電子元器件廠項(xiàng)目規(guī)范征求意見稿

基本規(guī)定2.0.1 對(duì)環(huán)境保護(hù)和職業(yè)安全衛(wèi)生的要求是本規(guī)范編制的主要目的，工廠建設(shè)必須同步滿足環(huán)保及職業(yè)安全衛(wèi)生方面的配套設(shè)施的設(shè)計(jì)、施工和驗(yàn)收2.0.2 電子元器件廠對(duì)生產(chǎn)環(huán)境要求較高，廠址選擇應(yīng)選擇在大氣含塵量低，遠(yuǎn)離化工廠、制藥廠、垃圾焚燒廠的地區(qū)，同時(shí)要滿足環(huán)保要求，避免工廠的危險(xiǎn)有害因素對(duì)周邊人群居住或活動(dòng)環(huán)境造成污染與危害，同時(shí)應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場(chǎng)、交通要道等有振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域2.0.3 根據(jù)電子行業(yè)廠房多年設(shè)計(jì)、建設(shè)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類分類受眾多因素的影響，要判斷整個(gè)生產(chǎn)過程中每個(gè)環(huán)節(jié)是否有引起火災(zāi)的可能性，根據(jù)生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)過程中使用的原材料以及產(chǎn)品及其副產(chǎn)品的火災(zāi)危險(xiǎn)性以及生產(chǎn)時(shí)的實(shí)際環(huán)境條件等情況確定。另外也規(guī)定了同一座廠房或廠房中同一個(gè)防火分區(qū)內(nèi)存在不同火災(zāi)危險(xiǎn)性的生產(chǎn)時(shí)，該建筑或區(qū)域火災(zāi)危險(xiǎn)性的確定原則。(1)在一座廠房中或一個(gè)防火分區(qū)內(nèi)存在甲、乙類等多種火災(zāi)危險(xiǎn)性生產(chǎn)時(shí)，如果甲類生產(chǎn)著火后，可燃物質(zhì)足以構(gòu)成爆炸或燃燒危險(xiǎn)，則該建筑物中的生產(chǎn)類別應(yīng)按甲類劃分；如果該廠房面積很大，其中甲類生產(chǎn)所占用的面積比例小，并采取了相應(yīng)的工藝保護(hù)和防火防爆分隔措施將甲類生產(chǎn)部位與其他區(qū)域完全隔開，即使發(fā)生火災(zāi)也不會(huì)蔓延到其他區(qū)域時(shí)，該廠房可按火災(zāi)危險(xiǎn)性較小者確定。另外，有的生產(chǎn)過程中雖然使用或產(chǎn)生易燃、可燃物質(zhì)，但是數(shù)量少，當(dāng)氣體全部逸出或可燃液體全部氣化也不會(huì)在同一時(shí)間內(nèi)使廠房?jī)?nèi)任何部位的混合氣體處于爆炸極限范圍內(nèi)，或即使局部存在爆炸危險(xiǎn)、可燃物全部燃燒也不可能使建筑物著火而造成災(zāi)害。(2)一般情況下可不按物質(zhì)危險(xiǎn)特性確定生產(chǎn)火災(zāi)危險(xiǎn)性類別的最大允許量，參見表2。表2可不按物質(zhì)危險(xiǎn)特性確定生產(chǎn)火災(zāi)危險(xiǎn)性類別的最大允許量火災(zāi)危險(xiǎn)性類別火災(zāi)危險(xiǎn)性的特性最大允許量物質(zhì)名稱舉例與房間容積的比值總量甲類1閃電小于28℃的液體汽油、丙酮、乙醚0.004L/m3100L2爆炸下限小于10%的氣體乙炔、氫、甲烷、乙烯、硫化氫1L/m3(標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài))25m3(標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài))3常溫下能自行分解導(dǎo)致迅速自燃爆炸的物質(zhì)硝化棉、硝化纖維膠片、噴氣棉、火膠棉、賽璐珞棉0.003kg/m310kg在空氣中氧化即導(dǎo)致迅速自燃的物質(zhì)黃磷0.006kg/m320kg4常溫下受到水和空氣中水蒸氣的作用能產(chǎn)生可燃?xì)怏w并能燃燒或爆炸的物質(zhì)金屬鉀、鈉、鋰0.002kg/m35g5遇酸、受熱、撞擊、摩擦、催化以及遇有機(jī)物或硫黃等易燃的無機(jī)物能引起爆炸的強(qiáng)氧化劑硝酸胍、高氯酸銨0.006kg/m320kg遇酸、受熱、撞擊、摩擦、催化以及遇有機(jī)物或硫黃等極易分解引起燃燒的強(qiáng)氧化劑氯酸鉀、氯酸鈉、過氧化鈉0.015kg/m350kg6與氧化劑、有機(jī)物接觸時(shí)能引起燃燒或爆炸的物質(zhì)赤磷、五硫化磷0.015kg/m350kg7受到水或空氣中水蒸氣的作用能產(chǎn)生爆炸下限小于10%的氣體的固體物質(zhì)電石0.075kg/m3100kg乙類1閃點(diǎn)大于等于28℃至60℃的液體煤油、松節(jié)油0.02L/m3200L2爆炸下限大于等于10%的氣體氨5L/m3(標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài))50m3(標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài))3助燃?xì)怏w氧、氟5L/m3(標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài))50m3(標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài))不屬于甲類的氧化劑硝酸、硝酸銅、路酸、發(fā)煙硫酸、鉻酸鉀0.025kg/m380kg4不屬于甲類的化學(xué)易燃危險(xiǎn)固體賽璐珞板、硝化纖維色片、鎂粉、鋁粉0.015kg/m350kg硫黃、生松香0.075kg/m3100kg表2列出了部分生產(chǎn)中常見的甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)性物品的最大允許量。本表僅供使用本條文時(shí)參考?，F(xiàn)將其計(jì)算方法和數(shù)值確定的原則及應(yīng)用本表應(yīng)注意的事項(xiàng)說明如下：1)廠房或?qū)嶒?yàn)室內(nèi)單位容積的最大允許量。單位容積的最大允許量是實(shí)驗(yàn)室或非甲、乙類廠房?jī)?nèi)使用甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)性物品的兩個(gè)控制指標(biāo)之一。實(shí)驗(yàn)室或非甲、乙類廠房?jī)?nèi)使用甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)性物品的總量同其室內(nèi)容積之比應(yīng)小于此值。下面按氣、液、固態(tài)甲、乙類危險(xiǎn)物品分別說明該數(shù)值的確定。①氣態(tài)甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)性物品。一般，可燃?xì)怏w濃度探測(cè)報(bào)警裝置的報(bào)警控制值采用該可燃?xì)怏w爆炸下限的25%。因此，當(dāng)室內(nèi)使用的可燃?xì)怏w同空氣所形成的混合性氣體不大于爆炸下限的5%時(shí)，可不按甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)性劃分。本條采用5%這個(gè)數(shù)值還考慮到，在一個(gè)面積或容積較大的場(chǎng)所內(nèi)，可能存在可燃?xì)怏w擴(kuò)散不均勻，會(huì)形成局部高濃度而引發(fā)爆炸的危險(xiǎn)。由于實(shí)際生產(chǎn)中使用或產(chǎn)生的甲、乙類可燃?xì)怏w的種類較多，在本表中不可能一一列出。對(duì)于爆炸下限小于10%的甲類可燃?xì)怏w，空間內(nèi)單位容積的最大允許量采用幾種甲類可燃?xì)怏w計(jì)算結(jié)果的平均值（如乙炔的計(jì)算結(jié)果是0.75L/m3，甲烷的計(jì)算結(jié)果為2.5L/m3），取1L/m3。對(duì)于爆炸下限大于或等于10%的乙類可燃?xì)怏w，空間內(nèi)單位容積的最大允許量取5L/m3。②液態(tài)甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)性物品。在室內(nèi)少量使用易燃、易爆中、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)性物品，要考慮這些物品全部揮發(fā)并彌漫在整個(gè)室內(nèi)空間后，同空氣的混合比是否低于其爆炸下限的5%。如低于該值，可以不確定為甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)性。③固態(tài)（包括粉狀）甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)性物品。對(duì)于金屬鉀、金屬鈉，黃磷、赤磷、賽璐珞板等固態(tài)甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)性物品和鎂粉、鋁粉等乙類火災(zāi)危險(xiǎn)性物品的單位容積的最大允許量，參照了國(guó)外有關(guān)消防法規(guī)的規(guī)定。2)廠房或?qū)嶒?yàn)室等室內(nèi)空間最多允許存放的總量。對(duì)于容積較大的空間，單憑空間內(nèi)“單位容積的最大允許量”一個(gè)指標(biāo)來控制是不夠的。有時(shí)，盡管這些空間內(nèi)單位容積的最大允許量不大于規(guī)定，也可能會(huì)相對(duì)集中放置較大量的甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)性物品，而這些物品著火后常難以控制。3)在應(yīng)用本條進(jìn)行計(jì)算時(shí)，如空間內(nèi)存在兩種或兩種以上火災(zāi)危險(xiǎn)性的物品，原則上要以其中火災(zāi)危險(xiǎn)性較大、兩項(xiàng)控制指標(biāo)要求較嚴(yán)格的物品為基礎(chǔ)進(jìn)行計(jì)算。2.0.4電子元器件廠的廠房和倉庫使用和存放的物品較為貴重，發(fā)生火災(zāi)會(huì)造成較大損失，因此結(jié)構(gòu)的耐火等級(jí)確定為一級(jí)或二級(jí)。2.0.5根據(jù)電子元器件廠多年設(shè)計(jì)、建設(shè)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，按照不同的生產(chǎn)火災(zāi)危險(xiǎn)性類別，綜合考慮安全與節(jié)約的關(guān)系，正確選擇廠房的耐火等級(jí)，合理確定廠房的層數(shù)和建筑面積，可以有效防止火災(zāi)蔓延擴(kuò)大，減少損失。甲類生產(chǎn)具有易燃、易爆的特性，容易發(fā)生火災(zāi)和爆炸，疏散和救援困難，如層數(shù)多則更難撲救，嚴(yán)重者對(duì)結(jié)構(gòu)有嚴(yán)重破壞。因此，本條對(duì)甲類廠房層數(shù)及防火分區(qū)面積提出了較嚴(yán)格的規(guī)定。為適應(yīng)生產(chǎn)發(fā)展需要建設(shè)大面積廠房和布置連續(xù)生產(chǎn)線工藝時(shí)，防火分區(qū)采用防火墻分隔有時(shí)比較困難。對(duì)此，除甲類廠房外，規(guī)范允許采用防火分隔水幕或防火卷簾等進(jìn)行分隔。廠房?jī)?nèi)的操作平臺(tái)、檢修平臺(tái)主要布置在高大的生產(chǎn)裝置周圍，在車間內(nèi)多為局部或全部鏤空，面積較小、操作人員或檢修人員較少，且主要為生產(chǎn)服務(wù)的工藝設(shè)備而設(shè)置，這些平臺(tái)可不計(jì)入防火分區(qū)的建筑面積。2.0.6電子元器件廠的倉庫物資儲(chǔ)存比較集中，可燃物數(shù)量多，滅火救援難度大，一旦著火，往往整個(gè)倉庫或防火分區(qū)就被全部燒毀，造成嚴(yán)重經(jīng)濟(jì)損失，因此要嚴(yán)格控制其防火分區(qū)的大小。本條根據(jù)不同儲(chǔ)存物品的火災(zāi)危險(xiǎn)性類別，確定了倉庫的耐火等級(jí)、層數(shù)和建筑面積的相互關(guān)系。2.0.7自動(dòng)滅火系統(tǒng)能及時(shí)控制和撲滅防火分區(qū)內(nèi)的初起火，有效地控制火勢(shì)蔓延。運(yùn)行維護(hù)良好的自動(dòng)滅火設(shè)施，能較大地提高廠房和倉庫的消防安全性。因此，本條規(guī)定廠房和倉庫內(nèi)設(shè)置自動(dòng)滅火系統(tǒng)后，防火分區(qū)的建筑面積及倉庫的占地面積可以按表2.0.5和表2.0.6的規(guī)定增加。2.0.8本條規(guī)定了不同火災(zāi)危險(xiǎn)性類別廠房?jī)?nèi)的最大疏散距離。本條規(guī)定的疏散距離均為直線距離，即室內(nèi)最遠(yuǎn)點(diǎn)至最近安全出口的直線距離，未考慮因布置設(shè)備而產(chǎn)生的阻擋，但有通道連接或墻體遮擋時(shí)，要按其中的折線距離計(jì)算。通常，在火災(zāi)條件下人員能安全走出安全出口，即可認(rèn)為到達(dá)安全地點(diǎn)。考慮單層、多層、高層廠房的疏散難易程度不同，不同火災(zāi)危險(xiǎn)性類別廠房發(fā)生火災(zāi)的可能性及火災(zāi)后的蔓延和危害不同，分別作了不同的規(guī)定。對(duì)于丙類廠房的火災(zāi)危險(xiǎn)性較甲、乙類小，火災(zāi)蔓延速度也慢些，而且多層與高層廠房的首層疏散的難易程度與單層廠房基本一致，將丙類多層及高層廠房的首層疏散距離確定與丙類單層廠房疏散距離相同。實(shí)際火災(zāi)環(huán)境往往比較復(fù)雜，廠房?jī)?nèi)的物品和設(shè)備布置以及人在火災(zāi)條件下的心理和生理因素都對(duì)疏散有直接影響，應(yīng)根據(jù)不同的生產(chǎn)工藝和環(huán)境，充分考慮人員的疏散需要來確定疏散距離以及廠房的布置與選型，盡量均勻布置安全出口，縮短疏散距離，特別是實(shí)際步行距離。2.0.9本規(guī)定是由于近年設(shè)計(jì)建造的電子元器件廠的大體量、大面積潔凈室的實(shí)際情況，有些的集成電路前工序廠的潔凈生產(chǎn)區(qū)面積已超過30000m2以上，平板顯示器廠潔凈生產(chǎn)區(qū)面積也有不少超過100000m2以上。其潔凈區(qū)生產(chǎn)區(qū)內(nèi)任一點(diǎn)到最近安全出口的距離達(dá)80~120m。這類潔凈廠房?jī)?nèi)使用可燃、易燃?xì)怏w的關(guān)鍵設(shè)備均設(shè)有火災(zāi)報(bào)警、氣體報(bào)警和CO2滅火裝置，最大防火分區(qū)的面積可根據(jù)工藝要求來確定。并且此類廠房由于生產(chǎn)工藝設(shè)備體積大、連續(xù)性生產(chǎn)、自動(dòng)化傳輸?shù)纫蛩兀僮魅藛T較少，人員密度極低，且人員流動(dòng)巡查，在人員密度小于0.02人/m2時(shí)，可按工藝需要確定，但不得超過120m。2.0.10在自動(dòng)化程度較高的集成電路和平板顯示廠房?jī)?nèi)，潔凈室內(nèi)操作人員較少，人員密度極低因此當(dāng)潔凈室與技術(shù)支持區(qū)位于不同的防火分區(qū)時(shí)，可通過設(shè)置共用前室或安全通道共用疏散出口。2.0.11避難通道主要為解決大型電子元器件廠房疏散距離過長(zhǎng)或難以設(shè)置直通室外的安全出口等問題。避難走道和防煙樓梯間的作用類似，疏散時(shí)人員只要進(jìn)入避難走道，就可視為進(jìn)入相對(duì)安全的區(qū)域。為確保人員疏散的安全，當(dāng)避難走道服務(wù)于多個(gè)防火分區(qū)時(shí)，規(guī)定避難走道直通地面的出口不少于2個(gè)，并設(shè)置在不同的方向；當(dāng)避難走道只與一個(gè)防火分區(qū)相連時(shí)，直通地面的出口雖然不強(qiáng)制要求設(shè)置2個(gè)，但有條件時(shí)應(yīng)盡量在不同方向設(shè)置出口。2.0.12電子元器件廠生產(chǎn)廢水通常包括可回用廢水、含氟廢水、化學(xué)機(jī)械拋光廢水、一般酸堿廢水、高濃度含氨廢水等。分類收集既是提高廢水處理效率的需要，也是提高全廠水系統(tǒng)回用率的需要。2.0.13考慮到廢水排放的各種意外情況，為了避免無法及時(shí)處理或處理后暫時(shí)無法滿足排放標(biāo)準(zhǔn)的廢水對(duì)環(huán)境的影響，需設(shè)置應(yīng)急廢水收集池。如果應(yīng)急廢水收集池太大，則占地面積和工程造價(jià)都會(huì)大幅度增加；如果事故池太小，一旦廢水處理系統(tǒng)出現(xiàn)問題，來不及維修，必然造成生產(chǎn)線停產(chǎn)，使企業(yè)遭受經(jīng)濟(jì)損失。綜合國(guó)內(nèi)外一些大廠的運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)，規(guī)定應(yīng)急廢水收集池收集能力按照不小于廢水處理系統(tǒng)中單個(gè)系統(tǒng)最大處理能力的6小時(shí)的排放量來設(shè)置。2.0.14工藝排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按照排放性質(zhì)不同分別設(shè)置獨(dú)立的排風(fēng)系統(tǒng)，以避免排出氣體混合后在系統(tǒng)中造成燃燒、爆炸或發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成危害性更大的混合物、化合物等。2.0.15電子元器件廠的排風(fēng)系統(tǒng)通常有較多的酸堿、有機(jī)等廢氣排出，了防止防火閥的誤動(dòng)作而造成排風(fēng)系統(tǒng)的失效，從而引發(fā)安全和生產(chǎn)的事故，做出此規(guī)定。另外即使發(fā)生火災(zāi)時(shí)也不應(yīng)將此類排風(fēng)系統(tǒng)停止運(yùn)行，因?yàn)橐环矫媾棚L(fēng)系統(tǒng)可兼作排煙功能，另一方面一旦停止運(yùn)行，工藝生產(chǎn)設(shè)備將向車間內(nèi)散發(fā)比煙氣毒性更大的有害物質(zhì)。為了防止火災(zāi)穿過防火墻蔓延，要求緊鄰建筑構(gòu)件其中一側(cè)的室內(nèi)排風(fēng)管應(yīng)采用與建筑構(gòu)件耐火極限相同的構(gòu)造進(jìn)行保護(hù)。2.0.16危險(xiǎn)廢物的儲(chǔ)存場(chǎng)所和設(shè)施設(shè)計(jì)有嚴(yán)格的要求，同時(shí)應(yīng)按照電子工程自身特點(diǎn)，結(jié)合危險(xiǎn)廢物排出量、運(yùn)輸方式以及利用或處理情況考慮貯存場(chǎng)所位置及輸出方式，一般廢物不應(yīng)與其混合收集、裝運(yùn)與堆存。2.0.17廢液貯存區(qū)域應(yīng)設(shè)置在與生產(chǎn)工藝場(chǎng)所相對(duì)獨(dú)立且地勢(shì)相對(duì)較低的區(qū)域，以避免發(fā)生意外事故時(shí)對(duì)生產(chǎn)工藝場(chǎng)所或周邊其他區(qū)域造成污染；同時(shí)該貯存區(qū)域地勢(shì)不得低于地下水最高水位。

由于電子工程廢液產(chǎn)生量一般較大，廢液應(yīng)采取罐體收集的方式，從生產(chǎn)工藝場(chǎng)所直接通過管道依靠重力流將廢液輸送至地勢(shì)較低的廢液收集罐，廢液罐區(qū)應(yīng)按照化學(xué)品貯存要求設(shè)置防滲漏設(shè)施，并應(yīng)設(shè)置防滲漏液位監(jiān)測(cè)、漏液警報(bào)等在線監(jiān)測(cè)設(shè)置，防止?jié)B漏液滲入地下，對(duì)地下水和土壤形成污染。

為降低漏液事故發(fā)生時(shí)的損失，廢液區(qū)應(yīng)設(shè)有漏液收集系統(tǒng)、排液泵、應(yīng)急存儲(chǔ)罐、事故排風(fēng)、吸附裝備等應(yīng)急設(shè)施。

危險(xiǎn)固體廢物的貯存場(chǎng)所宜設(shè)擋風(fēng)墻、遮雨棚等，以防止因刮風(fēng)引起的揚(yáng)塵和因下雨引起的雨水淋溶，避免形成新的污染。應(yīng)根據(jù)危險(xiǎn)固體廢物性質(zhì)進(jìn)行分隔，并設(shè)有有效的防滲漏及事故收集等設(shè)施，避免危險(xiǎn)固體廢物污染事故的發(fā)生。設(shè)置緊急排風(fēng)的目的是為了在事故時(shí)及時(shí)將危險(xiǎn)性廢物釋放的揮發(fā)性有毒有害氣體及時(shí)排放。事故時(shí)，正常供電往往會(huì)中斷，為了提高緊急排風(fēng)系統(tǒng)供電的可靠性，確保事故處理人員工作環(huán)境的安全，該系統(tǒng)設(shè)置應(yīng)急電源是需要的2.0.18由于設(shè)備分期到貨而間隔時(shí)間較長(zhǎng)，先期到達(dá)的設(shè)備已安裝調(diào)試完成并已投入生產(chǎn)，或已生產(chǎn)的車間需要調(diào)整生產(chǎn)線或更換設(shè)備，這時(shí)的安裝配管就處于生產(chǎn)安裝同時(shí)進(jìn)行狀態(tài)。在規(guī)定施工中進(jìn)行焊接等產(chǎn)煙明火作業(yè)時(shí)，應(yīng)取得建設(shè)單位簽發(fā)的動(dòng)火許可證及動(dòng)用消防設(shè)施許可證，以便建設(shè)單位針對(duì)動(dòng)火區(qū)域截?cái)嗷馂?zāi)報(bào)警系統(tǒng)，避免在這個(gè)階段報(bào)警及啟動(dòng)一系列聯(lián)鎖保護(hù)動(dòng)作，避免造成影響生產(chǎn)造成重大損失。動(dòng)火期間建設(shè)方和施工方組織專人監(jiān)視動(dòng)火作業(yè)的全過程，作業(yè)完成后經(jīng)檢查萬無一失后，再恢復(fù)報(bào)警系統(tǒng)。在生產(chǎn)區(qū)和安全區(qū)采取隔離措施是為了避免施工過程傷害生產(chǎn)人員，損害生產(chǎn)設(shè)備2.0.19本條列出生產(chǎn)設(shè)備單機(jī)和聯(lián)線試運(yùn)行應(yīng)具備的環(huán)境、動(dòng)力、安全設(shè)施等通用技術(shù)條件，只有這些條件均具備時(shí)方可進(jìn)行單機(jī)和聯(lián)線試運(yùn)行。2.0.20電子元器件廠使用多種化學(xué)品及特殊氣體，同時(shí)廢水、廢氣及廢氣污染物種類較多，為明確責(zé)任分工，便于工廠日常運(yùn)營(yíng)管理以及應(yīng)對(duì)突發(fā)各種安全及環(huán)保事件進(jìn)行有效的組織保障，制定本條款。2.0.21工廠運(yùn)營(yíng)維護(hù)要確保工廠各項(xiàng)環(huán)境及動(dòng)力供應(yīng)指標(biāo)滿足生產(chǎn)以及安全、環(huán)保和職業(yè)健康的需要，必須落實(shí)細(xì)化各系統(tǒng)等的參數(shù)和管控范圍，并制定完善的各項(xiàng)規(guī)章制度嚴(yán)格執(zhí)行。2.0.22生產(chǎn)過程中使用有毒有害特殊氣體和化學(xué)品系統(tǒng)在停止使用后，會(huì)殘留部分氣體或化學(xué)品在系統(tǒng)的容器、閥門及管道中，如不徹底清除及妥善進(jìn)行無害化處理，會(huì)對(duì)人體及環(huán)境造成損害。

3集成電路廠3.0.1集成電路工廠的產(chǎn)品品種和技術(shù)要求不同對(duì)應(yīng)不同的生產(chǎn)工藝，從線寬來區(qū)分從較早的5μm到最新的3nm工藝，從加工硅片直徑來區(qū)分從3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸，工程投資金額存在數(shù)千萬元至近百億美元的巨大差異，凈化區(qū)面積也從數(shù)百平方米到最新的數(shù)萬平方米不等，因此選擇適合的規(guī)模產(chǎn)能是工廠健康持續(xù)運(yùn)營(yíng)的關(guān)鍵。集成電路封裝技術(shù)發(fā)展十分迅速，封裝不僅起到集成電路芯片內(nèi)鍵合點(diǎn)與外部進(jìn)行電氣連接的作用，也為集成電路芯片起到機(jī)械或環(huán)境保護(hù)的作用，從而集成電路芯片能夠發(fā)揮正常的功能，并保證其具有高穩(wěn)定性和可靠性,封裝結(jié)構(gòu)類型的合理性和科學(xué)性將直接影響集成電路的質(zhì)量。從國(guó)內(nèi)外的工程實(shí)踐看，以生產(chǎn)線的規(guī)模計(jì)算．8英寸集成電路芯片工廠如果產(chǎn)能低于3萬片／月，12英寸集成電路芯片工廠低于2萬片／月，其生產(chǎn)效益較差，工程首期不能以經(jīng)濟(jì)規(guī)模建設(shè)時(shí)，應(yīng)特別注意在廠址和設(shè)計(jì)方案的選擇上應(yīng)充分考慮分期實(shí)施的可能，并為此預(yù)留必要的工程條件。3.0.2工廠的廠區(qū)中生產(chǎn)區(qū)占地較大，同時(shí)也是人流和物流的集中區(qū)域，因此在廠區(qū)總體規(guī)劃中，要將生產(chǎn)區(qū)作為核心進(jìn)行布置，以提高生產(chǎn)效率及用地效率。3.0.3集成電路封裝測(cè)試廠的產(chǎn)品品種較多，產(chǎn)能需求各不相同，而且變化較快，因此在設(shè)備種類及數(shù)量上需綜合考慮，并具有一定的靈活性，同時(shí)生產(chǎn)設(shè)備需要較高的自動(dòng)化程度以及較高的運(yùn)行穩(wěn)定性。對(duì)于產(chǎn)能較大的封裝測(cè)試廠，生產(chǎn)設(shè)備需要較高的自動(dòng)化程度以及較高的運(yùn)行穩(wěn)定性。3.0.4集成電路工廠特別是芯片生產(chǎn)廠房中使用丁酮、丙酮、異丙醇等易燃化學(xué)品和H2、SiH4、AsH3、PH3等可燃、有毒氣體，這些物品是集成電路生產(chǎn)工藝所必須的原料，參與過程反應(yīng)或作為保護(hù)性氣體使用。隨著技術(shù)的進(jìn)步，各種氣體及化學(xué)品的輸送、控制以及監(jiān)控報(bào)警技術(shù)有了很大的進(jìn)步和提高。調(diào)查表明，集成電路生產(chǎn)所采用的擴(kuò)散、外延、離子注入等工藝和設(shè)備自身都已配有危險(xiǎn)氣體泄露報(bào)警、連鎖裝置以及滅火系統(tǒng)，可燃?xì)怏w及易燃化學(xué)品系統(tǒng)設(shè)有緊急切斷閥，一旦發(fā)生事故、火情時(shí)，自動(dòng)切斷可燃?xì)怏w及易燃化學(xué)品的供應(yīng)。本規(guī)范制定過程中同時(shí)借鑒國(guó)內(nèi)外已竣工投產(chǎn)的集成電路芯片工廠和封裝測(cè)試工廠的成熟經(jīng)驗(yàn)，考慮到具備上述安全技術(shù)措施的條件下，將集成電路芯片廠房火災(zāi)危險(xiǎn)性類別列為丙類，同時(shí)要求布置在生產(chǎn)廠房中的儲(chǔ)存和分配易燃化學(xué)品和易燃、有毒氣體房間的面積占本層的面積不應(yīng)大于5%。3.0.5集成電路芯片工廠的設(shè)備較為貴重，為避免場(chǎng)區(qū)被洪水沖淹、積水造成生產(chǎn)停頓、人員傷亡及財(cái)產(chǎn)遭受損失，將本條作為場(chǎng)地豎向設(shè)計(jì)應(yīng)遵守的規(guī)定，特別是沿江、河、湖、海建設(shè)的項(xiàng)目更應(yīng)對(duì)此予以充分的重視。3.0.6集成電路芯片工廠用電量大，產(chǎn)品價(jià)值高，發(fā)生斷電對(duì)生產(chǎn)損失較大，同時(shí)對(duì)環(huán)保及人身安全也有不同程度的影響，因此用電負(fù)荷等級(jí)不低于一級(jí)。3.0.7靜電對(duì)集成電路芯片內(nèi)的電路危害很大，從生產(chǎn)環(huán)境到生產(chǎn)設(shè)備以及操作人員都要采取完善的防靜電措施，以免對(duì)生產(chǎn)造成較大損失。3.0.8集成電路工廠的生產(chǎn)使用很多種特殊氣體、酸堿及有機(jī)溶劑，在CVD及刻蝕等工序特殊氣體參與工藝反應(yīng)后，仍殘留未反應(yīng)部分氣體經(jīng)尾氣排出。為生產(chǎn)安全及環(huán)境保護(hù)的要求，需要對(duì)這些易燃、易爆或有毒的尾氣通過燃燒、水洗或吸附等方式進(jìn)行就地處理。

4顯示器件廠4.0.1顯示器件生產(chǎn)線（特別是高世代生產(chǎn)線）工藝設(shè)備價(jià)值昂貴、生產(chǎn)環(huán)境要求高、動(dòng)力供應(yīng)種類繁多，如規(guī)模過小，無疑將造成投資和運(yùn)行成本的巨大浪費(fèi)。若以陣列段生產(chǎn)線的規(guī)模計(jì)算．4.5代線以下的量產(chǎn)化生產(chǎn)線，其單線產(chǎn)能大體以3.O萬片／月-4.5萬片／月較多．5代、6代線則一般在6萬片／月～9萬片／月之間．7代以上的產(chǎn)能就要大于9萬片／月。當(dāng)然，企業(yè)的投資規(guī)模是以市場(chǎng)為導(dǎo)向，并結(jié)合企業(yè)自身的技術(shù)和資金實(shí)力進(jìn)行綜合考慮后確定的。分期投資建設(shè)也是許多企業(yè)在決策投資新建生產(chǎn)線過程中常見的策略。因此當(dāng)工程首期不能以經(jīng)濟(jì)規(guī)模建設(shè)時(shí)，設(shè)計(jì)單位應(yīng)特別注意在廠址和設(shè)計(jì)方案的選擇上應(yīng)充分考慮分期實(shí)施的可能，并為此預(yù)留必要的工程條件。4.0.2顯示器件面板工藝設(shè)備價(jià)格昂貴，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境要求高。為降低設(shè)備折舊以及廠務(wù)設(shè)施運(yùn)行成本對(duì)產(chǎn)品成本的內(nèi)在影響，生產(chǎn)線宜采取連續(xù)運(yùn)行的方式。目前大多數(shù)廠家對(duì)生產(chǎn)線工人采取四班三運(yùn)轉(zhuǎn)或三班二運(yùn)轉(zhuǎn)的方式。而生產(chǎn)線的年工作天數(shù)除因設(shè)備維修和市場(chǎng)因素的影響外，一般不少于350天，其他輔助生產(chǎn)部門包括倉庫、維修、檢驗(yàn)、實(shí)驗(yàn)室則根據(jù)本部門工作與主生產(chǎn)線的協(xié)同配合要求，分別采取1~3班次運(yùn)行。4.0.3液晶顯示器面板生產(chǎn)一般分為陣列、彩膜、成盒和模組四個(gè)工藝段。其中陣列和彩膜和各自的加工段完成加工后，由于產(chǎn)品上的薄膜十分脆弱，成盒段（生產(chǎn)線起端）宜盡可能就近布置在陣列和彩膜生產(chǎn)線尾端附近，以避免對(duì)陣列和彩膜進(jìn)行包裝和解包裝，從而降低產(chǎn)品往搬送過程中受到損傷的概率。而在成盒之后，特別是在經(jīng)過切割裂片之后，對(duì)產(chǎn)品的保護(hù)要求和加工環(huán)境要求已經(jīng)人人降低，需搬送產(chǎn)品的單元尺寸也大大縮小，因此模組段布置則相對(duì)靈活。同時(shí)生產(chǎn)設(shè)備對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境要求很高，其中某些設(shè)備自身也會(huì)產(chǎn)生諸如振動(dòng)、電磁輻射、熱輻射和空氣懸浮粒子污染等不利影響，因此在確定工藝區(qū)劃時(shí)，應(yīng)盡量避免此類設(shè)備對(duì)敏感設(shè)備的不利影響。4.0.4陣列、彩膜和成盒工序段主要的加工對(duì)象為玻璃基板。玻璃基板尺寸大而薄,極易破碎,旦對(duì)表面的污染控制要求很高,采用專用工裝進(jìn)行搬運(yùn)顯然是必要的。而對(duì)于批量生產(chǎn)線,由于搬運(yùn)量大、生產(chǎn)連續(xù)性要求高,更適宜采用全自動(dòng)物料搬送系統(tǒng)。如采用人工搬運(yùn)小車進(jìn)行搬運(yùn),易造成搬運(yùn)錯(cuò)誤或不及時(shí),并造成因潔凈室內(nèi)人員頻繁走動(dòng)引起的空氣污染問題,從而影響產(chǎn)品生產(chǎn)的良品率等。出于同樣的原因,跨層之間的產(chǎn)品垂直運(yùn)輸適宜采用自動(dòng)化垂直運(yùn)輸設(shè)備，盡可能不采用貨運(yùn)電梯的方式。4.0.5在薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)中，因?yàn)樯a(chǎn)部件尺寸較大，需要通過物料自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)傳遞。穿過不同生產(chǎn)樓層的自動(dòng)化垂直搬運(yùn)系統(tǒng)在物料進(jìn)、出口處，因?yàn)檫B續(xù)傳輸無法采用防火卷簾等方式封閉，應(yīng)設(shè)置水幕系統(tǒng)進(jìn)行保護(hù)。4.0.6顯示器件工廠使用有易燃化學(xué)品和可燃、有毒氣體，這些物品是生產(chǎn)工藝所必須的原料，參與過程反應(yīng)或作為保護(hù)性氣體使用。隨著技術(shù)的進(jìn)步，各種氣