(高清版)GBT 16857.12-2022 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS） 坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)（CMS）的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢檢測(cè) 第12部分：關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

檢測(cè)第12部分：關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)Geometricalproductspecifications(GPS)—Acceptanceandreverififorcoordinatemeasuringsystems(CMS)—Part1國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì) I Ⅱ 1 2 5 7 77合格判定 9產(chǎn)品文件和數(shù)據(jù)頁(yè)中的說(shuō)明 附錄A(資料性)表格 附錄B(規(guī)范性)復(fù)現(xiàn)參考檢測(cè)長(zhǎng)度的標(biāo)準(zhǔn)器 附錄C(資料性)標(biāo)準(zhǔn)器的找正 附錄D(資料性)期間核查 24附錄E(規(guī)范性)檢測(cè)關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的掃描探測(cè)系統(tǒng) 26附錄F(規(guī)范性)通過(guò)連接檢測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行長(zhǎng)度誤差測(cè)量 27附錄G(資料性)可選萬(wàn)向探測(cè)尺寸和形狀誤差 附錄H(資料性)長(zhǎng)度測(cè)量誤差的可選重復(fù)性范圍 參考文獻(xiàn) 33I ⅡGB/T16857《產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(G制定可填補(bǔ)我國(guó)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)的空白，有助于各相關(guān)GB/T16857擬由14個(gè)部分構(gòu)成?！?部分：用于測(cè)量線(xiàn)性尺寸的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。目的在于規(guī)定用于測(cè)量按照制造商給定的特性指標(biāo)進(jìn)行驗(yàn)收檢測(cè)的驗(yàn)證方法，以及用戶(hù)對(duì)測(cè)量機(jī)進(jìn)行周期復(fù)檢檢測(cè) -第3部分：配置轉(zhuǎn)臺(tái)的軸線(xiàn)為第四軸的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。目的在于規(guī)定驗(yàn)證一臺(tái)由制造商所規(guī)定的四軸坐標(biāo)測(cè)量機(jī)性能的驗(yàn)收檢測(cè)規(guī)范，以及用戶(hù)能定期再驗(yàn)證四軸坐標(biāo)測(cè)量機(jī)性能的復(fù)檢 -第4部分：在掃描模式下使用的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。目的在于規(guī)定在掃描模式下使用的坐標(biāo)測(cè)量機(jī) 第7部分：配置影像探測(cè)系統(tǒng)的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。目的在于規(guī)定驗(yàn)證用于測(cè)量尺寸的坐標(biāo)測(cè)量機(jī) 第8部分：使用光學(xué)距離傳感器的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。目的在于規(guī)定由坐標(biāo)測(cè)量機(jī)制造商或用戶(hù)規(guī) —第9部分：配置多種探測(cè)系統(tǒng)的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。目的在于規(guī)定配備接觸/非接觸 第901部分：配置多影像探測(cè)系統(tǒng)的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。目的在于規(guī)定對(duì)配置多影像探測(cè)系統(tǒng)的坐第10部分：激光跟蹤儀。目的在于規(guī)定激光跟蹤儀性能的驗(yàn)收檢測(cè)規(guī)范和用戶(hù)定期再驗(yàn)證激 第11部分：工業(yè)CT。目的在于規(guī)定以基于X射線(xiàn)衰減的X射線(xiàn)計(jì)算機(jī)斷層掃描(CT)原理Ⅲ11范圍本文件適用于使用接觸式測(cè)頭和可選光學(xué)距離傳感器配件(也稱(chēng)為線(xiàn)激光掃描儀或線(xiàn)激光測(cè)頭)的驗(yàn)收檢測(cè)是通過(guò)測(cè)量經(jīng)校準(zhǔn)的檢測(cè)長(zhǎng)度驗(yàn)證制造商規(guī)定的性能。復(fù)檢檢測(cè)是臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的性能進(jìn)行復(fù)檢。附錄E中給出了掃描儀配件檢測(cè)的詳細(xì)信息?！芍圃焐袒蛴脩?hù)規(guī)定關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量 下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文ISO10360-1產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢檢測(cè)第1部分：詞匯[GeometricalProducturingmachines(CMM)—Part1:VoISO10360-5產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)(CMS)的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢檢測(cè)第5部分：使用離散點(diǎn)和/或掃描測(cè)量模式的單觸針和多觸針接觸式探測(cè)系統(tǒng)的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)[Geometricalproductspecifications(GPS)—Acceptanceandreverificationtestsforcoordinatemea(CMS)—Part5:Coordinatemeasuringmachines(CMMs)usingsingleprobingsystemsusingdiscretepointand/orscanningmeasuringmode]ISO10360-8:2013產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)(CMS)的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢檢測(cè)第8ISO10360-9:2013產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)(CMS)的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢檢測(cè)第9cationtestsforcoordi23術(shù)語(yǔ)和定義ISO10360-1界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)articulatedarmcoordinatemeasuringmachine用于測(cè)量空間坐標(biāo)且包含下列要素的系統(tǒng)：——多個(gè)固定長(zhǎng)度段的開(kāi)放鏈；——將段與段、段與探測(cè)系統(tǒng)互連，并將它們與固關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)相鄰元件之間的連接件，使這些元件之間存在單一旋轉(zhuǎn)自由度。關(guān)節(jié)組件jointassembly關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的兩個(gè)相鄰元件之間的兩個(gè)或多個(gè)關(guān)節(jié)構(gòu)成的組件。圖1關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)3圖1關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(續(xù))aCTE范圍為8×10-?℃-1至13×10-?℃-1的材料。4鉸鏈座kinematicseat可重復(fù)地將球面的中心保持在空間中固定位置的機(jī)械座(巢)。單點(diǎn)萬(wàn)向檢測(cè)single-pointarticulationtest關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)頭保持在鉸鏈座內(nèi)，同時(shí)肘部位置旋轉(zhuǎn)180°的檢測(cè)。接觸式萬(wàn)向位置誤差articulatedlocationerror,tactile當(dāng)使用接觸式測(cè)頭時(shí)，通過(guò)執(zhí)行萬(wàn)向位置檢測(cè)獲得的包含五個(gè)球體中心點(diǎn)的最小外切球體的直徑。雙向長(zhǎng)度測(cè)量誤差lengthmeasurementerror,bidirectional執(zhí)行雙向點(diǎn)到點(diǎn)距離測(cè)量時(shí)的示值誤差。執(zhí)行單向點(diǎn)到點(diǎn)距離測(cè)量時(shí)的示值誤差。接觸式探測(cè)形狀誤差probingformerror,tactile使用接觸式測(cè)頭在檢測(cè)球表面測(cè)量25個(gè)點(diǎn)，以高斯(最小二乘)擬合確定的高斯徑向距離的變化范圍表示的示值誤差。接觸式探測(cè)尺寸誤差probingsizeerror,tactile使用接觸式測(cè)頭測(cè)得球形標(biāo)準(zhǔn)器表面25個(gè)點(diǎn)，通過(guò)高斯(最小二乘)擬合確定的直徑示值誤差。技術(shù)規(guī)范允許的接觸式萬(wàn)向位置誤差LD?×5:Ar,TatAAm的極限值。5雙向長(zhǎng)度測(cè)量最大允許誤差maximumpermissibleerrorofbidirectionallengthmeasur接觸式探測(cè)形狀最大允許誤差maximumperPForm.Sph?×25:TactAArPsie.sSph?×25TactAAr[來(lái)源：ISO/IEC指南99:20074符號(hào)表1中的符號(hào)適用于本文件。6表1符號(hào)(續(xù))ODS探測(cè)形狀誤差(基于ISO10360-8)*ODS探測(cè)形狀離散誤差(基于ISO10360-8)*ODS探測(cè)尺寸誤差(基于ISO10360-8)*All探測(cè)尺寸誤差(基于ISO10360-8)ODS探測(cè)形狀最大允許誤差(基于ISO10PForm.Ssb.D?5%,.00SAAm探測(cè)形狀離散最大允許誤差(基于ISO10360-8)Psm.sphl×2s.,OD?AArODS探測(cè)尺寸最大允許誤差(基于ISO10All探測(cè)尺寸最大允許誤差(基于ISO10360-PForm.Pa.D?5%,.00SAAr探測(cè)平面形狀最大允許誤差(基于ISO10360-8)多系統(tǒng)探測(cè)形狀誤差(基于ISO10360-9)多系統(tǒng)探測(cè)尺寸誤差(基于ISO10360-9)多系統(tǒng)探測(cè)位置誤差(基于ISO10360-9)*多系統(tǒng)探測(cè)形狀最大允許誤差(基于ISO10360-9)多系統(tǒng)探測(cè)尺寸最大允許誤差(基于ISO10360-9)多系統(tǒng)探測(cè)位置最大允許誤差(基于ISO10360-9)*雙向長(zhǎng)度測(cè)量誤差的重復(fù)性范圍單向長(zhǎng)度測(cè)量誤差的重復(fù)性范圍萬(wàn)向探測(cè)形狀誤差萬(wàn)向探測(cè)尺寸最大允許誤差PForm5×5;Art,TaetAAr萬(wàn)向探測(cè)形狀最大允許誤差·結(jié)尾限定符，“.AArm”,表示相關(guān)ISO10360部分這些符號(hào)與計(jì)量特性相關(guān)，其規(guī)格和檢測(cè)是可選的(非規(guī)范性)。7 這些條件的示例方法)。制造商應(yīng)在出版文獻(xiàn)中的單獨(dú)位置提供MPE以及保證MPE有效的工作8不旋轉(zhuǎn)探針或改變探針的方向，在檢測(cè)球上探測(cè)25個(gè)點(diǎn)。這些點(diǎn)應(yīng)—-一點(diǎn)在檢測(cè)球的極點(diǎn)(由探針?lè)较虼_定)上；用第一位置和第二位置分別探測(cè)全部25個(gè)測(cè)量點(diǎn)，計(jì)算出高斯(最小二乘)擬合球。高斯(最小二乘)擬合球的直徑DMa中減去直徑的校準(zhǔn)值DRd,得到Pscsph?×25=Dxc-DRd。各位置探測(cè)尺寸誤差9用第一位置和第二位置分別探測(cè)全部25個(gè)測(cè)量點(diǎn)，計(jì)算出高斯(最小二乘)擬合球。對(duì)于25次測(cè)量中的每次測(cè)量，都要計(jì)算出高斯半徑距離R,記錄25個(gè)點(diǎn)相對(duì)于高斯(最小二乘)擬合球心的半徑變化范圍作為探測(cè)形狀誤差：PForm.Ssh?×25=Rmax-Rmi。每個(gè)位置的探測(cè)形狀誤差應(yīng)與制造商規(guī)定的6.3萬(wàn)向位置誤差6.3和6.4的原理是將關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的所有鉸接關(guān)節(jié)都包括在本文件的性能評(píng)價(jià)中。6.4中節(jié)和第七個(gè)(如有)旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)；6.3中的評(píng)估側(cè)重于該關(guān)節(jié)組件的評(píng)估。檢測(cè)程序是通過(guò)在腕上鉸接的個(gè)點(diǎn)探測(cè)了檢測(cè)球，并計(jì)算了高斯(最小二乘)球中心位置。理想情況下，五個(gè)如果關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)在第七軸上配備有旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，則探針可在方向，在測(cè)量空間的任意兩個(gè)位置安裝檢測(cè)球(參見(jiàn)3.5的注3對(duì)于給定的探針?lè)较?，五個(gè)測(cè)量點(diǎn)在檢測(cè)球的半球上均勻分布。然而，25個(gè)圖3極點(diǎn)長(zhǎng)度誤差評(píng)估的原理是使用參考檢測(cè)長(zhǎng)度(可溯源到米),評(píng)估關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量能力是否在制造商規(guī)定的長(zhǎng)度測(cè)量最大允許誤差范圍內(nèi)。制造商可選擇提供單向長(zhǎng)度測(cè)量最大允許誤差對(duì)不帶工件熱膨脹補(bǔ)償?shù)年P(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，參考檢測(cè)長(zhǎng)度的溫度熱膨脹誤差主要來(lái)源于參考檢測(cè)長(zhǎng)度的CTE的不確定度(即導(dǎo)致了不完整的熱膨脹修正),因此本文件要求在標(biāo)準(zhǔn)器制造商的規(guī)范中提供參考檢測(cè)長(zhǎng)度CTE的擴(kuò)展不確定度。有些關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，在操作說(shuō)明書(shū)規(guī)定作為自動(dòng)溫度補(bǔ)償系統(tǒng)的范圍也是操作條件的一部分。制造商應(yīng)規(guī)定參考檢測(cè)長(zhǎng)度CTE的最大允許擴(kuò)展不確定度(k=2)。制制造商可以規(guī)定對(duì)參考檢測(cè)長(zhǎng)度CTE的限制。如果制造商的規(guī)范中標(biāo)明參考檢測(cè)長(zhǎng)度非常規(guī)CTE材料，則相應(yīng)的EUn,MPe和/也可是多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)器。五個(gè)檢測(cè)長(zhǎng)度中最長(zhǎng)的至少應(yīng)為測(cè)量范圍的66%。五個(gè)檢測(cè)長(zhǎng)度應(yīng)分布均勻。附錄B描述了適用于單向和雙向檢測(cè)的參考檢測(cè)長(zhǎng)度。關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)有一個(gè)帶旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)“a”的豎軸“z”,如圖1所示。為了進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)人員構(gòu)建參考檢測(cè)長(zhǎng)度的中心。特定測(cè)量的方位角定義為基準(zhǔn)面和測(cè)量平面之間的角測(cè)量線(xiàn)方向方位角/()70如圖4所示。最大參考檢測(cè)長(zhǎng)度的端點(diǎn)應(yīng)位于一個(gè)球形包絡(luò)面內(nèi)，覆蓋測(cè)量范圍的60%至100%。11GB/T16857.12—2022根據(jù)制造商的標(biāo)準(zhǔn)流程配置和標(biāo)定探測(cè)系統(tǒng)(見(jiàn)5.2)。對(duì)五個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度分別測(cè)量獲得三個(gè)測(cè)量結(jié)果。對(duì)所有七條測(cè)量線(xiàn)重復(fù)上述步驟，利用參考檢測(cè)長(zhǎng)度獲得105個(gè)測(cè)量結(jié)果。如圖5所示，每個(gè)點(diǎn)都可以用關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的肘部左轉(zhuǎn)(L)、肘部置于高處(O)或肘部右轉(zhuǎn)(R)進(jìn)行測(cè)量。圖5肘部位置因?yàn)槊總€(gè)長(zhǎng)度測(cè)量包括測(cè)量參考檢測(cè)長(zhǎng)度上的第一點(diǎn)(如L、0或R)和第二點(diǎn)(如L、O或R)的步驟，所以在測(cè)量每個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度的兩點(diǎn)時(shí)有九種可能的肘部位置組合。使用縮寫(xiě)，九個(gè)組合是LL、表3測(cè)量第一點(diǎn)和第二點(diǎn)的交替肘部方向示例重復(fù)1123456長(zhǎng)度編號(hào)重復(fù)1重復(fù)3789量范圍的50%,測(cè)量進(jìn)行一次。制造商可以校準(zhǔn)這個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度的CTE。對(duì)于105次測(cè)量和(必要時(shí))根據(jù)6.4.3.3進(jìn)行的附加測(cè)量，通過(guò)取測(cè)量值(示值校準(zhǔn)值之間的差值，計(jì)算單向長(zhǎng)度測(cè)量誤差Eui,或雙向長(zhǎng)度測(cè)量誤差Em或同時(shí)計(jì)算Eum和Eg。如果關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)有溫度修正附件，可以修正參考檢測(cè)長(zhǎng)度的熱致誤差(包括熱膨脹)。當(dāng)環(huán)境條 接觸式探測(cè)形狀誤差PFormSoh1×2s不大于由制造商規(guī)定的接觸式探測(cè)形狀最大允許誤 接觸式探測(cè)尺寸誤差的絕對(duì)值PsSsh1×25不大于由制造商規(guī)定的接觸式探測(cè)尺寸最大允許誤——接觸式萬(wàn)向位置誤差LDs×5.ART不大于由制造商規(guī)定的接觸式萬(wàn)向位置最大允許誤 單向長(zhǎng)度測(cè)量誤差Eu;的絕對(duì)值在由制造商 雙向長(zhǎng)度測(cè)量誤差En的絕對(duì)值在由制造商規(guī)定的雙向長(zhǎng)度測(cè)量最大允許誤差EB,MPE的范如果兩個(gè)位置的檢測(cè)沒(méi)有達(dá)到探測(cè)形狀誤差或探測(cè)尺寸誤差的性能在可能影響測(cè)量結(jié)果的故障。排除故障后，在兩個(gè)位置的相關(guān)檢測(cè)僅允許重復(fù)一次。原測(cè)量結(jié)果應(yīng)如果萬(wàn)向位置誤差的性能未通過(guò)檢測(cè)驗(yàn)證，應(yīng)檢查探測(cè)設(shè)備是否存在可能影響測(cè)量結(jié)果的故障。35組三次重復(fù)測(cè)量中最多允許五組，且每組的三個(gè)值中只允許有一個(gè)(且不超過(guò)一個(gè))不符合驗(yàn)收考慮到檢測(cè)值的不確定度，如果三次重復(fù)測(cè)量檢測(cè)長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)器的示值誤差都在制造商的規(guī)范范圍8應(yīng)用本文件所規(guī)定的復(fù)檢檢測(cè)可用于組織內(nèi)部的質(zhì)量保證體系，用于驗(yàn)證關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量線(xiàn)在組織內(nèi)部的質(zhì)量保證體系中，周期性地使用簡(jiǎn)化的復(fù)檢檢測(cè)來(lái)檢查關(guān)節(jié)臂本文件中使用的符號(hào)PForm.Sph.1×25::Tact,AArmPpoarm,sph1×25,TatAArPForm.Sph.1×25::Tact.Psizc.Sph1×25,TactAArPSize.Sph.1×25::Tact.AArm,MPForm.Sph.1×25::ODS.AArmPSize.Sph.A11::ODPForm.Sph1×25.,ODSAArPForm.Sph.1×25::ODS.AArm,MPEPForm.sph.D5%.ODSAAPForm.Sph.D95%::ODS.Psm.sph.1×25,,ODSAArPForm.Pla.D95%::ODS.AArmPForm.Pla.D95%::ODS.AArm,MPEPSize.Sph,1×25::MPS.AArmPForm.Sph1×25::MPSAArPForm.Sph.1×25::MPS.PForm.5×5:Art:Tact.AArmRBi.0::Tact.AArm,MPEPsm.5×5,Art,Tat.AArPForm.5×5,Art,TactAArPForm.5×5:Art:Tact.AArm,MPE(資料性)表格通用規(guī)范和額定工作條件的記錄格式示例見(jiàn)表A.1,制造商的性能規(guī)范和檢測(cè)結(jié)果記錄格式示例表A.1通用規(guī)范和額定工作條件a.測(cè)量范圍_m電流短暫持續(xù)時(shí)間℃AV V_sc.溫度范圍工作熱梯度極限d.電氣電壓瞬時(shí)最大值e.允許的方向(垂直、水平等) ℃ ℃ V V h.預(yù)熱時(shí)間i.溫度范圍j.相對(duì)濕度℃數(shù)值，MPE序列號(hào)最終檢測(cè)結(jié)果(合格/不合格)(規(guī)范性)B.1通則經(jīng)校準(zhǔn)的激光干涉儀的空氣折射率的CTE為零(a=0)。因此，如果用激光干涉儀提供參考檢測(cè)件(材料)溫度傳感器，則激光干涉儀軟件中的工件CTE應(yīng)設(shè)置為0。如果用激光干涉儀測(cè)試帶溫度補(bǔ)B.2.1一般要求雙向測(cè)量校準(zhǔn)規(guī)代表一個(gè)雙向參考檢測(cè)長(zhǎng)度。雙向測(cè)量涉及到在量規(guī)的每表點(diǎn)(詳解見(jiàn)ISO10360-8,適用于光學(xué)距離傳感器),從測(cè)針直徑相反的方向探測(cè)點(diǎn)(外部雙向測(cè)量的示例見(jiàn)圖B.1)。在一條測(cè)量線(xiàn)上，不應(yīng)混用內(nèi)部和外部雙向測(cè)量。以下描述了幾種可能的雙向測(cè)量一些光學(xué)距離傳感器可以在沒(méi)有探測(cè)運(yùn)動(dòng)的情況下獲得探測(cè)點(diǎn)。但元尺寸誤差和形狀誤差相關(guān)的誤差。如果是關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，可以將探頭單參考檢測(cè)長(zhǎng)度可通過(guò)單點(diǎn)到單點(diǎn)雙向測(cè)量參考步距規(guī)測(cè)得(見(jiàn)圖B參考檢測(cè)長(zhǎng)度可通過(guò)單點(diǎn)到單點(diǎn)雙向測(cè)量經(jīng)校準(zhǔn)的量塊測(cè)得(見(jiàn)圖B.1參考檢測(cè)長(zhǎng)度可通過(guò)球棒/球板上每個(gè)球的四個(gè)特定點(diǎn)測(cè)得[見(jiàn)圖B.1c]]。這種測(cè)量相當(dāng)于單點(diǎn)B.2.5基于光學(xué)探測(cè)的雙向激光干涉測(cè)量參考檢測(cè)長(zhǎng)度可通過(guò)激光干涉儀和尺寸實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器組合提供。參考檢測(cè)長(zhǎng)度是尺寸實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的校準(zhǔn)長(zhǎng)度和經(jīng)校準(zhǔn)的激光干涉儀的位移之和。在初始位置測(cè)量尺寸實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的一個(gè)點(diǎn)(單點(diǎn)或代表點(diǎn)),然后在第二個(gè)位置測(cè)量尺寸實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的相對(duì)面的一個(gè)點(diǎn)(用單點(diǎn)或代表點(diǎn))[見(jiàn)圖B.1d接觸式探測(cè)模式下標(biāo)準(zhǔn)器的測(cè)量必須使測(cè)頭與參考檢測(cè)長(zhǎng)度相關(guān)聯(lián)。將反射標(biāo)測(cè)量機(jī)的探針上，然后用干涉儀測(cè)量反射鏡的位移得到的測(cè)量值不被視為6.4中表述的有效的長(zhǎng)度B.3.1一般要求校準(zhǔn)量規(guī)的單向測(cè)量值表示單向參考檢測(cè)長(zhǎng)度。單向測(cè)量采用探測(cè)量規(guī)上校準(zhǔn)點(diǎn)(探測(cè)點(diǎn)或代表點(diǎn)),并從名義上相同的方向感測(cè)這些探測(cè)點(diǎn)(見(jiàn)圖B.2)。一個(gè)方向的單向測(cè)量和對(duì)側(cè)面的單向測(cè)量不一些光學(xué)距離傳感器可在不探測(cè)運(yùn)動(dòng)的情況下獲得探測(cè)點(diǎn)。但是，傳感器，建議遵循圖B.2所示的探測(cè)方向。1——位置1;圖B.2單向測(cè)量示例B.3.2量塊參考檢測(cè)長(zhǎng)度可通過(guò)單點(diǎn)到單點(diǎn)測(cè)量一塊或多塊研合的經(jīng)校準(zhǔn)的量塊測(cè)得[見(jiàn)圖B.2a]]。校準(zhǔn)程序見(jiàn)附錄C。建議各探測(cè)點(diǎn)與量塊的校準(zhǔn)點(diǎn)重合。B.3.3以單向方式測(cè)量的步距規(guī)參考檢測(cè)長(zhǎng)度可通過(guò)單點(diǎn)到單點(diǎn)單向測(cè)量經(jīng)校準(zhǔn)的步距規(guī)測(cè)得(見(jiàn)圖B.2b)]。校準(zhǔn)程序見(jiàn)附錄C。B.3.4以單向方式測(cè)量的球棒/球板可通過(guò)球棒/球板上獲得單向參考測(cè)長(zhǎng)度。檢測(cè)期間使用的探測(cè)策略不同則所需的參考檢測(cè)長(zhǎng)度有所不同。使用圖B.2c)所示的測(cè)量策略，參考檢測(cè)長(zhǎng)度等于校準(zhǔn)球體中心到中心的長(zhǎng)度，加上第一個(gè)球體校準(zhǔn)直徑的一半，減去第二個(gè)球體校準(zhǔn)直徑的一半。使用圖B.2c)所示的測(cè)量策略，第一個(gè)球置于左側(cè)，第二個(gè)球置于右側(cè)。Lum(參考檢測(cè)長(zhǎng)度)=Lalbratedee+Dira/2-Dcd/2檢測(cè)長(zhǎng)度Lum(測(cè)量值)的計(jì)算宜與參考檢測(cè)長(zhǎng)度的計(jì)算一致，均利用測(cè)得的中心到中心距離和測(cè)利用這些點(diǎn)位置得出的結(jié)果等同于單點(diǎn)到單點(diǎn)測(cè)量結(jié)果。仔細(xì)選擇這些點(diǎn)位置[特別是圖B.2d]]可以使用激光干涉儀和實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器通過(guò)兩個(gè)探測(cè)點(diǎn)或兩個(gè)代表點(diǎn)測(cè)量參度就是經(jīng)校準(zhǔn)的激光干涉儀系統(tǒng)記錄的位移。在初始位置用單點(diǎn)或代表點(diǎn)(詳解見(jiàn)ISO10360-8,適用校準(zhǔn)點(diǎn)(見(jiàn)圖B.2e)]。接觸式探測(cè)模式下標(biāo)準(zhǔn)器的測(cè)量應(yīng)使測(cè)頭與參考檢測(cè)長(zhǎng)度相關(guān)聯(lián)。將反射鏡測(cè)量機(jī)的探針上，然后用干涉儀測(cè)量反射鏡的位移得到的測(cè)量值不被視為6.4中表述的有效的長(zhǎng)度測(cè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度可視為是兩個(gè)運(yùn)動(dòng)座(巢)中心至中心長(zhǎng)度，如圖B.2f)所示。運(yùn)動(dòng)座直接用關(guān)節(jié)臂B.4基于單向長(zhǎng)度誤差和探測(cè)尺寸誤差的雙向在這種情況下，若以下不等式成立，關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)滿(mǎn)足制造商的雙向長(zhǎng)度技術(shù)指標(biāo)En,而|Euml+max(|Psc.sh?×25ILoe,|P(資料性)標(biāo)準(zhǔn)器的找正C.1通則為了比對(duì)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量長(zhǎng)度與參考檢測(cè)長(zhǎng)度，應(yīng)該對(duì)參考檢測(cè)長(zhǎng)器的校準(zhǔn)證書(shū)已提供找正操作指南，那么在長(zhǎng)度測(cè)量之前宜按照操作指南執(zhí)行。如果校準(zhǔn)證書(shū)中無(wú)找C.2平行面標(biāo)準(zhǔn)器測(cè)頭多點(diǎn)探測(cè)一個(gè)測(cè)量面確立一個(gè)(最小二乘法擬合)基準(zhǔn)面。垂直于平面的方向是基準(zhǔn)方向(量對(duì)于相對(duì)于測(cè)量面尺寸非常長(zhǎng)的一些量規(guī)(例如，當(dāng)檢測(cè)長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)器大于測(cè)量面尺寸的10倍時(shí)),測(cè)量的單點(diǎn)(代表點(diǎn))構(gòu)建投影到基準(zhǔn)方向上的點(diǎn)到點(diǎn)長(zhǎng)度，然后將投影長(zhǎng)度與標(biāo)準(zhǔn)器的校準(zhǔn)值進(jìn)行C.3球棒/球板雙向測(cè)量中找正球棒或球盤(pán)的方法是每個(gè)球測(cè)量四個(gè)點(diǎn)(代表點(diǎn)),一個(gè)點(diǎn)位于球體上并與量規(guī)軸線(xiàn)相交(即端點(diǎn)),另外三個(gè)點(diǎn)空間90°間隔，位于球體上垂直于量規(guī)軸線(xiàn)并通過(guò)球心的平面內(nèi)的球上圖C.1顯示用于雙向球桿測(cè)量的每個(gè)球體的四點(diǎn)探測(cè)模式的視圖(資料性)期間核查D.1通則單點(diǎn)萬(wàn)向檢測(cè)是關(guān)節(jié)臂正確操作和補(bǔ)償?shù)囊环N快速有效的期間核查方法檢測(cè)方法。已知長(zhǎng)度的附加測(cè)量(例如從長(zhǎng)度誤差檢測(cè)中選擇的測(cè)量)也是較為實(shí)用的D.2單點(diǎn)萬(wàn)向檢測(cè)SPATD.2.1原理單點(diǎn)萬(wàn)向評(píng)估的原理是測(cè)量關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)球形測(cè)頭(接觸式測(cè)頭)在鉸鏈座中的位置變化，此時(shí)關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)關(guān)節(jié)的肘部圍繞底座旋轉(zhuǎn)。在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，測(cè)量10個(gè)點(diǎn)。10個(gè)點(diǎn)的測(cè)量坐標(biāo)和平均坐標(biāo)之間的最大距離產(chǎn)生單點(diǎn)萬(wàn)向(SPAT)誤差。制造商提供最大推薦值。SPAT誤差的絕鉸鏈座可以是錐形槽或三面體槽?？梢栽诘鬃撞糠胖么盆F，以幫助操作建議，放置在運(yùn)動(dòng)座上的球心位置重復(fù)性小于或等于SPAT最大推薦值的20%。8通過(guò)對(duì)10個(gè)測(cè)量值求平均值，找到測(cè)頭針尖的平均笛卡爾坐標(biāo)。分別計(jì)算X、Y和Z方向范圍的一半。這三個(gè)范圍值中的最大值是SPAT誤差。如果SPAT誤差超過(guò)制造商提供頭的25個(gè)點(diǎn)。待測(cè)量包括多探測(cè)系統(tǒng)形狀誤差(規(guī)范性)通過(guò)連接檢測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行長(zhǎng)度誤差測(cè)量如果參考檢測(cè)長(zhǎng)度無(wú)法超過(guò)測(cè)量范圍的66%,則經(jīng)雙方同意，可使用以下兩個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度測(cè)量的連接方法。該方法不應(yīng)使用于小于測(cè)量范圍的66%的已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度。F.2使用級(jí)聯(lián)檢測(cè)長(zhǎng)度的長(zhǎng)度誤差使用連接長(zhǎng)度進(jìn)行長(zhǎng)度誤差評(píng)估的原理是使用兩個(gè)以米計(jì)的已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度，以證明關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)符合制造商提供的組合長(zhǎng)度測(cè)量的規(guī)定最大允許誤差。制造商可以選擇提供單向長(zhǎng)度測(cè)量最大允許誤差Euni,Mee或雙向長(zhǎng)度測(cè)量最大允許誤差EB,Mpe或兩者都提供。F.2.2測(cè)量設(shè)備測(cè)量設(shè)備特性如6.4.2所述，具有一個(gè)或多個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度。F.2.3程序如圖F.1所示，放置第一個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度，使標(biāo)準(zhǔn)器的第一端位于覆蓋60%至100%測(cè)量范圍的球形包絡(luò)面內(nèi)。圖F.1顯示第一個(gè)檢測(cè)長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)器的視圖使用表3所示的肘部位置測(cè)量第一個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度三次。三次均使用相同的肘部位置序列。如圖F.2所示，放置第二個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度，此時(shí)第一個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度的第二端和第二個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度的第一端之間的距離小于12mm。對(duì)準(zhǔn)第二個(gè)檢測(cè)長(zhǎng)度，使其標(biāo)稱(chēng)方向與第一個(gè)檢測(cè)長(zhǎng)度的相同。第一個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度的第一端和第二個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度的第二端之間的距離應(yīng)至少為測(cè)量范圍的66%。第二個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度的第二端應(yīng)位于覆蓋60%至100%測(cè)量范圍的球形包絡(luò)面內(nèi)。圖F.2顯示第一個(gè)和第二個(gè)檢測(cè)長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)器相對(duì)位置的視圖使用表3所示的肘部位置測(cè)量第二個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度三次。三次均使用相同的肘部位置序列。表2中所示的每個(gè)需要連結(jié)的位置都需要進(jìn)行該程序。F.2.4檢測(cè)結(jié)果的處理按照6.4的程序，測(cè)量第一個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度三次，并用三次測(cè)量所得值各減去參考檢測(cè)長(zhǎng)度，分別獲得三個(gè)帶符號(hào)的長(zhǎng)度誤差En、E??和E??。在這些表達(dá)式中，第一個(gè)下標(biāo)表示檢測(cè)長(zhǎng)度的數(shù)量(第一個(gè)或第二個(gè)),第二個(gè)下標(biāo)表示重復(fù)的次數(shù)(第一次、第二次或第三次)。根據(jù)制造商的技術(shù)指標(biāo)，誤差第二個(gè)參考檢測(cè)長(zhǎng)度同樣測(cè)量三次，并用三次測(cè)量所得值各減去參考檢測(cè)長(zhǎng)度，分別獲得三個(gè)帶符指標(biāo)，每個(gè)連接長(zhǎng)度誤差可以是單向長(zhǎng)度測(cè)量誤差Eum,也可以是雙向長(zhǎng)度測(cè)量誤差Es,或Eum和檢測(cè)值不確定度與程序中所使用的參考檢測(cè)長(zhǎng)度的連接方式有關(guān)。如果在連接的第二步使用不同于第一步的檢測(cè)長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)器，則檢測(cè)值不確定度包括兩個(gè)不確定度的RSS(均方根)。如果在連結(jié)方法第二步使用的檢測(cè)長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)器與第一步相同，那么檢測(cè)值不確定度包括與每個(gè)檢測(cè)長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)器測(cè)量相u(E)——長(zhǎng)度