tft三次作業(yè)及施展同學(xué)筆記二次雅帝

專有名詞調(diào)研▲陣列Array 制程部分▲彩膜CF 制程部分▲成盒cell制程部分▲模組module制程部分制作人：張雅帝12341076Array制程部分：超純水（清洗）： 既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。PECVD等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。濺鍍sputter

濺鍍指物體以離子撞擊時(shí)，被濺射飛散出。因被濺射飛散的物體附著于目標(biāo)基板上而制成薄膜。在日光燈的插座附近常見的變黑現(xiàn)象。Array制程部分：Array制程部分：光刻：軟烘（SoftBaking） 方法：真空熱板，85～120C,30～60秒； 目的：除去溶劑（4～7%）；增強(qiáng)黏附性；釋放光刻膠膜內(nèi)的應(yīng)力；防止光刻膠玷污設(shè)備，邊緣光刻膠的去除。后烘（PEB，PostExposureBaking）方法：熱板，110～130C,1分鐘。目的：a、減少駐波效應(yīng)；b、激發(fā)化學(xué)增強(qiáng)光刻膠的PAG產(chǎn)生的酸與光刻膠上的保護(hù)基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)并移除基團(tuán)使之能溶解于顯影液。顯影（Development） 最普通的正膠顯影液是四甲基氫氧化銨，在I線光刻膠曝光中會(huì)生成羧酸，TMAH顯影液中的堿與酸中和使曝光的光刻膠溶解于顯影液，而未曝光的光刻膠沒有影響感光樹脂層作用原理：圖一顯示出樹脂版材成份之簡圖，粉紅色部份為聚脂結(jié)合劑，黃色橢圓形代表感光起動(dòng)劑〈簡稱I〉以及橘色分子〈簡稱M〉為單體樹脂分子。圖二之1a顯示感光起動(dòng)劑吸收了UV光因而破裂產(chǎn)生激烈的變化?！雌屏训牡皻ひ訰來表示之〉這種與單體樹脂分子間激烈無拘的反應(yīng)使得它們〈如圖二之1b般〉和其他的單體相互連鎖反應(yīng)。此連鎖反應(yīng)的部分亦被稱為起動(dòng)作用。這種活躍的單體分子與其他分子間之反應(yīng)和結(jié)合劑聚合形成交錯(cuò)的網(wǎng)鏈，版材本身材料的物理性質(zhì)也因而產(chǎn)生變化，這個(gè)部份的連鎖反應(yīng)被稱為繁殖作用?！慈鐖D二之2〉當(dāng)兩個(gè)活躍的分子〈單體M或激進(jìn)分子R〉相互反應(yīng)時(shí)形成了一個(gè)極不活潑的鎖鏈或成為交錯(cuò)網(wǎng)的一部分，此種反應(yīng)稱為終結(jié)〈穩(wěn)定〉作用〈如圖二之3〉最終使得感光部分化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，從而形成特定的形狀。彩膜CF制程部分：圖二圖一成盒cell制程部分：封框膠： 一類是紫外線固化的框膠，主要用在枚片固化方式的生產(chǎn)上；另一類是熱固化的框膠，大多數(shù)半自動(dòng)生產(chǎn)線主要是使用這種框膠。由環(huán)氧樹脂、催化劑和催化劑溶劑混和而成。常溫下，框膠里的環(huán)氧樹脂呈液態(tài)，而催化劑則溶解在液態(tài)的溶劑里面，框膠未固化時(shí)有一定的粘性，但隨著不斷的攪拌粘度會(huì)在一程范圍內(nèi)下降。里面的催化劑溶劑在80度時(shí)開始揮發(fā)，但要揮發(fā)完全，則要在105度左右，這個(gè)溫度可以避免溶劑揮發(fā)過程中催化劑吸取水份；失去溶劑的催化劑會(huì)結(jié)晶成為晶體。這時(shí)它可以支撐起液晶合的上下基板，可以減少后面加溫時(shí)框膠里的空間粉存受的壓力，不致于讓空間粉在加溫軟化后長時(shí)間存受壓力而產(chǎn)生永久形變，從而改變所設(shè)定的液晶盒厚參數(shù)。催化劑在1180C左右熔化成液態(tài)，隨著溫度的升高，分散到環(huán)氧樹脂分子基團(tuán)里面，升溫到1420C左右時(shí)，環(huán)氧樹脂在催化劑的作用下，高速發(fā)生聚合反應(yīng)，形成玻璃態(tài)固體，把上下基板粘結(jié)在一起。配向?qū)樱Σ炼ㄏ蚍? 利用對高分子Polyimide的表面施予絨布滾輪進(jìn)行接觸式之順向機(jī)械式摩擦行為，摩擦高分子表面所供的能量使高分子主鏈因延伸而順向排列，達(dá)到液晶配向排列的方法；此項(xiàng)技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)為摩擦定向方式操作時(shí)間極短，在常溫下操作即可，具有優(yōu)異量產(chǎn)特性，故沿用至目前的TFT-LCD四代廠製程中；但也有不少缺點(diǎn)，如：PI材料具高極性、高吸水性，於儲存或運(yùn)送時(shí)容易變質(zhì)而造成配向不均勻；刷膜製程造成的粉塵顆粒、靜電殘留、刷痕產(chǎn)生等問題容易造成製程良率降低可靠性評估（reliabilityassessment）： 元件或系統(tǒng)在給定時(shí)間間隔內(nèi)、規(guī)定條件下，連續(xù)實(shí)現(xiàn)其功能的能力，主要是根據(jù)運(yùn)行時(shí)間、工況及環(huán)境條件等密切相關(guān)的因素，評估繼續(xù)可靠運(yùn)行的能力，是一種動(dòng)態(tài)的，時(shí)變的過程。冷熱沖擊ThermalShock

快速溫度變化對材料造成的熱脹冷縮，激發(fā)潛在的品質(zhì)缺點(diǎn)快速溫變ThermalCycling

用來確定產(chǎn)品在高溫、低溫快速或緩慢變化的氣候環(huán)境下的儲存、運(yùn)輸、使用的適應(yīng)性。其試驗(yàn)過程是以常溫→低溫→低溫停留→高溫→高溫停留→常溫作為一個(gè)循環(huán)。ICQ(ingQualityControl):

來料質(zhì)量控制,檢驗(yàn)依照單次抽樣標(biāo)準(zhǔn)給予檢驗(yàn)判定.OCQ(OutgoingQualityControl)

出貨品質(zhì)檢驗(yàn),主要針對出貨品做一全面性的查核確認(rèn)，以確保客戶收貨時(shí)和約定內(nèi)容符合一致，以完全達(dá)標(biāo)的方式出貨。模塊module制程部分：模塊module制程部分：AOI–Autoopticalinspection(自動(dòng)光學(xué)檢測） 利用光學(xué)方式取得成品