- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2025-02-20 頒布

下載本文檔
基本信息:
- 標準號:ISO/TS 25138:2025 EN
- 標準名稱:金屬氧化物薄膜的輝光放電光學(xué)發(fā)射光譜分析
- 英文名稱:Surface chemical analysis — Analysis of metal oxide films by glow discharge optical emission spectrometry
- 標準狀態(tài):現(xiàn)行
- 發(fā)布日期:2025-02-20
文檔簡介
ISO/TS25138:2025《表面化學(xué)分析——用輝光放電等離子發(fā)射光譜法分析金屬氧化物薄膜》是針對金屬氧化物薄膜的分析方法的標準,提供了一種具體分析步驟和規(guī)范化的方法,其主要包括以下幾個部分:
一、引言部分:對標準的基本概述和背景信息,明確該標準的目的和范圍。
二、原理部分:詳細解釋了使用輝光放電等離子發(fā)射光譜法進行分析的基本原理,包括該方法的優(yōu)點和局限性。
三、設(shè)備與材料部分:詳細介紹了進行金屬氧化物薄膜分析所需的設(shè)備、試劑和樣品制備方法等,包括各種必要的條件和參數(shù)設(shè)置。
四、實驗部分:詳細描述了實驗的步驟和方法,包括樣品放置、輝光放電條件設(shè)置、光譜采集和分析等。
五、結(jié)果與討論部分:對實驗結(jié)果進行詳細描述,并對結(jié)果進行討論和分析,可能包括對誤差的評估和討論。
六、參考文獻部分:列出標準中引用的所有文獻和資料,以供讀者參考。
ISO/TS25138:2025《表面化學(xué)分析——用輝光放電等離子發(fā)射光譜法分析金屬氧化物薄膜》提供了一種詳細、規(guī)范化的方法,用于金屬氧化物薄膜的分析,可以幫助實驗室更好地理解和掌握金屬氧化物薄膜的性質(zhì)和變化規(guī)律。
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