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NXCL300mmlowoxygencontentsingI本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的1300mm低氧含量直拉硅單晶本文件規(guī)定了300mm低氧含量直拉硅單晶的技術(shù)要求、試運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書(shū)和質(zhì)量承諾等方面本文件適用于以電子級(jí)多晶硅為主要原材料，采用直拉法制備的直徑為300mm的低氧含量硅單YS/T769非本征半導(dǎo)體中少數(shù)載流子擴(kuò)散長(zhǎng)度的穩(wěn)態(tài)表面光電壓測(cè)試方法4技術(shù)要求），），），），），2導(dǎo)電類(lèi)型N磷電阻率，Q-cm電阻率徑向變化，%4.4.1硅單晶的晶向?yàn)?lt;100>。36.1檢驗(yàn)檢驗(yàn)項(xiàng)目導(dǎo)電類(lèi)型電阻率5根~9根晶錠抽取2個(gè)試樣，5電阻率徑向變化晶向5根~9根晶錠抽取2個(gè)試樣，5晶體完整性49.3出貨后3年內(nèi)

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