CT廠進(jìn)氣過(guò)濾方式分析.ppt

CT廠進(jìn)氣過(guò)濾方式分析報(bào)告,單位:Y60 報(bào)告人:葉日恆,報(bào)告內(nèi)容: 一.問(wèn)題點(diǎn) 二.理念政策 三.期望 四.差異分析及改善措施提出 4.1進(jìn)氣各種處理方式的評(píng)估 4.2活性碳過(guò)濾處理的設(shè)計(jì)原則 4.3CT廠活性碳過(guò)濾現(xiàn)況設(shè)計(jì)說(shuō)明表 4.4目前CM、CT之現(xiàn)況檢討與費(fèi)用預(yù)估,1.1問(wèn)題現(xiàn)象: 1.目前大園廠生產(chǎn)的過(guò)程中,置放的holding time在4小 時(shí)內(nèi)即發(fā)生盲孔孔底發(fā)黑或發(fā)藍(lán), 造成盲孔浮離的現(xiàn) 象。 2.空氣過(guò)濾處理之效率及需求無(wú)法量化。 1.2經(jīng)過(guò)分析的問(wèn)題點(diǎn): 1.初步判定外氣含有化學(xué)污染物質(zhì),如下表:,如何維持板子置放時(shí)間在8小時(shí)而無(wú)品質(zhì)異常？,一.問(wèn)題點(diǎn),根據(jù)以上量測(cè)值懷疑空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)即為造成板子 盲孔孔底發(fā)黑或發(fā)藍(lán)的現(xiàn)象。,若參考 wafer fab clean room air quality criteria: *Total Hydrocarbons(THC):100ppb; *NOX:0.5ppb; * SOX :0.5ppb 來(lái)作為過(guò)濾基準(zhǔn),則必須有97.5%的去除效率,空氣處理成 本將相當(dāng)可觀。假設(shè)IC載板不需如此高的情況下,去除效 率應(yīng)為多少才能符合我們的生產(chǎn)環(huán)境條件? 2.配合CT廠現(xiàn)場(chǎng)品質(zhì)異常而緊急改善所採(cǎi)用的過(guò)濾方式,目 前一時(shí)無(wú)法量化及制定出更換週期。,二.理念政策:廠內(nèi)的空氣品質(zhì)需合乎作業(yè)製程品質(zhì)、 人員健康的需求。 三.期望(未來(lái)是什麼): 3.1藉由比較各種過(guò)濾方式及設(shè)計(jì),取得最適宜的 方法來(lái)改善空氣品質(zhì),使板子在8小時(shí)之holding time內(nèi)仍不致發(fā)生盲孔孔底有發(fā)黑、發(fā)藍(lán)的情 形。 3.2藉由長(zhǎng)期(3個(gè)月)來(lái)觀察:以懸掛之測(cè)試裸銅片 (station monitor)之氧化程度 來(lái)取代過(guò)濾效率 的量化指標(biāo)。,四.差異分析及改善措施提出(Gap 並對(duì)濾材選用的knowledge仍 嫌不足。 c.改善措施提出(Solution) c.1進(jìn)氣各種處理方式的評(píng)估及活性碳過(guò)濾處理的設(shè)計(jì)原則。 c.2過(guò)濾效果評(píng)估實(shí)驗(yàn)計(jì)劃(保養(yǎng)頻率及標(biāo)準(zhǔn)化制定)。,4.1進(jìn)氣各種處理方式的評(píng)估,4.2,4.4目前CM、CT之現(xiàn)況檢討與費(fèi)用預(yù)估,9,8,A10無(wú)塵室進(jìn)氣顆粒狀活性碳過(guò)濾安裝位置(目前作法),9,(在進(jìn)氣空調(diào)箱之前),風(fēng)速:0.30.5m/s 壓損:0.5inAq,安裝位置(目前作法),10,8,9,框,8,8,作法二:在進(jìn)氣空調(diào)箱內(nèi)部的活性碳過(guò)濾(安裝在濾袋之前),兩道