《氮化鋁加熱器》征求意見(jiàn)稿

1T/EJCCCSEXXXX—XXXX氮化鋁加熱器本文件規(guī)定了氮化鋁加熱器的結(jié)構(gòu)形式和材料、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。本文件適用于氮化鋁加熱器（以下簡(jiǎn)稱“加熱器”）的生產(chǎn)和檢驗(yàn)。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T2828.1計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第1部分：按接收質(zhì)量限（AQL）檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃GB/T5594.5電子元器件結(jié)構(gòu)陶瓷材料性能測(cè)試方法體積電阻率測(cè)試方法GB/T6062產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS)表面結(jié)構(gòu)輪廓法接觸（觸針）式儀器的標(biāo)稱特性GB/T6569精細(xì)陶瓷彎曲強(qiáng)度試驗(yàn)方法GB/T9531.1—1988電子陶瓷零件技術(shù)條件GB/T14619—2013厚膜集成電路用氧化鋁陶瓷基片GB/T16535精細(xì)陶瓷線熱膨脹系數(shù)試驗(yàn)方法頂桿法GB/T22588閃光法測(cè)量熱擴(kuò)散系數(shù)或?qū)嵯禂?shù)GB/T25995精細(xì)陶瓷密度和顯氣孔率試驗(yàn)方法GB/T30859太陽(yáng)能電池用硅片翹曲度和波紋度測(cè)試方法3術(shù)語(yǔ)和定義本文件沒(méi)有需要界定的術(shù)語(yǔ)和定義。4結(jié)構(gòu)型式和材料4.1結(jié)構(gòu)形式加熱器氮化鋁加熱器包括第一氮化鋁基板、加熱電路、第二氮化鋁基板和導(dǎo)線，所述導(dǎo)線與加熱電路電性連接。2T/EJCCCSEXXXX—XXXX標(biāo)引序號(hào)說(shuō)明：1——第一氮化鋁基板；2——加熱電路；3——第二氮化鋁基板；4——導(dǎo)線。圖1結(jié)構(gòu)示意圖4.2材料4.2.1加熱電路設(shè)于第一氮化鋁基板和第二氮化鋁基板之間，加熱電路由金屬漿料印刷而成，金屬漿料中所含金屬應(yīng)包括W、Mo、AlN和WC/WC-TiC。4.2.2金屬漿料所含金屬重量比宜為W：Mo：AlN：WC50～7010～2020～30m。其中，m的范圍應(yīng)為0＜m≤5。WC-TiC中，WC與TiC可按照任意比例混合。4.2.3各金屬粉體粒度應(yīng)為：a)W/Mo粉體1～2）μm；b)AlN粉體：（0.3～0.5）μm；c)WC粉體0.2～0.3）μm。5技術(shù)要求5.1外觀5.1.1加熱器應(yīng)符合本文件的要求，并按照經(jīng)規(guī)定程序批準(zhǔn)的工藝及技術(shù)文件制造。5.1.2加熱器表面應(yīng)干凈整潔，無(wú)明顯油污、色漬，無(wú)劃痕等缺陷。5.1.3基片外觀應(yīng)無(wú)裂紋、斑點(diǎn)、缺損等缺陷。5.1.4表面應(yīng)光滑，色澤一致，鍍層（如有）無(wú)脫皮、起泡、銹跡等缺陷。5.1.5加熱器應(yīng)顏色均勻，無(wú)褪色、落色現(xiàn)象，同批產(chǎn)品應(yīng)無(wú)明顯色差。5.2尺寸偏差和形位公差基板的長(zhǎng)寬尺寸偏差最小值應(yīng)為0.05mm，厚度偏差最小值應(yīng)為0.025mm，尺寸偏差和形位公差應(yīng)符合表1的規(guī)定。3T/EJCCCSEXXXX—XXXX表1尺寸偏差和形位公差±0.3%±0.7%±1%±5%±8%±10%≤0.2%>0.2%,≤0.3%>0.3%,≤0.4%注：特殊規(guī)格的產(chǎn)品由供需雙方商定。5.3性能指標(biāo)性能指標(biāo)應(yīng)符合表2的規(guī)定。表2性能指標(biāo)AB顯氣孔率/%04.5×10～5.5×10>10>156試驗(yàn)方法6.1外觀在適當(dāng)光線下目檢外觀，按GB/T14619—2013中6.5.8的要求浸色液后檢測(cè)裂紋。6.2尺寸偏差和形位公差6.2.1基片的長(zhǎng)度和寬度使用精確度為0.02mm的游標(biāo)卡尺或其他能夠保證測(cè)量準(zhǔn)確度的測(cè)量?jī)x器測(cè)量。6.2.2厚度使用準(zhǔn)確度為0.01mm的千分尺或其他能夠保證測(cè)量準(zhǔn)確度的測(cè)量?jī)x器測(cè)量，測(cè)量點(diǎn)最少應(yīng)距基片邊緣1mm。6.2.3翹曲度按GB/T30859規(guī)定的方法檢測(cè)。6.2.4工作面粗糙度按GB/T6062規(guī)定的方法檢測(cè)。6.3性能指標(biāo)6.3.1體積密度、顯氣孔率按GB/T25995規(guī)定的方法檢測(cè)。6.3.2彎曲強(qiáng)度試樣截面尺寸為（40mm±0.2mm)×(10mm±0.2mm)，跨距30mm±0.1mm，按照GB/T6569規(guī)定的方法檢測(cè)。6.4熱導(dǎo)率4T/EJCCCSEXXXX—XXXX按照GB/T22588規(guī)定的方法檢測(cè)。6.5線熱膨脹系數(shù)按GB/T16535規(guī)定的方法檢測(cè)。6.6體積電阻率按GB/T5594.5規(guī)定的方法檢測(cè)。6.7擊穿強(qiáng)度按GB/T5593規(guī)定的方法檢測(cè)。6.8介電常數(shù)和介電損耗角正切值按GB/T5594.4規(guī)定的方法檢測(cè)。7檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢驗(yàn)分類檢驗(yàn)分為出廠檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)。7.2組批由同一配方，在基本相同條件下連續(xù)生產(chǎn)并同一時(shí)間提交檢驗(yàn)的200件加熱器為一個(gè)檢驗(yàn)批，不足200件時(shí)，仍可作為一檢驗(yàn)批。7.3出廠檢驗(yàn)出廠檢驗(yàn)的檢驗(yàn)項(xiàng)目包括產(chǎn)品外觀、體積密度、顯氣孔率及表1規(guī)定的全部檢驗(yàn)項(xiàng)目。每批產(chǎn)品按照GB/T2828.1中一次抽樣方案進(jìn)行出廠檢驗(yàn)，其檢驗(yàn)方案見(jiàn)表3和表4。如有必要，接收質(zhì)量限也可由供需雙方協(xié)商規(guī)定。表3外觀、尺寸公差和形位公差出廠檢驗(yàn)方案ⅡⅡⅡⅡ表4密度和顯氣孔率出廠檢驗(yàn)方案107.4型式檢驗(yàn)型式檢驗(yàn)的檢驗(yàn)項(xiàng)目包括第5章規(guī)定的全部檢驗(yàn)項(xiàng)目。型式檢驗(yàn)的樣品直接從出廠檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品中抽取或根據(jù)檢驗(yàn)要求進(jìn)行制作，按照表5的規(guī)定進(jìn)行。有下列情況之一時(shí)應(yīng)做型式檢驗(yàn)：a)首批生產(chǎn)時(shí)；b)正常生產(chǎn)時(shí)每年檢驗(yàn)一次；c)原料或生產(chǎn)工藝改變可能影響產(chǎn)品質(zhì)量時(shí)；5T/EJCCCSEXXXX—XXXXd)停產(chǎn)半年或以上，恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)；e)出廠檢驗(yàn)結(jié)果與上次型式檢驗(yàn)結(jié)果存在較大差異時(shí)。表5型式檢驗(yàn)515251101020205050505050507.5判定規(guī)則7.5.1出廠檢驗(yàn)判定如果出廠檢驗(yàn)的所有項(xiàng)目符合表3和表4的規(guī)定，則該批產(chǎn)品合格；如果檢驗(yàn)不合格，則該批產(chǎn)品應(yīng)100%挑選后再次提交檢驗(yàn)，并使用加嚴(yán)檢驗(yàn)，若加嚴(yán)檢驗(yàn)仍不合格，則該批產(chǎn)品不合格。7.5.2型式檢驗(yàn)判定型式檢驗(yàn)中，如果所有項(xiàng)目符合表5的規(guī)定