潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第3部分：檢測方法

ICS13.040.35

CCS70

中華人民共和國國家標準

GB/T25915.3—202X/ISO14644-3:2018

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第3部分：檢測方法

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part3:Testmethods

（ISO14644-3:2018,IDT）

（征求意見稿）

XXXX-XX-XX發(fā)布XXXX-XX-XX實施

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分:標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定

起草。

本文件是GB/T25915《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》的第3部分。GB/T25915已經(jīng)發(fā)布了以下部分:

——第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級；

——第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測；

——第3部分：檢測方法

——第4部分：設(shè)計、建造、啟動

——第5部分：運行

——第6部分：詞匯

——第7部分：隔離裝置（潔凈風罩、手套箱、隔離器、微環(huán)境）

——第8部分：按化學物濃度劃分空氣潔凈度（ACC）等級

——第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度級別

——第10部分：按表面化學物濃度劃分表面潔凈度等級

——第12部分：監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求。

本文件代替GB/T25915.3—2010《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測方法》，與GB/T25915.3

—2010相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外，主要技術(shù)變化如下：

a)第3章術(shù)語和定義

——修改術(shù)語“離散粒子計數(shù)器”為“光散射離散粒子計數(shù)器”（見3.6.4）；

——增加了“受控環(huán)境”（見3.1.3）“分辨率”（見3.1.6）“靈敏度”（見3.1.7）和“配有

流量計的風量罩”（見3.6.3）；

——刪除了“大粒子”“M描述符”“U描述符”“超微粒子”“標準滲漏透過率”“平均風量”

“非等動力采樣”“串級撞擊采樣器”“凝聚核計數(shù)器”“計數(shù)效率”“微分遷移率分析儀”“擴散元

件”“偽計數(shù)”“風量罩”“同軸采樣”“等動力采樣”“粒徑限制器”“閾值粒徑”“飛行時間粒徑

測量”和“虛擬撞擊器”；

b)更改了“必測項目”為“一般檢測”，并更新了具體內(nèi)容（見4.1.1，2010年版4.1.1）；

c)更改了“可選檢測項目”為“支持性檢測”，并更新了檢測項目（見表2，2010年版表2）；

d)更改了空氣壓差檢測（見4.2.1，2010年版4.2.3）、氣流檢測（見4.2.2，2010年版4.2.2）、

氣流方向檢測與可視化（見4.2.3，2010年版4.2.5）、自凈檢測（見4.2.4,2010版4.2.9）、

溫度檢測（見4.2.5，2010年版4.2.6）、濕度檢測（見4.2.6，2010年版4.2.6）、已裝過

濾系統(tǒng)檢漏（見4.2.7，2010年版4.2.4）、維護結(jié)構(gòu)密閉性泄漏測試（見4.2.8，2010年版

4.2.10）、靜電和離子發(fā)生器測試（見4.2.9，2010年版4.2.7）、粒子沉降測試（見4.2.10，

2010年版4.2.8）；

e)隔離測試（見4.2.11）；

f)刪除了空氣懸浮粒子計數(shù)（見2010年版4.2.1）；

g)刪除了檢測規(guī)程清單中的“屬于潔凈度分級和常規(guī)檢測的空氣懸浮粒子計數(shù)”“空氣超微粒子

計數(shù)”“空氣大粒子計數(shù)”三個大項（見表A.1，2010年版表A.1）；

h)更改了檢測規(guī)程清單中的“壓差”“氣流”“氣流方向與顯形檢查”“自凈”“溫度”“濕度”

“已裝過濾器檢漏”“圍護結(jié)構(gòu)密閉性泄漏檢測”“靜電和離子發(fā)生器”“粒子沉降”10個大

項（見表A.1，2010年版表A.1）；

i)增加了“隔離檢測”（見表A.1）；

j)增加了“檢測和驗證計劃”（見A.3）；

k)刪除了原附錄B中“屬于潔凈度分級與常規(guī)檢測的空氣懸浮粒子計數(shù)”“空氣超微粒子計數(shù)”

“空氣大粒子計數(shù)”“氣流方向檢測和顯形檢查”等檢測方法；

l)更改了壓差檢測、氣流檢測、自凈檢測、溫度檢測、濕度檢測、已裝過濾器系統(tǒng)檢漏、圍護結(jié)

I

構(gòu)密閉性泄漏測試、粒子沉降檢測的檢測方法（見附錄B）；

m)增加了隔離檢測方法（見附錄B.11）

n)刪除了原附錄C中“空氣懸浮粒子計數(shù)”“超微粒子計數(shù)”和“大粒子計數(shù)”（見2010年版

附錄C）；

o)增加附錄C測試儀器、概述，描述了儀器基本要求；

h)更改了壓差檢測、氣流檢測、氣流方向及可視化、自凈檢測、溫度檢測、濕度檢測、已裝過濾

系統(tǒng)的檢漏、圍護結(jié)構(gòu)密閉性泄漏檢測、靜電和離子發(fā)生器檢測、粒子沉降檢測、（見附錄C，2010

年版附錄C）；

增加了隔離測試儀器要求（見附錄C）

本文件等同采用ISO14644-3:2019《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測方法》。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別專利的責任。

本文件由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標準化技術(shù)委員會（SAC/TC319）提出并歸口。

本文件起草單位：。

本文件主要起草人：。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為：

——2010年首次發(fā)布為GB/T25915.3—2010；

——本次為第一次修訂。

II

引言

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境將污染物控制在合適的水平，以便完成對污染敏感的工作。航天、微電子、

制藥、醫(yī)療器械、食品、醫(yī)療等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝受益于對空氣污染的控制。

本文件規(guī)定了適當?shù)姆椒y量潔凈室、潔凈區(qū)或相關(guān)受控環(huán)境性能，包括隔離裝置和受控區(qū)域以及

所有相關(guān)結(jié)構(gòu)、空氣處理系統(tǒng)、服務和公用設(shè)施。

注：本文件并未包含所有潔凈室參數(shù)的檢測程序。GB/T25915.1[1]中提供了按粒子劃分空氣潔凈度

等級檢測的程序和裝置，GB/T25915.12[8]中提供了監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求。涉及特定產(chǎn)

品和特定工藝的潔凈室和潔凈區(qū)及相關(guān)參數(shù)的檢測程序和所用儀器，在ISO/TC209編制的其他文件中

討論（例如，微生物控制和檢測程序（ISO14698系列）、潔凈室功能性檢測（ISO14644-4[3]，以及隔

離裝置檢測（GB/T25915.7[4]））此外，潔凈室的檢測活動中也可以考慮采用其他適用標準。其他潔凈

級別屬性水平可使用GB/T25915.8[5]（按化學濃度劃分空氣潔凈度等級）、GB/T25915.9[6]（按粒子濃

度劃分表面潔凈度等級）和GB/T25915.10[7]（按化學物濃度劃分表面潔凈度等級）確定。

2

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第3部分：檢測方法

1范圍

本文件提供了支持潔凈室和潔凈區(qū)運行的檢測方法，以滿足空氣潔凈級別、其他潔凈屬性和相關(guān)控

制條件。

性能檢測針對是空態(tài)、靜態(tài)和動態(tài)3種可能的占用狀態(tài)下的單向流和非單向流型式潔凈室和潔凈

區(qū)。

本文件推薦了測定性能參數(shù)用檢測儀器和檢測程序。某些檢測方法受限于潔凈室或潔凈區(qū)的類型，

為此，本文件推薦了若干替代方法。

為了滿足不同用戶的要求，對于某些檢測項目，本文件推薦了幾種不同的方法和儀器。若客戶與供

應商協(xié)商同意，也可以使用本部分未介紹的其他替代方法。替代方法未必給出相同的測量結(jié)果。

本文件不適用于測量潔凈室或隔離裝置內(nèi)的產(chǎn)品或工藝。

注：本文件并不旨在說明與其使用相關(guān)的安全注意事項（例如，使用危險材料、操作和設(shè)備時）。

本文件使用者有責任在使用前制定適當?shù)陌踩徒】祵嵺`，并確定法規(guī)限制的適用性。

2規(guī)范性引用文件

本文件無規(guī)范性引用文件。

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1一般術(shù)語

3.1.1

潔凈室cleanroom

空氣懸浮粒子數(shù)量濃度受控和分級的房間，其設(shè)計、建造和使用方式可控制房間內(nèi)進入的、產(chǎn)生的、

滯流的粒子。

注1：空氣懸浮粒子級別已有規(guī)定（3.2.4）。

注2：也可指定和控制其他潔凈屬性的水平，例如空氣中的化學物、微生物或納米級濃度，以及表

面潔凈方面的粒子、納米級、化學物和微生物濃度。

注3：必要時也可控制其他相關(guān)物料參數(shù)，如溫度、濕度、壓力、振動和靜電。

[來源：GB/T25915.1:20212021，3.1.1]

3.1.2

潔凈區(qū)cleanzone

空氣懸浮粒子數(shù)量濃度受控和分級的界定空間，其設(shè)計、建造和使用方式可控制空間內(nèi)進入的、產(chǎn)

生的、滯流的粒子。

注1：空氣懸浮粒子級別已有規(guī)定（3.2.4）。

注2：也可指定和控制其他潔凈屬性的水平，例如空氣中的化學物、微生物或納米級濃度，以及表

面潔凈方面的粒子、納米級、化學物和微生物濃度。

注3：潔凈區(qū)可以是潔凈室中的指定空間，也可以通過隔離裝置實現(xiàn)。這種裝置可以位于潔凈室內(nèi)

或室外。

3

注4：必要時也可控制其他相關(guān)物料參數(shù)，如溫度、濕度、壓力、振動和靜電。

[來源：GB/T25915.1—20212021，3.1.2]

3.1.3

設(shè)施installation

潔凈室（3.1.1）或一個或多個潔凈區(qū)（3.1.2），以及所有相關(guān)結(jié)構(gòu)、空氣處理系統(tǒng)、服務設(shè)施和公

用設(shè)施。

[來源：GB/T25915.1—2021，3.1.3]

3.1.4

隔離裝置separativedevice

采用構(gòu)造和動力學方法在確定的容積內(nèi)外創(chuàng)建可靠隔離水平的設(shè)備。

注：某些行業(yè)專用隔離裝置有：潔凈風罩、隔離箱、手套箱、隔離器、微環(huán)境。

[來源：GB/T25915.7—2010，3.17]

3.1.5

分辨率resolution

可被測量的最小變量，即在相應顯示中產(chǎn)生的?？杀嬲J的變化。

注1：噪聲（內(nèi)、外部）或摩擦等因素可決定分辨率，被測的量值也可決定分辨率。

[來源：GB/T25915.1—2021，3.4.1]

3.1.6

靈敏度sensitivity

測量系統(tǒng)指示的變化值和被測量量值的相應變化值的比值。

3.2與空氣懸浮粒子有關(guān)的術(shù)語

3.2.1空氣懸浮粒子airborneparticle

懸浮在空氣中，粒子從1nm到100μm的液態(tài)或固態(tài)的活性或非活性塵埃粒子。

注：用于潔凈度等級分級，參見GB/T25915.1—2021,3.2.1.

3.2.2數(shù)量中值粒徑countmedianparticlediameter

CMD

按粒徑排列粒子時，處于中位數(shù)的粒子的粒徑值。

注：占一半數(shù)量的粒子其粒徑小于數(shù)量中值粒徑，占另一半數(shù)量的粒子其粒徑大于該數(shù)量中值粒徑。

3.2.3質(zhì)量中值粒徑massmedianparticlediameter

MMD

按質(zhì)量排列粒子時，處于中位數(shù)的粒子的粒徑值。

注：占全部粒子質(zhì)量一半的粒子其粒徑小于質(zhì)量中值粒徑，占另一半質(zhì)量的粒子其粒徑大于該中值粒徑。

3.2.4粒子濃度particleconcentration

單位體積空氣中粒子的個數(shù)。

[來源：GB/T25915.1—2021，3.2.3]

3.2.5粒徑particlesize

給定粒徑測定儀測得的、與被測粒子的響應量相當?shù)那蝮w直徑。

注：光散射離散粒子計數(shù)器給出的是光學等效直徑。

[來源：GB/T25915.1—2021，3.2.2]

3.2.6粒徑分布particlesizedistribution

以累積分布表示的粒子濃度與粒徑的函數(shù)關(guān)系。

[來源：GB/T25915.1—2021，3.2.4]

3.2.7測試氣溶膠testaerosol

4

具有已知并受控的粒徑分布及濃度的固體和（或）液體粒子的氣態(tài)懸浮物。

3.3與空氣過濾器和過濾系統(tǒng)有關(guān)的術(shù)語

3.3.1氣溶膠發(fā)塵aerosolchallenge

對過濾器和已裝過濾系統(tǒng)施用檢測氣溶膠的過程。

3.3.2滲漏限值designatedleak

客戶與供應商商定的，可用光散射離散粒子計數(shù)器（LSAPC）或氣溶膠光度計掃描測出的設(shè)施泄

漏最大允許透過率。

3.3.3稀釋裝置dilutionsystem

按已知容積比將氣溶膠與無粒子稀釋空氣混合，以降低氣溶膠濃度的裝置。

3.3.4過濾系統(tǒng)filtersystem

由過濾器、安裝架及其他支撐裝置或箱體組成的系統(tǒng)。````

3.3.5終端過濾器finalfilter

空氣進入潔凈室或潔凈區(qū)之前最末端位置上的過濾器。

3.3.6已裝過濾系統(tǒng)installedfiltersystem

已安裝在頂棚、側(cè)墻、裝置、風管上的過濾系統(tǒng)。

3.3.7已裝過濾系統(tǒng)檢漏installedfiltersystemleakagetest

為確認過濾器安裝良好，向設(shè)施內(nèi)無旁路滲漏，過濾器及其安裝框架均無缺陷和滲漏而進行的測試。

3.3.8滲漏leak

（過濾系統(tǒng)）因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下風向濃度超過預期值。

3.3.9掃描scanning

讓氣溶膠光度計或光散射離散粒子計數(shù)器的采樣口，以略有重疊的往復行程移過規(guī)定的檢測區(qū)來查

找過濾器及其他部件滲漏的方法。

3.4與氣流和其他物理狀態(tài)有關(guān)的術(shù)語

3.4.1換氣次數(shù)airexchangerate

單位時間的換氣次數(shù)，以單位時間送入的空氣體積除以該潔凈室或潔凈區(qū)的體積計算。

3.4.2測量平面measuringplane

用來檢測或測量風速等性能參數(shù)的橫斷面。

3.4.3非單向流non-unidirectionalairflow

潔凈室或潔凈區(qū)的送風以誘導方式與室內(nèi)空氣混合的氣流分布。

[來源：GB/T25915.1—2021，3.2.8]

3.4.4送風量supplyairflowrate

單位時間內(nèi)從終端過濾器或風管進入潔凈室或潔凈區(qū)的空氣量

3.4.5總風量totalairvolumeflowrate

單位時間內(nèi)通過潔凈室或潔凈區(qū)的空氣量

3.4.6單向流unidirectionalairflow

通過潔凈室或潔凈區(qū)整個斷面，風速穩(wěn)定且平行的受控氣流。

[來源：GB/T25915.1—2021，3.2.7]

3.4.7氣流均勻度uniformityofairflow

單向流各點風速值（速度和方向）在規(guī)定的平均氣流速度的百分比。

3.5與靜電測量有關(guān)的術(shù)語

3.5.1放電時間dischargetime

絕緣的導電監(jiān)測板上的電壓（正或負）降至初始電壓所需的時間。

3.5.2補償電壓offsetvoltage

5

將未充電的絕緣導電板置于電離空氣中時其上積累的電壓。

3.5.3靜電耗散特性static-dissipativeproperty

以傳導或其他機理將工作表面或產(chǎn)品表面的靜電荷降至某規(guī)定值或標稱零電荷的能力。

3.5.4表面電壓水平surfacevoltagelevel

用適用儀器在工作表面或產(chǎn)品表面所測出的或正或負的靜電電壓。

3.6與測量器具和測量條件的有關(guān)術(shù)語

3.6.1氣溶膠發(fā)生器aerosolgenerator

能夠在恒定濃度下產(chǎn)生具有適當尺寸范圍（例如0.05微米至2微米）的顆粒物的裝置，可通過熱、

液壓、氣動、超聲波或靜電方法產(chǎn)生。

3.6.2氣溶膠光度計aerosolphotometer

利用光散射原理、用前散射光腔測量空氣懸浮粒子質(zhì)量濃度的儀器。

3.6.3風量罩airflowcapturehoodwithmeasuringdevice

可完全覆蓋過濾器或空氣擴散器，并收集空氣以直接測量空氣體積流量的裝置。

3.6.4光散射離散粒子計數(shù)器LSAPClightscatteringairborneparticlecounter

依據(jù)粒子的光學等效直徑，對空氣中單個粒子進行計數(shù)和測徑的儀器。

注1：GB/T29024.4-2017給出了LSAPC的規(guī)格。

[來源：GB/T25915.1—2021，3.5.1，修訂]

3.6.5代測板witnessplate

當特定表面無法接近或?qū)μ幹锰舾卸鵁o法直接進行測量時，作為被測表面替代物的、具有規(guī)定表

面積的材料。

3.7與占用狀態(tài)有關(guān)的術(shù)語

3.7.1空態(tài)as-built

潔凈室或潔凈區(qū)所有服務設(shè)施就位并運行，但無設(shè)備、家具、材料和人員的狀態(tài)。

[來源：GB/T25915.1—2021，3.3.1]

3.7.2靜態(tài)at-rest

潔凈室或潔凈區(qū)建成且設(shè)備就位，按議定的方式運行，但無人員在場的狀態(tài)。

[來源：GB/T25915.1—2021，3.3.2]

3.7.3動態(tài)operational

潔凈室或潔凈區(qū)設(shè)施按規(guī)定方式運行，且有規(guī)定數(shù)量的人員按議定方式工作的狀態(tài)。

[來源：GB/T25915.1—2021，3.3.3]

4檢測規(guī)程

4.1潔凈室檢測

4.1.1

一般檢測

應執(zhí)行GB/T25915.1[1]，對空氣粒子濃度對潔凈室或潔凈區(qū)分級。如果需要，應選擇其他的潔凈

度屬性（見表1）。

注：每個標準包含基于特定屬性特性的試驗方法規(guī)范、試驗數(shù)據(jù)評估指南和試驗儀器規(guī)范。

表1—潔凈室和潔凈區(qū)的潔凈度屬性檢測

一般說明來源

按粒子濃度劃分表面潔凈度等級GB/T25915.9[6]

6

按化學物濃度劃分空氣潔凈度等級GB/T25915.8[5]

按化學物濃度劃分表面潔凈度等級GB/T25915.10[7]

監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求GB/T25915.12[8]

4.1.2支持性檢測

表2列出了可用于測量潔凈室或潔凈區(qū)裝置性能的其他適用檢測項目。這些檢測可在三種指定占用

狀態(tài)中的每一種狀態(tài)下進行；建議的應用見附錄B中的詳細信息。這些檢測可能不包括所有檢測，也可

能不要求對任何指定項目進行所有檢測。檢測和檢測方法應按照客戶和供應商商定的方式進行選擇。所

選檢測也可以作為常規(guī)監(jiān)測或定期檢測的一部分定期重復檢測。檢測選擇指南和檢測清單見附錄A。檢

測方法見附錄B。

注：附錄B中所述的檢測方法僅為大綱形式?？梢蚤_發(fā)特定的方法來滿足特定應用的需要。

表2—支持性檢測

在GB/T25915.3章節(jié)

支持性檢測

原理方法儀器

壓差檢測4.2.1B.1C.2

氣流檢測4.2.2B.2C.3

氣流方向檢測與可視化4.2.3B.3C.4

自凈檢測4.2.4B.4C.5

溫度檢測4.2.5B.5C.6

濕度檢測4.2.6B.6C.7

已裝過濾系統(tǒng)泄漏檢測4.2.7B.7C.8

圍護結(jié)構(gòu)密閉性泄漏檢測4.2.8B.8C.9

靜電和離子發(fā)生器檢測4.2.9B.9C.10

粒子沉降檢測4.2.10B.10C.11

隔離檢測4.2.11B.11C.12

注

這些支持性檢測項目并非按重要性或時間順序排序。檢測項目的實際實施順序是根據(jù)文件的具體要求，或由

供需雙方議定。

a在潔凈室動態(tài)性能檢測時，也可以考慮進行粒子沉降檢測。

4.2原理

4.2.1壓差檢測

壓差檢測的目的是驗證潔凈室系統(tǒng)維持其設(shè)施與周圍環(huán)境間規(guī)定壓差的能力。壓差檢測在下述工作

7

完成之后進行：潔凈室的風速或風量、氣流均勻性以及其他適用檢測項目已滿足驗收標準。壓差檢測的

具體介紹見B.1。

4.2.2氣流檢測

這項檢測用于測定單向流和非單向流潔凈室或潔凈區(qū)的送風氣流。在單向流中，送風速度可使用單

點讀數(shù)來測量，進而測量流速和確定流速的均勻性。單點流速讀數(shù)的平均值可用于計算送風量和換氣率

（每小時換氣次數(shù)）。在非單向流中，通常不需要測量單點風速，因為通常不需要流速均勻。在這種情

況下，可直接測量風量，然后用于計算潔凈室或潔凈區(qū)的換氣率（每小時換氣次數(shù)）。氣流檢測程序見

B.2。

4.2.3氣流方向檢測與可視化

此項檢測旨在證明氣流方向和流速均勻性符合設(shè)計和性能要求。氣流方向測試可在靜態(tài)下進行，以

確定潔凈室基礎(chǔ)的氣流模式，也可在模擬實際操作的動態(tài)下重復進行。檢測方法見B.3。

4.2.4自凈時間檢測

自凈時間檢測旨在確定潔凈室/區(qū)在短時暴露于空氣懸浮粒子挑戰(zhàn)源之后，在有限時間內(nèi)恢復到指

定潔凈級別的能力。單向流系統(tǒng)不推薦測試。測試程序見B.4。如果使用人工氣溶膠，則應考慮潔凈室

/區(qū)的殘留污染風險。

4.2.5溫度檢測

本檢測旨在驗證在客戶指定的時間段內(nèi)，待測區(qū)域的空氣溫度水平在控制范圍內(nèi)。測試程序見B.5。

測試

4.2.6濕度檢測

本檢測旨在驗證在在客戶指定的時間段內(nèi)，待測區(qū)域的空氣濕度（表示為相對濕度或露點）水平在

控制范圍內(nèi)。測試程序見B.6。

4.2.7已裝過濾系統(tǒng)泄漏檢測

本檢測旨在檢測驗證潔凈室設(shè)施不存在旁路滲漏，過濾器不存在缺陷（濾材和邊框上的小孔、損傷

及過濾器邊框泄漏），從而確認終端高效過濾器安裝良好。這項檢測不檢查系統(tǒng)的過濾效率。通過在過

濾器上游引入氣溶膠挑戰(zhàn)，并在過濾器和支撐框架下游進行掃描，或在下游管道中進行采樣，進行檢測。

泄漏檢測方法見B.7。

4.2.8圍護結(jié)構(gòu)密閉性泄漏檢測

本檢測旨在確定是否有未經(jīng)過濾的空氣從潔凈室/區(qū)范圍以外通過接頭、接縫、門縫和有壓力的天

花板侵入潔凈室/區(qū)。檢測程序見B.8。

4.2.9靜電和離子發(fā)生器檢測

本檢測旨在評估物體的靜電電壓，材料的靜電耗散特性，以及潔凈室或潔凈區(qū)靜電控制所用離子發(fā)

生器（即電離器）的性能。靜電檢測旨在評估工作表面和產(chǎn)品表面的靜電電壓，地面、工作臺面等的靜

電耗散特性。離子發(fā)生器檢測旨在評估離子發(fā)生器消除表面靜電的性能。檢測程序見B.9。

4.2.10粒子沉降檢測

本檢測旨在驗證在規(guī)定的時間內(nèi)從潔凈室空氣中沉降到表面上的粒子的數(shù)量和大小。這項檢測的程

序見B.10。

4.2.11檢測隔離檢測

本檢測檢測旨在評估指定氣流的隔離有效性。檢測使用粒子挑戰(zhàn)低一級別的區(qū)域，并確定在隔斷的

另一側(cè)受保護區(qū)域的粒子濃度。檢測程序見B.11。

5檢測報告

每項檢測結(jié)果都應記錄在檢測報告中。檢測報告應包含下述信息：

a)檢測機構(gòu)的名稱、地址、檢測日期；

8

b)本部分的編號及頒布年份，即GB/T25915.3:[當前版本的年份]；

c)清楚標明所測潔凈室或潔凈區(qū)的具體位置（必要時以鄰近區(qū)域作參照），并標注所有采樣點的

具體坐標；

d)為潔凈室或潔凈區(qū)所規(guī)定的標準，包括ISO等級，相應的占用狀態(tài)，關(guān)注粒徑；

e)所用檢測方法的詳細說明，包括特殊的檢測條件以及與規(guī)定檢測方法的偏離之處；檢測儀器的

規(guī)格型號，儀器最新的校準證書；

f)檢測結(jié)果，包括附錄B相關(guān)條目中要求的報告數(shù)據(jù)，以及達到要求的說明；

g)與附錄B條目有關(guān)的、針對特定檢測項目的其他具體要求。

9

附錄A

（資料性）

支持檢測和表單的選擇

A.1概述

應特別注意潔凈室、潔凈區(qū)或受控區(qū)性能的檢測順序。

檢測項目和檢測順序應由客戶與供應商協(xié)定，應盡可能早發(fā)現(xiàn)不符合情況，并且不應影響后續(xù)的其

他檢測。

A.2檢測清單

表A.1是檢測項目和儀器清單。

表A.1支持性檢測清單

檢測項目

檢測程序選擇檢測檢測儀器

和順序的檢測程序檢測儀器備注

參照條款儀器b參照條款

選擇a

電子微壓計C.2.2

壓差B.1斜管壓差計C.2.3

機械壓差計C.2.4

氣流B.2C.3

熱風速儀C.3.1.1

三維超聲風

潔凈室/區(qū)

速儀或等效C.3.1.2

送風均勻性B.2.2.2

儀器

（單向流）

葉輪風速計C.3.1.3

管陣列C.3.1.5

熱風速儀C.3.1.1

三維超聲風

送風速度速儀或等效C.3.1.2

B.2.2.3

（單向流）儀器

葉輪風速計C.3.1.3

管陣列C.3.1.5

熱風速儀C.3.1.1

通過過濾器三維超聲風

表面速度測速儀或等效C.3.1.2

B.2.2.4

量的送風量儀器

（單向流）葉輪風速計C.3.1.3

管陣列C.3.1.5

孔板流量計C.3.2.3

文丘里流量

送風管內(nèi)的C.3.2.4

計

送風量（單B.2.2.5

皮托管和壓

向流）C.3.1.4

差計

熱風速儀C.3.1.1

入口處的送B.2.3.2配有流量計C.3.2.2

10

風量（非單的風量罩

向流）

通過過濾器熱風速儀C.3.1.1

表面速度測三維超聲風

量的送風量B.2.3.3速儀或等效C.3.1.2

（非單向儀器

流）葉輪風速計C.3.1.3

孔板流量計C.3.2.3

文丘里流量

風管送風量C.3.2.4

計

（非單向B.2.3.4

皮托管和壓

流）C.3.1.4

差計

熱風速儀C.3.1.1

示蹤物C.4.4.1

熱風速儀C.4.2

三維超聲風

速儀或等效C.4.2

氣流方向儀器

B.3

與可視化氣溶膠發(fā)生

C.4.3

器

超聲波霧化

C.4.4.2

器

煙霧發(fā)生器C.4.4.3

光散射離散

C.5.1

粒子計數(shù)器

氣溶膠發(fā)生

自凈B.4C.5.2

器

氣溶膠物質(zhì)C.5.3

稀釋裝置C.5.4

膨脹式溫度

C.6a)

計

溫度B.5

電子溫度計C.6b)

溫度計C.6c)

露點濕度計C.7a)

濕度B.6電導率變化

C.7b)

濕度計

已裝過濾

B.7C.8

系統(tǒng)泄漏

已裝過濾系氣溶膠光度

C.8.1

統(tǒng)氣溶膠光計

B.7.2

度計掃描檢氣溶膠發(fā)生

C.8.3

漏器

11

檢測氣溶膠

C.8.4

物質(zhì)

光散射離散

C.8.2

粒子計數(shù)器

已裝過濾系

氣溶膠發(fā)生

統(tǒng)光散射離C.8.3

B.7.3器

散粒子計數(shù)

檢測氣溶膠

器掃描檢漏C.8.4

物質(zhì)

稀釋裝置C.8.5

氣溶膠光度

C.8.1

計

光散射離散

C.8.2

粒子計數(shù)器

風管或空氣氣溶膠發(fā)生

C.8.3

處理單元內(nèi)器

B.7.4

的過濾器整檢測氣溶膠

C.8.4

體泄漏檢測物質(zhì)

稀釋裝置

（僅限光散

C.8.5

射離散粒子

計數(shù)器法）

圍護結(jié)構(gòu)

密閉性泄B.8C.9

漏

光散射離散

C.9.1

粒子計數(shù)器

光散射離散氣溶膠發(fā)生

C.9.2

粒子計數(shù)器B.8.2.1器

法檢測氣溶膠

C.9.3

物質(zhì)

稀釋裝置C.9.4

氣溶膠發(fā)生

C.9.2

器

氣溶膠光度檢測氣溶膠

B.8.2.2C.9.3

計法物質(zhì)

氣溶膠光度

C.9.5

計

靜電和離子

B.9C.10

發(fā)生器

靜電電壓計C.10.1

靜電B.9.2.1高阻歐姆計C.10.2

充電檢測板C.10.3

12

靜電電壓計C.10.1

離子發(fā)生器C.9.2.2高阻歐姆計C.10.2

充電檢測板C.10.3

代測板C.11.1

晶圓表面掃

C.11.2

描儀

粒子輻射光

C.11.3

度計

粒子沉降B.10表面粒子計