tft三次作業(yè)及施展同學筆記二次雅帝

專有名詞調(diào)研▲陣列Array 制程部分▲彩膜CF 制程部分▲成盒cell制程部分▲模組module制程部分制作人：張雅帝12341076Array制程部分：超純水（清洗）： 既將水中的導電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。PECVD等離子體增強化學氣相沉積 是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。濺鍍sputter

濺鍍指物體以離子撞擊時，被濺射飛散出。因被濺射飛散的物體附著于目標基板上而制成薄膜。在日光燈的插座附近常見的變黑現(xiàn)象。Array制程部分：Array制程部分：光刻：軟烘（SoftBaking） 方法：真空熱板，85～120C,30～60秒； 目的：除去溶劑（4～7%）；增強黏附性；釋放光刻膠膜內(nèi)的應力；防止光刻膠玷污設備，邊緣光刻膠的去除。后烘（PEB，PostExposureBaking）方法：熱板，110～130C,1分鐘。目的：a、減少駐波效應；b、激發(fā)化學增強光刻膠的PAG產(chǎn)生的酸與光刻膠上的保護基團發(fā)生反應并移除基團使之能溶解于顯影液。顯影（Development） 最普通的正膠顯影液是四甲基氫氧化銨，在I線光刻膠曝光中會生成羧酸，TMAH顯影液中的堿與酸中和使曝光的光刻膠溶解于顯影液，而未曝光的光刻膠沒有影響感光樹脂層作用原理：圖一顯示出樹脂版材成份之簡圖，粉紅色部份為聚脂結合劑，黃色橢圓形代表感光起動劑〈簡稱I〉以及橘色分子〈簡稱M〉為單體樹脂分子。圖二之1a顯示感光起動劑吸收了UV光因而破裂產(chǎn)生激烈的變化?！雌屏训牡皻ひ訰來表示之〉這種與單體樹脂分子間激烈無拘的反應使得它們〈如圖二之1b般〉和其他的單體相互連鎖反應。此連鎖反應的部分亦被稱為起動作用。這種活躍的單體分子與其他分子間之反應和結合劑聚合形成交錯的網(wǎng)鏈，版材本身材料的物理性質(zhì)也因而產(chǎn)生變化，這個部份的連鎖反應被稱為繁殖作用。〈如圖二之2〉當兩個活躍的分子〈單體M或激進分子R〉相互反應時形成了一個極不活潑的鎖鏈或成為交錯網(wǎng)的一部分，此種反應稱為終結〈穩(wěn)定〉作用〈如圖二之3〉最終使得感光部分化學性質(zhì)發(fā)生變化，從而形成特定的形狀。彩膜CF制程部分：圖二圖一成盒cell制程部分：封框膠： 一類是紫外線固化的框膠，主要用在枚片固化方式的生產(chǎn)上；另一類是熱固化的框膠，大多數(shù)半自動生產(chǎn)線主要是使用這種框膠。由環(huán)氧樹脂、催化劑和催化劑溶劑混和而成。常溫下，框膠里的環(huán)氧樹脂呈液態(tài)，而催化劑則溶解在液態(tài)的溶劑里面，框膠未固化時有一定的粘性，但隨著不斷的攪拌粘度會在一程范圍內(nèi)下降。里面的催化劑溶劑在80度時開始揮發(fā)，但要揮發(fā)完全，則要在105度左右，這個溫度可以避免溶劑揮發(fā)過程中催化劑吸取水份；失去溶劑的催化劑會結晶成為晶體。這時它可以支撐起液晶合的上下基板，可以減少后面加溫時框膠里的空間粉存受的壓力，不致于讓空間粉在加溫軟化后長時間存受壓力而產(chǎn)生永久形變，從而改變所設定的液晶盒厚參數(shù)。催化劑在1180C左右熔化成液態(tài)，隨著溫度的升高，分散到環(huán)氧樹脂分子基團里面，升溫到1420C左右時，環(huán)氧樹脂在催化劑的作用下，高速發(fā)生聚合反應，形成玻璃態(tài)固體，把上下基板粘結在一起。配向層（摩擦定向法) 利用對高分子Polyimide的表面施予絨布滾輪進行接觸式之順向機械式摩擦行為，摩擦高分子表面所供的能量使高分子主鏈因延伸而順向排列，達到液晶配向排列的方法；此項技術的優(yōu)點為摩擦定向方式操作時間極短，在常溫下操作即可，具有優(yōu)異量產(chǎn)特性，故沿用至目前的TFT-LCD四代廠製程中；但也有不少缺點，如：PI材料具高極性、高吸水性，於儲存或運送時容易變質(zhì)而造成配向不均勻；刷膜製程造成的粉塵顆粒、靜電殘留、刷痕產(chǎn)生等問題容易造成製程良率降低可靠性評估（reliabilityassessment）： 元件或系統(tǒng)在給定時間間隔內(nèi)、規(guī)定條件下，連續(xù)實現(xiàn)其功能的能力，主要是根據(jù)運行時間、工況及環(huán)境條件等密切相關的因素，評估繼續(xù)可靠運行的能力，是一種動態(tài)的，時變的過程。冷熱沖擊ThermalShock

快速溫度變化對材料造成的熱脹冷縮，激發(fā)潛在的品質(zhì)缺點快速溫變ThermalCycling

用來確定產(chǎn)品在高溫、低溫快速或緩慢變化的氣候環(huán)境下的儲存、運輸、使用的適應性。其試驗過程是以常溫→低溫→低溫停留→高溫→高溫停留→常溫作為一個循環(huán)。ICQ(ingQualityControl):

來料質(zhì)量控制,檢驗依照單次抽樣標準給予檢驗判定.OCQ(OutgoingQualityControl)

出貨品質(zhì)檢驗,主要針對出貨品做一全面性的查核確認，以確?？蛻羰肇洉r和約定內(nèi)容符合一致，以完全達標的方式出貨。模塊module制程部分：模塊module制程部分：AOI–Autoopticalinspection(自動光學檢測） 利用光學方式取得成品