(高清版)GBT 34213-2023 藍寶石單晶用高純氧化鋁

藍寶石單晶用高純氧化鋁2023-08-06發(fā)布國家市場監(jiān)督管理總局I本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件代替GB/T34213—2017《藍寶石襯底用高純氧化鋁》,與GB/T34213—2017相比，除結構調(diào)整和編輯性改動外，主要技術變化如下：a)更改了標準的適用范圍(見第1章，2017年版的第1章);b)增加了第4章產(chǎn)品牌號、分類及標記(見第4章);c)刪除了真密度和產(chǎn)品主要生產(chǎn)方式(見2017年版的4.1);d)增加了堆積密度、體積密度和尺寸的要求(見5.1);e)更改了化學成分的要求(見5.2,2017年版的4.2);f)更改了外觀的要求(見5.3,2017年版的4.3);g)更改了試驗方法(見第6章，2017年版的第5章);h)更改了組批的要求(見7.2,2017年版的6.2);i)更改了取樣的要求(見7.3,2017年版的6.4);j)更改了檢驗結果的判定(見7.4,2017年版的6.5);k)更改了標志及隨行文件的內(nèi)容(見第8章，2017年版的第7章);1)更改了產(chǎn)品包裝的要求(見8.2,2017年版的7.2)。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任。本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)與全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC203/SC2)共同提出并歸口。本文件起草單位：山東恒晶新材料有限公司、浙江晶瑞電子材料有限公司、有色金屬技術經(jīng)濟研究院有限責任公司、寧夏晶環(huán)新材料科技有限公司、天通銀廈新材料有限公司、寧夏鑫晶盛電子材料有限公司、青島華芯晶電科技有限公司。本文件于2017年首次發(fā)布，本次為第一次修訂。1藍寶石單晶用高純氧化鋁1范圍本文件規(guī)定了藍寶石單晶用高純氧化鋁的產(chǎn)品牌號、分類及標記、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、本文件適用于藍寶石單晶用高純氧化鋁(以下簡稱高純氧化鋁),其他用途的高純氧化鋁可參照本文件執(zhí)行。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T2997致密定形耐火制品體積密度、顯氣孔率和真氣孔率試驗方法GB/T6609.22氧化鋁化學分析方法和物理性能測定方法取樣GB/T14264半導體材料術語GB/T16418顆粒系統(tǒng)術語GB/T23771無機化工產(chǎn)品中堆積密度的測定GB/T33236多晶硅痕量元素化學分析輝光放電質譜法GB/T37248高純氧化鋁痕量金屬元素的測定電感耦合等離子體發(fā)射光譜法GB/T38762.1—2020產(chǎn)品幾何技術規(guī)范(GPS)尺寸公差第1部分：線性尺寸3術語和定義GB/T14264和GB/T16418界定的術語和定義適用于本文件。4.1牌號及分類產(chǎn)品牌號分為AP-6N、AP-5N、AP-4N5,種類分為多晶碎晶、多晶塊晶、圓餅及方餅。產(chǎn)品標記如下：AP5ND-SK碎晶/塊晶純度等級99.999%圓餅/方餅純度等級99.995%2AP-5N-DJ-K表示純度等級為99.999%的高純氧化鋁多晶塊料；AP-4N5-YB表示純度等級為99.995%的高純氧化鋁圓餅料。5技術要求5.1密度及尺寸高純氧化鋁的密度及尺寸應符合表1的規(guī)定。表1密度及尺寸產(chǎn)品種類堆積密度g/cm3體積密度g/cm3尺寸mm多晶碎晶最大粒徑<30多晶塊晶2.0～2.2最大邊長30～180圓餅3.0～3.8直徑48士2、厚度10～20方餅——3.0～3.8邊長50±2、厚度10～205.2化學成分高純氧化鋁的化學成分應符合表2的規(guī)定。表2化學成分牌號AP-6NAP-5NAP-4N5化學成分(質量分數(shù))Al?O?含量",≥%99.9999雜質含量，≤135112Na3511MgMnK1112PB3表2化學成分(續(xù))牌號AP-6NAP-5NAP-4N5化學成分(質量分數(shù))Al?O?含量*,≥%99.999999.99999.995雜質含量，≤10-?%(mg/kg)V0.050.050.050.050.05NiS雜質含量總和，≤10~4%(mg/kg)1Al?O?含量為100%減去雜質含量總和的余量?！s質含量總和為所測雜質元素的實測值之和，包含但不僅限于表中所列雜質元素。用戶要求提供上表中以外的其他雜質元素檢測數(shù)據(jù)時，可由供需雙方協(xié)商解決。5.3外觀高純氧化鋁的外觀顏色為白色、透明或半透明，無色差、無可見異物。需方對高純氧化鋁有特殊要求時，由供需雙方協(xié)商確定。6試驗方法6.1高純氧化鋁的堆積密度按GB/T23771規(guī)定的方法測定。6.2高純氧化鋁的體積密度按GB/T2997規(guī)定的方法測定。6.3高純氧化鋁的尺寸按GB/T38762.1—2020規(guī)定的方法測定。6.4高純氧化鋁的化學成分按GB/T37248或GB/T33236進行測定。仲裁時，按GB/T37248規(guī)定的方法進行。6.5高純氧化鋁的外觀檢驗采用目視法，取不少于200g產(chǎn)品放在有光紙上，在(6500±50)K色溫的7檢驗規(guī)則7.1檢查和驗收7.1.1產(chǎn)品由供方或第三方進行檢驗，保證產(chǎn)品質量符合本文件規(guī)定或訂貨單的要求。7.1.2需方可對收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進行檢驗。若檢驗結果與本文件規(guī)定或訂貨單的要求不符時，應在收到產(chǎn)品之日起30日內(nèi)向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。如需仲裁，應由供需雙方協(xié)商確定。4產(chǎn)品應成批提交驗收。每批應由以同批原料、同一爐次、按相同工藝條件連續(xù)生產(chǎn)的同一牌號、同一種類的高純氧化鋁組成。7.3檢驗項目及取樣每批產(chǎn)品應對密度、尺寸、化學成分、外觀進行檢驗，取樣要求應符合表3的規(guī)定。需方有其他要求時，應由供需雙方協(xié)商并在訂貨單中注明。表3檢驗項目及取樣檢驗項目取樣技術要求的章條號試驗方法的章條號堆積密度每批次抽檢不少于200g體積密度每批次抽檢3塊尺寸每批次抽檢3塊化學成分按照GB/T6609.22進行，每批次抽檢至少1次外觀全檢7.4檢驗結果的判定7.4.1堆積密度、體積密度的檢驗結果不合格時，判該批產(chǎn)品不合格。7.4.2尺寸檢驗不合格時，判該批產(chǎn)品不合格。7.4.3化學成分的檢驗結果不合格時，判該批產(chǎn)品不合格。7.4.4外觀的檢驗結果不合格時，判單件產(chǎn)品不合格。8.1標志包裝箱外應注明(包括但不限于)以下內(nèi)容：a)供方名稱；b)產(chǎn)品名稱；d)出廠日期；e)RoHS2.0標簽；8.2包裝8.2.1產(chǎn)品采用雙層塑料袋密封包裝，置于合適的包裝箱內(nèi)，用發(fā)泡袋等緩沖物填緊，以防竄動。包裝桶放在配套木托上，用塑料膜纏兩層，并打包好。8.2.2需方對包裝有特殊要求時，可由供需雙方協(xié)商確定。8.3運輸產(chǎn)品運輸時應防止雨淋潮濕，防止劇烈碰撞。5產(chǎn)品應密封存放于干燥、干凈和無腐蝕性環(huán)境中，堆放高度需避免產(chǎn)品的包裝桶變形和垮塌。每批產(chǎn)品應附有隨行文件，其中除應包