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文檔簡介
1YS/T840—XXXX再生硅原料本文件規(guī)定了再生硅原料(以下簡稱再生硅料)的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、隨行文件及訂貨單內(nèi)容。本文件適用于光伏或半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)、加工、使用過程中產(chǎn)生的硅料,包括:碳極硅多晶(碳頭料)、頭尾料、邊皮料、原生型回收硅片、墩?qǐng)辶?、末子料、回用料、堝底料、檢測回收硅料、多晶粉料、提純硅料等,用于光伏行業(yè)硅單晶產(chǎn)品的生產(chǎn)。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文件,僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T1550非本征半導(dǎo)體材料導(dǎo)電類型測試方法GB/T1551硅單晶電阻率的測定直排四探針法和直流兩探針法GB/T1558硅中代位碳含量的紅外吸收測試方法GB/T14264半導(dǎo)體材料術(shù)語GB/T31854光伏電池用硅材料中金屬雜質(zhì)含量的電感耦合等離子體質(zhì)譜測量方法3術(shù)語和定義GB/T14264界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1碳極硅多晶(碳頭料)carbonendpolysilicon在硅多晶生產(chǎn)過程中,包圍在U型硅多晶棒的碳極周圍,經(jīng)清洗等方法分離粘連石墨后的硅料。3.2頭尾料monocrystallinetopandtail在拉制硅單晶棒過程中形成的頭尾圓錐體、拉制單晶失?。〝嗬?,即失去單晶特性)產(chǎn)生的硅多晶棒和位錯(cuò)單晶經(jīng)清洗破碎后產(chǎn)生的硅料。3.3邊皮料monocrystallinesidecuts拉制硅單晶無位錯(cuò)圓棒切方過程中產(chǎn)生的邊緣部分經(jīng)清洗破碎后產(chǎn)生的硅料。3.4原生型回收硅片slicingscrap在硅錠切割、研磨或拋光過程中產(chǎn)生的碎片或不合格硅片經(jīng)清洗后產(chǎn)生的片狀硅料。3.5墩?qǐng)辶蟖bnormalpotpoly長晶過程中出現(xiàn)異常導(dǎo)致墩?qǐng)宓氖A?,將與剩料粘連的石英去除后清洗破碎產(chǎn)生的硅料。3.6末子料crushingscrap硅料破碎過程中產(chǎn)生線性尺寸不大于3mm的硅料。3.7回用料recycledsilicon長晶過程中尺寸、電性能等指標(biāo)不合格的硅錠經(jīng)清洗破碎后產(chǎn)生的硅料。3.82YS/T840—XXXX堝底料potscrap拉制硅單晶完結(jié)后石英坩堝中的剩余硅料,經(jīng)去除粘連石英后產(chǎn)生的硅料。3.9檢測回收硅料recycledtestingsilicon在硅單晶或硅多晶生產(chǎn)環(huán)節(jié)的質(zhì)量評(píng)價(jià)過程中產(chǎn)生的硅料。3.10多晶粉料powderysilicon硅多晶棒/顆粒沉積過程中形成的粉狀硅料。3.11提純硅料purifiedsilicon通過定向凝固生產(chǎn)的硅單晶或多晶錠經(jīng)破碎后產(chǎn)生的硅料。4技術(shù)要求4.1分類及要求4.1.1再生硅料應(yīng)經(jīng)過清洗、破碎、干燥等方式去除非硅異物及水分。4.1.2再生硅料可根據(jù)導(dǎo)電類型、電阻率、碳含量、基體金屬雜質(zhì)含量、線性尺寸的不同進(jìn)行分級(jí)。每一級(jí)的產(chǎn)品應(yīng)同時(shí)滿足本級(jí)的要求。各級(jí)再生硅料的導(dǎo)電類型、電阻率、碳含量、基體金屬雜質(zhì)含量、線性尺寸應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1分類及要求>0.1>0.01>8>3>3:硅多晶粉料和末子料無線性尺寸要求。4.2外觀質(zhì)量再生硅料應(yīng)無色斑,變色及可見的污染物等。5試驗(yàn)方法5.1導(dǎo)電類型的測試按GB/T1550的規(guī)定進(jìn)行。5.2電阻率的測試按GB/T1551的規(guī)定進(jìn)行。5.3碳含量的測試按照GB/T1558的規(guī)定進(jìn)行。5.4基體金屬雜質(zhì)含量的測試按GB/T31854的規(guī)定進(jìn)行。5.5現(xiàn)行尺寸用篩網(wǎng)檢驗(yàn),或按供需雙方商定的方法檢驗(yàn),如需仲裁需由供需雙方協(xié)商確定。5.6對(duì)于無法直接測試導(dǎo)電類型、電阻率、碳含量、基體金屬雜質(zhì)含量的再生硅料,應(yīng)采用直拉法制備成單晶,且單晶的質(zhì)量應(yīng)大于500g,再測試單晶中部的導(dǎo)電類型、電阻率、碳含量及基體金屬雜質(zhì)含量。5.7外觀質(zhì)量用目視檢查。6檢驗(yàn)規(guī)則3YS/T840—XXXX6.1檢查和驗(yàn)收6.1.1產(chǎn)品應(yīng)由供方或第三方質(zhì)檢部門進(jìn)行檢驗(yàn),保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本文件或訂貨單的規(guī)定。6.1.2需方可對(duì)收到的產(chǎn)品進(jìn)行檢驗(yàn)。若檢驗(yàn)結(jié)果與本文件或訂貨單的規(guī)定不符時(shí),應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起3個(gè)月內(nèi)以書面形式向供方提出,由供需雙方協(xié)商解決。6.2組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收,每批應(yīng)由同一原料、同一等級(jí)的產(chǎn)品組成。6.3檢驗(yàn)項(xiàng)目每批產(chǎn)品應(yīng)對(duì)導(dǎo)電類型、電阻率、碳含量、基體金屬雜質(zhì)含量、線性尺寸、外觀質(zhì)量進(jìn)行檢驗(yàn)。6.4取樣與制樣6.4.1導(dǎo)電類型、外觀質(zhì)量、線性尺寸檢驗(yàn)時(shí),隨機(jī)抽取重量不少于批重0.1%的產(chǎn)品,于潔凈區(qū)內(nèi)分裝成兩份,一份制樣,一份留存,具體也可由供需雙方協(xié)商確定。6.4.2電阻率、碳含量、基體金屬雜質(zhì)含量的檢驗(yàn)時(shí),由供需雙方協(xié)商確定。6.5檢驗(yàn)結(jié)果的判定6.5.1導(dǎo)電類型、電阻率、碳含量、基體金屬雜質(zhì)含量的檢驗(yàn)結(jié)果中有任意一項(xiàng)不合格時(shí),則重新雙倍取樣,對(duì)不合格的項(xiàng)目進(jìn)行重復(fù)檢驗(yàn),重復(fù)檢驗(yàn)結(jié)果中有任意一項(xiàng)不合格,判該批產(chǎn)品不合格。6.5.2外觀質(zhì)量、線性尺寸檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí),由供需雙方協(xié)商解決。7標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件7.1標(biāo)志包裝箱外應(yīng)標(biāo)有“小心輕放”及“防潮”字樣或標(biāo)志、并注明:a)產(chǎn)品名稱及分級(jí);b)產(chǎn)品發(fā)貨件數(shù)、凈重;c)供方名稱。7.2包裝用潔凈的聚乙烯桶(盒)包裝或用潔凈的聚乙烯包裝袋封裝,并用紙箱或木箱進(jìn)行外包裝,或由供需雙方協(xié)商確定。包裝時(shí)應(yīng)防止容器破損,以避免產(chǎn)品引入污染。7.3運(yùn)輸產(chǎn)品在運(yùn)輸過程中應(yīng)輕裝輕卸,勿壓勿擠,并采取防震防潮措施。7.4貯存產(chǎn)品應(yīng)貯存在清潔、干燥環(huán)境中。7.5隨行文件每批產(chǎn)品應(yīng)附有隨行文件,其中除應(yīng)包括供方信息、產(chǎn)品信息、本文件編號(hào)、出廠日期或包裝日期外,還宜包括:a)產(chǎn)品質(zhì)量證明書,內(nèi)容如下:?供需雙方協(xié)商確定的內(nèi)容;?產(chǎn)品獲得的質(zhì)量認(rèn)證或帶供方技術(shù)監(jiān)督部門檢印的各項(xiàng)分析檢驗(yàn)結(jié)果。b)產(chǎn)品質(zhì)量控制過程中的檢驗(yàn)報(bào)告及
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