《高純銅合金鑄錠》標(biāo)準(zhǔn)

1T/SDAMAXXXXX—202X高純銅合金鑄錠本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了高純銅合金鑄錠的產(chǎn)品要求、試驗(yàn)方法、取樣、檢驗(yàn)規(guī)則、訂貨內(nèi)容、標(biāo)志和隨行文件，以及包裝、運(yùn)輸和貯存內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于制造半導(dǎo)體銅合金靶材所需的高純銅合金鑄錠。其他行業(yè)所需的高純銅合金鑄錠也可參照使用。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T3310銅及銅合金棒材超聲檢測(cè)方法GB/T5121.28銅及銅合金化學(xué)分析方法第28部分：鉻、鐵、錳、鈷、鎳、鋅、砷、硒、銀、鎘、錫、銻、碲、鉛、鉍量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法GB/T5121.8銅及銅合金化學(xué)分析方法第8部分：氧、氮、氫含量的測(cè)定YS/T922高純銅化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測(cè)定輝光放電質(zhì)譜法3術(shù)語(yǔ)和定義本文件沒(méi)有需要界定的術(shù)語(yǔ)和定義。4要求高純銅合金鑄錠根據(jù)合金成分不同，分為高純CuP合金鑄錠、高純CuAl合金鑄錠以及高純CuMn合金鑄錠。具體牌號(hào)應(yīng)符合表1的規(guī)定。如果需方有其他成分要求，雙方協(xié)商確認(rèn)。其中，高純CuP合金鑄錠的純度分類為99.95、99.99、99.995、99.999，高純CuAl合金鑄錠的純度分類為99.9999、99.999，以及高純CuMn合金鑄錠的純度為99.9999。表1高純銅合金鑄錠牌號(hào)鑄錠種類牌號(hào)高純CuP合金鑄錠CuP-99.95CuP-99.99CuP-99.995CuP-99.999高純CuAl合金鑄錠Cu-0.11%AlCu-0.21%Al高純CuMn合金鑄錠Cu-0.22%MnCu-0.43%MnCu-0.69%MnCu-1.73%Mn4.2化學(xué)成分4.2.1高純CuP合金鑄錠的化學(xué)成分應(yīng)符合表2規(guī)定。T/SDAMAXXXXX—202X表2高純CuP合金鑄錠的化學(xué)成分(質(zhì)量分?jǐn)?shù))／10-—1AS211—2 21K 1 1—1—1Ni5251—2V——S ％，注2：aCu+P含量為100%減去表中雜質(zhì)元素實(shí)測(cè)總和的余量(不4.2.2高純CuAl合金鑄錠的化學(xué)成分應(yīng)符合表3規(guī)定。表3高純CuAl合金鑄錠的化學(xué)成分Al含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))／%1ASBT/SDAMAXXXXX—202X(質(zhì)量分?jǐn)?shù))／10-KNaNbNiPUVW量C11H11O11N11S11注1：需方如有特殊要求時(shí)，由供需雙方商定，并在訂貨4.2.3高純CuMn合金鑄錠的化學(xué)成分應(yīng)符合表4規(guī)定。表4高純CuMn合金鑄錠的化學(xué)成分1T/SDAMAXXXXX—202X——B —— 1—K ——NaNi1P — — —UV—W ——C1111H111—O111N111S 111 注1：需方如有特殊要求時(shí)，由供需雙方商定，并在訂貨5T/SDAMAXXXXX—202X4.3尺寸及允許偏差高純銅合金鑄錠形狀一般為圓柱型，直徑（D）大于150mm，長(zhǎng)度大于400mm。其外形尺寸及允許偏差，可根據(jù)需方要求提供或由供需雙方協(xié)商。4.4外觀質(zhì)量高純銅合金鑄錠表面為機(jī)加工表面。鑄錠表面應(yīng)潔凈，無(wú)裂紋、毛刺、夾雜、孔洞和其他沾污。4.5內(nèi)部質(zhì)量高純銅合金鑄錠內(nèi)部應(yīng)連續(xù)一致，內(nèi)部應(yīng)無(wú)氣孔、疏松、縮孔和夾雜等缺陷，由供方生產(chǎn)工藝保證。5試驗(yàn)方法5.1化學(xué)成分5.1.1高純銅合金鑄錠中磷、鋁、錳合金元素的分析方法按照GB/T5121.28的規(guī)定執(zhí)行。5.1.2高純銅合金鑄錠中雜質(zhì)元素氮、氧、氫的分析方法按照GB/T5121.8的規(guī)定執(zhí)行。5.1.3高純銅合金鑄錠中其他雜質(zhì)元素的分析方法按照YS/T922高純銅化學(xué)分析方法的規(guī)定執(zhí)行。5.1.4高純銅合金鑄錠總雜質(zhì)元素碳的分析方法由供需雙方協(xié)商確定。5.2尺寸及允許偏差高純銅合金鑄錠的外形尺寸由相應(yīng)精度的量具檢測(cè)。5.3外觀質(zhì)量外觀質(zhì)量用目視檢測(cè)，如發(fā)現(xiàn)異常現(xiàn)象，在10倍放大鏡下目視檢查。5.4內(nèi)部質(zhì)量高純銅合金鑄錠內(nèi)部質(zhì)量檢查按照GB/T3310的規(guī)定執(zhí)行。6取樣檢驗(yàn)項(xiàng)目、取樣位置及數(shù)量應(yīng)符合表5的規(guī)定。表5檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣規(guī)定檢驗(yàn)項(xiàng)目取樣位置要求的章條號(hào)試驗(yàn)方法的章條號(hào)T/SDAMAXXXXX—202X7檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢驗(yàn)分類按檢驗(yàn)階段分類：分為原材料檢驗(yàn)、成品檢驗(yàn)。按檢驗(yàn)項(xiàng)目分類：分為化學(xué)成分檢驗(yàn)、尺寸檢驗(yàn)、外觀檢驗(yàn)、內(nèi)部缺陷檢驗(yàn)。7.2檢驗(yàn)項(xiàng)目檢驗(yàn)項(xiàng)目為化學(xué)成分檢驗(yàn)、尺寸檢驗(yàn)、外觀檢驗(yàn)、內(nèi)部缺陷檢驗(yàn)。7.3組批規(guī)則和抽樣方案7.3.1組批規(guī)則：高純銅合金鑄錠應(yīng)成批提交驗(yàn)收，每批應(yīng)由同一牌號(hào)、同一規(guī)格鑄錠組成；批量大小一般根據(jù)生產(chǎn)實(shí)際情況和相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定確定，例如可能規(guī)定每批重量不超過(guò)一定噸數(shù)，或者包含的鑄錠數(shù)量在一定范圍內(nèi)。7.3.2抽樣方案：抽樣數(shù)量為鑄錠逐錠檢驗(yàn)。7.4判定規(guī)則化學(xué)成分、外形尺寸及允許偏差、外觀質(zhì)量、內(nèi)部質(zhì)量檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，判定該錠不合格。8訂貨內(nèi)容8.1按照本文件訂貨的合同或訂單應(yīng)包括下列內(nèi)容：a）本標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)；b）產(chǎn)品名稱；c）牌號(hào)；d）規(guī)格尺寸；e）重量；f）包裝方式；g）其他特殊要求。9標(biāo)志和隨行文件a)產(chǎn)品名稱；b)牌號(hào)；c)規(guī)格尺寸；7T/SDAMAXXXXX—202Xd)凈重；e)批次；f)生產(chǎn)日期；g)企業(yè)名稱；h)生產(chǎn)廠家地址及電話。9.2隨行文件：隨行文件包括產(chǎn)品質(zhì)量證明書，內(nèi)容包括如下：a）供方名稱、地址、電話、傳真；b）產(chǎn)品名稱；c）牌號(hào)；d）訂單編號(hào)；e）生產(chǎn)批號(hào)；f）分析檢測(cè)結(jié)果和質(zhì)量監(jiān)督部門印記；g）生產(chǎn)日期；h）其他。10包裝、運(yùn)輸和貯存包裝要求的基本內(nèi)容包括：a）高純銅合金鑄錠獨(dú)立包裝，采用塑料薄膜包覆表面。b)外包裝采用木箱包裝。包裝箱內(nèi)應(yīng)有防碰撞措施。將質(zhì)量證明書用塑料袋裝好后放于包裝箱內(nèi)。需方有特殊要求時(shí)，由供需雙方商定。10.2運(yùn)輸運(yùn)輸過(guò)程中，應(yīng)防止碰傷、擦傷、雨淋，防止表面接觸化學(xué)試劑，并保證包裝完整。10.3貯存貯存過(guò)程中，鑄錠應(yīng)保存于清潔、干燥的環(huán)境中，防止碰傷、擦傷、雨淋