GB7667-2003電子顯微鏡X射線泄漏劑量.pdf

GB 7 6 6 7 - 2 0 0 3前言 本標準的全部技術(shù)內(nèi)容為強制性的。 本標準是對 G B 7 6 6 7 -1 9 9 6 電子顯微鏡X射線泄漏劑量 的修訂。修訂時增加了前言; 在 3 . 1 “ 試驗設(shè)備” 條款中增加了對試驗設(shè)備必須經(jīng)過法定計量部門計量并取得合格證書才能使用的要求。 本標準由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出。 本標準由全國光學(xué)和光學(xué)儀器標準化技術(shù)委員會( C S B T S / T C1 0 3 ) 歸口。 本標準由上海電子光學(xué)技術(shù)研究所負責起草。 本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為: GB 7 6 6 7 - 1 9 8 7 , GB 7 6 6 7 - 1 9 9 6 0免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t )免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊, 即可下載 GB 7 6 6 7 - 2 0 0 3電子顯微鏡 X射線泄漏劑量范圍本標準規(guī)定了電子顯微鏡( 以下簡稱電鏡) x射線泄漏劑量、 試驗方法及檢驗規(guī)則。本標準適用于透射、 掃描、 反射掃描和電子探針等不同類型的電鏡。2 要求電鏡X射線泄漏的空氣吸收劑量率不應(yīng)大于2 . 5 p G y / h ,3 試驗方法3 . 1 試驗設(shè)備 帶有修正因子( 指校正X射線) X射線劑量率儀， 其等級為二級。最小擋刻度值不能大于1 p G y / h a用于檢測的X射線劑量率儀必須經(jīng)過法定計量部門的計量檢定， 并取得合格證書。有效期內(nèi)的檢測儀器經(jīng)可能涉及計量精度的重大維修后， 必須重新進行計量檢定。3 . 2 試驗程序3 . 2 . 1 將試驗電鏡加速電壓調(diào)到最高擋， 選用最大正常工作束流和最大束斑。3 . 2 . 2 將聚光鏡調(diào)整到正常工作狀態(tài)， 放大倍率調(diào)到最低擋， 并將活動光闌全部退出。對掃描電鏡和電子探針等則應(yīng)以鎢為樣品將吸收電流調(diào)到最大值。3 . 2 . 3 試驗部位為照相室、 觀察室、 樣品室、 活動光闌、 電子槍( 電鏡加速電壓等于或大于4 0 0 k V的電子槍被測部位指隔離層) 、 真空管道、 顯像管、 鏡筒及其附屬裝置。在試驗樣品室以上的部位時， 則應(yīng)將物鏡活動光闌插人電子束通道。3 . 2 . 4 將x射線劑量率僅在離開試驗部位5 0 m m處作緩緩移動， 測出其X射線最大泄漏的空氣吸收劑量率。4 檢驗規(guī)則逐臺進行檢驗。免費標準下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n