- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2025-04-23 頒布

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基本信息:
- 標(biāo)準(zhǔn)號:IEC 62047-46:2025 EN
- 標(biāo)準(zhǔn)名稱:半導(dǎo)體器件-微機(jī)電設(shè)備-第46部分:硅基MEMS制造技術(shù)-納米厚度膜拉伸強度的測量方法
- 英文名稱:Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 46: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of tensile strength of nanoscale thickness membrane
- 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行
- 發(fā)布日期:2025-04-23
文檔簡介
硅基MEMS制造技術(shù)-納米厚度膜拉伸強度的測量方法標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容如下:
該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了納米厚度膜(厚度在幾納米到幾百納米之間)拉伸強度的測量方法,適用于硅基MEMS器件的生產(chǎn)和測試。該標(biāo)準(zhǔn)提供了詳細(xì)的測試方法和要求,以確保膜的拉伸強度符合設(shè)計要求和性能標(biāo)準(zhǔn)。
測試步驟如下:
1.準(zhǔn)備樣品:選擇合適的硅基MEMS器件樣品,確保其符合生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)格要求。
2.切割和制備樣品:根據(jù)測試要求,對樣品進(jìn)行切割和制備,確保膜的平整度和完整性。
3.測量膜的厚度:使用適當(dāng)?shù)臏y量設(shè)備和方法,精確測量膜的厚度,確保其符合設(shè)計要求。
4.加載和測量拉伸強度:使用適當(dāng)?shù)脑O(shè)備和方法,對膜進(jìn)行加載,并測量其拉伸強度。拉伸強度是指膜在受到拉伸應(yīng)力時所能承受的最大應(yīng)力值。
5.數(shù)據(jù)分析和報告:根據(jù)測試結(jié)果,對數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和報告,確保膜的拉伸強度符合標(biāo)準(zhǔn)要求。
標(biāo)準(zhǔn)還規(guī)定了測試過程中的注意事項和要求,例如測試環(huán)境的控制、測試設(shè)備的校準(zhǔn)和驗證、測試數(shù)據(jù)的記錄和保存等。此外,標(biāo)準(zhǔn)還對測試過程中的異常情況進(jìn)行了說明和處理方法,以確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
該標(biāo)準(zhǔn)為硅基MEMS器件生產(chǎn)商提供了詳細(xì)的測試方法和要求
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