DB52T 902-2014 電子級三溴化硼

DB52DB52/T902—2014Electronicgradeborontribromide2014-06-09發(fā)布2014-07-09實(shí)施貴州省質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布I 1本標(biāo)準(zhǔn)不涉及使用安全性問題，本標(biāo)準(zhǔn)的使用人應(yīng)負(fù)責(zé)建立適當(dāng)?shù)陌踩】禇l款及適用范圍的建GB/T603化學(xué)試劑試驗(yàn)2鋁（Al）/(μg/kg）≤541銀（Ag）/(μg/kg）≤21金（Au）/(μg/kg）≤2121215鈷（Co）/(μg/kg）≤21銅（Cu）/(μg/kg）≤5221鐵（Fe）/(μg/kg）≤鎵（Ga）/(μg/kg）≤21汞（Hg）/(μg/kg）≤13218錳（Mn）/(μg/kg）≤2152121鉛（Pb）/(μg/kg）≤21錫（Sn）/(μg/kg）≤2121鈦（Ti）/(μg/kg）≤2153本試驗(yàn)方法中的樣品及部分試劑具有毒性、腐蝕性，操作者須小心謹(jǐn)慎！如濺到皮膚上應(yīng)立即用水3電子級三溴化硼的純度X1，數(shù)值以%計(jì)，按公式（1）計(jì)X1100mi(i1,2,3,4,5)…（1）樣品分析采用標(biāo)準(zhǔn)加入法，標(biāo)準(zhǔn)曲線的線性范圍在20ng/L～1000ng/L。）：6.4.2.7多元素標(biāo)準(zhǔn)工作：取符合6.4.2.6的標(biāo)準(zhǔn)儲備液1mL于聚四氟乙烯潔凈瓶中，加入符合46.4.2.8高純氬氣、氫氣、氦氣及儀器要求6.4.3.1電感耦合等離子體-質(zhì)譜儀(ICP-MS),配置碰撞反應(yīng)系統(tǒng)（ORS）(推薦儀器檢出限：元素（Be5×10-12,中高質(zhì)量數(shù)元素（In、Bi1×10-12；豐度靈敏度：低質(zhì)量數(shù)元素≤1×10-6，高質(zhì)量數(shù)元素≤5×10-7；穩(wěn)定性：短期RSD≤4%（20min）,長期RSD≤5%（2h）,24h±0.1amu；抗干擾能力：氧化物比值≤加水至53g，然后將坩堝放到電熱板上加熱消解，電熱板溫度調(diào)至90℃~100℃。待坩堝中的樣品液按電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）操作規(guī)程打開儀器，調(diào)整儀器工作條件，用符合6.4.2.5的標(biāo)準(zhǔn)曲線的線性相關(guān)系數(shù)不得低于0.995，若測定結(jié)果超出線性范圍，5N100mL，加純水至刻度，搖勻。配成的標(biāo)準(zhǔn)色列依次為0，5，10，2068.1包裝：半導(dǎo)體工業(yè)用電子級三溴化化硼的儲存溫度是：0℃~40℃)。應(yīng)