JJF(陜) 114-2024 石墨電極螺紋量規(guī)校準(zhǔn)規(guī)范_第1頁
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JJF(陜)114-2024石墨電極螺紋量規(guī)校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforGraphiteElectrodeThreadGauges2024-05-09發(fā)布 2024-08-09實(shí)施陜西省市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布JJF(陜)114-2024JJF(陜)114-2024JJF(陜)114-2024石墨電極螺紋量規(guī)校準(zhǔn)規(guī)范JJF(陜)114-2024CalibrationSpecificationforGraphiteThreadGauges歸口單位:陜西省市場(chǎng)監(jiān)督管理局主要起草單位:西安計(jì)量技術(shù)研究院陜西航空宏峰精密機(jī)械工具有限責(zé)任公司本規(guī)范由陜西省市場(chǎng)監(jiān)督管理局負(fù)責(zé)解釋本規(guī)范主要起草人:韓 )()()參加起草人:薛俊英(陜西航空宏峰精密機(jī)械工具有限責(zé)任公司)張麗英(陜西航空宏峰精密機(jī)械工具有限責(zé)任公司)段文龍(陜西航空宏峰精密機(jī)械工具有限責(zé)任公司)李玉紅(西安計(jì)量技術(shù)研究院)JJF(陜)114-2024JJF(陜)114-2024PAGE\*ROMANPAGE\*ROMANII目 錄引 言 (II)1 范圍 (1)2 引用文件 (1)3 概述 (1)計(jì)量特性 (2)表面粗糙度 (2)石墨電極螺紋量規(guī)螺紋參數(shù)計(jì)量特性見表1 (3)校準(zhǔn)條件 (3)環(huán)境條件 (3)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備 (3)校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法 (4)表面粗糙度 (4)石墨電極螺紋量規(guī)螺紋參數(shù) (4)螺距、半錐角、基面中徑 (4)6.2.2 牙側(cè)角 (7)螺紋塞規(guī)基面大徑、螺紋環(huán)規(guī)基面小徑 (7)工作螺紋環(huán)規(guī)厚度 (7)基面間距離 (7)校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá) (8)復(fù)校時(shí)間間隔 (8)附錄A基面間距離SPB、SPAB、SRA、SRC、SRAB)參數(shù)位置 (9)附錄B探針的配置 (11)附錄C石墨電極螺紋量規(guī)校準(zhǔn)記錄格式(推薦) (12)附錄D石墨電極螺紋量規(guī)校準(zhǔn)證書內(nèi)容及內(nèi)頁格式 (13)附錄E石墨電極螺紋量規(guī)測(cè)量不確定度評(píng)定(示例) (15)引 言JJF1071-2010JJF1001-2011術(shù)語及定義》、JJF1059.1-2012《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》等基礎(chǔ)性系列規(guī)范文件進(jìn)行制定。本規(guī)范校準(zhǔn)方法及計(jì)量特性等參考JJF1108-2012《石油螺紋工作量規(guī)校準(zhǔn)規(guī)范》、YB/T4088-2000《石墨電極》、YB/T4089-2000《高功率石墨電極》、YB/T4090-2000《超高功率石墨電極》、JISR7202-2011《石墨電極螺紋精度的檢測(cè)方法》的相關(guān)條款。本規(guī)范為首次發(fā)布。JJF(陜)114-2024JJF(陜)114-2024PAGEPAGE10石墨電極螺紋量規(guī)校準(zhǔn)規(guī)范范圍本規(guī)范適用于石墨電極螺紋量規(guī)的校準(zhǔn)。引用文件本規(guī)范引用下列文獻(xiàn):JJF1108-2012 石油螺紋工作量規(guī)校準(zhǔn)規(guī)范GB/T14791-2013 螺紋術(shù)語YB/T4088-2000 石墨電極YB/T4089-2000 高功率石墨電極YB/T4090-2000 超高功率石墨電極JISR7202-2011 石墨電極螺紋精度的檢測(cè)方法凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本規(guī)范;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規(guī)范。概述螺紋量規(guī),按使用形式分為石墨電極螺紋環(huán)規(guī)和石墨電極螺紋塞規(guī)。石墨電極螺紋量規(guī)分為校對(duì)螺紋塞規(guī)(MP)、校對(duì)螺紋環(huán)規(guī)(MR)、大端工作螺紋塞規(guī)(PB)、小端工作螺紋塞規(guī)(PA)、大端工作基準(zhǔn)螺紋環(huán)規(guī)(RA)、大端工作螺紋環(huán)規(guī)(RC)、小端工作螺紋環(huán)規(guī)(RB)。如圖1所示。(a)校對(duì)螺紋環(huán)規(guī)(MR) (b)校對(duì)螺紋塞規(guī)(MP)(c)大端工作基準(zhǔn)螺紋環(huán)規(guī)(RA) (d)大端工作螺紋環(huán)規(guī)(RC)(e)大端工作螺紋塞規(guī)(PB) (f)小端工作螺紋環(huán)規(guī)(RB)(g)小端工作螺紋塞規(guī)(PA)

圖1 石墨電極螺紋量規(guī)校對(duì)螺紋塞規(guī)用于校對(duì)RA、RB、RC工作螺紋環(huán)規(guī)的磨損程度。校對(duì)螺紋環(huán)規(guī)用于校對(duì)PA、PB工作螺紋塞規(guī)的磨損程度。計(jì)量特性表面粗糙度螺紋量規(guī)的牙型表面粗糙度Ra值應(yīng)不大于0.32μm,螺紋頂徑表面粗糙度Ra值應(yīng)不大于0.63μm,測(cè)量面的表面粗糙度Ra值應(yīng)不大于0.40μm。4.2石墨電極螺紋量規(guī)螺紋參數(shù)計(jì)量特性見表1表1石墨電極螺紋量規(guī)計(jì)量特性序號(hào)參數(shù)名稱符號(hào)1基面中徑d2、D22螺紋塞規(guī)基面大徑D3螺紋環(huán)規(guī)基面小徑D14半錐角/25螺距P6牙側(cè)角27工作螺紋環(huán)規(guī)厚度H8校對(duì)螺紋環(huán)規(guī)基面與校對(duì)螺紋塞規(guī)測(cè)量參考面的距離S9大端工作螺紋塞規(guī)基面與校對(duì)螺紋環(huán)規(guī)基面的距離SPB10大端工作螺紋塞規(guī)基面與小端工作螺紋塞規(guī)基面的距離SPAB11大端工作基準(zhǔn)螺紋環(huán)規(guī)基面與校對(duì)螺紋塞規(guī)基面的距離SRA12大端工作螺紋環(huán)規(guī)基面與校對(duì)螺紋塞規(guī)基面的距離SRC13大端工作基準(zhǔn)螺紋環(huán)規(guī)小端面與小端工作螺紋環(huán)規(guī)小端面的距離SRAB注1:校對(duì)螺紋塞規(guī)的基面為距離大端面10mm處,其余量規(guī)的基面為大端面。2:基面間距離SPB、、SRA、SRC、SRAB)A。注3:以上計(jì)量特性指標(biāo)根據(jù)用戶要求或者合同規(guī)定執(zhí)行。校準(zhǔn)條件環(huán)境條件校準(zhǔn)環(huán)境溫度:新制石墨電極螺紋量規(guī)為(20±1)℃,使用中為(20±2)℃。校準(zhǔn)前,校量規(guī)應(yīng)清洗干凈后放置于室內(nèi)平板上進(jìn)行等溫處理,等溫時(shí)間不少于12h。校準(zhǔn)環(huán)境相對(duì)濕度≤70%。測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備見表2。表2測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備序號(hào)校準(zhǔn)項(xiàng)目測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備1表面粗糙度表面粗糙度比較樣塊MPE:+12%~-17%2螺距坐標(biāo)測(cè)量機(jī) MPEE:±(1.5+L/400)μm(L--測(cè)量長(zhǎng)度,mm)3半錐角4基面中徑5牙側(cè)角6螺紋塞規(guī)基面大徑7螺紋環(huán)規(guī)基面小徑8工作螺紋環(huán)規(guī)厚度數(shù)顯測(cè)高儀MPE:±(5μm+10-5L/3)(L:測(cè)量長(zhǎng)度)花崗巖平板:1級(jí)9SPBSRASRC)深度千分尺 MPE:±0.004mm平板:1級(jí)10基面間距離(SPAB、SRAB)深度百分表 MPEV:0.02mm平板:1級(jí)注:允許使用其他滿足不確定度要求的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備。校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法螺紋應(yīng)修整至完整螺紋。表面粗糙度使用表面粗糙度比較樣塊對(duì)螺紋牙側(cè)面和表面進(jìn)行比較測(cè)量。用表面粗糙度比較樣塊進(jìn)行比較測(cè)量時(shí),選用的表面粗糙度樣塊和被測(cè)表面的加工方法應(yīng)該相同,表面粗糙度比較樣塊的材料、形狀、表面色澤等也應(yīng)盡可能與被測(cè)表面一致。當(dāng)被測(cè)表面的加工痕跡深淺不超過表面粗糙度比較樣塊工作面的加工痕跡深度時(shí),則被測(cè)表面的表面粗糙度一般不超過表面粗糙度比較樣塊的標(biāo)稱值,記錄下該標(biāo)稱值作為被測(cè)表面的表面粗糙度測(cè)量結(jié)果。石墨電極螺紋量規(guī)螺紋參數(shù)螺距、半錐角、基面中徑測(cè)量前,將被測(cè)螺紋塞規(guī)的大端端面(螺紋環(huán)規(guī)的小端端面)放置在調(diào)試好的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)工作臺(tái)上,選擇相應(yīng)的探針(探針的配置見附錄C),從任一母線的第二個(gè)完整牙開始在螺紋槽中進(jìn)行測(cè)量,依次測(cè)量均勻分布的四條母線,獲得測(cè)量數(shù)據(jù)。(xijziji為測(cè)量的第i條母線,j為每條母線測(cè)量時(shí)的第j牙)。測(cè)量四條母線,得到四組坐標(biāo)值:(n為測(cè)量的牙數(shù))?11(?11?11?11),?12(?12?12?12),?1?(?1n?1n,?21(?21?21?21),?22(?22?22?22),?2?(?2n?2n,?31(?31,?31,?31),?32(?32,?32,?32),...?3?(?3n,?3n,?41(?41,?41,?41),?42(?42,?42,?42),...?4?(?4n,?4n,。螺距對(duì)測(cè)量得到的zij數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。按式(1)計(jì)算,單個(gè)螺距偏差按式(2)計(jì)算:zijzi(j|量規(guī)第ijZ軸的讀數(shù)(j2);zi(j1)量規(guī)第i條母線第j1牙Z軸的讀數(shù);螺距的標(biāo)稱值。螺距累積偏差按式(3)計(jì)算:

(1)(2)kkji,(k,,n)i1

(3)在測(cè)量長(zhǎng)度范圍內(nèi),每條母線的最大螺距累積偏差max為的最大值與最小值之差。螺距偏差P取每條母線的max的絕對(duì)值最大者。半錐角x2yij ij首先對(duì)四條母線進(jìn)行最小二乘擬合,計(jì)算Rij,見公式(4);計(jì)算各條擬合直線的斜率Fi(0),見公式(x2yij ijRij

(4)nnzijzijnn njjjn zij ijn n2( z)2jj

(5)44(0)i1 2計(jì)算量規(guī)的半錐角/2,見公式(7):arctan2 2

(6)(7)基面中徑Mi(0),見公式(8)。計(jì)算中徑錐球心點(diǎn)與測(cè)量參考M,見公式(9)。n 2n n nzijRijzijRijzijM jjjj

(8)i(0)

n n 2ij nz2zij j1

j44Mi(0)Mi1 2計(jì)算中徑錐在測(cè)量參考面處的直徑d2,見公式(10)。

(9)dMd針Pcottan2tan22Ltan

(10)2 2 22 2 2 2sin2式中:d針 探針測(cè)球直徑,mm;P 螺距,mm;牙型角,°;中徑圓錐錐角,°;L 基面距離,mm。(10mm0)。牙側(cè)角(探針的配置見附錄的牙側(cè)上進(jìn)行直接測(cè)量,分別擬合直線,直線與螺紋軸線垂線的夾角即為所測(cè)量的牙側(cè)1,12,13、1,2,31,12,13的算術(shù)平均值為左側(cè)的牙側(cè)角偏差11,2,3的算術(shù)平均值為右側(cè)的牙側(cè)角偏差2。螺紋塞規(guī)基面大徑、螺紋環(huán)規(guī)基面小徑選擇相應(yīng)的探針(探針的配置見附錄C),從任一母線的第二個(gè)完整牙開始測(cè)量,到倒數(shù)第二個(gè)完整牙止,在塞規(guī)大徑圓錐面或環(huán)規(guī)小徑圓錐面上進(jìn)行測(cè)量,依次測(cè)量均勻分布的四條母線。獲得各測(cè)量點(diǎn)的坐標(biāo)Pij(xij,yij,zij),計(jì)算方法同6.2.1.3。工作螺紋環(huán)規(guī)厚度用數(shù)顯高度測(cè)量?jī)x測(cè)量。將被測(cè)工件放在平板上,在測(cè)量面上取4個(gè)對(duì)稱點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量,取其算術(shù)平均值作為測(cè)量結(jié)果?;骈g距離旋合方法將被測(cè)石墨電極螺紋量規(guī)清洗干凈,在螺紋表面涂上一薄層軟質(zhì)中性潤(rùn)滑油。將螺紋塞規(guī)(或螺紋環(huán)規(guī))緩緩旋入另一固定的螺紋環(huán)規(guī)(或螺紋塞規(guī)),并正反向反復(fù)旋合幾次,使?jié)櫥驮诼菁y表面分布均勻。在確認(rèn)旋合光滑無卡阻現(xiàn)象后,用設(shè)定好扭矩值的扭矩扳手旋合,旋入量規(guī)的安裝預(yù)緊扭矩推薦值如下表3。表3預(yù)緊扭矩推薦值量規(guī)規(guī)格(直徑及牙數(shù))扭矩(Nm)?200T4~?350T415~30?400T4~?750T420~70?225T3~?300T315~30?350T3~?500T320~50基面間距離(S、、SRA、SRC)用深度千分尺測(cè)量。測(cè)量面上取4個(gè)對(duì)稱點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量,取其算術(shù)平均值作為測(cè)量結(jié)果?;骈g距離(SPABSRAB)用深度百分表測(cè)量。在測(cè)量面上測(cè)量孔位置測(cè)量4個(gè)數(shù)值,取其算術(shù)平均值作為測(cè)量結(jié)果。校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)校準(zhǔn)結(jié)果處理JJF1071—20105.12(推薦A,校準(zhǔn)證書內(nèi)容及內(nèi)頁(參考)B。8.2校準(zhǔn)結(jié)果的不確定度JJF1059.1-2012的要求評(píng)定,校準(zhǔn)結(jié)果不D。復(fù)校時(shí)間間隔由于石墨電極螺紋量規(guī)復(fù)校時(shí)間間隔是由量規(guī)的使用情況、使用者、量規(guī)本身質(zhì)量等諸多因素所決定的,因此使用單位可根據(jù)實(shí)際使用情況自主決定復(fù)校時(shí)間間隔,建議一般不超過1年。附錄ASBSABSR、SRRA石墨電極螺紋量規(guī)的牙型石墨電極螺紋量規(guī)的錐度為1:3,螺距分別為6.350mm、8.467mm,6.350mm螺距的牙型按圖A.1所示,8.467mm螺距的牙型按圖A.2所示。其中校對(duì)螺紋塞規(guī)、小端工作塞規(guī)及大端工作塞規(guī)按圖示外螺紋;校對(duì)螺紋環(huán)規(guī)、基準(zhǔn)工作螺紋環(huán)規(guī)、小端工作螺紋環(huán)規(guī)及大端工作螺紋環(huán)規(guī)按圖示內(nèi)螺紋。圖A.1 6.350mm螺距的牙型圖 圖A.2 8.467mm螺距的牙型圖石墨電極螺紋量規(guī)的結(jié)構(gòu)工作螺紋量規(guī)的結(jié)構(gòu)如圖A.3、圖A.4所示。校對(duì)螺紋量規(guī)的結(jié)構(gòu)如圖A.5、圖A.6、圖A.7所示。圖A.3 工作螺紋塞規(guī)結(jié)構(gòu) 圖A.4 工作螺紋環(huán)規(guī)結(jié)構(gòu)圖A.5 校對(duì)螺紋塞規(guī)結(jié)構(gòu)圖A.6 校對(duì)螺紋環(huán)規(guī)結(jié)構(gòu)圖A.7 校對(duì)螺紋塞規(guī)與校對(duì)螺紋環(huán)規(guī)位置附錄B探針的配置C.1的測(cè)球,可選擇最接近最佳球徑的測(cè)球。 2 2 d P 1 2 2

(C.1)0 2cos2

2 2

d0-最佳測(cè)球設(shè)定直徑,mm;P-螺距,mm;-螺紋牙型角,°;-中徑圓錐錐角,°。表C.1石墨電極螺紋量規(guī)最佳測(cè)球直徑表量規(guī)代號(hào)錐度螺距半角最佳測(cè)球直徑Ф200T4~Ф750T41:36.350mm30°3.700mmФ225T3~Ф500T31:38.467mm30°4.933mm附錄C石墨電極螺紋量規(guī)校準(zhǔn)記錄格式(推薦)記錄(證書)編號(hào): 第1頁共1頁委托單位地址被校準(zhǔn)計(jì)量器具名稱型號(hào)規(guī)格制造廠出廠編號(hào)使用的主要計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具名稱/型號(hào)規(guī)格/編號(hào)測(cè)量范圍不確定度/準(zhǔn)確度等級(jí)/最大允許誤差溯源單位/證書號(hào)有效期至依據(jù)校準(zhǔn)地點(diǎn)環(huán)境條件溫度:℃ 相對(duì)濕度: %其他條件:序號(hào)校準(zhǔn)項(xiàng)目校準(zhǔn)結(jié)果1外觀2表面粗糙度校準(zhǔn)結(jié)果3基面中徑(mm)4螺紋塞規(guī)基面大徑(mm)5螺紋環(huán)規(guī)基面小徑(mm)6半錐角(°)7螺距(mm)8左側(cè)牙側(cè)角(°)右側(cè)牙側(cè)角(°)9工作螺紋環(huán)規(guī)厚度(mm)10MR基面與MP(mm)11PB基面與MR基面的距離(mm)12PB基面與PA基面的距離(mm)13RA基面與MP基面的距離(mm)14RC基面與MP基面的距離(mm)15RARB小端面的距離(mm)測(cè)量不確定度:U=k=校準(zhǔn)員

核驗(yàn)員

校準(zhǔn)日期 年 月 日附錄D校準(zhǔn)證書內(nèi)容及內(nèi)頁格式校準(zhǔn)證書應(yīng)至少包括以下信息:a)標(biāo)題:“校準(zhǔn)證書”;b)實(shí)驗(yàn)室的名稱和地址;進(jìn)行校準(zhǔn)的地點(diǎn)(如果與實(shí)驗(yàn)室的地址不同);證書的唯一性標(biāo)識(shí)(如編號(hào)),e)送校單位的名稱;被校對(duì)象的描述和明確標(biāo)識(shí);進(jìn)行校準(zhǔn)的日期,如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性和應(yīng)用有關(guān)時(shí),應(yīng)說明被校對(duì)象的接收日期;i)校準(zhǔn)所依據(jù)的技術(shù)規(guī)范的標(biāo)識(shí),包括名稱及代號(hào);j)本次校準(zhǔn)所用測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的溯源性及有效性說明;k)校準(zhǔn)環(huán)境的描述;l)校準(zhǔn)結(jié)果及測(cè)量不確定度的說明;m)對(duì)校準(zhǔn)規(guī)范的偏離的說明;n)校準(zhǔn)證書或校準(zhǔn)報(bào)告簽發(fā)人的簽名、職務(wù)或等效標(biāo)識(shí);o)校準(zhǔn)結(jié)果僅對(duì)校準(zhǔn)對(duì)象有效的聲明;p)未經(jīng)校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室書面批準(zhǔn),不得部分復(fù)制校準(zhǔn)證書的聲明。校準(zhǔn)證書內(nèi)頁(參考)格式石墨電極螺紋量規(guī)校準(zhǔn)證書(內(nèi)頁格式)序號(hào)校準(zhǔn)項(xiàng)目校準(zhǔn)結(jié)果1外觀2表面粗糙度3基面中徑4螺紋塞規(guī)基面大徑5螺紋環(huán)規(guī)基面小徑6半錐角7螺距8牙側(cè)角9工作螺紋環(huán)規(guī)厚度10MR基面與MP測(cè)量參考面的距離11PB基面與MR基面的距離12PB基面與PA基面的距離13RA基面與MP基面的距離14RC基面與MP基面的距離15RA小端面與RB小端面的距離測(cè)量不確定度:U= , k=2以下空白附錄E石墨電極螺紋量規(guī)測(cè)量不確定度評(píng)定(示例)中徑測(cè)量不確定度的評(píng)定假設(shè)測(cè)量外螺紋,其中徑利用公式(D-1)計(jì)算。dMd針Pcot

tan2 22Ltan

(D-1)2 2 2 sin2

tan )2 2 2式中:d2 測(cè)量基準(zhǔn)面中徑,mm;d針 探針測(cè)球直徑,mm;P 螺距,mm;牙型角,°;中徑圓錐錐角,°;L 基面距離,mm(10mm0);M 中徑錐球心點(diǎn)與在測(cè)量面處的直徑值,mm。設(shè)Ftan,公式(D-1)可簡(jiǎn)化為:2222dMd針Pcottan2F22LF2222 sin2

(D-2)d2的測(cè)量不確定度u(d2按下式計(jì)算:u2(d) u2(P) u2(d

u2M針

cot2(1tan2F2)22 sin2 4 2 22 2d針cos2P 2

22 2

22 2式中:

sin22

22

F)2

( )(Ptan F2L)2 2

(F)u

(D-3)u(M) 準(zhǔn)和溫度效應(yīng)的影響;u(d針) 探針測(cè)球直徑校準(zhǔn)值的測(cè)量不確定度分量。d其靈敏系數(shù)c 1/2); (D-4)d針u(P) 螺距測(cè)量的測(cè)量不確定度分量。cos 其靈敏系數(shù)c2(1tan2F2); (D-5)P 2 22) 是牙側(cè)角2測(cè)量的測(cè)量不確定度分量。靈敏系數(shù)與測(cè)球直徑d對(duì)最佳球徑d0的差相關(guān)。

其靈敏系數(shù)c

d cos 針 2P(csc2sec2F2); ( 2 sin2 2 2 22u(F) 是中徑圓錐半錐角正切值的測(cè)量不確定度分量。靈敏系數(shù)與測(cè)球直徑d對(duì)最佳球徑d0的差相關(guān)。

其靈敏系數(shù)cF

PtanF2L; (D-7)2是被校螺紋量規(guī)未明確分離的因素引入的測(cè)量不確定度分量。注:中徑的測(cè)量不考慮螺旋升角的影響,因此影響可忽略不計(jì)。不確定度報(bào)告的示例使用坐標(biāo)測(cè)量機(jī)校準(zhǔn)工作塞規(guī)Φ400T4LPA。其名義值:d2=181.623mm,P=6.35mm,=60°,d針=3.500mm(最佳直徑d0=3.700mm),測(cè)量力0.6N,F(xiàn)=0.16667,L=0mm。不確定度來源匯總表見表E.1。表E.1不確定度來源匯總表不確定度分量Xi數(shù)值xi標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(xi)概率分布靈敏系數(shù)ci不確定度分量ui(y)M183.1770mm0.9μm正態(tài)10.90μmd針3.500mm0.2μm正態(tài)20.40μmP6.352mm0.8μm正態(tài)0.8180.65μm/229.9°1′=0.29mrad正態(tài)-0.693μm/rad-0.01μmF0.16667mm/mm0.00001mm/mm正態(tài)0.611mm0.01μmu100

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