潔凈室檢測與認(rèn)證

潔凈室檢測與認(rèn)證5/9/20241潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室檢測與認(rèn)證5/9/20242潔凈室檢測與認(rèn)證檢測程序及要求

檢測程序主要是指對潔凈室或潔凈區(qū)域的空氣潔凈度等級等進(jìn)行測定生物潔凈室還要進(jìn)行浮游菌、沉降菌的測試1、潔凈室的檢測首先應(yīng)明確潔凈室或潔凈區(qū)域的占用狀態(tài)，按照《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》規(guī)定，潔凈室檢測狀態(tài)分為空態(tài)、靜態(tài)和動態(tài)三種。5/9/20243潔凈室檢測與認(rèn)證檢測程序

1、三態(tài)檢測1.1空態(tài)檢測

設(shè)施已建成，所有動力接通并運行，但在無生產(chǎn)設(shè)備、材料和生產(chǎn)人員在場的情況下所進(jìn)行的測試稱為空態(tài)檢測。1.2靜態(tài)檢測設(shè)施已建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝好，并以用戶和供應(yīng)商同意的方式運行，但沒有生產(chǎn)人員在場的情況下所進(jìn)行的測試稱為靜態(tài)檢測5/9/20244潔凈室檢測與認(rèn)證檢測程序1、三態(tài)檢測1.3動態(tài)檢測設(shè)施以規(guī)定的方式運行，有規(guī)定數(shù)目的人員在場，并以雙方同意的方式進(jìn)行工作的情況下進(jìn)行的測試稱為動態(tài)檢測。2、潔凈室的檢測可分為潔凈室工程竣工驗收的檢測、綜合性能評定的檢測和運行中的監(jiān)測及定期綜合性能檢測。

5/9/20245潔凈室檢測與認(rèn)證檢測內(nèi)容

1、竣工驗收《潔凈室施工及驗收規(guī)范》中明確規(guī)定，竣工驗收在對各分部工程作外觀檢查、單機(jī)試運轉(zhuǎn)、系統(tǒng)聯(lián)合試運轉(zhuǎn)，空態(tài)或靜態(tài)條件下的潔凈室性能檢測和調(diào)整以及對有關(guān)的施工檢查記錄合格后進(jìn)行。2、綜合性能全面評定綜合性能全面評定的檢測工作必須由有經(jīng)驗的第三方承擔(dān)；5/9/20246潔凈室檢測與認(rèn)證檢測內(nèi)容

2、綜合性能全面評定檢測所用儀表必須合格有效。檢測工作須在系統(tǒng)調(diào)整符合設(shè)計要求并運行至少24h后進(jìn)行，而且，在檢測工作之前，必須對潔凈室及凈化空調(diào)系統(tǒng)再次進(jìn)行全面徹底的清掃。5/9/20247潔凈室檢測與認(rèn)證檢測內(nèi)容

3、潔凈室（區(qū)）性能測試和認(rèn)證潔凈室（區(qū)）投入運行后，為了檢測其綜合性能是否可以做到始終符合設(shè)計要求、標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范的規(guī)定和滿足業(yè)主的產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量要求，需對潔凈室（區(qū)）進(jìn)行監(jiān)測和定期性能測試認(rèn)證，測試認(rèn)證工作應(yīng)由專門的潔凈室檢測認(rèn)證單位承擔(dān)。上述三種不同階段、不同時序的潔凈室（區(qū)）的檢測內(nèi)容及要求，有相同也有差異，下表列出了它們的各自檢測項目的情況。5/9/20248潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室（區(qū)）各階段測試要求

序號項目工程竣工驗收綜合性能驗收性能測試認(rèn)證1室內(nèi)送風(fēng)量，系統(tǒng)總新風(fēng)量（必要時系統(tǒng)總送風(fēng)量），有排風(fēng)時的室內(nèi)排風(fēng)量

√√√2靜壓差√√√3截面平均風(fēng)速√√Δ4截面風(fēng)速不平均度√√Δ5空氣潔凈度等級√√√6浮游菌和沉降菌ООО7室內(nèi)溫度和相對濕度√√Δ8室內(nèi)溫度（或相對濕度）波動范圍和區(qū)域溫差ООΔ9室內(nèi)噪聲級√√Δ5/9/20249潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室（區(qū)）各階段測試要求

10室內(nèi)倍頻程聲壓級ООΔ11室內(nèi)照度和照度均勻度√√Δ12室內(nèi)微振ООΔ13表面導(dǎo)電性能ООΔ14室內(nèi)氣流流型ООΔ15流線平行性ООΔ16自凈時間ООΔ17通風(fēng)機(jī)風(fēng)量、轉(zhuǎn)數(shù)√××18高效過濾器檢測√×Δ19污染泄漏-×Δ注：√—檢測；О—必要時測；Δ—洽商選測；×—不檢測。

5/9/202410潔凈室檢測與認(rèn)證檢測方法及評定標(biāo)準(zhǔn)

高效過濾器檢漏

高效過濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場前生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能實驗檢測（如DOP實驗等）對于5級（100級）以上潔凈室所使用的高效過濾器，在現(xiàn)場應(yīng)再次進(jìn)行高效過濾器本體的性能檢測，同時進(jìn)行檢漏試驗以確認(rèn)高效過濾器是否正確安裝。5/9/202411潔凈室檢測與認(rèn)證檢測方法及評定標(biāo)準(zhǔn)高效過濾器檢漏

在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超潔凈技術(shù)中（如0.1μm，1級），由于新風(fēng)量往往僅是循環(huán)風(fēng)量的百分之幾，經(jīng)過稀釋上風(fēng)側(cè)也變成6級（1000級）的程度，因此，在這種情況下，就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗。5/9/202412潔凈室檢測與認(rèn)證檢測方法及評定標(biāo)準(zhǔn)1、檢測要求1.1一般采取粒子計數(shù)器法進(jìn)行檢漏，被檢高效過濾器必須已檢測過風(fēng)量，并在設(shè)計風(fēng)速的80%～120%之間進(jìn)行。1.2對于被檢高效過濾器上風(fēng)側(cè)的微粒濃度符合下列要求：對受控微粒≥0.5m的濃度，≥3.5×104pc/L；對受控微?！?.1m的濃度，≥3.5×106～3.5×107pc/L。5/9/202413潔凈室檢測與認(rèn)證檢測方法及評定標(biāo)準(zhǔn)2、檢測方法

采用掃描法對高效過濾器安裝接縫和主斷面進(jìn)行檢測，檢測點應(yīng)距被測表面20～30毫米，測頭以5～20mm/s的速度移動，對被檢過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架處進(jìn)行掃描，如圖8-1所示。粒子計數(shù)器的最小采樣量大于1L/min。5/9/202414潔凈室檢測與認(rèn)證掃描方法示意圖

圖8-1掃描方法示意圖A—高效過濾器B—粒子計數(shù)器檢測口5/9/202415潔凈室檢測與認(rèn)證檢測方法及評定標(biāo)準(zhǔn)3、檢測設(shè)備3.1光散射粒子計數(shù)器

其工作原理是利用空氣中的微粒對光線的散射現(xiàn)象，將采樣空氣中的微粒的光脈沖信號轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電脈沖信號來測定微粒的顆粒數(shù)，利用微粒的光散射強(qiáng)度與微粒粒徑的平方成正比的關(guān)系，測量微粒粒徑大小。光散射粒子計數(shù)器的工作原理見圖8-2，儀器一般由氣路系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電路系統(tǒng)和電源等部分組成。國產(chǎn)的Y09等系列粒子計數(shù)器，進(jìn)口的Royco-245粒子計數(shù)器均屬于此類粒子計數(shù)器。5/9/202416潔凈室檢測與認(rèn)證光散射粒子計數(shù)器

圖8-2光散射粒子計數(shù)器的工作原理

5/9/202417潔凈室檢測與認(rèn)證檢測方法及評定標(biāo)準(zhǔn)3、檢測設(shè)備3.2激光粒子計數(shù)器其工作原理與光散射粒子計數(shù)器基本相同，但因采用了比光散射粒子計數(shù)器強(qiáng)100倍的氦-氖激光光源，所以微粒粒徑的檢測范圍達(dá)0.1μm。圖8-3是該類計數(shù)器光學(xué)系統(tǒng)簡圖。3.3凝聚核粒子計數(shù)器它是利用飽和蒸汽讓微小粒子凝聚為大粒徑為粒子，進(jìn)行微粒粒子濃度測定，原理見圖8-4。5/9/202418潔凈室檢測與認(rèn)證激光粒子計數(shù)器光學(xué)系統(tǒng)簡圖

圖8-3激光粒子計數(shù)器光學(xué)系統(tǒng)簡圖

5/9/202419潔凈室檢測與認(rèn)證凝聚核計數(shù)器原理簡圖

圖8-4凝聚核計數(shù)器原理簡圖

5/9/202420潔凈室檢測與認(rèn)證檢測方法及評定標(biāo)準(zhǔn)

4、合格標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室施工及驗收規(guī)范》中規(guī)定，由高效過濾器下風(fēng)側(cè)泄漏濃度換算成的穿透率來衡量是否合格，計算公式如右式。K:高效過濾器出廠時檢測合格的透過率;K’:高效過濾器的泄漏濃度換算成的透過率;C1:高效過濾器上風(fēng)側(cè)含塵濃度;C2:高效過濾器下風(fēng)側(cè)塵濃度.5/9/202421潔凈室檢測與認(rèn)證檢測方法及評定標(biāo)準(zhǔn)靜壓差此項檢測的目的是為了測定潔凈室的靜壓差，它可以是正壓或負(fù)壓，以防止?jié)崈羰覂?nèi)（外）氣流間被污染。檢測要求靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)所有的門全部關(guān)閉的情況下進(jìn)行。在潔凈室平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行，一直檢測到直通室外的房間。5/9/202422潔凈室檢測與認(rèn)證檢測方法及評定標(biāo)準(zhǔn)靜壓差檢測要求測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可，測管口面與氣流流線平行。所測定記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到0.1Pa。檢測方法記錄所有數(shù)據(jù)。先關(guān)閉所有的門。用微壓差計測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。5/9/202423潔凈室檢測與認(rèn)證檢測方法及評定標(biāo)準(zhǔn)靜壓差測量儀器采用YJB-150補(bǔ)償微壓差計，量程0～1500Pa或其他壓差計，儀表靈敏度小于0.1Pa。合格標(biāo)準(zhǔn)按照潔凈室設(shè)計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負(fù)壓值。5/9/202424潔凈室檢測與認(rèn)證檢測方法及評定標(biāo)準(zhǔn)靜壓差

合格標(biāo)準(zhǔn)不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差，應(yīng)不小于于4.9Pa。潔凈室與室外的靜壓差，不應(yīng)小于9.8Pa。對于空氣潔凈度等級高于5級（100級）的單向流潔凈室在開門時，門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級別的含塵濃度限值。若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求，應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量，至合格為止。5/9/202425潔凈室檢測與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測定

檢測要求風(fēng)量、風(fēng)速應(yīng)首先檢測；風(fēng)量檢測前，必須檢查風(fēng)機(jī)運行是否正常，系統(tǒng)各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上，并應(yīng)實測風(fēng)管、風(fēng)口的尺寸是否符合設(shè)計要求。5/9/202426潔凈室檢測與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測定檢測方法對于單向流潔凈室按右式計算其中：Q——潔凈室送風(fēng)量（m.3/h）；F——潔凈室的測定截面面積（m2）；——潔凈室截面平均風(fēng)速（m/s）。5/9/202427潔凈室檢測與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測定檢測方法對非單向流潔凈室，風(fēng)量的測量有風(fēng)管法和風(fēng)口法兩種方法。風(fēng)管法測定風(fēng)量。矩形風(fēng)管圓形風(fēng)管

風(fēng)口法測量風(fēng)量對安裝有高效過濾器的風(fēng)口，可根據(jù)輔助風(fēng)管測量風(fēng)量；將平面劃分為等面積的網(wǎng)絡(luò)；每次測試至少進(jìn)行5s，取此時間平均值為測量結(jié)果。5/9/202428潔凈室檢測與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測定圖8-5矩形風(fēng)管測點位置示意5/9/202429潔凈室檢測與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測定圖8-6圓形風(fēng)管測點位置示意

5/9/202430潔凈室檢測與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測定圖8-7圓形風(fēng)管測點距離

5/9/202431潔凈室檢測與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測定測量設(shè)備熱球風(fēng)速儀、畢托管和微壓計等。熱球風(fēng)速儀的量程宜采用0.05～5m/s，精度＜±3%，常用畢托管有500mm、1000mm、1500mm。測量合格標(biāo)準(zhǔn)實測室內(nèi)平均風(fēng)速應(yīng)大于設(shè)計風(fēng)速，應(yīng)為設(shè)計風(fēng)速的1～1.2倍，且為正偏差；單向流潔凈室的截面風(fēng)速不均勻度不應(yīng)大于0.25。

5/9/202432潔凈室檢測與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測定合格標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)速不均勻度按右式βμ——風(fēng)速不均勻度；υi——任一點實測風(fēng)速（m/s）；υ——平均風(fēng)速（m/s）;n——測點數(shù)。5/9/202433潔凈室檢測與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測定合格標(biāo)準(zhǔn)除了風(fēng)速不均勻度外還有以下兩個方面；實測新風(fēng)量與設(shè)計新風(fēng)量之差不應(yīng)超過設(shè)計風(fēng)量的10%；潔凈室系統(tǒng)總風(fēng)量與設(shè)計風(fēng)量的允許偏差為0～20%，室內(nèi)各風(fēng)口風(fēng)量與各自設(shè)計的風(fēng)量之差不應(yīng)超過設(shè)計風(fēng)量的15%。5/9/202434潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈度的測定

檢測要求測定之前，凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)經(jīng)過反復(fù)清洗，并連續(xù)穩(wěn)定運行在24h以上；必須在空氣流量、流速、壓差以及過濾器檢漏，維護(hù)結(jié)構(gòu)泄漏測試之后進(jìn)行；所用測試儀器必須經(jīng)過有效標(biāo)定，并在有效期范圍內(nèi)。粒子計數(shù)器的采樣量必須在1L/min以上。5/9/202435潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈度的測定檢測方法最小采樣點數(shù)目按右式計算NL——最小采樣點數(shù)目（四舍五入為整數(shù)）；A——潔凈室或潔凈區(qū)的面積（m2）。5/9/202436潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈度的測定檢測方法每個采樣點要采集能保證檢測出至少20個粒子的空氣量，每個采樣點的每次采樣量VS用右式確定VS——每個采樣點的每次采樣量（L）；Cn-m——被測潔凈室的空氣潔凈度等級被考慮粒徑的最大濃度限值（pc/m3）；5/9/202437潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈度的測定檢測儀器測量≥0.5m粒子時，建議采用光學(xué)粒子計數(shù)器；測量≥0.1m粒子時，建議采用大流量的激光光學(xué)粒子計數(shù)器；測量≥0.02m粒子時，建議采用凝聚核激光粒子計數(shù)器。5/9/202438潔凈室檢測與認(rèn)證FSC—1型浮游微生物采樣器

FSC—1型浮游微生物采樣器（細(xì)菌采樣器）是依據(jù)顆粒撞擊原理設(shè)計而成。被采樣空氣在抽氣泵作用下，通過采樣器的縫隙式平板，將空氣噴射并撞擊到勻速旋轉(zhuǎn)的裝有培養(yǎng)基的平皿內(nèi)，培養(yǎng)基內(nèi)附著的活微生物經(jīng)培養(yǎng)后形成菌落，予以計數(shù)。

5/9/202439潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈度的測定合格標(biāo)準(zhǔn)

把每次采樣測量的結(jié)果與空氣潔凈度等級相關(guān)的各個被考慮的粒徑的濃度記錄下來，并計算采樣數(shù)據(jù)的平均值。當(dāng)采樣點只有一個或多于9個時，不用計算95%置信上限。當(dāng)采樣點多于1個而少于10個時，應(yīng)計算粒子平均濃度的平均值、標(biāo)準(zhǔn)誤差、95%置信上限。5/9/202440潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈度的測定合格標(biāo)準(zhǔn)每次性能測試或再認(rèn)證測試應(yīng)做記錄，并提交性能合格或不合格的綜合報告；如果在每個采樣點測得的粒子平均濃度≤級別上限，即室內(nèi)平均濃度統(tǒng)計值95%置信上限Xi≤級別上限，則該潔凈室或潔凈區(qū)即被認(rèn)為是達(dá)到了規(guī)定的空氣潔凈度等級。5/9/202441潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈度的測定合格標(biāo)準(zhǔn)如果是由于測量差錯或異常低的粒子濃度，而產(chǎn)生單個的非隨機(jī)性的“界外值”，影響95%置信上限的計算結(jié)果不能滿足規(guī)定的空氣潔凈度等級，在符合條件下的情況下，可以把該“界外值”排除，但最多只有一個測量值排除在外。5/9/202442潔凈室檢測與認(rèn)證微生物測定

空氣中懸浮微生物的測定有多種但其測定的基本過程都是經(jīng)過捕集－培養(yǎng)－計數(shù)的過程。目前普遍采用的測試方法：浮游菌沉降菌5/9/202443潔凈室檢測與認(rèn)證微生物測定檢測要求檢測前，被測潔凈室的運行狀態(tài)必須在正常狀態(tài)，其溫度、濕度、風(fēng)量、風(fēng)壓及風(fēng)速必須在控制的規(guī)定值內(nèi)；被測試的潔凈室應(yīng)已進(jìn)行過消毒；同時，潔凈室的測試狀態(tài)必須符合生產(chǎn)工藝的要求，并在測試報告中注明其測試狀態(tài)。測試人員必須穿戴潔凈服，而且一般不得超過兩個人。5/9/202444潔凈室檢測與認(rèn)證微生物測定檢測要求凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運轉(zhuǎn)時間對單相流如5級（100級）潔凈室或?qū)恿鞴ぷ髋_不得少于10min；對非單相流如7級（10000級）、8級（100000級）的潔凈室不得少于30min。采樣點的布置及要求浮游菌測試時沉降菌測試時5/9/202445潔凈室檢測與認(rèn)證注：1.表中面積，對單相流潔凈室（包括層流工作臺），指的是送風(fēng)口表面積；對非單相流潔凈室，指的是房間面積。2.日常監(jiān)測的采樣點數(shù)由生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵操作點來確定。微生物測定浮游菌的最少采樣點數(shù)

面積/m2空氣潔凈度等級10010000100000驗證監(jiān)測驗證監(jiān)測驗證監(jiān)測<102～31212-≥10～2042212-≥20～4083212-≥40～100164412-≥100～20040-10-3-≥200～40080-20-6-400160-40-13-5/9/202446潔凈室檢測與認(rèn)證微生物測定沉降菌測試的最少采樣點數(shù)面積/m2

空氣潔凈度等級10010000100000<102～322≥10～20422≥20～40822≥40～1001642≥100～20040103≥200～40080206≥400～10001604013≥1000～200040010032200080020063注：表中面積，對于單向流潔凈室是指送風(fēng)口面積；對于非單向流潔凈室是指房間的面積。5/9/202447潔凈室檢測與認(rèn)證微生物測定采樣點的布置及要求對沉降菌法不僅要滿足最少采樣總數(shù)，還應(yīng)滿足最少培養(yǎng)皿數(shù)。浮游菌測試法的最小采樣量應(yīng)按不同空氣潔凈度等級確定。以上2個方面的數(shù)值具體可以參看教材中表8-6沉降菌測試最少培養(yǎng)皿數(shù)表8-7浮游菌測試法的最小采樣量5/9/202448潔凈室檢測與認(rèn)證微生物測定檢測方法檢測程序首先應(yīng)對測試儀器、培養(yǎng)皿表面進(jìn)行嚴(yán)格消毒。采樣器進(jìn)入被測房間前先用消毒房間的消毒劑滅菌，用于100級潔凈室的采樣器宜一直放在被測房間內(nèi)；用消毒劑擦凈培養(yǎng)皿的外表面，把采樣器的頂蓋、轉(zhuǎn)盤以及罩子內(nèi)外消毒干凈；采樣口及采樣管在使用前必須高溫滅菌。采樣者應(yīng)穿戴與被測潔凈室相應(yīng)的潔凈服，在轉(zhuǎn)盤上放入或調(diào)換培養(yǎng)皿前，雙手要用消毒劑消毒5/9/202449潔凈室檢測與認(rèn)證微生物測定檢測方法浮游菌檢測程序開動真空泵抽氣，使儀器中的殘余消毒劑蒸發(fā)，時間不少于5min，并調(diào)好流量、轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速；關(guān)閉真空泵，放入培養(yǎng)皿，蓋好蓋子調(diào)節(jié)采樣器置采樣口于采樣點后，依次開啟采樣器、真空泵，轉(zhuǎn)動定時器，根據(jù)采樣量選定采樣時間；全部采樣結(jié)束后，將培養(yǎng)皿倒置于30～35℃恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)，時間不少于45h；5/9/202450潔凈室檢測與認(rèn)證微生物測定檢測方法浮游菌檢測程序用肉眼直接計數(shù)，然后用5～10倍放大鏡檢查，是否有遺漏。若平板上有兩個或兩個以上的菌落重疊，分辨時仍以兩個或兩個以上菌落計數(shù)。沉降菌測試檢測儀器沉降菌測試儀器、浮游菌測試儀器。5/9/202451潔凈室檢測與認(rèn)證微生物測定常見采樣器圖8-8THK-201型采樣器的工作示意圖5/9/202452潔凈室檢測與認(rèn)證微生物測定常見采樣器圖8-9

JWC-1型離心式空氣微生物采樣器。1-葉輪2培養(yǎng)基條樣口3-蝸殼4-電源指示燈5-電源開關(guān)6-定時選擇開關(guān)7-啟動鈕8-交流穩(wěn)壓電源插孔9-電池筒10-螺帽5/9/202453潔凈室檢測與認(rèn)證

微生物測定

合格標(biāo)準(zhǔn)浮游菌測試一般被測房間（或潔凈工作臺）的浮游菌平均濃度按右式計算。C——被測房間（或潔凈工作臺）的浮游菌平均濃度（CFU/m2）；PS——被測房間總菌落數(shù)（CFU）；VS——總的采樣量（m3）5/9/202454潔凈室檢測與認(rèn)證溫濕度檢測

檢測要求測定前，潔凈空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)連續(xù)運行24h以上根據(jù)溫度和相對濕度的波動范圍，應(yīng)選擇足夠精度的測試儀表，并經(jīng)過校驗標(biāo)定合格。檢測方法測點距地面0.8m，距外墻應(yīng)大于0.5m，也可以根據(jù)恒溫區(qū)的大小，分別布置在離地面不同高度的幾個平面上。5/9/202455潔凈室檢測與認(rèn)證溫濕度檢測檢測方法

根據(jù)溫濕度波動范圍要求，檢測宜連續(xù)進(jìn)行8～48h，每次讀數(shù)間隔不大于30min。對沒有恒溫要求的房間，溫度僅測房間中心一個點即可。對有溫濕度波動要求的區(qū)域，測點應(yīng)放在送、回風(fēng)口處或具有代表性的地點，其測點數(shù)按教材中表8-10確定。5/9/202456潔凈室檢測與認(rèn)證照度測定

檢測要求室內(nèi)照度測定必須在室溫已趨穩(wěn)定，光源輸出趨于穩(wěn)定后進(jìn)行（對熒光燈必須有100h）檢測方法

測點平面距地面0.85m，按間距1～2m布點，測點距墻面1m。其要求基本與潔凈度的測定位置要求相同。記錄，在簡圖上設(shè)測量位置，記錄實測照度值并計算總平均照度。5/9/202457潔凈室檢測與認(rèn)證照度測定檢測方法照度測定，一般測定除局部照明之外的照明檢測儀器采用移動式照度計檢測。合格標(biāo)準(zhǔn)符合設(shè)計要求或符合《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》中對潔凈室（區(qū)）的照度值規(guī)定。潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。5/9/202458潔凈室檢測與認(rèn)證噪聲檢測

噪聲儀器為帶倍頻程分析儀的聲級計，一般情況下只檢測A聲級的數(shù)據(jù)，必要時測倍頻程聲壓級。檢測方法檢測點布置，當(dāng)面積≤50m2時，僅測房間中心一個點；當(dāng)房間面積較大時，每增加50m2增加一個點，測點距地面1.2m。有條件時，宜測量潔凈室靜態(tài)工況的噪聲和潔凈室的本底噪聲。5/9/202459潔凈室檢測與認(rèn)證噪聲檢測

合格標(biāo)準(zhǔn)符合設(shè)計要求或按《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》中的規(guī)定，在空態(tài)情況下，非單向流潔凈室的噪聲級不應(yīng)大于60dB（A），單向流、混合流潔凈室的噪聲級不應(yīng)大于65dB（A）。潔凈室的噪聲頻譜限制的各頻帶聲壓級值不應(yīng)大于《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》的規(guī)定。5/9/202460潔凈室檢測與認(rèn)證表面導(dǎo)靜電性能測定

檢測設(shè)備采用符合精度要求的高阻計。檢測方法在測試表面上選擇比較有代表區(qū)域的兩個點，用導(dǎo)線把高阻計和兩個銅圓柱形電極連接起來進(jìn)行測量，其表面電阻和泄漏電阻值可以按圖8-10所示的測試裝置測量。5/9/202461潔凈室檢測與認(rèn)證表面導(dǎo)靜電性能測定

圖例說明：1—高阻計2—試件3—銅柱形電極4—濕漬紙L＝900mm,d=60mm,M=2㎏合格標(biāo)準(zhǔn)地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能，并應(yīng)能長時間穩(wěn)定。表面電阻率應(yīng)為：1.0×105～1.0×1012Ω。圖8-10表面導(dǎo)靜電性能測定裝置示意圖5/9/202462潔凈室檢測與認(rèn)證氣流流型檢測方法測點位置對于單向流潔凈室，所測截面上的測點間距均為0.2～1m，垂直單向流要求取四個測點截面：潔凈室的縱剖面，潔凈室橫剖面，距地面0.8m和1.5m的兩個水平面。水平單向流要求取五個測點截面：潔凈室的縱剖面，工作區(qū)水平面，距送、回風(fēng)口0.5m處的兩個縱剖面和房間中心的總剖面對非單向流潔凈室要求取3個測點截面：具有代表性的送、回風(fēng)口中心的縱、橫剖面和工作區(qū)高度的水平面。5/9/202463潔凈室檢測與認(rèn)證氣流流型

檢測方法測點位置對非單向流潔凈室測點間距要求：縱剖面上為0.2～0.5m，水平面上為0.5～1m。用發(fā)煙器或懸掛單絲線的方法逐點觀察和記錄氣流流向；用量角器測定氣流流向偏離規(guī)定方向的角度。在測點布置的剖面圖上標(biāo)出流向。氣流流型檢測標(biāo)準(zhǔn)工作區(qū)氣流流向偏離規(guī)定方向的角度不大于14°，應(yīng)繪出氣流流型圖，并給出分析結(jié)果。5/9/202464潔凈室檢測與認(rèn)證自凈時間檢測方法以大氣濃度為基準(zhǔn)，本項測定必須在潔凈室停止運行相當(dāng)時間，含塵濃度已接近大氣濃度時進(jìn)行。首先測出潔凈室內(nèi)的濃度，然后開機(jī)，定時讀數(shù)，直到濃度達(dá)到最低限度為止，這一段時間即為自凈時間。以人工發(fā)巴蘭香煙為基準(zhǔn)按標(biāo)準(zhǔn)發(fā)煙；然后開機(jī)記時直到濃度到最低。5/9/202465潔凈室檢測與認(rèn)證自凈時間

合格標(biāo)準(zhǔn)由初始濃度（N0）和室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度（N），實際換氣次數(shù)（n）計算出的自凈時間（t0）與實測的自凈時間（t）進(jìn)行對比，若t≤t01.2為合格。5/9/202466潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室檢測常用儀器5/9/202467潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室檢測常用儀器5/9/202468潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室檢測常用儀器5/9/202469潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室檢測常用儀器四種常見的粒子記數(shù)器5/9/202470潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室檢測常用儀器5/9/202471潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室檢測常用儀器5/9/202472潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室檢測常用儀器自動過濾器及連接示意5/9/202473潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證

認(rèn)證的目的和程序潔凈室工程在設(shè)計、建造和驗收投入使用后；為確保潔凈室使用過程中始終能保持規(guī)定的空氣潔凈度等級和綜合性能參數(shù)要求。或者是由于潔凈室投入使用后的維護(hù)管理不當(dāng)或潔凈室工作人員誤操作以及潔凈空調(diào)系統(tǒng)長期運轉(zhuǎn)使空氣過濾器性能變化。5/9/202474潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證認(rèn)證的目的和程序

或者是潔凈室周圍環(huán)境的突發(fā)變化如因房屋拆遷、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝調(diào)整、突出性大氣塵污染甚至沙塵暴的侵襲等各類因素，影響潔凈室的性能參數(shù)。所以投入運行后的潔凈室的日常監(jiān)測和定期的綜合性能檢測是十分必要的工作，通過檢測以認(rèn)證潔凈室的綜合性能是否符合設(shè)計要求或產(chǎn)品生產(chǎn)所必須的綜合性能參數(shù)要求。5/9/202475潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證認(rèn)證的目的和程序綜合性能檢測的目的確定正常運行；掌握能量使用情況；發(fā)現(xiàn)異?，F(xiàn)象并維修；查明發(fā)生污染的原因，測定相關(guān)數(shù)據(jù)；產(chǎn)品質(zhì)量相關(guān)的資料；潔凈室的缺點（運行上的缺點等）。

5/9/202476潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證程序由業(yè)主委托專門檢測認(rèn)證單位承擔(dān)潔凈室的認(rèn)證工作。委托可以是一次性的也可以是階段性的，比如一年的委托合約，在雙方的合約中應(yīng)明確委托認(rèn)證的內(nèi)容、測試要求（含時間間隔等）、檢測認(rèn)證報告內(nèi)容和要求、認(rèn)證檢測的進(jìn)度安排、各方的責(zé)任（包括保密要求）等。5/9/202477潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證程序認(rèn)證檢測用儀器儀表必須在標(biāo)定使用的有效期內(nèi)；認(rèn)證檢測之前，潔凈室的各功能系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運行，并由業(yè)主提供穩(wěn)定運行的有關(guān)記錄；按合約要求逐項進(jìn)行檢測，并作詳細(xì)記錄。記錄應(yīng)該清晰，并有必要的實測狀況和有關(guān)問題的說明；5/9/202478潔凈室檢測與認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證程序?qū)懗稣J(rèn)證檢測報告，并明確說明潔凈室是否符合規(guī)定要求及各項綜合性能參