傳感器的原理、結(jié)構(gòu)、測量電路及應(yīng)用;3、傳感器在工程檢測中的應(yīng)用。三、課程要求1、掌握傳感器、測量及誤差的基本理論;2、掌握常用傳感器的基本原理、結(jié)構(gòu)、特點、基本測量電路及應(yīng)用;,3、學(xué)會工程中常見的非電量測量方法,了解傳感器在工程檢測中的應(yīng)用方法;4、學(xué)會分析和設(shè)計傳感器的應(yīng)用電路。四、課程特點綜合性:傳感器技術(shù)是材料學(xué)、力學(xué)、電學(xué)、磁學(xué)、微電子學(xué)、光學(xué)、聲學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、精密機械、仿生學(xué)、測量技術(shù)、半導(dǎo)體技術(shù)、計算機技術(shù)、信息處理技術(shù)、乃至系統(tǒng)科學(xué)、人工智能、自動化技術(shù)等眾多學(xué)科相互交叉的綜合性高新技術(shù)密集型前沿技術(shù);零散性:各章內(nèi)容之間沒有前后因果關(guān)系;應(yīng)用性:重點掌握各種傳感器的應(yīng)用方法。,五、參考資料傳感器與檢測技術(shù)朱自勤機械工業(yè)出版社傳感器原理及工程應(yīng)用郁有文西安電子科技大學(xué)出版社傳感器原理及應(yīng)用王化祥天津大學(xué)出版社傳感器原理及應(yīng)用王雪文北京航空航天大學(xué)出版社傳感器原理及其應(yīng)用手冊孫寶元機械工業(yè)出版社非電量檢測技術(shù)嚴鐘豪機械工業(yè)出版社現(xiàn)代傳感技術(shù)魏文廣東北大學(xué)出版社傳感器技術(shù)信息產(chǎn)業(yè)部電子第四十九研究主辦光電子技術(shù)與信息中國科學(xué)院安徽光學(xué)精密機械研究所、中國光學(xué)學(xué)會光電技術(shù)專業(yè)委員會主辦激光與紅外華北光電技術(shù)研究所主辦儀表技術(shù)與傳感器沈陽儀器儀表研究所主辦,儀器儀表網(wǎng)(http:/www.china_)儀器商城網(wǎng)()傳感器網(wǎng)(http:/www.S)傳感器技術(shù)()中國傳感器()中國工控網(wǎng)()中國機器人網(wǎng)(.)電子設(shè)計應(yīng)用()電子產(chǎn)品世界(),第1章傳感器與檢測技術(shù)概述,1.1傳感器的概念、組成和分類1.2傳感器的基本特性,返回主目錄,第1章傳感器與檢測技術(shù)的理論基礎(chǔ)1.1傳感器的概念、組成和分類,一、傳感器的概念、組成與應(yīng)用1、現(xiàn)代信息技術(shù)的三大要素:信息獲取傳感器技術(shù)信息傳輸通信技術(shù)信息處理計算機技術(shù)在工程實踐和科學(xué)試驗中,信息采集的主要含義是測量取得測量數(shù)據(jù)。,2、測量的概念測量是人類對自然界客觀事物獲得數(shù)量觀念的一種認識過程,即借助于專門設(shè)備,求出被測量的數(shù)值大小。3、測量的分類電子測量電子測量儀器;非電量測量傳感器;4、自動測量系統(tǒng)的組成圖11自動測量系統(tǒng)組成,5、自動測量技術(shù)的作用以電子技術(shù)、傳感器技術(shù)、計算機技術(shù)為基礎(chǔ)的自動測量技術(shù),是衡量一個國家科技水平的重要標志之一。而傳感器是測量系統(tǒng)的第一個環(huán)節(jié),它能否獲得信息和獲取信息的正確與否,關(guān)系到整個測量系統(tǒng)的精確度,傳感器的性能在很大程度上決定著整個信息技術(shù)的性能,因此世界各國都將傳感器技術(shù)列為重點發(fā)展的新技術(shù)。6、傳感器的定義(GB7665-87)能夠感受規(guī)定的被測量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置,通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。,7、傳感器的組成通常傳感器由敏感元件和轉(zhuǎn)換(傳感)元件組成。傳感器組成框圖如圖1-2所示。,圖1-2傳感器組成框圖,敏感元件:直接感受被測非電量并按一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成與被測量有確定關(guān)系的其它量的元件。,傳感元件:又稱轉(zhuǎn)換元件/轉(zhuǎn)換器。能將敏感元件感受到的非電量直接轉(zhuǎn)換成電量的器件。,信號調(diào)節(jié)與轉(zhuǎn)換電路/測量電路:能把傳感元件輸出的電信號轉(zhuǎn)換為便于顯示、記錄、處理、和控制的有用電信號的電路。,敏感元件,傳感元件,壓力傳感器示例,8、傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域(1)機械制造業(yè):智能機械:數(shù)控機床、加工中心、機器人等(2)工業(yè)過程檢測與控制:石油、化工、電力、冶金等行業(yè)中熱工工藝參數(shù)檢測和控制;(3)汽車:車速、里程、燃油、排氣、車燈、關(guān)門、防盜、防撞等;(4)環(huán)保:有毒、有害、易燃、易爆氣體檢測,重金屬、污水檢測,防酒后駕車等;(5)醫(yī)療衛(wèi)生:血壓、心音、脈搏檢測,心臟監(jiān)護儀、彩超、核磁共振等;(6)航空航天:衛(wèi)星、火箭、飛船、外星探測器等;(7)國防工業(yè):飛機、導(dǎo)彈、雷達、智能化電子武器等;(8)家用電器:空調(diào)、洗衣機、電冰箱、微波爐、電飯煲、電熨斗、安全報警器等。,傳感器的主要應(yīng)用,在電力、冶金、石化、化工等流程工業(yè)中,生產(chǎn)線上設(shè)備運行狀態(tài)關(guān)系到整個生產(chǎn)線流程。通常建立24小時在線監(jiān)測系統(tǒng)。,石化企業(yè)輸油管道、儲油罐等壓力容器的破損和泄露檢測。,自動檢測與自動控制系統(tǒng),在汽車、機床、電機、發(fā)動機等產(chǎn)品出廠時,必須對其性能質(zhì)量檢測。,圖示為汽車出廠檢驗原理框圖,測量參數(shù)包括潤滑油溫度、冷卻水溫度、燃油壓力及發(fā)動機轉(zhuǎn)速等。通過對抽樣汽車的測試,工程師可以了解產(chǎn)品質(zhì)量。,汽車扭距測量,機床加工精度測量,汽車與傳感器,高級轎車需要用傳感器對溫度、壓力、位置、距離、轉(zhuǎn)速、加速度、濕度、電磁、光電、振動等進行實時準確的測量,一般需要30100種傳感器。,傳感器與家用電器,自動電飯鍋、吸塵器、空調(diào)器、電子熱水器、風(fēng)干器、電熨斗、電風(fēng)扇、洗衣機、洗碗機、照相機、電冰箱、電視機、錄像機、家庭影院,全自動洗衣機中的傳感器:衣物重量傳感器,衣質(zhì)傳感器,水溫傳感器,水質(zhì)傳感器,透光率光傳感器(洗凈度)液位傳感器,電阻傳感器(衣物烘干檢測)。,指紋傳感器,透光率傳感器,鼠標:光電位移傳感器,攝象頭:CCD傳感器,PC機中的測試技術(shù)應(yīng)用,軟驅(qū):速度,位置伺服,麥克風(fēng):電容傳聲器,樓宇控制與安全防護,為使建筑物成為安全、健康、舒適、溫馨的生活、工作環(huán)境,并能保證系統(tǒng)運行的經(jīng)濟性和管理的智能化。在樓宇中應(yīng)用了許多測試技術(shù),如闖入監(jiān)測、空氣監(jiān)測、溫度監(jiān)測、電梯運行狀況。,圖示為某公司樓宇自動化系統(tǒng)。該系統(tǒng)分為:電源管理、安全監(jiān)測、照明控制、空調(diào)控制、停車管理、水/廢水管理和電梯監(jiān)控。,煙霧傳感器,亮度傳感器,人體探測器,機械手、機器人中的傳感器:轉(zhuǎn)動/移動位置傳感器、力傳感器、視覺傳感器、聽覺傳感器、接近距離傳感器、觸覺傳感器、熱覺傳感器、嗅覺傳感器。,傳感在機器人上的應(yīng)用,密歇根大學(xué)的機械手裝配模型,廣州中鳴數(shù)碼的機器狗,機器人服務(wù)員,沙漠機器人,超聲波測距傳感器、判斷建筑物內(nèi)人和物所在位置;紅外線色彩傳感器運動軌跡和AGV小車位置識別;條形碼傳感器,貨品識別。,香港理工AGV模型,AGV自動送貨車,自動導(dǎo)引運輸車(AutomatedGuidedVehicle),AGV自動送貨車,2003年9月,全球現(xiàn)場直播埃及金字塔世界最古老石棺的考古挖掘進程,可能揭開古埃及金字塔內(nèi)部結(jié)構(gòu)之謎。一個小機器人通過了埃及最大的金字塔內(nèi)一條狹窄的通道,試圖揭開4600年前的秘密。它的探秘之行以發(fā)現(xiàn)了又一道封閉的石門而告終。,圖坦卡蒙的詛咒“不論是誰騷擾了法老的安寧,死神之翼將在它的頭上降臨?!?“金字塔漫游者”,511,地面探測雷達、超聲波傳感器(測石頭厚度)。,傳感器在生物醫(yī)學(xué)上的應(yīng)用,醫(yī)學(xué),對人體的健康狀況進行診斷需要進行多種生理參數(shù)的測量。國內(nèi)已經(jīng)成功地開發(fā)出了用于測量近紅外組織血氧參數(shù)的檢測儀器。人類基因組計劃的研究也大大促進了對酶、免疫、微生物、細胞、NA、RNA、蛋白質(zhì)、嗅覺、味覺和體液組份以及血氣、血壓、血流量、脈搏等傳感器的研究。,光纖流速傳感器,熒光材料制作的電子鼻傳感器,生物酶血樣分析傳感器,傳感器與航空及航天,飛行器:控制在預(yù)定軌道上,速度、加速度、飛行距離測量、周圍環(huán)境、內(nèi)部設(shè)備監(jiān)控、本身狀態(tài)參數(shù)的測量。,陀螺儀、陽光傳感器、星光傳感器、地磁傳感器,傳感器與環(huán)境保護,保護環(huán)境和生態(tài)平衡,實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展,必須進行大氣監(jiān)測和江河湖海水質(zhì)檢測,需要大量用于污水流量、PH值、電導(dǎo)、濁度、COD、BOD、TP、TN、礦物油、氰化物、氨氮、總氮、總磷、金屬離子濃度特別是重金屬離子濃度以及風(fēng)向、風(fēng)速、溫度、濕度、工業(yè)粉塵、煙塵、煙氣、SO2、NO、O3、CO等參數(shù)測量的傳感器,這些傳感器中大多數(shù)亟待開發(fā)。,煙塵濁度測量,紅外線分布差異,礦藏埋藏地區(qū),傳感器與遙感技術(shù),紅外接收傳感器,傳感器在軍事技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用,先進的科學(xué)技術(shù)總是最先被應(yīng)用于戰(zhàn)爭。以坦克、飛機、軍艦為標志的作戰(zhàn)平臺是傳統(tǒng)的主戰(zhàn)兵器,各類傳感器不過是配屬的保障設(shè)施。,海灣戰(zhàn)爭中,伊拉克在科威特戰(zhàn)區(qū)部署了4280輛坦克,多國部隊只有3800輛坦克。但結(jié)果是伊拉克的坦克89被毀,而多國部隊的坦克僅損失20輛。這種懸殊的損毀比,正是由于雙方信息優(yōu)勢及精確制導(dǎo)武器方面的明顯差距造成的。,智能武器把巨大的殺傷力和極高的精確性相結(jié)合,將會使軍事機構(gòu)思考未來戰(zhàn)爭的方式發(fā)生革命。高技術(shù)常規(guī)武器成為比核武器更可靠的手段,打了不用管的制導(dǎo)炮彈能像導(dǎo)彈那樣捕捉和跟蹤目標,射程遠,威力大,價格低,命中率高,具有子母彈的打擊能力,以及破甲彈、動能彈的攻擊方式。,農(nóng)業(yè)將是知識密集、技術(shù)密集的產(chǎn)業(yè),設(shè)施農(nóng)業(yè)可以有效提高農(nóng)業(yè)生產(chǎn)效益和增強抗災(zāi)能力,借助溫室及其配套裝置來調(diào)節(jié)和控制作物生產(chǎn)環(huán)境條件,擺脫自然制約,以達到高產(chǎn)、高效、優(yōu)質(zhì)。信息獲取手段是實現(xiàn)高水平設(shè)施農(nóng)業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)之一,設(shè)施農(nóng)業(yè)用傳感器的品種較多,主要用于溫度、濕度、土壤干燥度、CO2、光照度、土壤養(yǎng)分等參數(shù)的測量。信息獲取技術(shù)還在農(nóng)田和果園生產(chǎn)、農(nóng)業(yè)生物學(xué)研究、農(nóng)藥殘留量檢測等方面得到了廣泛的應(yīng)用。,傳感器與農(nóng)業(yè),農(nóng)業(yè),二、傳感器的分類1、按被測量分類(相應(yīng)的傳感器一般以被測量命名):(1)熱工量傳感器:溫度、熱量、比熱;壓力、差壓、真空度;流速、流量;物位(液位、料位)。(2)機械量傳感器:位移、尺寸(長度、厚度、寬度、角度);力、力矩;重量、質(zhì)量;速度、加速度、轉(zhuǎn)速。(3)物性和成分量:成分量(化學(xué)成分、濃度、酸堿度、鹽度等);物性(密度、比重、粘度等)。(4)狀態(tài)量:顏色、透明度、磨損量、裂紋、缺陷、表面粗糙度等)。,2、按傳感器的工作原理分類(1)物理型傳感器:利用某些敏感元件的物理性質(zhì)以及某些功能材料的特殊物理性能制成。如:應(yīng)變式、電容式、磁電、光電、壓電傳感器等。(2)化學(xué)型:利用電化學(xué)反應(yīng)原理制成。如:氣敏傳感器、濕度傳感器、離子傳感器等。(3)生物傳感器:利用酶、微生物、抗體、細胞及組織等作為敏感材料與適當?shù)膿Q能器結(jié)合而成,利用特有的化學(xué)反應(yīng)和電化學(xué)技術(shù)對生物化學(xué)物質(zhì)進行測定。如:酶傳感器、免疫傳感器等。,3、按輸出信號的性質(zhì)分類(1)模擬傳感器:輸出模擬信號;(2)數(shù)字傳感器:輸出數(shù)字信號(脈沖、頻率、二進制數(shù)碼),抗干擾能力強。,三、傳感器的發(fā)展趨勢1、三新:新材料、新工藝、新效應(yīng)(原理);2、四化:集成化、多維化、多功能化、智能化。,1.2傳感器的基本特性即輸出輸入之間對應(yīng)關(guān)系,又稱為輸出輸入特性,可用靜態(tài)特性和動態(tài)特性來描述。一、傳感器的靜態(tài)特性(一)靜態(tài)特性:是指被測量的值處于穩(wěn)定狀態(tài)時的輸出輸入關(guān)系;即輸入量與輸出量之間的關(guān)系式中不含有時間變量。衡量靜態(tài)特性的重要指標是線性度、靈敏度,遲滯和重復(fù)性等。(二)傳感器的靜態(tài)特性表達式1、理想傳感器:y=a1x2、實際傳感器:y=a0+a1x+a2x2+anxn式中:a0輸入量x為零時的輸出量;a1,a2,an非線性項系數(shù);x輸入量;y輸出量。1、傳感器的零偏(零點):輸入信號為零時傳感器的輸出值。,2、傳感器的測量范圍與量程(1)測量范圍:指正常工作條件下,傳感器能夠測量的被測量的總范圍,通常用測量范圍的下限值和上限值來表示。(2)量程:測量范圍的上限值(或?qū)?yīng)的輸出值)與下限值(或?qū)?yīng)的輸出值)的代數(shù)差。a0零點;xF.S滿量程輸入;XF.S輸入量程;XF.S=xmax-xminyF.S滿量程輸出;YF.S輸出量程。YF.S=ymax-ymin注:僅知道量程時,無法確定測量范圍。,傳感器的靜態(tài)特性曲線,1、線性度(非線性度/非線性誤差):傳感器的實際靜態(tài)特性曲線與擬合直線(規(guī)定直線)之間,在垂直方向上的最大偏差與輸出量程的百分比稱為線性度。通常用相對誤差L表示,即式中:|(yL)max|最大非線性絕對誤差的絕對值;YFS輸出量程。,(三)主要靜態(tài)特性指標,2、靈敏度靈敏度K是指傳感器的輸出量變化量y與引起此變化的輸入變化量x的比值,即K=y/x靈敏度反映了傳感器對被測參數(shù)變化的靈敏程度。對于線性傳感器,它的靈敏度就是它的靜態(tài)特性的斜率,即K=y/x為常數(shù),而非線性傳感器的靈敏度為一變量,用K=dy/dx表示。傳感器的靈敏度如圖所示。,多環(huán)節(jié)串聯(lián)而成的測量系統(tǒng)的靈敏度為:K=K1K2Kn例1:某線性位移測量儀,當被測位移由4.5mm變到5mm時,位移測量儀的輸出電壓由3.5V減至2.5V,求該儀器的靈敏度。若再接一個放大器(放大倍數(shù)為10)后驅(qū)動筆式記錄儀(靈敏度為0.2cm/V),試求系統(tǒng)的總靈敏度。解:K1=y/x=(3.5-2.5)V/(5-4.5)mm=-2V/mmK2=10K3=0.2cm/VK=K1K2K3=-2V/mm100.2cm/V=-4cm/mm,3、精確度測量誤差被測參數(shù)的測量值與真實值不一致的程度用測量誤差表示。測量誤差就是被測量的測量值與真實值之間的差值,它反映了測量質(zhì)量的好壞。(1)測量誤差的表示方法絕對誤差:可用下式定義:x=x-x0式中:x絕對誤差;x測量值;x0約定真值。,對測量值進行修正時,要用到絕對誤差。修正值是與絕對誤差大小相等、符號相反的值,C=-x=x0-x,實際值等于測量值加上修正值。即x0=x+C。絕對誤差不能很好說明測量質(zhì)量的好壞,只適用于被測量值相同的場合。例如,在溫度測量時,絕對誤差=1,對體溫測量來說是不允許的,而對測量鋼水溫度來說卻是一個極好的測量結(jié)果。相對誤差:定義由下式給出:=x/x0100%式中:相對誤差,一般用百分數(shù)給出;x絕對誤差;x0約定真值。,相對誤差比絕對誤差能更好地說明測量精確度,但它只能說明不同測量結(jié)果的準確度,無法衡量傳感器本身在整個測量范圍內(nèi)的質(zhì)量,(如一臺溫度傳感器測100的相對誤差為2%,另一臺測1000的相對誤差為1%)為此又采用了引用誤差的概念。引用誤差:是儀表中通用的一種誤差表示方法。它是相對儀表滿量程的一種誤差,一般也用百分數(shù)表示,即=x/XF.S100%=x/(xmax-xmin)100%式中:引用誤差;x絕對誤差;XF.S儀表輸入量程(測量范圍上限測量范圍下限);xmax儀表量程的上限值;xmin儀表量程的上限值;,基本誤差:是指儀表在規(guī)定的標準條件下所具有的誤差。例如,儀表是在電源電壓(2205)V、電網(wǎng)頻率(502)Hz、環(huán)境溫度(205)、濕度65%5%的條件下標定的。如果這臺儀表在這個條件下工作,則儀表所具有的誤差為基本誤差。測量儀表的精度等級就是由基本誤差決定的,一般用引用誤差表示。附加誤差:是指當儀表的使用條件偏離額定條件下出現(xiàn)的誤差。例如,溫度附加誤差、頻率附加誤差、電源電壓波動附加誤差等。精確度:表示傳感器測量結(jié)果與真值之間的偏離程度。,精確度等級:是根據(jù)最大引用誤差來確定的。工程中以一系列標準數(shù)值作為儀表基本誤差的最大允許值來分檔表示儀表的精確度,稱為精確度等級。常用的精確度等級有0.1級、0.2級、0.5級、1.0級、1.5級、2.0級、2.5級、4.0級、5.0級。注:精確度等級已知的儀表只有在被測量值接近滿量程時,才能發(fā)揮它的測量精度。因此選用儀表時應(yīng)根據(jù)被測量的大小和測量精度的要求,合理選擇儀表量程和精確度等級。例3:測800要求誤差4,現(xiàn)有以下測溫儀表,應(yīng)選哪一種?(1)0500,1.0級;(2)01000,0.5級;(3)01000,0.2級;(4)02000,0.2級。,解:(1)不能測;(2)測800可能出現(xiàn)的最大絕對誤差為1000(0.5%)=5;(3)測800可能出現(xiàn)的最大絕對誤差為1000(0.2%)=2;(4)測800可能出現(xiàn)的最大絕對誤差為2000(0.2%)=4;應(yīng)選第(3)種。,例3:測800要求誤差4,現(xiàn)有以下測溫儀表,應(yīng)選哪一種?(1)0500,1.0級;(2)01000,0.5級;(3)01000,0.2級;(4)02000,0.2級。,二、傳感器的動態(tài)特性輸入信號變化時,引起輸出信號也隨時間變化,這個過程叫響應(yīng)。傳感器的動態(tài)特性是指其輸出對隨時間變化的輸入量的響應(yīng)特性。當被測量隨時間變化,是時間的函數(shù)時,則傳感器的輸出量也是時間的函數(shù),其間的關(guān)系要用動特性來表示。一個動態(tài)特性好的傳感器,其輸出將再現(xiàn)輸入量的變化規(guī)律,即具有相同的時間函數(shù)。實際上除了具有理想的比例特性外,輸出信號將不會與輸入信號具有相同的時間函數(shù),這種輸出與輸入間的差異就是所謂的動態(tài)誤差。,實際工作中,傳感器的動態(tài)特性常用實驗方法求得,即根據(jù)傳感器對一些標準信號的響應(yīng)來評定它的動態(tài)特性。在時域內(nèi)
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