TCCGA 30007-2022 電子級三氟化氯

T/CCGA30007—2022

電子級三氟化氯

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級三氟化氯的技術(shù)要求、檢驗(yàn)規(guī)則、試驗(yàn)方法、標(biāo)志、包裝、儲運(yùn)及安全信息的

要求。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以氟氣和氯氣為原料制備的三氟化氯產(chǎn)品，該產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體等領(lǐng)域。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文

件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用

于本文件。

GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB/T3723工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T6681氣體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T7144氣瓶顏色標(biāo)志

GB/T14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB15258化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB/T16804氣瓶警示標(biāo)簽

GB/T27550氣瓶充裝站安全技術(shù)條件

GB/T28726氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T32566不銹鋼焊接氣瓶

GB/T34525氣瓶搬運(yùn)、裝卸、儲存和使用安全規(guī)定

TSG23氣瓶安全技術(shù)規(guī)程

T/CCGA20006氣瓶安全使用技術(shù)規(guī)定

AS/NZS2161.1職業(yè)防護(hù)手套，第1部分：選擇、使用和維護(hù)（Occupationalprotectivegloves,

Part1:Selection,useandmaintenance）

3技術(shù)要求

三氟化氯應(yīng)符合表1的要求。

表1技術(shù)要求

項(xiàng)目指標(biāo)

-2

三氟化氯(ClF3)（摩爾分?jǐn)?shù)）/10≥99.95

氟化氫(HF)（摩爾分?jǐn)?shù)）/10-6＜350

-6

氮(N2)（摩爾分?jǐn)?shù)）/10＜40

-6

氧(O2)（摩爾分?jǐn)?shù)）/10＜10

-6

氯氣(Cl2)（摩爾分?jǐn)?shù)）/10＜50

-6

氟氣(F2)（摩爾分?jǐn)?shù)）/10＜50

3

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4檢驗(yàn)規(guī)則

4.1采樣

取樣應(yīng)當(dāng)符合GB/T3723及GB/T6681中的相關(guān)規(guī)定。取樣人應(yīng)穿戴符合7.5要求的個(gè)人防護(hù)裝備。

4.2檢驗(yàn)規(guī)則

三氟化氯產(chǎn)品應(yīng)逐一檢驗(yàn)。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果均符合表1的技術(shù)要求時(shí)，判該產(chǎn)品合格。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果有任

何一項(xiàng)指標(biāo)不符合表1的技術(shù)要求時(shí)，則判該產(chǎn)品不合格。

5試驗(yàn)方法

警示：本文件規(guī)定的一些試驗(yàn)過程可能導(dǎo)致危險(xiǎn)情況，使用者應(yīng)采取適當(dāng)?shù)陌踩徒】捣雷o(hù)措施。

5.1三氟化氯純度

三氟化氯純度按式（1）計(jì)算：

-4

Φ=100-（Φ1+Φ2+Φ3+Φ4+Φ5）×10…(1)

式中:

-2

Φ——三氟化氯(ClF3)的純度，10；

-6

Φ1——氟化氫(HF)的摩爾分?jǐn)?shù)，10；

-6

Φ2——氮(N2)的摩爾分?jǐn)?shù)，10；

-6

Φ3——氧(O2)的摩爾分?jǐn)?shù)，10；

-6

Φ4——氯(Cl2)的摩爾分?jǐn)?shù)，10；

-6

Φ5——氟(F2)的摩爾分?jǐn)?shù)，10。

5.2氧、氮、氟化氫、氯氣和氟氣含量的測定

5.2.1儀器

采用配備雙熱導(dǎo)池檢測器（TCD)+氦離子檢測器（PDD)的氣相色譜儀，在選定的色譜條件下，試樣

通過色譜柱，使其中的各組分分離，外標(biāo)法定量。當(dāng)對測定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁

方法。儀器對各組分檢出限應(yīng)不大于表3值。

表3各組分檢出限

雜質(zhì)O2N2Cl2F2HF

檢出限（摩爾分?jǐn)?shù)）/10-6)0.10.1202040

5.2.2色譜柱

柱1：長3.2m，內(nèi)徑3mm，材質(zhì)316L，內(nèi)裝粒度為40～80目的改性701擔(dān)體1，或采用其它等效色譜柱，

該柱用于測定（氧、氮、氟）合峰及氟化氫、氯含量。

柱2：長2m，內(nèi)徑3mm，材質(zhì)316L，內(nèi)裝粒度為60～80目的改性701擔(dān)體2，或采用其它等效色譜柱。

該柱用于測定（氧、氮）合峰及氟含量。

柱3：長0.5m，內(nèi)徑3mm，材質(zhì)316L，內(nèi)裝粒度為40～80目的銀粉，或采用其它等效吸附氟氣柱。

柱4：長0.5m，內(nèi)徑3mm，材質(zhì)316L，內(nèi)裝粒度為粒度為40～80目的氧化鋁粉，或采用其它等效吸附

氟化氫柱。

柱5：長3.0m，內(nèi)徑3mm，材質(zhì)316L，內(nèi)裝粒度為80～100目的MS-13X（或5A）分子篩，或采用其它

等效色譜柱。該柱用于測定氧、氮含量。

5.2.3標(biāo)準(zhǔn)樣品

標(biāo)準(zhǔn)樣品中組分含量應(yīng)與樣品氣中被測組分含量相近，平衡氣為氦。

5.2.4氣路流程

4

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參考的氣路流程示意圖參見附錄A。

5.2.5尾氣處理

檢測三氟化氯時(shí)，應(yīng)有合適的三氟化氯的尾氣處理措施，以防止三氟化氯對環(huán)境的污染。

6標(biāo)志、包裝、儲運(yùn)

6.1標(biāo)志

6.1.1三氟化氯出廠時(shí)應(yīng)有產(chǎn)品質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應(yīng)包括：

——產(chǎn)品名稱，生產(chǎn)廠名稱，；

——生產(chǎn)日期或批號，以及安全使用期；

——充裝質(zhì)量（kg）；

——本文件號及三氟化氯的純度。

6.1.2包裝容器上應(yīng)標(biāo)明“三氟化氯”字樣。

6.1.3三氟化氯的包裝標(biāo)志應(yīng)符合GB190的相關(guān)規(guī)定，顏色標(biāo)志應(yīng)符合GB/T7144的規(guī)定，標(biāo)簽應(yīng)符合

GB/T16804、GB15258規(guī)定的要求。

6.2包裝、儲運(yùn)和儲存

6.2.1三氟化氯氣瓶應(yīng)符合TSG23、GB/T32566的規(guī)定。

6.2.2推薦使用內(nèi)表面處理的氣瓶，處理后的氣瓶應(yīng)滿足T/CCGA20006的相關(guān)規(guī)定，瓶閥宜使用CGA

728。

6.2.3三氟化氯的充裝應(yīng)符合TSG23、GB/T14193的相關(guān)規(guī)定，三氟化氯的充裝量按實(shí)際稱量的質(zhì)量

計(jì)。

6.2.4瓶裝三氟化氯的最大充裝量按式（2）計(jì)算：

……（2）

式中：

m——?dú)馄績?nèi)三氟化氯的質(zhì)量，單位為千克（kg）；

Fr——三氟化氯的充裝系數(shù)，1.40kg/L；

V——?dú)馄繕?biāo)明的內(nèi)容積，單位為升(L)。

6.2.5三氟化氯的儲運(yùn)應(yīng)符合TSG23、GB/T34525等相關(guān)規(guī)定。

6.2.6三氟化氯安全使用期：12個(gè)月。

6.2.7客戶返回的三氟化氯鋼瓶的殘液量不宜低于充裝量的5%。

6.2.8三氟化氯氣瓶，宜有符合TSG23要求的固定瓶帽，并有防止泄漏和瓶口被污染措施；出廠前應(yīng)

檢查氣瓶瓶口及頸部無泄漏。

6.2.9三氟化氯氣瓶應(yīng)放在陰涼、干燥、通風(fēng)的庫房內(nèi)，嚴(yán)禁曝曬，遠(yuǎn)離熱源，禁止倒放。

6.2.10運(yùn)輸時(shí)，嚴(yán)禁與可燃物、氧化物、鹵化物等混裝混運(yùn)。

7安全信息

7.1三氟化氯在常溫常壓下為無色氣體，降溫變?yōu)榫G色液體；具有毒性、氧化性、強(qiáng)腐蝕性。接觸會

造成嚴(yán)重皮膚灼傷和眼損傷；吸入有劇毒會致命。

7.2在工作場所附近應(yīng)有洗眼和淋浴設(shè)施；作業(yè)后徹底清洗臉部及手部。人體皮膚與三氟化氯接觸時(shí)，

應(yīng)用大量水沖洗，及時(shí)脫去衣物，應(yīng)及時(shí)治療。

7.3眼睛若濺入三氟化氯，先用大量水沖洗幾分鐘（應(yīng)摘除隱形眼鏡），然后及時(shí)治療。

7.4發(fā)生泄漏時(shí)，盡可能切斷泄漏源。迅速撤離泄漏區(qū)人員至上風(fēng)處，并立即進(jìn)行隔離。應(yīng)急處理人

員應(yīng)佩戴自給正壓式呼吸器或其他呼吸防護(hù)裝置，使用個(gè)人防護(hù)裝備，避免吸入蒸氣、煙霧、氣體或風(fēng)

塵。

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若是氣體泄漏，用噴霧狀水稀釋，并將殘余氣或漏出氣用排風(fēng)機(jī)送至水洗塔或與塔相連的通風(fēng)櫥

內(nèi)。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。若是液體泄漏，用大量水沖洗，洗水稀釋后放入專用容

器。

清除所有點(diǎn)火源，并采用防火花工具和防爆設(shè)備。

7.5個(gè)人防護(hù)裝備：

7.5.1眼睛防護(hù)：佩戴化學(xué)護(hù)目鏡（符合歐盟EN166或美國NIOSH標(biāo)準(zhǔn)），佩戴自吸過濾式防毒面具。

7.5.2手部防護(hù)：帶化學(xué)防護(hù)手套（例如丁基橡膠手套），宜選擇經(jīng)過歐盟EN374、美國USF739或AS/NZS

2161.1測試的防護(hù)手套。

7.5.3皮膚和身體防護(hù)：穿阻燃防靜電服和抗靜電的防護(hù)靴。

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A

附錄A

（資料性）

氣路流程示意圖

三氟化氯氣路氣路流程參見示意圖A.1。

圖A.1氣路流程示意圖

流程說明：

當(dāng)樣品進(jìn)入定量管后，切割閥轉(zhuǎn)動變?yōu)檫M(jìn)樣位，柱1、柱2、柱3、柱4及柱5串聯(lián)。柱1分離（氧、氮、

氟）合峰及氟化氫、氯并由TCD1檢測出氟化氫、氯含量（見圖A.2）；

圖A.2TCD1檢測器參考峰譜圖

7

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當(dāng)TCD2檢測出氧、氮合峰后，四通閥將切入柱3、柱4及柱5。柱2用于分離（氧、氮）合峰及氟并由

TCD2檢測出氟含量；色譜圖如圖A.3所示。

圖A.3TCD2檢測器參考峰譜圖

柱5分離測定氧、氮并由PDD檢測出含量，色譜圖如圖A.4所示。

圖A.4PDD檢測器參考峰譜圖

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參考文獻(xiàn)

[1]中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會編，中國工業(yè)氣體大全.大連：大連理工大學(xué)出版社，2008.05.

中國氣體協(xié)會官網(wǎng)

9

ICS71.100.20

CCSG86

CCGA

中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

T/CCGA30007—2022

電子級三氟化氯

Electronicchlorinetrifluoride

2022-12-28發(fā)布2023-03-01實(shí)施

中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會發(fā)布

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電子級三氟化氯

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級三氟化氯的技術(shù)要求、檢驗(yàn)規(guī)則、試驗(yàn)方法、標(biāo)志、包裝、儲運(yùn)及安全信息的

要求。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以氟氣和氯氣為原料制備的三氟化氯產(chǎn)品，該產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體等領(lǐng)域。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文

件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用

于本文件。

GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB/T3723工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T6681氣體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T7144氣瓶顏色標(biāo)志

GB/T14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB15258化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB/T16804氣瓶警示標(biāo)簽

GB/T27550氣瓶充裝站安全技術(shù)條件

GB/T28726氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T32566不銹鋼焊接氣瓶

GB/T34525氣瓶搬運(yùn)、裝卸、儲存和使用安全規(guī)定

TSG23氣瓶安全技術(shù)規(guī)程

T/CCGA20006氣瓶安全使用技術(shù)規(guī)定

AS/NZS2161.1職業(yè)防護(hù)手套，第1部分：選擇、使用和維護(hù)（Occupationalprotectivegloves,

Part1:Selection,useandmaintenance）

3技術(shù)要求

三氟化氯應(yīng)符合表1的要求。

表1技術(shù)要求

項(xiàng)目指標(biāo)

-2

三氟化氯(ClF3)（摩爾分?jǐn)?shù)）/10≥99.95

氟化氫(HF)（摩爾分?jǐn)?shù)）/10-6＜350

-6

氮(N2)（摩爾分?jǐn)?shù)）/10＜40

-6

氧(O2)（摩爾分?jǐn)?shù)）/10＜10

-6

氯氣(Cl2)（摩爾分?jǐn)?shù)）/10＜50

-6

氟氣(F2)（摩爾分?jǐn)?shù)）/10＜50

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4檢驗(yàn)規(guī)則

4.1采樣

取樣應(yīng)當(dāng)符合GB/T3723及GB/T6681中的相關(guān)規(guī)定。取樣人應(yīng)穿戴符合7.5要求的個(gè)人防護(hù)裝備。

4.2檢驗(yàn)規(guī)則

三氟化氯產(chǎn)品應(yīng)逐一檢驗(yàn)。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果均符合表1的技術(shù)要求時(shí)，判該產(chǎn)品合格。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果有任

何一項(xiàng)指標(biāo)不符合表1的技術(shù)要求時(shí)，則判該產(chǎn)品不合格。

5試驗(yàn)方法

警示：本文件規(guī)定的一些試驗(yàn)過程可能導(dǎo)致危險(xiǎn)情況，使用者應(yīng)采取適當(dāng)?shù)陌踩徒】捣雷o(hù)措施。

5.1三氟化氯純度

三氟化氯純度按式（1）計(jì)算：

-4

Φ=100-（Φ1+Φ2+Φ3+Φ4+Φ5）×10…(1)

式中:

-2

Φ——三氟化氯(ClF3)的純度，10；

-6

Φ1——氟化氫(HF)的摩爾分?jǐn)?shù)，10；

-6

Φ2——氮(N2)