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氧化還原電位測(cè)量儀器表 氧化還原電位測(cè)量儀器表:MG-000000323-000電極探頭:EB-000000321-0001.1 技術(shù)參數(shù)1.1.1 儀表:型號(hào):Redox transmitter 8206外界環(huán)境:060C儲(chǔ)存環(huán)境:060C濕度:最大80%測(cè)量范圍:-1575mv +1575mv工作電壓:1230VDC輸出信號(hào):420mA負(fù)載:30V最大700奧姆24V最大400奧姆15V最大100奧姆繼電器:2個(gè)繼電器,3A,230V材料:PVDF密封圈材料:FPM/EPDM1.1.2 電極探頭型號(hào):PLA儲(chǔ)存溫度:-530C材料:玻璃最大壓力:6Bar最大溫度:90C最大溫度時(shí)最大工作壓力:4Bar1.2 適用范圍測(cè)量缸內(nèi)氯化銅蝕刻液的氧化還原電位,控制H2O2或NaClO3的添加保證缸內(nèi)蝕刻液的再生。1.3功能Redox代表氧化和還原,所有的電化學(xué)反應(yīng)都可以表現(xiàn)為氧化和還原,氧化劑得到電子,還原劑失去電子,一直達(dá)到一個(gè)平衡的狀態(tài),氧化還原電位顯示了在此狀態(tài)下體系的氧化能力。氧化還原電位測(cè)量儀用來設(shè)定電位的數(shù)值,這個(gè)數(shù)值貫穿整個(gè)過程同時(shí)促使藥水的平衡反應(yīng)達(dá)到目標(biāo)值。銅在蝕刻過程中,氯化銅(Cucl2)形成氯化亞銅(Cucl),通過雙氧水(H202)的再生反應(yīng),一價(jià)銅離子重新形成二價(jià)銅離子,從而又具有蝕刻銅的能力。氯化銅蝕刻液反應(yīng)中的氧化還原電位顯示了二價(jià)銅離子和一價(jià)銅離子的比值,這個(gè)比值很大程度上決定了反應(yīng)速度?;瘜W(xué)反應(yīng)方程式如下:蝕刻:CuCl2 + Cu = 2 CuCl再生:2 CuCl + H2O2 + 2HCL = 2 CuCl2 + 2 H2O總反應(yīng):Cu + H2O2 + 2HCL = CuCl2 + 2H2O1.4 設(shè)計(jì)氧化還原電位測(cè)量儀器包括測(cè)量裝置和顯示裝置,一個(gè)測(cè)量電極探頭和一個(gè)KCL儲(chǔ)存器。電極探頭直接浸泡在缸內(nèi)藥水中,測(cè)量缸內(nèi)的氧化還原電位。氧化還原電位可以反映藥水氧化劑、還原劑的濃度,因此它決定蝕刻速度的快慢。電極探頭和KCL儲(chǔ)存器用一根軟管連接,儲(chǔ)存器必須高于探頭一米以上,KCL溶液通過高度差產(chǎn)生壓力,添加到電極探頭里。1.5 設(shè)定通常酸性氯化銅蝕刻液的氧化還原電位值設(shè)定在490mv 520mv之間(根據(jù)實(shí)際情況決定),特殊情況下可以更高些,但是不能高于570mv。1.6 校正顯示裝置在制造和生產(chǎn)線裝配時(shí)候沒有校正,只有當(dāng)機(jī)臺(tái)在客戶那開始使用時(shí)才使用校正藥水校正。校正步驟使用DI水清潔探頭。(不能使勁的擦拭,要使用干凈的軟布輕擦)為了電極探頭的再生,可以浸泡在3MOL/L的KCL溶液里10分鐘重新清洗干凈,然后放入校正溶液里。校正周期:在正常的環(huán)境條件下,電極探頭必須每周校正一次,如果在校正結(jié)束時(shí)顯示錯(cuò)誤的報(bào)告,電極探頭就必須更換。具體方法如下:1.6.1.按鍵直到螢?zāi)伙@示 ORP CALIB 後, 按鍵5秒. 此時(shí)螢?zāi)伙@示 1 POINT ,按后顯示 -0000mV1.6.2將標(biāo)準(zhǔn)液的ORP值輸入進(jìn)去.1.6.3洗滌瓶裝純水, 沖洗sensor, 再用擦拭紙將sensor表面擦拭乾淨(jìng)後, 將sensor插入到標(biāo)準(zhǔn)液中, 再按一次鍵. 此時(shí)螢?zāi)伙@示 ORP CALIB表示ORP正在校正中.1.6.4約過20秒後, 螢?zāi)粫?huì)顯示OFF=?(此數(shù)值系統(tǒng)自動(dòng)得出),再按一次鍵即完成校正.1.6.5將ORP取出, 重新清洗擦拭乾淨(jìng)後, 放回藥液中1.6.6注意事項(xiàng): 如果出現(xiàn)WARNING或ERROR的訊號(hào), 表示標(biāo)準(zhǔn)液或sensor異常.1.7 添加控制顯示裝置與PLC結(jié)合,可以根據(jù)電極電位測(cè)量儀控制添加系統(tǒng),例如在CuCl2蝕刻液,H202 (或NaClO3)就會(huì)被添加到蝕刻缸里。1.8 Maintenance(維護(hù))當(dāng)電極探頭沒有使用前,必須使用3MOL/L(223.6 g/l)的KCL溶液浸泡,使其具有再生能力。1.8.1把3mol/L的KCL倒在一個(gè)固定在機(jī)器里的容器里,然后把電極探頭懸掛在里面1.8.2附加措施:倉庫保持有第二支電極探頭用于更換,保存電極探頭于3MOL/L的KCL溶液里。使用指定的藥水清潔探頭上任何的污物。選擇性措施,如果需要如果沒有3MOL/L的KCL溶液可用,在短時(shí)間內(nèi)可以使用普通的自來水,但最長使用時(shí)間為2-3天,電極探頭一定不能用蒸餾水或DI水儲(chǔ)存,而只能用于清洗。如果電極探頭被一些微?;蛞恍┎蝗芙獾挠袡C(jī)物質(zhì)覆蓋,測(cè)量的結(jié)果就會(huì)出現(xiàn)不準(zhǔn)確,因?yàn)槲酃傅漠a(chǎn)生由各自不同的原因,普通的清洗方法可能沒法湊效,然而,可以使用以下幾種方法清洗:- 除去油脂可以使用包含表面活性劑的配方。- 除去石灰殘余物和金屬氫氧化物可以使用10%的淡鹽酸。- 除去包含硫化物的污垢可以使用10%的鹽酸和胃液素的混合液體。- 使用3MOL/L的KCL浸泡24小時(shí)以上。1.9 按鈕介紹改變0-9數(shù)字選擇數(shù)字輸入和確定繼電器2繼電器1 2.0 校正菜單 開始:同時(shí)按下箭頭鍵和ENTER 5秒鐘 = ENTER為了改變主菜單內(nèi)子菜單內(nèi)參數(shù),可以按回車,然后通過2箭頭鍵輸入數(shù)CALIBRATION MENU字,然后按回車確認(rèn).選擇語言4mA = 0000mV20mA = 1000 mV你可以在電流接觸器控制的機(jī)器使用此繼電器。 5(阻尼系數(shù),阻止顯示和輸出電流波動(dòng))退出2.1測(cè)試菜單進(jìn)入測(cè)試菜單連續(xù)按下以下鍵:兩個(gè)箭頭鍵和ENTER鍵5秒。Test Menu最小輸出電流零點(diǎn)補(bǔ)償最大輸出電流零點(diǎn)補(bǔ)償在沒有藥水的情況下輸入仿真數(shù)值測(cè)試系統(tǒng),仿真數(shù)值一直保持直到另一個(gè)菜單被選擇。退出2.2 主菜單在正常顯示下按下箭頭鍵顯示主菜單:顯示實(shí)時(shí)的氧化還原電位顯示實(shí)時(shí)的電流輸出鎖定功能ORP探頭校正2.2.1 鎖定功能當(dāng)鎖定功能啟動(dòng),420mA電流輸出會(huì)鎖定在按鍵時(shí)的電流輸出。這個(gè)功能可以在清洗探頭的時(shí)候使用,避免顯示表的波動(dòng)而導(dǎo)致添加失常。只有重新啟動(dòng)鎖定功能,選擇“HOLD NO”之后,鎖定功能才能解除。按5秒鐘2.3常見問題及處理方法:?jiǎn)栴}原因解決措施探頭校正校正后出現(xiàn)“error”提示1、 探頭損壞。2、 校正藥水過期。3、 探頭與顯示表傳輸線接觸不良。1、 更換探頭。2、 使用新的校正藥水校正。3、 更換傳輸線或顯示表。計(jì)算機(jī)顯示與儀表顯示值不一樣。儀表內(nèi)“current”所設(shè)定數(shù)值不正確。更改“current”內(nèi)數(shù)值。儀表顯示值一直不變。1、 探頭損壞。2、 探頭與顯示表傳輸線接觸不良。3、 儀表接收有問題。1、 更換探頭。2、 更換傳輸線。3、 更換顯示表。酸性蝕刻藥水

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