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PAGEPAGE12中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工與質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范條文說明目次1總則 23安裝工程施工 43.1一般要求 43.2安裝前的貯存 43.3施工條件 53.4施工準(zhǔn)備 53.5設(shè)備搬運(yùn) 63.6設(shè)備開箱 63.7設(shè)備安裝 73.8二次配管配線 84設(shè)備試運(yùn)行 94.1一般要求 94.2試運(yùn)行前的準(zhǔn)備 104.3設(shè)備試運(yùn)行 105工程驗(yàn)收 115.1一般規(guī)定 115.2交接驗(yàn)收 125.3竣工驗(yàn)收 121總則由于節(jié)能、環(huán)保、輕薄和便于攜帶等特點(diǎn),在數(shù)字顯示時(shí)代,液晶顯示器件已廣泛應(yīng)用于手機(jī)、移動(dòng)DVD、工控儀表、個(gè)人電腦監(jiān)視器、數(shù)碼相框、筆記本電腦、顯示屏和液晶電視等數(shù)字終端產(chǎn)品。自2007年以來,中國(guó)液晶顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主要特點(diǎn)是,產(chǎn)品發(fā)展迅速,并呈現(xiàn)多元化發(fā)展的趨勢(shì);產(chǎn)品鏈建設(shè)取得明顯進(jìn)展;中、小尺寸生產(chǎn)線十分活躍;整機(jī)企業(yè)開始介入上游領(lǐng)域;中、西部地區(qū)的平板顯示產(chǎn)業(yè)開始起步,這些都為液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)提出了更大需求。隨之,投資規(guī)模逐年擴(kuò)大,近年來國(guó)產(chǎn)液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備已進(jìn)入大生產(chǎn)線,并逐步替代進(jìn)口。目前液晶顯示器件的主流技術(shù)是薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)。TFT-LCD是使用薄膜晶體管有源矩陣型的液晶顯示器件。為滿足液晶顯示器多路驅(qū)動(dòng)性能,在每個(gè)顯示像素位置制作一個(gè)薄膜場(chǎng)效應(yīng)三極管(薄膜晶體管),通過對(duì)薄膜場(chǎng)效應(yīng)管的控制,控制驅(qū)動(dòng)液晶顯示器的像素,可大大改善液晶顯示器性能。TFT-LCD是一種三端有源器,a-Si-TFT-LCD是目前技術(shù)最為成熟、生產(chǎn)規(guī)模最大的平板顯示器件。TFT-LCD是一種可以實(shí)現(xiàn)視頻、真彩、高品質(zhì)圖像顯示的液晶顯示器,在手機(jī)、個(gè)人掌上電腦、車載導(dǎo)航儀、筆記本電腦、個(gè)人臺(tái)式電腦、高清晰度電視以及公共顯示中被廣泛采用。由于液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備屬于專用生產(chǎn)設(shè)備,其生產(chǎn)、包裝、搬運(yùn)、運(yùn)輸、儲(chǔ)存、安裝、調(diào)試等對(duì)人、機(jī)、料、法、環(huán)和檢測(cè)諸方面都有不同于其他設(shè)備的特殊要求。搞好該類設(shè)備的安裝工程施工與質(zhì)量驗(yàn)收,才能確保其可靠運(yùn)行,從而生產(chǎn)出高質(zhì)量的產(chǎn)品,并提高其生產(chǎn)效率、經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益,以促進(jìn)電子信息產(chǎn)業(yè)的又好又快發(fā)展和社會(huì)進(jìn)步。本條規(guī)定了該規(guī)范的適用范圍。對(duì)于液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備,主要是進(jìn)行陣列、成盒和模組等三個(gè)工藝過程,具體包括清洗與干燥、光刻、取向排列、制盒、切割、灌注液晶、目測(cè)、電測(cè)、貼片、上引線、包裝等工藝設(shè)備。有關(guān)專家指出,當(dāng)前國(guó)內(nèi)企業(yè)應(yīng)從TFT-LCD后序設(shè)備入手,重點(diǎn)是在TFT-LCD移載設(shè)備、清洗設(shè)備、摩擦線設(shè)備、COG設(shè)備和TFT薄膜沉積設(shè)備等方面形成配套能力,積極開展6代面板生產(chǎn)線陣列等前道工藝設(shè)備的研究開發(fā),重點(diǎn)提高濕/干法刻蝕機(jī)、液晶灌注機(jī)等研制水平。目前,涉及到的液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備有:清洗機(jī)、干燥機(jī)、摩擦機(jī)、劃線機(jī)、刻蝕機(jī)、液晶灌注機(jī)、邦定機(jī)、光固化機(jī)、整平機(jī)、偏光片除泡機(jī)、偏光片貼片機(jī)、涂布機(jī)和曝光機(jī)等,該規(guī)范將適用于這些設(shè)備和其他相應(yīng)設(shè)備。3安裝工程施工3.1一般要求3.1.1微電子生產(chǎn)設(shè)備是按生產(chǎn)流程布置、其位置由工藝決定,不能任意更改,故規(guī)定應(yīng)按批準(zhǔn)的設(shè)計(jì)圖紙施工,修改設(shè)計(jì)應(yīng)有設(shè)計(jì)單位的變更通知。3.2安裝前的貯存3.2.1該條對(duì)普通液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備在暫不安裝就位進(jìn)行貯存前的檢查事項(xiàng)做出規(guī)定。3.2.2該條對(duì)普通液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備中轉(zhuǎn)庫(kù)的結(jié)構(gòu)及庫(kù)內(nèi)環(huán)境要求做出規(guī)定。3.2.3該條對(duì)普通液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備的貯存規(guī)則做出規(guī)定。對(duì)設(shè)備存放做出的這些規(guī)定目的在于保證設(shè)備出庫(kù)時(shí)不致因設(shè)備存放混亂而造成倒庫(kù),增加設(shè)備損壞的風(fēng)險(xiǎn),浪費(fèi)設(shè)備出庫(kù)的時(shí)間,這也是保證設(shè)備安裝進(jìn)度的措施之一,并明確規(guī)定禁止存放具有腐蝕性、易燃易爆物品,嚴(yán)禁火種接近的要求,其目的除從通常的人身及設(shè)備的安全考慮外,設(shè)備的價(jià)格特別昂貴也是重要原因。所以在設(shè)備安裝的任何一個(gè)環(huán)節(jié),對(duì)設(shè)備的安全都是重點(diǎn)考慮的問題之一。3.3施工條件3.3.1條文列出了液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工應(yīng)具備的技術(shù)文件。其中除施工組織及施工方案由施工單位提供外,其余的技術(shù)文件應(yīng)由建設(shè)單位提供。3.3.2提出潔凈廠房空態(tài)驗(yàn)收合格,且空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)正常運(yùn)行24h以上,目的是保證各潔凈室(區(qū))的潔凈度、溫濕度、房間壓差,等環(huán)境參數(shù)達(dá)到設(shè)計(jì)要求,從而滿足液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備在潔凈室(區(qū))安裝就位后對(duì)環(huán)境的要求,所以將這一條定為液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備搬入安裝的基本條件之一;提出安裝生產(chǎn)設(shè)備時(shí),人流已進(jìn)入受控階段,為確保潔凈室(區(qū))凈化指標(biāo)不被破壞,人員進(jìn)入潔凈室(區(qū))應(yīng)經(jīng)過已啟用的風(fēng)淋室,其它臨時(shí)入口一概封堵,故條文規(guī)定人員凈化室已啟用,并有專人按潔凈廠房管理制度進(jìn)行管理的規(guī)定;建筑結(jié)構(gòu)振動(dòng)特性已驗(yàn)收測(cè)試及分析合格,及規(guī)定要先對(duì)防微振設(shè)施進(jìn)行測(cè)試驗(yàn)收,目的是為滿足有防微振設(shè)備的要求;規(guī)定在設(shè)備搬入前廠房的消防設(shè)施、防雷設(shè)施已安裝驗(yàn)收完成,防止設(shè)備搬入以后發(fā)生火災(zāi)或雷擊情況無法對(duì)設(shè)備進(jìn)行有效保護(hù)。3.4施工準(zhǔn)備3.4.1該條對(duì)進(jìn)入潔凈廠房設(shè)備安裝的作業(yè)人員、技術(shù)人員及管理人員作出規(guī)定,其中包括凈化施工培訓(xùn)、特殊工種持證上崗、著裝要求、限制人數(shù)要求、作業(yè)人員、技術(shù)人員及管理人員安裝前需熟悉的技術(shù)資料及有關(guān)注意事項(xiàng)。這些規(guī)定的目的均是為確保潔凈廠房環(huán)境參數(shù)不受破壞,也是確保工藝產(chǎn)品達(dá)到設(shè)計(jì)能力的前提,所以這些規(guī)定均很重要,施工人員應(yīng)嚴(yán)格執(zhí)行。3.4.2為防止對(duì)潔凈室(區(qū))和開箱后的設(shè)備造成污染,凡在潔凈室(區(qū))內(nèi)使用的設(shè)備如手動(dòng)液壓搬運(yùn)車、搬運(yùn)坦克車、門式起重架、手動(dòng)葫蘆、簿型千斤頂、起道器、鍍鋅撬杠、橡膠墊塊或經(jīng)防塵處理的墊木、水平尺、筐式水平儀或合像水平儀、沖擊電鉆、手電鉆、鋁合金人字梯、無塵室專用吸塵器等都應(yīng)遵守本條第1款規(guī)定。第2款對(duì)室外搬運(yùn)用機(jī)具從可靠性及吊具的強(qiáng)度、索具的柔軟性方面提出要求,防止在捆綁和吊裝、運(yùn)輸中對(duì)設(shè)備造成損傷。3.4.3條文對(duì)安裝設(shè)備用的材料做作出規(guī)定,其中1~6款的核心內(nèi)容是為防止任何材料上附著的塵埃、鐵銹、銅銹、油膩被帶入潔凈室(區(qū))而破壞工藝環(huán)境所作的相關(guān)規(guī)定;并要求所用材料在使用過程中也不生銹、不散發(fā)塵埃,使用的緊固件、易老化的密封材應(yīng)有產(chǎn)品合格證都是出于同一目的;第7款式對(duì)進(jìn)入潔凈室(區(qū))的文件資料要求。3.5設(shè)備搬運(yùn)3.5.1為分清責(zé)任,所以在設(shè)備搬運(yùn)前要由有關(guān)方共同對(duì)設(shè)備進(jìn)行檢查,確認(rèn)設(shè)備件數(shù)、包裝狀態(tài)及設(shè)備超傾鈄裝置的狀態(tài),并在出現(xiàn)異常時(shí)應(yīng)留下法律認(rèn)可的證據(jù)。3.5.2~3.5.4該條文對(duì)液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備在室外搬運(yùn)過程中,對(duì)設(shè)備安全和任何一個(gè)環(huán)節(jié)都不得產(chǎn)生對(duì)設(shè)備有害的振動(dòng)而作出的相關(guān)規(guī)定。3.5.6國(guó)家現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB6067《起重機(jī)械安全規(guī)程》中規(guī)定,在架空輸電線路一側(cè)工作時(shí),不論在任何情況下,起重臂、鋼絲繩或重物等與1kV以下架空輸電線路的最近距離不小于1.5m。3.5.7條文對(duì)搬運(yùn)通道采取的防護(hù)措施做出規(guī)定,包括為防止對(duì)搬運(yùn)通道、墻、地的刮傷而采取的鋪墊措施和防止損壞架空地板結(jié)構(gòu)、確保設(shè)備安全地搬運(yùn)到位而提出的有關(guān)活動(dòng)地板加固要求,選用的材料都是目前常用的防護(hù)材料。3.5.83.5.9從平穩(wěn)性和省力的角度考慮,氣墊搬運(yùn)法是在平地搬運(yùn)精密、重型設(shè)備較理想的方法,但由于其裝置價(jià)格相對(duì)昂貴且利用率低,使用尚不普遍。3.5.10由于活動(dòng)地板的承載能力有限,在活動(dòng)地板上吊裝設(shè)備,要根據(jù)設(shè)備重量和地板結(jié)構(gòu)情況編制安全可靠的吊裝技術(shù)方案。3.6設(shè)備開箱3.6.1條文明確了開箱責(zé)任人員的組成,目的在于設(shè)備一旦發(fā)現(xiàn)問題,便于分析產(chǎn)生的原因、分清責(zé)任,做出正確的處理意見。3.6.2對(duì)拆除外包裝的地點(diǎn)做出規(guī)定,是為避免在地面拆除外包裝后進(jìn)行垂直吊運(yùn)對(duì)設(shè)備增加的風(fēng)驗(yàn);規(guī)定要完整保留內(nèi)包裝的目的是不讓室外空氣中塵埃污染設(shè)備。3.6.3該條文對(duì)設(shè)備開箱的步驟和應(yīng)注意的事項(xiàng)作出了明確的規(guī)定,也是為確保生產(chǎn)設(shè)備安全的措施之一。3.6.43.6.5本條規(guī)定了拆除內(nèi)包裝的場(chǎng)所,同時(shí)規(guī)定了拆除內(nèi)包裝后應(yīng)立即由參加開箱的各方代表共同進(jìn)行檢查和清點(diǎn),發(fā)現(xiàn)異常時(shí)應(yīng)及時(shí)照相或錄像,為分析、解決問題留下有效依據(jù);設(shè)備拆除內(nèi)包裝后應(yīng)盡快搬入潔凈室(區(qū)),這是因?yàn)樵O(shè)備裸露以后不允許長(zhǎng)時(shí)間置于亞潔凈的氣閘室。3.6.6該條文對(duì)設(shè)備開箱后需要檢查的事項(xiàng)作出了規(guī)定,并明確要求及時(shí)辦好附件、技術(shù)文件移交手續(xù),做好詳細(xì)記錄,做到有據(jù)可查。3.7設(shè)備安裝3.7.2對(duì)液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備的安裝環(huán)境做出了規(guī)定,安裝環(huán)境應(yīng)和規(guī)定的環(huán)境要求相一致,是為了避免設(shè)備間的相互干擾3.7.3放線不能用一般機(jī)械設(shè)備采用彈墨線的方法,而采用貼標(biāo)記的方法,目的是為了不污染工藝環(huán)境;設(shè)備不應(yīng)跨越地坪伸縮縫及沉降縫3.7.4~3.7.6液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備如曝光機(jī)等各種制造、檢查等精密設(shè)備,它們的安裝,是否采用良好的防微振措施,對(duì)它們的性能影響很大,是能否充分發(fā)揮設(shè)備所具特性的關(guān)鍵。條文僅就精密設(shè)備的防微振基礎(chǔ)和重型設(shè)備的獨(dú)立基礎(chǔ)的制作、安裝要求按近十幾年的經(jīng)驗(yàn)做出基本的規(guī)定。3.7.73.8二次配管配線3.8.1~3.8.2中對(duì)二次配管配線的范圍作出了明確的規(guī)定。3.8.3規(guī)定了二次配管配線必須在設(shè)備找平、調(diào)平驗(yàn)收合格后再進(jìn)行,主要是為了減少因設(shè)備移位而造成的二次配管配線拆除工作。3.8.4二次配管配線與一次管線工程的施工要求基本相同,因此二次管線工程除遵守本節(jié)規(guī)定外,還應(yīng)遵守《潔凈廠房施工及驗(yàn)收規(guī)范》中的配管工程、電氣工程及凈化空調(diào)工程的相關(guān)規(guī)定;二次配管中的壓力管道雖然數(shù)量小,但仍然存在嚴(yán)重的安全隱患,所以規(guī)定還應(yīng)執(zhí)行國(guó)務(wù)院頒發(fā)的《特種設(shè)備安全監(jiān)察條例》的相關(guān)規(guī)定。3.8.6二次配管配線明管較多,設(shè)備周圍管線布置得不合理,將給設(shè)備的使用和維修帶來不便,還可能占用操作人員的活動(dòng)空間,為避免這類情況的發(fā)生,規(guī)定管線的走向和排列應(yīng)按二次配管配線圖施工。3.8.8液晶顯示器件生產(chǎn)用的大宗氣體為高純度氣體,如被污染,對(duì)電子產(chǎn)品質(zhì)量影響很大,甚至不能生產(chǎn)出合格的電子產(chǎn)品,鎢極氬弧自動(dòng)焊不僅焊縫成型好,又能確保管子內(nèi)外壁不被氧化,是目前較普遍使用的理想的焊接方式,故在條文中規(guī)定輸送大宗氣體、非腐蝕性溶劑的不銹鋼管,當(dāng)采用焊接連接時(shí),應(yīng)采用鎢極氬弧自動(dòng)焊機(jī)施焊。3.8.9高純介質(zhì)二次配管應(yīng)先在專設(shè)的防塵、防靜電的潔凈小室內(nèi)預(yù)制成組件,再搬入潔凈廠房安裝,其目的是將潔凈廠房?jī)?nèi)的施工焊接作業(yè)減至最少。為使組件在預(yù)制過程中不受到污染,要求潔凈小室具有必要的潔凈度,嚴(yán)格地講,潔凈小室的潔凈等級(jí)應(yīng)與其安裝場(chǎng)所的潔凈等級(jí)相同,但這在國(guó)內(nèi)目前條件尚不成熟,因此,在條文中采取適中的做法,即潔凈小室的潔凈度不應(yīng)低于5級(jí)。3.8.10為防止碳鋼支吊架生銹污染潔凈室(區(qū)),條文明確規(guī)定碳鋼支架應(yīng)采用鍍鋅材料;支吊架制作時(shí)的切割端面常被忽視而未作防銹處理,故在條文中明確規(guī)定切割端面要求不產(chǎn)塵。3.8.11二次配管配線是在潔凈室(區(qū))已經(jīng)達(dá)到生產(chǎn)要求的工藝環(huán)境內(nèi)進(jìn)行的,這時(shí)環(huán)境不允許受到污染,但又不能完全排除鋸、銼、鉆等輕度發(fā)塵作業(yè),在這種情況下,個(gè)別情況不可避免時(shí),應(yīng)在作業(yè)前作好圍護(hù),并在作業(yè)時(shí)用中央集塵系統(tǒng)或無塵室專用吸塵器不間斷地吸除塵埃。3.8.13經(jīng)過十幾年的工程實(shí)踐發(fā)現(xiàn),大多數(shù)潔凈廠房設(shè)備的二次配管都會(huì)采用PFA、PU管等軟管,故而本條對(duì)設(shè)備二次配管采用軟管的安裝作出了要求。軟管的彎曲同軟管接頭的安裝及其運(yùn)動(dòng)平面在同一平面上,是為了防止扭轉(zhuǎn)。3.8.143.8.173.8.184設(shè)備試運(yùn)行4.1一般要求4.1.2本條規(guī)定設(shè)備單機(jī)調(diào)試及試運(yùn)轉(zhuǎn)的組織和分工是根據(jù)現(xiàn)實(shí)情況沿用目前普遍的做法制定的。因?yàn)槲㈦娮由a(chǎn)設(shè)備安裝、二次配管配線及設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)專業(yè)性特別強(qiáng),往往需要幾個(gè)單位來共同完成。主要是由生產(chǎn)廠或設(shè)備供貨單位進(jìn)行生產(chǎn)設(shè)備調(diào)試,安裝單位配合進(jìn)行,所以由建設(shè)單位組織生產(chǎn)廠或設(shè)備供貨方為主進(jìn)行較好4.1.3鑒于目前國(guó)內(nèi)液晶顯示器件技術(shù)水平有限,本條中所列出的典型國(guó)產(chǎn)液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備4.1.4本條所涉及到的通用檢測(cè)器具有1)耐壓測(cè)試儀測(cè)量范圍(0~3000)V,準(zhǔn)確度:±(3%+2個(gè)字)2)絕緣電阻測(cè)試儀測(cè)量范圍(1~50000)MΩ,準(zhǔn)確度:±(3~5)%3)鉗形電流表測(cè)量范圍:交流電壓(0~750)V,準(zhǔn)確度:±1.2%交流電流(0~400)A,準(zhǔn)確度:±1%直流電壓(0~1000)V,準(zhǔn)確度:±0.8%4)電接點(diǎn)壓力表測(cè)量范圍:(0~1)MPa,準(zhǔn)確度:±1%4.2試運(yùn)行前的準(zhǔn)備4.2.1本條列出液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備單機(jī)試運(yùn)行應(yīng)具備的環(huán)境、動(dòng)力、安全設(shè)施等必備條件,只有這些條件均具備方可進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)。4.2.2安全性測(cè)試1絕緣電阻測(cè)試:設(shè)備的電源輸入端與機(jī)殼之間(電源開關(guān)置于接通位置)用絕緣電阻測(cè)試儀500V直流電壓,穩(wěn)定10s,有絕緣要求的外部帶電端子與機(jī)殼之間的絕緣電阻在正常大氣條件下應(yīng)不小于100MΩ,在潮濕環(huán)境條件下應(yīng)不小于2M2耐壓測(cè)試:除使用低壓元、器件的電子、電氣電路或另有規(guī)定外,設(shè)備電源輸入端子與機(jī)殼之間(電源開關(guān)置于接通位置)、有絕緣要求的外部帶電端子與機(jī)殼之間,以及其他有絕緣要求的載流電路與機(jī)殼之間應(yīng)有足夠的絕緣抗電強(qiáng)度。設(shè)備抗電強(qiáng)度應(yīng)符合GB4793.1-1995《測(cè)量控制和試驗(yàn)室用電器設(shè)備的安全要求》的規(guī)定。試驗(yàn)時(shí),不應(yīng)發(fā)生擊穿、飛弧和閃爍等現(xiàn)象。3泄漏電流測(cè)試:設(shè)備工作期間,其金屬外殼(包括外殼上的金屬構(gòu)件)與地之間的開路電壓超過規(guī)定的安全限值(36V)時(shí),應(yīng)測(cè)量外殼與地之間的泄漏電流。4.2.3設(shè)備噪聲測(cè)試設(shè)備不應(yīng)產(chǎn)生有損于人員聽力和心力的強(qiáng)噪聲。對(duì)于限制噪聲以避免對(duì)器件生產(chǎn)產(chǎn)生影響的設(shè)備,噪聲測(cè)試按產(chǎn)品規(guī)范或合同的具體要求進(jìn)行。聲級(jí)計(jì)用A聲級(jí)、慢速檔。然后計(jì)算平均值。4.3設(shè)備試運(yùn)行4.3.2根據(jù)液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備需要,選擇380V或220V交流電源供電。設(shè)備應(yīng)具有良好的電源適應(yīng)性,以保證設(shè)備在電源電壓或頻率變化時(shí)能正常工作。若無其他規(guī)定,當(dāng)電源電壓在額定值的90%~110%、電源頻率在額定值的95%~105%范圍內(nèi)變化時(shí),設(shè)備變化時(shí),設(shè)備應(yīng)滿足規(guī)定的性能指標(biāo)要求;當(dāng)電源電壓為額定值的80%時(shí),設(shè)備應(yīng)能工作(性能指標(biāo)允許下降到規(guī)定值);當(dāng)輸入電壓為額定值的115%時(shí),設(shè)備不應(yīng)損壞。設(shè)計(jì)液晶顯示器件生產(chǎn)設(shè)備時(shí)應(yīng)盡量提高設(shè)備效率、降低功耗。對(duì)于所使用的工作氣體應(yīng)做到充分利用,氣源管路精簡(jiǎn)、氣流暢通、密封良好、保證整個(gè)系統(tǒng)穩(wěn)定高效地運(yùn)行。具體要求在產(chǎn)品規(guī)范中規(guī)定。5工程驗(yàn)收5.1一般規(guī)定5.1.1交接驗(yàn)收是指對(duì)生產(chǎn)設(shè)備安裝及二次配管配線的質(zhì)量進(jìn)行檢測(cè)和評(píng)定??⒐を?yàn)收是在設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)后對(duì)生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)性能進(jìn)行檢驗(yàn)、評(píng)定。該條規(guī)定微電子設(shè)備安裝工程分為交接驗(yàn)收和竣工驗(yàn)收

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