(高清版)GBT 34213-2023 藍(lán)寶石單晶用高純氧化鋁

藍(lán)寶石單晶用高純氧化鋁2023-08-06發(fā)布國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局I本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件代替GB/T34213—2017《藍(lán)寶石襯底用高純氧化鋁》,與GB/T34213—2017相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動(dòng)外，主要技術(shù)變化如下：a)更改了標(biāo)準(zhǔn)的適用范圍(見(jiàn)第1章，2017年版的第1章);b)增加了第4章產(chǎn)品牌號(hào)、分類(lèi)及標(biāo)記(見(jiàn)第4章);c)刪除了真密度和產(chǎn)品主要生產(chǎn)方式(見(jiàn)2017年版的4.1);d)增加了堆積密度、體積密度和尺寸的要求(見(jiàn)5.1);e)更改了化學(xué)成分的要求(見(jiàn)5.2,2017年版的4.2);f)更改了外觀的要求(見(jiàn)5.3,2017年版的4.3);g)更改了試驗(yàn)方法(見(jiàn)第6章，2017年版的第5章);h)更改了組批的要求(見(jiàn)7.2,2017年版的6.2);i)更改了取樣的要求(見(jiàn)7.3,2017年版的6.4);j)更改了檢驗(yàn)結(jié)果的判定(見(jiàn)7.4,2017年版的6.5);k)更改了標(biāo)志及隨行文件的內(nèi)容(見(jiàn)第8章，2017年版的第7章);1)更改了產(chǎn)品包裝的要求(見(jiàn)8.2,2017年版的7.2)。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專(zhuān)利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專(zhuān)利的責(zé)任。本文件由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)與全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203/SC2)共同提出并歸口。本文件起草單位：山東恒晶新材料有限公司、浙江晶瑞電子材料有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司、寧夏晶環(huán)新材料科技有限公司、天通銀廈新材料有限公司、寧夏鑫晶盛電子材料有限公司、青島華芯晶電科技有限公司。本文件于2017年首次發(fā)布，本次為第一次修訂。1藍(lán)寶石單晶用高純氧化鋁1范圍本文件規(guī)定了藍(lán)寶石單晶用高純氧化鋁的產(chǎn)品牌號(hào)、分類(lèi)及標(biāo)記、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、本文件適用于藍(lán)寶石單晶用高純氧化鋁(以下簡(jiǎn)稱(chēng)高純氧化鋁),其他用途的高純氧化鋁可參照本文件執(zhí)行。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T2997致密定形耐火制品體積密度、顯氣孔率和真氣孔率試驗(yàn)方法GB/T6609.22氧化鋁化學(xué)分析方法和物理性能測(cè)定方法取樣GB/T14264半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)GB/T16418顆粒系統(tǒng)術(shù)語(yǔ)GB/T23771無(wú)機(jī)化工產(chǎn)品中堆積密度的測(cè)定GB/T33236多晶硅痕量元素化學(xué)分析輝光放電質(zhì)譜法GB/T37248高純氧化鋁痕量金屬元素的測(cè)定電感耦合等離子體發(fā)射光譜法GB/T38762.1—2020產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)尺寸公差第1部分：線性尺寸3術(shù)語(yǔ)和定義GB/T14264和GB/T16418界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。4.1牌號(hào)及分類(lèi)產(chǎn)品牌號(hào)分為AP-6N、AP-5N、AP-4N5,種類(lèi)分為多晶碎晶、多晶塊晶、圓餅及方餅。產(chǎn)品標(biāo)記如下：AP5ND-SK碎晶/塊晶純度等級(jí)99.999%圓餅/方餅純度等級(jí)99.995%2AP-5N-DJ-K表示純度等級(jí)為99.999%的高純氧化鋁多晶塊料；AP-4N5-YB表示純度等級(jí)為99.995%的高純氧化鋁圓餅料。5技術(shù)要求5.1密度及尺寸高純氧化鋁的密度及尺寸應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1密度及尺寸產(chǎn)品種類(lèi)堆積密度g/cm3體積密度g/cm3尺寸mm多晶碎晶最大粒徑<30多晶塊晶2.0～2.2最大邊長(zhǎng)30～180圓餅3.0～3.8直徑48士2、厚度10～20方餅——3.0～3.8邊長(zhǎng)50±2、厚度10～205.2化學(xué)成分高純氧化鋁的化學(xué)成分應(yīng)符合表2的規(guī)定。表2化學(xué)成分牌號(hào)AP-6NAP-5NAP-4N5化學(xué)成分(質(zhì)量分?jǐn)?shù))Al?O?含量",≥%99.9999雜質(zhì)含量，≤135112Na3511MgMnK1112PB3表2化學(xué)成分(續(xù))牌號(hào)AP-6NAP-5NAP-4N5化學(xué)成分(質(zhì)量分?jǐn)?shù))Al?O?含量*,≥%99.999999.99999.995雜質(zhì)含量，≤10-?%(mg/kg)V0.050.050.050.050.05NiS雜質(zhì)含量總和，≤10~4%(mg/kg)1Al?O?含量為100%減去雜質(zhì)含量總和的余量。’雜質(zhì)含量總和為所測(cè)雜質(zhì)元素的實(shí)測(cè)值之和，包含但不僅限于表中所列雜質(zhì)元素。用戶要求提供上表中以外的其他雜質(zhì)元素檢測(cè)數(shù)據(jù)時(shí)，可由供需雙方協(xié)商解決。5.3外觀高純氧化鋁的外觀顏色為白色、透明或半透明，無(wú)色差、無(wú)可見(jiàn)異物。需方對(duì)高純氧化鋁有特殊要求時(shí)，由供需雙方協(xié)商確定。6試驗(yàn)方法6.1高純氧化鋁的堆積密度按GB/T23771規(guī)定的方法測(cè)定。6.2高純氧化鋁的體積密度按GB/T2997規(guī)定的方法測(cè)定。6.3高純氧化鋁的尺寸按GB/T38762.1—2020規(guī)定的方法測(cè)定。6.4高純氧化鋁的化學(xué)成分按GB/T37248或GB/T33236進(jìn)行測(cè)定。仲裁時(shí)，按GB/T37248規(guī)定的方法進(jìn)行。6.5高純氧化鋁的外觀檢驗(yàn)采用目視法，取不少于200g產(chǎn)品放在有光紙上，在(6500±50)K色溫的7檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢查和驗(yàn)收7.1.1產(chǎn)品由供方或第三方進(jìn)行檢驗(yàn)，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本文件規(guī)定或訂貨單的要求。7.1.2需方可對(duì)收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)。若檢驗(yàn)結(jié)果與本文件規(guī)定或訂貨單的要求不符時(shí)，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起30日內(nèi)向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。如需仲裁，應(yīng)由供需雙方協(xié)商確定。4產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收。每批應(yīng)由以同批原料、同一爐次、按相同工藝條件連續(xù)生產(chǎn)的同一牌號(hào)、同一種類(lèi)的高純氧化鋁組成。7.3檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣每批產(chǎn)品應(yīng)對(duì)密度、尺寸、化學(xué)成分、外觀進(jìn)行檢驗(yàn)，取樣要求應(yīng)符合表3的規(guī)定。需方有其他要求時(shí)，應(yīng)由供需雙方協(xié)商并在訂貨單中注明。表3檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣檢驗(yàn)項(xiàng)目取樣技術(shù)要求的章條號(hào)試驗(yàn)方法的章條號(hào)堆積密度每批次抽檢不少于200g體積密度每批次抽檢3塊尺寸每批次抽檢3塊化學(xué)成分按照GB/T6609.22進(jìn)行，每批次抽檢至少1次外觀全檢7.4檢驗(yàn)結(jié)果的判定7.4.1堆積密度、體積密度的檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，判該批產(chǎn)品不合格。7.4.2尺寸檢驗(yàn)不合格時(shí)，判該批產(chǎn)品不合格。7.4.3化學(xué)成分的檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，判該批產(chǎn)品不合格。7.4.4外觀的檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，判單件產(chǎn)品不合格。8.1標(biāo)志包裝箱外應(yīng)注明(包括但不限于)以下內(nèi)容：a)供方名稱(chēng)；b)產(chǎn)品名稱(chēng)；d)出廠日期；e)RoHS2.0標(biāo)簽；8.2包裝8.2.1產(chǎn)品采用雙層塑料袋密封包裝，置于合適的包裝箱內(nèi)，用發(fā)泡袋等緩沖物填緊，以防竄動(dòng)。包裝桶放在配套木托上，用塑料膜纏兩層，并打包好。8.2.2需方對(duì)包裝有特殊要求時(shí)，可由供需雙方協(xié)商確定。8.3運(yùn)輸產(chǎn)品運(yùn)輸時(shí)應(yīng)防止雨淋潮濕，防止劇烈碰撞。5產(chǎn)品應(yīng)密封存放于干燥、干凈和無(wú)腐蝕性環(huán)境中，堆放高度需避免產(chǎn)品的包裝桶變形和垮塌。每批產(chǎn)品應(yīng)附有隨行文件，其中除應(yīng)包