4#ETCH2綜合評估.doc

1ME技術(shù)報告書 文件編號:文件傳送和文件做成.審核.批準(zhǔn)收件1PLAT，PMC，LAB，QA，QAE，維修部，貨倉，審計作成任鳳舉抄送相關(guān)經(jīng)理/副經(jīng)理/高生/鄧生/遠(yuǎn)滕先生審核FAX批準(zhǔn)文件核心內(nèi)容描述技術(shù)項目4#外層蝕刻機(jī)工藝能力綜合評估目標(biāo)指標(biāo)順利投入生產(chǎn)各項指標(biāo)達(dá)標(biāo)報告摘要現(xiàn)況：1#舊蝕刻機(jī)老化，蝕刻均勻性差，不能生產(chǎn)細(xì)密線路，外層蝕刻產(chǎn)能瓶頸；技術(shù)點：按工藝要求對設(shè)備規(guī)格、工藝能力進(jìn)行評估。QDC變化量：Q：舊蝕刻機(jī)嚴(yán)重老化，不能生產(chǎn)細(xì)密線路；3#ETCH2報廢率 0.063%； Q1：減少報廢，提高品質(zhì)，可以生產(chǎn)細(xì)密線路。報廢率0.0098% D： D1：提高產(chǎn)能7000PNL/天。 C： C1：與原蝕刻機(jī)生產(chǎn)成本相同。 S： S1：自動化程度較高，操作方便。試驗方案及結(jié)果一. 工藝能力評估1 蝕刻均勻性評估：（要求：蝕刻均勻性COV90%）蝕刻條件：銅離子142.2g/L, 氯離子179.9g/L, PH 8.47，比重 1.201 ；試板尺寸：2420inch; 銅厚：2安士；評估方法：將2安士銅蝕刻到1安士，用銅厚儀測銅厚分布，每面測88個數(shù)據(jù)；計算公式：蝕刻均勻性COV(1-標(biāo)準(zhǔn)差/平均值)100%a.上噴銅厚分布行 點ABCDEFGHIJK13735.635.634.53433.134.934.23434.135.5238.336.536.736.536.237.137.636.235.335.836339.337.336.538.338.737.537.738.436.937.536.7439.636.83837.637.938.339.83837.63837.3539.438.137.839.439.138.439.340.338.738.537.16403738.33837.738.638.837.437.538.437.8738.436.936.637.537.237.438.936.936.636.336.983735.635.634.53433.134.934.23434.135.5 平均值=37.32UM；標(biāo)準(zhǔn)差=1.499UM; 上噴蝕刻均勻性COV(1-標(biāo)準(zhǔn)差/平均值)100%(1-1.499/37.32) 100%95.98% 上噴銅厚分布圖 b. 下噴銅厚分布行 點ABCDEFGHIJK137.336.43736.837.237.537.536.736.337.238.1236.336.838.437.838.138.737.736.635.936.738.8337.237.436.737.337.238.83736.935.83737.9436.737.53736.838.238.137.936.73737.139.2536.537.237.83737.938.237.136.836.537.737.563737.237.337.337.738.33736.937.236.837.373737.437.536.838.337.836.837.337.637.937.7837.935.936.335.636.637.236.837.436.635.936.8平均值=37.23UM；標(biāo)準(zhǔn)差=0.702UM; 下噴蝕刻均勻性COV(1-標(biāo)準(zhǔn)差/平均值)100%(1-0.702/37.23) 100%98.1%下噴銅厚分布圖試驗方案及結(jié)果2蝕刻因子評估（要求：蝕刻因子3）蝕刻條件：銅離子142.2g/L, 氯離子176.7g/L, PH 8.3，比重 1.201 ；蝕刻壓力：2.3-2.5/2（蝕刻缸內(nèi)另補(bǔ)加防側(cè)蝕劑8mg/L）試板尺寸：2016inch; 銅厚：底銅1/2安士圖電銅厚到1安士；評估方法：蝕刻後做切片，用顯微鏡讀取數(shù)據(jù)；讀數(shù)位置圖： C V計算公式：蝕刻因子EV/C A上噴蝕刻因子數(shù)據(jù)3.03.43.23.23.43.23.43.43.23.23.093.23.63.43.43.43.43.4B下噴蝕刻因子數(shù)據(jù)3.63.03.63.03.63.43.23.43.23.63.43.63.43.33.63.63.63.6 蝕刻後線路圖片3 。脫膜能力評估脫膜條件：YH-206鹼度0.9-1.3N；溫度430C；壓力2.5/2 ；脫膜點控制：50-60%； A 非汽車板脫膜能力:(1).脫膜液新開缸到使用12小時：線距2.4-3.5mil(圖電銅錫厚度40um),脫膜速度2.8-3.1m/mim; 線距3.5mil(圖電銅錫厚度40um), 脫膜速度3.0-3.4m/mim;(2). 脫膜液使用1224小時：線距2.4-3.5mil(圖電銅錫厚度40um),脫膜速度2.5-2.9m/mim; 線距3.5mil(圖電銅錫厚度40um), 脫膜速度2.7-3.1m/mim;試驗方案及結(jié)果B汽車板退膜能力:(1).脫膜液新開缸到使用12小時：孔銅厚25UN,脫膜速度2.3-2.5m/mim; 孔銅厚35UN,脫膜速度2.0-2.1m/mim;(2). 脫膜液使用1224小時：孔銅厚25UN,脫膜速度2.0-2.3m/mim; 孔銅厚35UN,脫膜速度1.8-2.0m/mim;4。蝕刻能力評估（要求半安士底銅可以生產(chǎn)3mil/3mil線） A.試板DV-7462內(nèi)層L2/L3面原裝線寬2.953mil,完成線寬要求2.07mil,底銅厚1/2 OZ; 蝕刻後實測線寬如下：3.15mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil ,2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil; 線寬合格率100%。 B. 試板DV-6441內(nèi)層L2/L3面原裝線寬2.95mil,完成線寬要求2.07mil-3.5mil,線距2.4mil; 底銅厚1/2 OZ; 線寬合格率100%。 蝕刻後實測線寬如下：3.15，3.15，3.15，3.15， 2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil；3.15，3.15，3.15，2.76，2.76，2.76；2.76，2.76。 C汽車板試板： DH-6006（孔銅25UM）完成線寬要求0.14mm-0.18mm,蝕刻後線寬：0.16，0.17，0.17，0.15，0.16，0.16，0.17，0.17，0.17，0.17，0.17，0.17，0.16。線寬合格率100%。 DH-7171（孔銅35UM）完成線寬要求0.14mm-0.18mm,蝕刻後線寬：0.14，0.15，0.14，0.16，0.15，0.15，0.17，0.16，0.15，0.15，0.15，0.15。線寬合格率100%。 蝕刻速度： 半安士底銅一般3.54.5M/MIN。 蝕刻後線路圖片：5。退錫能力評估 試板板厚2MM，孔徑0.2MM，縱橫比10：1；板面錫厚5-8UM； 退錫速度3M/MIN，溫度30，比重1.25，噴淋壓力2.3Kg/CM2 ; 試板結(jié)果：板面和小孔內(nèi)的錫層可以一次退除幹凈。6。薄板輸送能力評估： 板厚0.10MM不含銅，電鍍銅錫後過退膜蝕刻退錫全線，高壓水洗壓力調(diào)到2-3KG/CM2，試板數(shù)量10PNL；試板結(jié)果：輸送順暢，無卡板問題。三. 生產(chǎn)板品質(zhì)狀況（7月1日-9月13日,FA除外）1. 電金板共生產(chǎn)12646塊板，品質(zhì)正常，無蝕刻過度和金面氧化等問題；其中有設(shè)備損壞板8PNLS。2. 外層電銅錫板共生產(chǎn)123626塊板，品質(zhì)正常，無蝕刻線幼和蝕刻短路等問題；3. 內(nèi)層電銅錫板共生產(chǎn)258225塊板，線寬線距正常，無蝕刻線幼和蝕刻短路等問題；其中蝕刻不足14PNL，蝕刻過度9PNL，設(shè)備損壞板8PNLS。4. 汽車板共生產(chǎn)1920PNL，線寬線距正常，無蝕刻線幼和蝕刻短路等問題；5. 薄板生產(chǎn)狀況：DC-7385內(nèi)層板厚0.17MM，生產(chǎn)7057PNLS輸送順暢，無卡板問題。6. 總報廢率：39/3964170.0098%;(原2#ETCH2報廢率0.168%；3#ETCH2報廢率 0.063%)。注：以上數(shù)據(jù)來自DM ERP-（WIP MIS）系統(tǒng)。四產(chǎn)能評估： 1. 普通板產(chǎn)能:1.普通板平均生產(chǎn)速度：約3M/MIN；2.板寬度平均約41CM，放板間距3CM；3.每小時產(chǎn)能：300(41+3)60409PNL/H; 4.每天生產(chǎn)時間： （1） 每天非生產(chǎn)時間：更換藥水及維護(hù)1.5H；型號轉(zhuǎn)換FA每次12MIN*10次共120MIN（2H）；吃飯1+0.5+1+0.53H; 共計6.5H。（2） 每天生產(chǎn)時間：24-6.517.5H. 5.普通板每天產(chǎn)能:40917.57157PNL/天。2. 汽車板產(chǎn)能評估： 1.汽車板退膜平均生產(chǎn)速度：約2.2M/MIN； 2.每小時產(chǎn)能：220(41+3)60300PNL/H; 3.汽車板每天產(chǎn)能:30017.55250PNL/天?？疾?. 通過對蝕刻均勻性和蝕刻因子的評估可以看出：其蝕刻均勻性和蝕刻因子可以達(dá)到要求，其蝕刻較均勻，有利於細(xì)線生產(chǎn)；2. 通過對蝕刻能力評估可以看出：該蝕刻線可以生產(chǎn)半安士底銅3mil/3mil線；蝕刻速度： 半安士底銅一般45M/MIN，可以滿足生產(chǎn)需求。3. 通過對脫膜能力評估可以看出：經(jīng)過前期的改善，目前該機(jī)平均退膜速度可以達(dá)到3m/mim; 可以滿足生產(chǎn)需求。4. 通過對退錫能力評估可以看出：該機(jī)可以將縱橫比10：1小孔內(nèi)的錫層可以一次退除幹凈?？梢詽M足工藝要求；5. 通過薄板輸送能力評估可以看出，其可以生產(chǎn)板厚0.10MM不含銅的電鍍銅錫板，（高壓水洗壓力調(diào)到2-3KG/CM2）。6. 通過生產(chǎn)板品質(zhì)狀況可以看出：該機(jī)目前可以生產(chǎn)電金板、普通外層電銅錫板、內(nèi)層電銅錫板，汽車板外層線路。結(jié)論1. .通過相關(guān)試驗及批量試產(chǎn)，4#蝕刻機(jī)工藝能力合乎要求，可以滿足現(xiàn)有型號生產(chǎn)品質(zhì)要求。2. 4#外層蝕刻線可以投入生產(chǎn)，目前可以生產(chǎn)的板的種類有：電金板、普通外層電銅錫板、內(nèi)層電銅錫板；外層汽車板。結(jié)論3. 設(shè)備工藝能力項目單位正常工藝能力要求判斷備注最大寬度mm610610PASS最小寬度mm200200PASS最大長度mm610610PASS最小長度mm200200PASS最大厚度mm3.23.2PASS最小厚度mm0.100.10PASS高壓水洗壓力調(diào)到2-3KG/CM2金屬線寬生產(chǎn)下限mil33PASS半安士底銅，原裝3/3mil線沉銅平板層銅厚在510um以內(nèi)，且銅厚偏差在5um以