潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第3部分：檢測(cè)方法

ICS13.040.35

CCS70

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T25915.3—202X/ISO14644-3:2018

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第3部分：檢測(cè)方法

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part3:Testmethods

（ISO14644-3:2018,IDT）

（征求意見(jiàn)稿）

XXXX-XX-XX發(fā)布XXXX-XX-XX實(shí)施

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分:標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定

起草。

本文件是GB/T25915《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》的第3部分。GB/T25915已經(jīng)發(fā)布了以下部分:

——第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)；

——第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測(cè)；

——第3部分：檢測(cè)方法

——第4部分：設(shè)計(jì)、建造、啟動(dòng)

——第5部分：運(yùn)行

——第6部分：詞匯

——第7部分：隔離裝置（潔凈風(fēng)罩、手套箱、隔離器、微環(huán)境）

——第8部分：按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度（ACC）等級(jí)

——第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度級(jí)別

——第10部分：按表面化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

——第12部分：監(jiān)測(cè)空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求。

本文件代替GB/T25915.3—2010《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測(cè)方法》，與GB/T25915.3

—2010相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動(dòng)外，主要技術(shù)變化如下：

a)第3章術(shù)語(yǔ)和定義

——修改術(shù)語(yǔ)“離散粒子計(jì)數(shù)器”為“光散射離散粒子計(jì)數(shù)器”（見(jiàn)3.6.4）；

——增加了“受控環(huán)境”（見(jiàn)3.1.3）“分辨率”（見(jiàn)3.1.6）“靈敏度”（見(jiàn)3.1.7）和“配有

流量計(jì)的風(fēng)量罩”（見(jiàn)3.6.3）；

——?jiǎng)h除了“大粒子”“M描述符”“U描述符”“超微粒子”“標(biāo)準(zhǔn)滲漏透過(guò)率”“平均風(fēng)量”

“非等動(dòng)力采樣”“串級(jí)撞擊采樣器”“凝聚核計(jì)數(shù)器”“計(jì)數(shù)效率”“微分遷移率分析儀”“擴(kuò)散元

件”“偽計(jì)數(shù)”“風(fēng)量罩”“同軸采樣”“等動(dòng)力采樣”“粒徑限制器”“閾值粒徑”“飛行時(shí)間粒徑

測(cè)量”和“虛擬撞擊器”；

b)更改了“必測(cè)項(xiàng)目”為“一般檢測(cè)”，并更新了具體內(nèi)容（見(jiàn)4.1.1，2010年版4.1.1）；

c)更改了“可選檢測(cè)項(xiàng)目”為“支持性檢測(cè)”，并更新了檢測(cè)項(xiàng)目（見(jiàn)表2，2010年版表2）；

d)更改了空氣壓差檢測(cè)（見(jiàn)4.2.1，2010年版4.2.3）、氣流檢測(cè)（見(jiàn)4.2.2，2010年版4.2.2）、

氣流方向檢測(cè)與可視化（見(jiàn)4.2.3，2010年版4.2.5）、自?xún)魴z測(cè)（見(jiàn)4.2.4,2010版4.2.9）、

溫度檢測(cè)（見(jiàn)4.2.5，2010年版4.2.6）、濕度檢測(cè)（見(jiàn)4.2.6，2010年版4.2.6）、已裝過(guò)

濾系統(tǒng)檢漏（見(jiàn)4.2.7，2010年版4.2.4）、維護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性泄漏測(cè)試（見(jiàn)4.2.8，2010年版

4.2.10）、靜電和離子發(fā)生器測(cè)試（見(jiàn)4.2.9，2010年版4.2.7）、粒子沉降測(cè)試（見(jiàn)4.2.10，

2010年版4.2.8）；

e)隔離測(cè)試（見(jiàn)4.2.11）；

f)刪除了空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)（見(jiàn)2010年版4.2.1）；

g)刪除了檢測(cè)規(guī)程清單中的“屬于潔凈度分級(jí)和常規(guī)檢測(cè)的空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)”“空氣超微粒子

計(jì)數(shù)”“空氣大粒子計(jì)數(shù)”三個(gè)大項(xiàng)（見(jiàn)表A.1，2010年版表A.1）；

h)更改了檢測(cè)規(guī)程清單中的“壓差”“氣流”“氣流方向與顯形檢查”“自?xún)簟薄皽囟取薄皾穸取?/p>

“已裝過(guò)濾器檢漏”“圍護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性泄漏檢測(cè)”“靜電和離子發(fā)生器”“粒子沉降”10個(gè)大

項(xiàng)（見(jiàn)表A.1，2010年版表A.1）；

i)增加了“隔離檢測(cè)”（見(jiàn)表A.1）；

j)增加了“檢測(cè)和驗(yàn)證計(jì)劃”（見(jiàn)A.3）；

k)刪除了原附錄B中“屬于潔凈度分級(jí)與常規(guī)檢測(cè)的空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)”“空氣超微粒子計(jì)數(shù)”

“空氣大粒子計(jì)數(shù)”“氣流方向檢測(cè)和顯形檢查”等檢測(cè)方法；

l)更改了壓差檢測(cè)、氣流檢測(cè)、自?xún)魴z測(cè)、溫度檢測(cè)、濕度檢測(cè)、已裝過(guò)濾器系統(tǒng)檢漏、圍護(hù)結(jié)

I

構(gòu)密閉性泄漏測(cè)試、粒子沉降檢測(cè)的檢測(cè)方法（見(jiàn)附錄B）；

m)增加了隔離檢測(cè)方法（見(jiàn)附錄B.11）

n)刪除了原附錄C中“空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)”“超微粒子計(jì)數(shù)”和“大粒子計(jì)數(shù)”（見(jiàn)2010年版

附錄C）；

o)增加附錄C測(cè)試儀器、概述，描述了儀器基本要求；

h)更改了壓差檢測(cè)、氣流檢測(cè)、氣流方向及可視化、自?xún)魴z測(cè)、溫度檢測(cè)、濕度檢測(cè)、已裝過(guò)濾

系統(tǒng)的檢漏、圍護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性泄漏檢測(cè)、靜電和離子發(fā)生器檢測(cè)、粒子沉降檢測(cè)、（見(jiàn)附錄C，2010

年版附錄C）；

增加了隔離測(cè)試儀器要求（見(jiàn)附錄C）

本文件等同采用ISO14644-3:2019《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測(cè)方法》。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專(zhuān)利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專(zhuān)利的責(zé)任。

本文件由全國(guó)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC319）提出并歸口。

本文件起草單位：。

本文件主要起草人：。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為：

——2010年首次發(fā)布為GB/T25915.3—2010；

——本次為第一次修訂。

II

引言

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境將污染物控制在合適的水平，以便完成對(duì)污染敏感的工作。航天、微電子、

制藥、醫(yī)療器械、食品、醫(yī)療等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝受益于對(duì)空氣污染的控制。

本文件規(guī)定了適當(dāng)?shù)姆椒y(cè)量潔凈室、潔凈區(qū)或相關(guān)受控環(huán)境性能，包括隔離裝置和受控區(qū)域以及

所有相關(guān)結(jié)構(gòu)、空氣處理系統(tǒng)、服務(wù)和公用設(shè)施。

注：本文件并未包含所有潔凈室參數(shù)的檢測(cè)程序。GB/T25915.1[1]中提供了按粒子劃分空氣潔凈度

等級(jí)檢測(cè)的程序和裝置，GB/T25915.12[8]中提供了監(jiān)測(cè)空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求。涉及特定產(chǎn)

品和特定工藝的潔凈室和潔凈區(qū)及相關(guān)參數(shù)的檢測(cè)程序和所用儀器，在ISO/TC209編制的其他文件中

討論（例如，微生物控制和檢測(cè)程序（ISO14698系列）、潔凈室功能性檢測(cè)（ISO14644-4[3]，以及隔

離裝置檢測(cè)（GB/T25915.7[4]））此外，潔凈室的檢測(cè)活動(dòng)中也可以考慮采用其他適用標(biāo)準(zhǔn)。其他潔凈

級(jí)別屬性水平可使用GB/T25915.8[5]（按化學(xué)濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)）、GB/T25915.9[6]（按粒子濃

度劃分表面潔凈度等級(jí)）和GB/T25915.10[7]（按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)）確定。

2

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第3部分：檢測(cè)方法

1范圍

本文件提供了支持潔凈室和潔凈區(qū)運(yùn)行的檢測(cè)方法，以滿(mǎn)足空氣潔凈級(jí)別、其他潔凈屬性和相關(guān)控

制條件。

性能檢測(cè)針對(duì)是空態(tài)、靜態(tài)和動(dòng)態(tài)3種可能的占用狀態(tài)下的單向流和非單向流型式潔凈室和潔凈

區(qū)。

本文件推薦了測(cè)定性能參數(shù)用檢測(cè)儀器和檢測(cè)程序。某些檢測(cè)方法受限于潔凈室或潔凈區(qū)的類(lèi)型，

為此，本文件推薦了若干替代方法。

為了滿(mǎn)足不同用戶(hù)的要求，對(duì)于某些檢測(cè)項(xiàng)目，本文件推薦了幾種不同的方法和儀器。若客戶(hù)與供

應(yīng)商協(xié)商同意，也可以使用本部分未介紹的其他替代方法。替代方法未必給出相同的測(cè)量結(jié)果。

本文件不適用于測(cè)量潔凈室或隔離裝置內(nèi)的產(chǎn)品或工藝。

注：本文件并不旨在說(shuō)明與其使用相關(guān)的安全注意事項(xiàng)（例如，使用危險(xiǎn)材料、操作和設(shè)備時(shí)）。

本文件使用者有責(zé)任在使用前制定適當(dāng)?shù)陌踩徒】祵?shí)踐，并確定法規(guī)限制的適用性。

2規(guī)范性引用文件

本文件無(wú)規(guī)范性引用文件。

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。

3.1一般術(shù)語(yǔ)

3.1.1

潔凈室cleanroom

空氣懸浮粒子數(shù)量濃度受控和分級(jí)的房間，其設(shè)計(jì)、建造和使用方式可控制房間內(nèi)進(jìn)入的、產(chǎn)生的、

滯流的粒子。

注1：空氣懸浮粒子級(jí)別已有規(guī)定（3.2.4）。

注2：也可指定和控制其他潔凈屬性的水平，例如空氣中的化學(xué)物、微生物或納米級(jí)濃度，以及表

面潔凈方面的粒子、納米級(jí)、化學(xué)物和微生物濃度。

注3：必要時(shí)也可控制其他相關(guān)物料參數(shù)，如溫度、濕度、壓力、振動(dòng)和靜電。

[來(lái)源：GB/T25915.1:20212021，3.1.1]

3.1.2

潔凈區(qū)cleanzone

空氣懸浮粒子數(shù)量濃度受控和分級(jí)的界定空間，其設(shè)計(jì)、建造和使用方式可控制空間內(nèi)進(jìn)入的、產(chǎn)

生的、滯流的粒子。

注1：空氣懸浮粒子級(jí)別已有規(guī)定（3.2.4）。

注2：也可指定和控制其他潔凈屬性的水平，例如空氣中的化學(xué)物、微生物或納米級(jí)濃度，以及表

面潔凈方面的粒子、納米級(jí)、化學(xué)物和微生物濃度。

注3：潔凈區(qū)可以是潔凈室中的指定空間，也可以通過(guò)隔離裝置實(shí)現(xiàn)。這種裝置可以位于潔凈室內(nèi)

或室外。

3

注4：必要時(shí)也可控制其他相關(guān)物料參數(shù)，如溫度、濕度、壓力、振動(dòng)和靜電。

[來(lái)源：GB/T25915.1—20212021，3.1.2]

3.1.3

設(shè)施installation

潔凈室（3.1.1）或一個(gè)或多個(gè)潔凈區(qū)（3.1.2），以及所有相關(guān)結(jié)構(gòu)、空氣處理系統(tǒng)、服務(wù)設(shè)施和公

用設(shè)施。

[來(lái)源：GB/T25915.1—2021，3.1.3]

3.1.4

隔離裝置separativedevice

采用構(gòu)造和動(dòng)力學(xué)方法在確定的容積內(nèi)外創(chuàng)建可靠隔離水平的設(shè)備。

注：某些行業(yè)專(zhuān)用隔離裝置有：潔凈風(fēng)罩、隔離箱、手套箱、隔離器、微環(huán)境。

[來(lái)源：GB/T25915.7—2010，3.17]

3.1.5

分辨率resolution

可被測(cè)量的最小變量，即在相應(yīng)顯示中產(chǎn)生的。可辨認(rèn)的變化。

注1：噪聲（內(nèi)、外部）或摩擦等因素可決定分辨率，被測(cè)的量值也可決定分辨率。

[來(lái)源：GB/T25915.1—2021，3.4.1]

3.1.6

靈敏度sensitivity

測(cè)量系統(tǒng)指示的變化值和被測(cè)量量值的相應(yīng)變化值的比值。

3.2與空氣懸浮粒子有關(guān)的術(shù)語(yǔ)

3.2.1空氣懸浮粒子airborneparticle

懸浮在空氣中，粒子從1nm到100μm的液態(tài)或固態(tài)的活性或非活性塵埃粒子。

注：用于潔凈度等級(jí)分級(jí)，參見(jiàn)GB/T25915.1—2021,3.2.1.

3.2.2數(shù)量中值粒徑countmedianparticlediameter

CMD

按粒徑排列粒子時(shí)，處于中位數(shù)的粒子的粒徑值。

注：占一半數(shù)量的粒子其粒徑小于數(shù)量中值粒徑，占另一半數(shù)量的粒子其粒徑大于該數(shù)量中值粒徑。

3.2.3質(zhì)量中值粒徑massmedianparticlediameter

MMD

按質(zhì)量排列粒子時(shí)，處于中位數(shù)的粒子的粒徑值。

注：占全部粒子質(zhì)量一半的粒子其粒徑小于質(zhì)量中值粒徑，占另一半質(zhì)量的粒子其粒徑大于該中值粒徑。

3.2.4粒子濃度particleconcentration

單位體積空氣中粒子的個(gè)數(shù)。

[來(lái)源：GB/T25915.1—2021，3.2.3]

3.2.5粒徑particlesize

給定粒徑測(cè)定儀測(cè)得的、與被測(cè)粒子的響應(yīng)量相當(dāng)?shù)那蝮w直徑。

注：光散射離散粒子計(jì)數(shù)器給出的是光學(xué)等效直徑。

[來(lái)源：GB/T25915.1—2021，3.2.2]

3.2.6粒徑分布particlesizedistribution

以累積分布表示的粒子濃度與粒徑的函數(shù)關(guān)系。

[來(lái)源：GB/T25915.1—2021，3.2.4]

3.2.7測(cè)試氣溶膠testaerosol

4

具有已知并受控的粒徑分布及濃度的固體和（或）液體粒子的氣態(tài)懸浮物。

3.3與空氣過(guò)濾器和過(guò)濾系統(tǒng)有關(guān)的術(shù)語(yǔ)

3.3.1氣溶膠發(fā)塵aerosolchallenge

對(duì)過(guò)濾器和已裝過(guò)濾系統(tǒng)施用檢測(cè)氣溶膠的過(guò)程。

3.3.2滲漏限值designatedleak

客戶(hù)與供應(yīng)商商定的，可用光散射離散粒子計(jì)數(shù)器（LSAPC）或氣溶膠光度計(jì)掃描測(cè)出的設(shè)施泄

漏最大允許透過(guò)率。

3.3.3稀釋裝置dilutionsystem

按已知容積比將氣溶膠與無(wú)粒子稀釋空氣混合，以降低氣溶膠濃度的裝置。

3.3.4過(guò)濾系統(tǒng)filtersystem

由過(guò)濾器、安裝架及其他支撐裝置或箱體組成的系統(tǒng)。````

3.3.5終端過(guò)濾器finalfilter

空氣進(jìn)入潔凈室或潔凈區(qū)之前最末端位置上的過(guò)濾器。

3.3.6已裝過(guò)濾系統(tǒng)installedfiltersystem

已安裝在頂棚、側(cè)墻、裝置、風(fēng)管上的過(guò)濾系統(tǒng)。

3.3.7已裝過(guò)濾系統(tǒng)檢漏installedfiltersystemleakagetest

為確認(rèn)過(guò)濾器安裝良好，向設(shè)施內(nèi)無(wú)旁路滲漏，過(guò)濾器及其安裝框架均無(wú)缺陷和滲漏而進(jìn)行的測(cè)試。

3.3.8滲漏leak

（過(guò)濾系統(tǒng)）因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下風(fēng)向濃度超過(guò)預(yù)期值。

3.3.9掃描scanning

讓氣溶膠光度計(jì)或光散射離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣口，以略有重疊的往復(fù)行程移過(guò)規(guī)定的檢測(cè)區(qū)來(lái)查

找過(guò)濾器及其他部件滲漏的方法。

3.4與氣流和其他物理狀態(tài)有關(guān)的術(shù)語(yǔ)

3.4.1換氣次數(shù)airexchangerate

單位時(shí)間的換氣次數(shù)，以單位時(shí)間送入的空氣體積除以該潔凈室或潔凈區(qū)的體積計(jì)算。

3.4.2測(cè)量平面measuringplane

用來(lái)檢測(cè)或測(cè)量風(fēng)速等性能參數(shù)的橫斷面。

3.4.3非單向流non-unidirectionalairflow

潔凈室或潔凈區(qū)的送風(fēng)以誘導(dǎo)方式與室內(nèi)空氣混合的氣流分布。

[來(lái)源：GB/T25915.1—2021，3.2.8]

3.4.4送風(fēng)量supplyairflowrate

單位時(shí)間內(nèi)從終端過(guò)濾器或風(fēng)管進(jìn)入潔凈室或潔凈區(qū)的空氣量

3.4.5總風(fēng)量totalairvolumeflowrate

單位時(shí)間內(nèi)通過(guò)潔凈室或潔凈區(qū)的空氣量

3.4.6單向流unidirectionalairflow

通過(guò)潔凈室或潔凈區(qū)整個(gè)斷面，風(fēng)速穩(wěn)定且平行的受控氣流。

[來(lái)源：GB/T25915.1—2021，3.2.7]

3.4.7氣流均勻度uniformityofairflow

單向流各點(diǎn)風(fēng)速值（速度和方向）在規(guī)定的平均氣流速度的百分比。

3.5與靜電測(cè)量有關(guān)的術(shù)語(yǔ)

3.5.1放電時(shí)間dischargetime

絕緣的導(dǎo)電監(jiān)測(cè)板上的電壓（正或負(fù)）降至初始電壓所需的時(shí)間。

3.5.2補(bǔ)償電壓offsetvoltage

5

將未充電的絕緣導(dǎo)電板置于電離空氣中時(shí)其上積累的電壓。

3.5.3靜電耗散特性static-dissipativeproperty

以傳導(dǎo)或其他機(jī)理將工作表面或產(chǎn)品表面的靜電荷降至某規(guī)定值或標(biāo)稱(chēng)零電荷的能力。

3.5.4表面電壓水平surfacevoltagelevel

用適用儀器在工作表面或產(chǎn)品表面所測(cè)出的或正或負(fù)的靜電電壓。

3.6與測(cè)量器具和測(cè)量條件的有關(guān)術(shù)語(yǔ)

3.6.1氣溶膠發(fā)生器aerosolgenerator

能夠在恒定濃度下產(chǎn)生具有適當(dāng)尺寸范圍（例如0.05微米至2微米）的顆粒物的裝置，可通過(guò)熱、

液壓、氣動(dòng)、超聲波或靜電方法產(chǎn)生。

3.6.2氣溶膠光度計(jì)aerosolphotometer

利用光散射原理、用前散射光腔測(cè)量空氣懸浮粒子質(zhì)量濃度的儀器。

3.6.3風(fēng)量罩airflowcapturehoodwithmeasuringdevice

可完全覆蓋過(guò)濾器或空氣擴(kuò)散器，并收集空氣以直接測(cè)量空氣體積流量的裝置。

3.6.4光散射離散粒子計(jì)數(shù)器LSAPClightscatteringairborneparticlecounter

依據(jù)粒子的光學(xué)等效直徑，對(duì)空氣中單個(gè)粒子進(jìn)行計(jì)數(shù)和測(cè)徑的儀器。

注1：GB/T29024.4-2017給出了LSAPC的規(guī)格。

[來(lái)源：GB/T25915.1—2021，3.5.1，修訂]

3.6.5代測(cè)板witnessplate

當(dāng)特定表面無(wú)法接近或?qū)μ幹锰舾卸鵁o(wú)法直接進(jìn)行測(cè)量時(shí)，作為被測(cè)表面替代物的、具有規(guī)定表

面積的材料。

3.7與占用狀態(tài)有關(guān)的術(shù)語(yǔ)

3.7.1空態(tài)as-built

潔凈室或潔凈區(qū)所有服務(wù)設(shè)施就位并運(yùn)行，但無(wú)設(shè)備、家具、材料和人員的狀態(tài)。

[來(lái)源：GB/T25915.1—2021，3.3.1]

3.7.2靜態(tài)at-rest

潔凈室或潔凈區(qū)建成且設(shè)備就位，按議定的方式運(yùn)行，但無(wú)人員在場(chǎng)的狀態(tài)。

[來(lái)源：GB/T25915.1—2021，3.3.2]

3.7.3動(dòng)態(tài)operational

潔凈室或潔凈區(qū)設(shè)施按規(guī)定方式運(yùn)行，且有規(guī)定數(shù)量的人員按議定方式工作的狀態(tài)。

[來(lái)源：GB/T25915.1—2021，3.3.3]

4檢測(cè)規(guī)程

4.1潔凈室檢測(cè)

4.1.1

一般檢測(cè)

應(yīng)執(zhí)行GB/T25915.1[1]，對(duì)空氣粒子濃度對(duì)潔凈室或潔凈區(qū)分級(jí)。如果需要，應(yīng)選擇其他的潔凈

度屬性（見(jiàn)表1）。

注：每個(gè)標(biāo)準(zhǔn)包含基于特定屬性特性的試驗(yàn)方法規(guī)范、試驗(yàn)數(shù)據(jù)評(píng)估指南和試驗(yàn)儀器規(guī)范。

表1—潔凈室和潔凈區(qū)的潔凈度屬性檢測(cè)

一般說(shuō)明來(lái)源

按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)GB/T25915.9[6]

6

按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)GB/T25915.8[5]

按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)GB/T25915.10[7]

監(jiān)測(cè)空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求GB/T25915.12[8]

4.1.2支持性檢測(cè)

表2列出了可用于測(cè)量潔凈室或潔凈區(qū)裝置性能的其他適用檢測(cè)項(xiàng)目。這些檢測(cè)可在三種指定占用

狀態(tài)中的每一種狀態(tài)下進(jìn)行；建議的應(yīng)用見(jiàn)附錄B中的詳細(xì)信息。這些檢測(cè)可能不包括所有檢測(cè)，也可

能不要求對(duì)任何指定項(xiàng)目進(jìn)行所有檢測(cè)。檢測(cè)和檢測(cè)方法應(yīng)按照客戶(hù)和供應(yīng)商商定的方式進(jìn)行選擇。所

選檢測(cè)也可以作為常規(guī)監(jiān)測(cè)或定期檢測(cè)的一部分定期重復(fù)檢測(cè)。檢測(cè)選擇指南和檢測(cè)清單見(jiàn)附錄A。檢

測(cè)方法見(jiàn)附錄B。

注：附錄B中所述的檢測(cè)方法僅為大綱形式?？梢蚤_(kāi)發(fā)特定的方法來(lái)滿(mǎn)足特定應(yīng)用的需要。

表2—支持性檢測(cè)

在GB/T25915.3章節(jié)

支持性檢測(cè)

原理方法儀器

壓差檢測(cè)4.2.1B.1C.2

氣流檢測(cè)4.2.2B.2C.3

氣流方向檢測(cè)與可視化4.2.3B.3C.4

自?xún)魴z測(cè)4.2.4B.4C.5

溫度檢測(cè)4.2.5B.5C.6

濕度檢測(cè)4.2.6B.6C.7

已裝過(guò)濾系統(tǒng)泄漏檢測(cè)4.2.7B.7C.8

圍護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性泄漏檢測(cè)4.2.8B.8C.9

靜電和離子發(fā)生器檢測(cè)4.2.9B.9C.10

粒子沉降檢測(cè)4.2.10B.10C.11

隔離檢測(cè)4.2.11B.11C.12

注

這些支持性檢測(cè)項(xiàng)目并非按重要性或時(shí)間順序排序。檢測(cè)項(xiàng)目的實(shí)際實(shí)施順序是根據(jù)文件的具體要求，或由

供需雙方議定。

a在潔凈室動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)時(shí)，也可以考慮進(jìn)行粒子沉降檢測(cè)。

4.2原理

4.2.1壓差檢測(cè)

壓差檢測(cè)的目的是驗(yàn)證潔凈室系統(tǒng)維持其設(shè)施與周?chē)h(huán)境間規(guī)定壓差的能力。壓差檢測(cè)在下述工作

7

完成之后進(jìn)行：潔凈室的風(fēng)速或風(fēng)量、氣流均勻性以及其他適用檢測(cè)項(xiàng)目已滿(mǎn)足驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。壓差檢測(cè)的

具體介紹見(jiàn)B.1。

4.2.2氣流檢測(cè)

這項(xiàng)檢測(cè)用于測(cè)定單向流和非單向流潔凈室或潔凈區(qū)的送風(fēng)氣流。在單向流中，送風(fēng)速度可使用單

點(diǎn)讀數(shù)來(lái)測(cè)量，進(jìn)而測(cè)量流速和確定流速的均勻性。單點(diǎn)流速讀數(shù)的平均值可用于計(jì)算送風(fēng)量和換氣率

（每小時(shí)換氣次數(shù)）。在非單向流中，通常不需要測(cè)量單點(diǎn)風(fēng)速，因?yàn)橥ǔ２恍枰魉倬鶆?。在這種情

況下，可直接測(cè)量風(fēng)量，然后用于計(jì)算潔凈室或潔凈區(qū)的換氣率（每小時(shí)換氣次數(shù)）。氣流檢測(cè)程序見(jiàn)

B.2。

4.2.3氣流方向檢測(cè)與可視化

此項(xiàng)檢測(cè)旨在證明氣流方向和流速均勻性符合設(shè)計(jì)和性能要求。氣流方向測(cè)試可在靜態(tài)下進(jìn)行，以

確定潔凈室基礎(chǔ)的氣流模式，也可在模擬實(shí)際操作的動(dòng)態(tài)下重復(fù)進(jìn)行。檢測(cè)方法見(jiàn)B.3。

4.2.4自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)

自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)旨在確定潔凈室/區(qū)在短時(shí)暴露于空氣懸浮粒子挑戰(zhàn)源之后，在有限時(shí)間內(nèi)恢復(fù)到指

定潔凈級(jí)別的能力。單向流系統(tǒng)不推薦測(cè)試。測(cè)試程序見(jiàn)B.4。如果使用人工氣溶膠，則應(yīng)考慮潔凈室

/區(qū)的殘留污染風(fēng)險(xiǎn)。

4.2.5溫度檢測(cè)

本檢測(cè)旨在驗(yàn)證在客戶(hù)指定的時(shí)間段內(nèi)，待測(cè)區(qū)域的空氣溫度水平在控制范圍內(nèi)。測(cè)試程序見(jiàn)B.5。

測(cè)試

4.2.6濕度檢測(cè)

本檢測(cè)旨在驗(yàn)證在在客戶(hù)指定的時(shí)間段內(nèi)，待測(cè)區(qū)域的空氣濕度（表示為相對(duì)濕度或露點(diǎn)）水平在

控制范圍內(nèi)。測(cè)試程序見(jiàn)B.6。

4.2.7已裝過(guò)濾系統(tǒng)泄漏檢測(cè)

本檢測(cè)旨在檢測(cè)驗(yàn)證潔凈室設(shè)施不存在旁路滲漏，過(guò)濾器不存在缺陷（濾材和邊框上的小孔、損傷

及過(guò)濾器邊框泄漏），從而確認(rèn)終端高效過(guò)濾器安裝良好。這項(xiàng)檢測(cè)不檢查系統(tǒng)的過(guò)濾效率。通過(guò)在過(guò)

濾器上游引入氣溶膠挑戰(zhàn)，并在過(guò)濾器和支撐框架下游進(jìn)行掃描，或在下游管道中進(jìn)行采樣，進(jìn)行檢測(cè)。

泄漏檢測(cè)方法見(jiàn)B.7。

4.2.8圍護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性泄漏檢測(cè)

本檢測(cè)旨在確定是否有未經(jīng)過(guò)濾的空氣從潔凈室/區(qū)范圍以外通過(guò)接頭、接縫、門(mén)縫和有壓力的天

花板侵入潔凈室/區(qū)。檢測(cè)程序見(jiàn)B.8。

4.2.9靜電和離子發(fā)生器檢測(cè)

本檢測(cè)旨在評(píng)估物體的靜電電壓，材料的靜電耗散特性，以及潔凈室或潔凈區(qū)靜電控制所用離子發(fā)

生器（即電離器）的性能。靜電檢測(cè)旨在評(píng)估工作表面和產(chǎn)品表面的靜電電壓，地面、工作臺(tái)面等的靜

電耗散特性。離子發(fā)生器檢測(cè)旨在評(píng)估離子發(fā)生器消除表面靜電的性能。檢測(cè)程序見(jiàn)B.9。

4.2.10粒子沉降檢測(cè)

本檢測(cè)旨在驗(yàn)證在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)從潔凈室空氣中沉降到表面上的粒子的數(shù)量和大小。這項(xiàng)檢測(cè)的程

序見(jiàn)B.10。

4.2.11檢測(cè)隔離檢測(cè)

本檢測(cè)檢測(cè)旨在評(píng)估指定氣流的隔離有效性。檢測(cè)使用粒子挑戰(zhàn)低一級(jí)別的區(qū)域，并確定在隔斷的

另一側(cè)受保護(hù)區(qū)域的粒子濃度。檢測(cè)程序見(jiàn)B.11。

5檢測(cè)報(bào)告

每項(xiàng)檢測(cè)結(jié)果都應(yīng)記錄在檢測(cè)報(bào)告中。檢測(cè)報(bào)告應(yīng)包含下述信息：

a)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的名稱(chēng)、地址、檢測(cè)日期；

8

b)本部分的編號(hào)及頒布年份，即GB/T25915.3:[當(dāng)前版本的年份]；

c)清楚標(biāo)明所測(cè)潔凈室或潔凈區(qū)的具體位置（必要時(shí)以鄰近區(qū)域作參照），并標(biāo)注所有采樣點(diǎn)的

具體坐標(biāo)；

d)為潔凈室或潔凈區(qū)所規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)，包括ISO等級(jí)，相應(yīng)的占用狀態(tài)，關(guān)注粒徑；

e)所用檢測(cè)方法的詳細(xì)說(shuō)明，包括特殊的檢測(cè)條件以及與規(guī)定檢測(cè)方法的偏離之處；檢測(cè)儀器的

規(guī)格型號(hào)，儀器最新的校準(zhǔn)證書(shū)；

f)檢測(cè)結(jié)果，包括附錄B相關(guān)條目中要求的報(bào)告數(shù)據(jù)，以及達(dá)到要求的說(shuō)明；

g)與附錄B條目有關(guān)的、針對(duì)特定檢測(cè)項(xiàng)目的其他具體要求。

9

附錄A

（資料性）

支持檢測(cè)和表單的選擇

A.1概述

應(yīng)特別注意潔凈室、潔凈區(qū)或受控區(qū)性能的檢測(cè)順序。

檢測(cè)項(xiàng)目和檢測(cè)順序應(yīng)由客戶(hù)與供應(yīng)商協(xié)定，應(yīng)盡可能早發(fā)現(xiàn)不符合情況，并且不應(yīng)影響后續(xù)的其

他檢測(cè)。

A.2檢測(cè)清單

表A.1是檢測(cè)項(xiàng)目和儀器清單。

表A.1支持性檢測(cè)清單

檢測(cè)項(xiàng)目

檢測(cè)程序選擇檢測(cè)檢測(cè)儀器

和順序的檢測(cè)程序檢測(cè)儀器備注

參照條款儀器b參照條款

選擇a

電子微壓計(jì)C.2.2

壓差B.1斜管壓差計(jì)C.2.3

機(jī)械壓差計(jì)C.2.4

氣流B.2C.3

熱風(fēng)速儀C.3.1.1

三維超聲風(fēng)

潔凈室/區(qū)

速儀或等效C.3.1.2

送風(fēng)均勻性B.2.2.2

儀器

（單向流）

葉輪風(fēng)速計(jì)C.3.1.3

管陣列C.3.1.5

熱風(fēng)速儀C.3.1.1

三維超聲風(fēng)

送風(fēng)速度速儀或等效C.3.1.2

B.2.2.3

（單向流）儀器

葉輪風(fēng)速計(jì)C.3.1.3

管陣列C.3.1.5

熱風(fēng)速儀C.3.1.1

通過(guò)過(guò)濾器三維超聲風(fēng)

表面速度測(cè)速儀或等效C.3.1.2

B.2.2.4

量的送風(fēng)量?jī)x器

（單向流）葉輪風(fēng)速計(jì)C.3.1.3

管陣列C.3.1.5

孔板流量計(jì)C.3.2.3

文丘里流量

送風(fēng)管內(nèi)的C.3.2.4

計(jì)

送風(fēng)量（單B.2.2.5

皮托管和壓

向流）C.3.1.4

差計(jì)

熱風(fēng)速儀C.3.1.1

入口處的送B.2.3.2配有流量計(jì)C.3.2.2

10

風(fēng)量（非單的風(fēng)量罩

向流）

通過(guò)過(guò)濾器熱風(fēng)速儀C.3.1.1

表面速度測(cè)三維超聲風(fēng)

量的送風(fēng)量B.2.3.3速儀或等效C.3.1.2

（非單向儀器

流）葉輪風(fēng)速計(jì)C.3.1.3

孔板流量計(jì)C.3.2.3

文丘里流量

風(fēng)管送風(fēng)量C.3.2.4

計(jì)

（非單向B.2.3.4

皮托管和壓

流）C.3.1.4

差計(jì)

熱風(fēng)速儀C.3.1.1

示蹤物C.4.4.1

熱風(fēng)速儀C.4.2

三維超聲風(fēng)

速儀或等效C.4.2

氣流方向儀器

B.3

與可視化氣溶膠發(fā)生

C.4.3

器

超聲波霧化

C.4.4.2

器

煙霧發(fā)生器C.4.4.3

光散射離散

C.5.1

粒子計(jì)數(shù)器

氣溶膠發(fā)生

自?xún)鬊.4C.5.2

器

氣溶膠物質(zhì)C.5.3

稀釋裝置C.5.4

膨脹式溫度

C.6a)

計(jì)

溫度B.5

電子溫度計(jì)C.6b)

溫度計(jì)C.6c)

露點(diǎn)濕度計(jì)C.7a)

濕度B.6電導(dǎo)率變化

C.7b)

濕度計(jì)

已裝過(guò)濾

B.7C.8

系統(tǒng)泄漏

已裝過(guò)濾系氣溶膠光度

C.8.1

統(tǒng)氣溶膠光計(jì)

B.7.2

度計(jì)掃描檢氣溶膠發(fā)生

C.8.3

漏器

11

檢測(cè)氣溶膠

C.8.4

物質(zhì)

光散射離散

C.8.2

粒子計(jì)數(shù)器

已裝過(guò)濾系

氣溶膠發(fā)生

統(tǒng)光散射離C.8.3

B.7.3器

散粒子計(jì)數(shù)

檢測(cè)氣溶膠

器掃描檢漏C.8.4

物質(zhì)

稀釋裝置C.8.5

氣溶膠光度

C.8.1

計(jì)

光散射離散

C.8.2

粒子計(jì)數(shù)器

風(fēng)管或空氣氣溶膠發(fā)生

C.8.3

處理單元內(nèi)器

B.7.4

的過(guò)濾器整檢測(cè)氣溶膠

C.8.4

體泄漏檢測(cè)物質(zhì)

稀釋裝置

（僅限光散

C.8.5

射離散粒子

計(jì)數(shù)器法）

圍護(hù)結(jié)構(gòu)

密閉性泄B.8C.9

漏

光散射離散

C.9.1

粒子計(jì)數(shù)器

光散射離散氣溶膠發(fā)生

C.9.2

粒子計(jì)數(shù)器B.8.2.1器

法檢測(cè)氣溶膠

C.9.3

物質(zhì)

稀釋裝置C.9.4

氣溶膠發(fā)生

C.9.2

器

氣溶膠光度檢測(cè)氣溶膠

B.8.2.2C.9.3

計(jì)法物質(zhì)

氣溶膠光度

C.9.5

計(jì)

靜電和離子

B.9C.10

發(fā)生器

靜電電壓計(jì)C.10.1

靜電B.9.2.1高阻歐姆計(jì)C.10.2

充電檢測(cè)板C.10.3

12

靜電電壓計(jì)C.10.1

離子發(fā)生器C.9.2.2高阻歐姆計(jì)C.10.2

充電檢測(cè)板C.10.3

代測(cè)板C.11.1

晶圓表面掃

C.11.2

描儀

粒子輻射光

C.11.3

度計(jì)

粒子沉降B.10表面粒子計(jì)