氣敏傳感器原理

氣敏傳感器及應(yīng)用技術(shù)

Air-sensitivesensoranditsapplicationtechnolegy1.

半導(dǎo)體氣敏傳感器氣敏傳感器原理2.

接觸燃燒式氣敏傳感器3.

電化學(xué)氣敏傳感器一、半導(dǎo)體氣敏傳感器半導(dǎo)體氣敏傳感器電阻式傳感器非電阻式傳感器半導(dǎo)體傳感器是利用半導(dǎo)體氣敏元件同氣體接觸后，造成半導(dǎo)體性質(zhì)變化來(lái)檢測(cè)特定氣體的成分或者測(cè)量其濃度。一、半導(dǎo)體氣敏傳感器

電阻式氣敏傳感器是利用氣體在半導(dǎo)體表面的氧化和還原反應(yīng)，導(dǎo)致敏感元件阻值變化來(lái)測(cè)量氣體。1.電阻式氣敏傳感器按照半導(dǎo)體與氣體相互作用位置不同分類電阻式傳感器燒結(jié)型薄膜型厚膜型電阻式傳感器表面控制型體控制型

按照半導(dǎo)體制作類型不同分類一、半導(dǎo)體氣敏傳感器

非電阻式半導(dǎo)體氣敏傳感器是利用氣敏吸附和反應(yīng)時(shí)引起的PN結(jié)或場(chǎng)效應(yīng)管功能參數(shù)變化來(lái)實(shí)現(xiàn)氣體檢測(cè)的。非電阻式半導(dǎo)體氣敏傳感器屬于表面控制型傳感器。2.非電阻式氣敏傳感器非電阻式傳感器金屬-半導(dǎo)體結(jié)二極管型MOS二極管型MOSFET型非電阻式氣敏傳感器分類：非電阻式氣敏傳感器主要特點(diǎn)：靈敏度高；常用于可燃防爆檢測(cè)有毒有害氣體檢測(cè)等。一、半導(dǎo)體氣敏傳感器物理特性類型檢測(cè)氣體氣敏元件電阻型電阻特性表面控制型可燃?xì)怏w二氧化硅、氧化鋅等體控制型酒精、可燃?xì)怏w、氧氣氧化鎂、二氧化硅、氧化鈦等非電阻型二極管整流特性表面控制型氫氣、一氧化碳、酒精鉑-硫化鎘、鉑-氧化鈦、金屬-半導(dǎo)體結(jié)型二極管晶體管特性氫氣、硫化氫鉑柵、鈀柵MOS場(chǎng)效應(yīng)管二、接觸燃燒式氣敏傳感器

1.可燃性氣體

將在空氣中達(dá)到一定濃度、觸及火種可引起燃燒的氣體稱為可燃性氣體。例如：甲烷、乙炔、甲醇、乙醇、乙醚、一氧化碳、氫氣等。2.接觸燃燒性氣體傳感器分類

直接接觸燃燒式、催化接觸燃燒式

二、接觸燃燒式氣敏傳感器3.接觸燃燒式氣敏傳感器原理

可燃?xì)怏w與空氣中的氧氣在通電狀態(tài)下的氣敏材料（如Pt電熱絲）上產(chǎn)生無(wú)焰接觸燃燒，使得氣敏材料（Pt電熱絲）溫度上高，電阻值增大。

4.應(yīng)用

石化工廠、造船廠、礦井隧道、浴室、廚房等處可燃性氣體的監(jiān)測(cè)和報(bào)警。三、電化學(xué)氣敏傳感器

電化學(xué)氣敏傳感器，主要利用兩個(gè)電極之間的化學(xué)電位差，一個(gè)在氣體中測(cè)量氣體濃度，另一個(gè)是固