(高清版)GBT 36306-2024 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 空氣化學(xué)污染控制技術(shù)要求

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣化學(xué)污染控制技術(shù)要求2024-03-15發(fā)布2024-10-01實(shí)施國家市場監(jiān)督管理總局國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會IGB/T36306—2024前言 12規(guī)范性引用文件 13術(shù)語和定義 4污染源 5空氣化學(xué)污染控制 26檢測與監(jiān)測 3附錄A(資料性)潔凈室建設(shè)材料選用 5附錄B(資料性)電子工業(yè)潔凈室空氣化學(xué)污染控制系統(tǒng) 7附錄C(資料性)微電子工業(yè)潔凈室空氣化學(xué)污染物控制數(shù)據(jù)表 9附錄D(資料性)潔凈室施工階段化學(xué)物濃度控制措施 參考文獻(xiàn) Ⅲ本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件代替GB/T36306—2018《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣化學(xué)污染控制指南》,與GB/T36306—2018相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外，主要技術(shù)變化如下：a)更改了標(biāo)準(zhǔn)適用范圍(見第1章，2018年版的第1章);b)刪除了空氣分子污染、環(huán)境反應(yīng)監(jiān)測法、污染物、氣相空氣凈化裝置等術(shù)語(見2018年版的c)增加了按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度、釋出氣體等術(shù)語(見3.1、3.3);d)更改了空氣化學(xué)污染物的定義(見3.2,2018年版的3.5);e)更改及增加了污染源來源(見4.1、4.2,2018年版的4.1),刪除了分級與分類(見2018年版的f)增加了一般要求、設(shè)計、施工及運(yùn)行維護(hù)等空氣化學(xué)污染控制內(nèi)容(見5.1、5.2、5.3、5.4),刪除了確定是否污染及情況、控制措施的內(nèi)容(見2018年版的6.1、6.2);g)更改標(biāo)題“檢測”為“檢測與監(jiān)測”(見第6章，2018年版的第5章),更改了檢測的內(nèi)容(見6.1,2018年版的5.1、5.2),增加了監(jiān)測的內(nèi)容(見6.2)。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。本文件由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC319)提出并歸口。本文件起草單位：中國電子工程設(shè)計院股份有限公司、中國電子系統(tǒng)工程第三建設(shè)有限公司、中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司、中國科學(xué)院大氣物理研究所、蘇州安泰空氣技術(shù)有限公司、深圳市億天凈化技術(shù)有限公司、天津大學(xué)、蘇州華泰空氣過濾器有限公司、中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會、濱州裕能電子材料股份有限公司、北京戴納實(shí)驗(yàn)科技有限公司、煙臺寶源凈化有限公司、江漢大學(xué)、上海市室內(nèi)環(huán)境凈化行業(yè)協(xié)會、中電精泰電子工程有限公司、麗茲控股有限公司、無錫萊姆頓科技有限公司、仲愷農(nóng)業(yè)工程學(xué)院、黃岡魯班藥業(yè)股份有限公司、上海禾益凈化設(shè)備制造有限公司、佛山市南海東方澳龍制藥有限公司、深圳市中建南方環(huán)境股份有限公司。本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為：——2018年首次發(fā)布為GB/T36306—2018;——本次為第一次修訂。IV本文件的空氣化學(xué)污染控制技術(shù)主要針對有空氣化學(xué)污染控制要求的潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境?？諝饣瘜W(xué)污染物的分子尺寸范圍為0.1nm～3nm,通常狀態(tài)下是以氣體或蒸氣形態(tài)存在，常規(guī)高效過濾器和超高效過濾器無法有效去除，使用粒子計數(shù)器也檢測不到?？諝饣瘜W(xué)污染物種類較多，不同污染物具有不同的化學(xué)性質(zhì)，某些污染物的濃度可隨環(huán)境的溫度、濕度變化而改變，且污染物來源具有很大的隨機(jī)性。隨著凈化技術(shù)和材料的發(fā)展，空氣化學(xué)污染物可以被有效控制和去除，能夠保障潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣化學(xué)污染物滿足環(huán)境限定要求。1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣化學(xué)污染控制技術(shù)要求本文件規(guī)定了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣化學(xué)污染物控制技術(shù)要求，包括污染源、空氣化學(xué)污染控本文件適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的空氣化學(xué)污染控制。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T25915.8—2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第8部分：按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度(ACC)等級3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度aircleanlinessbychemicalconcentration;ACC以ISO-ACC表示的代表給定的某種或某組化學(xué)物種類、以克每立方米為單位的最大允許濃度。空氣化學(xué)污染物airchemicalcontaminant以氣態(tài)或蒸氣形態(tài)存在，其化學(xué)特性可對潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的產(chǎn)品、工藝、設(shè)備有不良影響的物質(zhì)。釋出氣體outgassing從設(shè)備和材料中釋放出的氣態(tài)或蒸氣態(tài)化學(xué)物質(zhì)。4污染源4.1室外污染源存在于室外大氣中可能對潔凈室內(nèi)產(chǎn)品、工藝、設(shè)備產(chǎn)生危害的化學(xué)物質(zhì)，主要有硫氧化物、氮氧化24.2室內(nèi)污染源——作業(yè)人員的汗水、防護(hù)用品、化妝品等散發(fā)；5空氣化學(xué)污染控制5.1一般要求潔凈室空氣化學(xué)污染控制系統(tǒng)應(yīng)符合工藝生產(chǎn)的要求，空氣化學(xué)污染物分類及按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級應(yīng)符合GB/T25915.8的規(guī)定。5.2設(shè)計潔凈室的選址應(yīng)符合下列要求：——選擇自然大氣中化學(xué)物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域；——遠(yuǎn)離散發(fā)化學(xué)物的交通樞紐、工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染的區(qū)域。5.2.2工藝設(shè)備布局工藝設(shè)備布局應(yīng)符合下列要求：——散發(fā)同類化學(xué)污染物的工藝設(shè)備布置在同一區(qū)域；——產(chǎn)生并散逸化學(xué)污染物的工藝設(shè)備采取密閉措施，并設(shè)置局部排風(fēng)設(shè)施。5.2.3化學(xué)污染物的產(chǎn)生區(qū)域產(chǎn)生空氣化學(xué)污染物的區(qū)域宜獨(dú)立分隔，且與周圍潔凈空間的靜壓差(負(fù)壓)不應(yīng)小于5Pa。潔凈室建設(shè)材料應(yīng)符合下列要求：——使用不散發(fā)污染物或散發(fā)污染物符合控制要求的材料；——當(dāng)采用新材料時，先進(jìn)行化學(xué)污染物釋出氣體檢測，檢測合格的材料才允許使用。潔凈室建設(shè)材料的選用見附錄A?？諝鈨艋O(shè)備的使用符合下列要求?！獫崈羰倚嘛L(fēng)處理機(jī)組(MAU)、室內(nèi)空氣循環(huán)處理設(shè)備應(yīng)根據(jù)空氣化學(xué)污染物控制要求設(shè)置化學(xué)污染物去除設(shè)施。——新風(fēng)處理機(jī)組、風(fēng)機(jī)過濾單元(FFU)的化學(xué)過濾器使用壽命宜≥1年?！嘛L(fēng)處理機(jī)組采用褶式化學(xué)過濾器時，每1000m3/h風(fēng)量的濾布面積應(yīng)≥3m2;風(fēng)機(jī)過濾單元采用密褶式化學(xué)過濾器時，每1000m3/h風(fēng)量的濾布面積應(yīng)≥4m2。電子工業(yè)潔凈室空氣化學(xué)污染控制系統(tǒng)見附錄B。35.2.6空氣化學(xué)污染物的控制數(shù)據(jù)空氣化學(xué)污染物的控制數(shù)據(jù)應(yīng)根據(jù)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的控制要求確定。微電子工業(yè)潔凈室空氣化學(xué)污染物控制數(shù)據(jù)表見附錄C。施工階段的空氣化學(xué)污染物控制應(yīng)符合下列要求：——根據(jù)潔凈室建設(shè)進(jìn)度分階段進(jìn)行管控；——制定并執(zhí)行建筑材料送樣檢測制度；——設(shè)置人員、物料進(jìn)入潔凈室的管制口；——對現(xiàn)有生產(chǎn)產(chǎn)生影響的施工區(qū)域進(jìn)行空氣化學(xué)污染物監(jiān)測。室內(nèi)采取通風(fēng)換氣措施。潔凈室施工階段化學(xué)物濃度控制措施見附錄D。5.4運(yùn)行維護(hù)潔凈室的運(yùn)行維護(hù)符合下列要求：——應(yīng)建立空氣化學(xué)污染物控制的運(yùn)行維護(hù)程序和制度；——應(yīng)規(guī)定空氣化學(xué)污染物監(jiān)測警戒限度和糾偏限度；——關(guān)鍵區(qū)域宜設(shè)置在線監(jiān)測，其他區(qū)域宜根據(jù)生產(chǎn)需要定期對空氣化學(xué)污染物進(jìn)行檢測，詳見第——嚴(yán)重影響設(shè)施運(yùn)行的特殊維修后或更換化學(xué)過濾器后，應(yīng)對環(huán)境中的空氣化學(xué)污染物重新檢測；——更換化學(xué)過濾器時，應(yīng)根據(jù)污染物性質(zhì)采取適宜的防護(hù)措施，更換下來的化學(xué)過濾器應(yīng)進(jìn)行無害化處理。6檢測與監(jiān)測6.1檢測6.1.1潔凈室投入運(yùn)行前應(yīng)進(jìn)行全區(qū)域空氣化學(xué)污染物檢測。6.1.2采樣方法和分析方法應(yīng)依據(jù)GB/T25915.8—2021附錄C的規(guī)定執(zhí)行，檢測完成后應(yīng)提供檢測報告。6.1.3常用檢測技術(shù)宜包括：——離子色譜法(IC);——電感耦合等離子體-質(zhì)譜法(ICP-MS);——熱脫附氣相色譜/質(zhì)譜聯(lián)用法(TD-GC-MS);——?dú)庀嗌V-火焰離子化檢測法(GC-FID);——?dú)庀嗌V-光離子化檢測法(GC-PID);——化學(xué)發(fā)光法(CL);——紫外熒光法(UVF);——紫外光吸收法(UVA)。6.2.1應(yīng)對潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生空氣化學(xué)污染的因素進(jìn)行監(jiān)測，宜設(shè)置空氣化學(xué)污染物監(jiān)測的區(qū)域包括：——生產(chǎn)中使用特氣、化學(xué)品的工藝設(shè)備附近；——對空氣化學(xué)污染敏感的生產(chǎn)工序區(qū)域；4——新風(fēng)處理機(jī)組進(jìn)、出風(fēng)口；——風(fēng)機(jī)過濾單元進(jìn)、出風(fēng)口；——對現(xiàn)有生產(chǎn)產(chǎn)生影響的施工區(qū)域等。6.2.2監(jiān)測方式可分為固定式和移動式。6.2.3常用監(jiān)測技術(shù)宜包括： 監(jiān)測總無機(jī)酸，根據(jù)組分種類采用光腔衰蕩光譜法(CRDS)、離子遷移譜法(IMS)、紫外熒光——監(jiān)測總有機(jī)和無機(jī)堿，根據(jù)組分種類采用質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)質(zhì)譜法(PTR-MS)、離子遷移譜法、光腔衰蕩光譜法或化學(xué)發(fā)光法等；——監(jiān)測總有機(jī)物nC?-Ca、總有機(jī)酸，根據(jù)組分種類采用質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)質(zhì)譜法、在線氣相色譜-火焰離子化檢測法(onlineGC-FID)、在線氣相色譜-光離子化檢測法(onlineGC-PID)或在線氣相色譜-質(zhì)譜法(onlineGC-MS)等；——監(jiān)測活性硫化物(H?S等)采用質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)質(zhì)譜法、離子遷移譜法或紫外熒光法等；——監(jiān)測氮氧化合物采用化學(xué)發(fā)光法；——監(jiān)測臭氧等氧化物采用紫外光吸收法。6.2.4監(jiān)測分析儀器的校準(zhǔn)應(yīng)符合下列要求：-—固定式監(jiān)測分析儀配置零氣管導(dǎo)入零氣進(jìn)行零點(diǎn)漂移校準(zhǔn)，根據(jù)需要配置跨度氣體管導(dǎo)入跨度氣體進(jìn)行跨度標(biāo)定；——移動式監(jiān)測分析儀配置零氣發(fā)生裝置；——根據(jù)不同儀器的特點(diǎn)定期進(jìn)行校準(zhǔn)。5(資料性)潔凈室建設(shè)材料選用A.1潔凈室建設(shè)材料A.1.1釋放化學(xué)物的潔凈室建設(shè)材料潔凈室需要控制化學(xué)物釋放的產(chǎn)品和建設(shè)材料，包括但不限于以下內(nèi)容：——金屬壁板表面的油漆或涂料；——高架地板；——風(fēng)機(jī)過濾單元； 新風(fēng)處理機(jī)組；——柱子、墻面、地面和頂面上的環(huán)氧涂層；——鋼屋架表面的防火涂料和面涂料；——華夫筒地面上的防腐蝕環(huán)氧涂層；——華夫筒下表面的涂層；——華夫筒；——各類封堵材料和密封膠；——防火封堵材料； 超高效/高效空氣過濾器：——管道螺紋處的涂料；——管道支吊架表面的油漆或涂料；——管道和風(fēng)管的密封墊；——風(fēng)管密封膠；——電纜；——保溫材料；——配電及控制設(shè)備內(nèi)外表面的油漆或涂料；——?dú)夤駜?nèi)外表面的油漆或涂料；A.1.2潔凈室建設(shè)材料化學(xué)物釋出氣體參數(shù)建設(shè)材料化學(xué)物釋出氣體檢測采用VDI2083-17—2013、ASTME595—2015或其他供需雙方商定的標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的方法，由具有資質(zhì)的實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行檢測。具體參數(shù)見表A.1。6表A.1潔凈室建設(shè)材料化學(xué)物釋出氣體參數(shù)化學(xué)物種類單位質(zhì)量建設(shè)材料化學(xué)物釋出氣體量/(pg/g)測試材料接觸潔凈室內(nèi)空氣的面積占潔凈室凈面積的A>50%5%≤A≤50%A<5%總揮發(fā)性有機(jī)物(TVOC)+半揮發(fā)性有機(jī)物(SVOC)2000半揮發(fā)性有機(jī)物2500胺有機(jī)磷酸酯A.2潔凈室建設(shè)材料選用A.2.1可使用的建設(shè)材料下列產(chǎn)品和材料(并未包括所有產(chǎn)品及材料)的化學(xué)物散發(fā)量不會對潔凈室產(chǎn)生影響，可作為選擇參考：——聚四氟乙烯(PTFE);——固態(tài)聚苯乙烯(PSL)小球(作為高效過濾器測試粒子替代鄰苯二甲酸二辛酯顆粒);——三元乙丙橡膠(EPDM);——高彈性聚氨酯涂料；——環(huán)氧瓷漆；——玻纖高效過濾器濾料(低硼);——聚四氟乙烯高效過濾器或超高效過濾器濾料；——聚偏氟乙烯(PVDF);——玻璃；——不銹鋼制品；——鋁合金制品；——各種鋼材。A.2.2不建議使用的建設(shè)材料當(dāng)建設(shè)材料的化學(xué)物散發(fā)量會對潔凈室產(chǎn)生較大影響時，不建議應(yīng)用于潔凈室。7(資料性)電子工業(yè)潔凈室空氣化學(xué)污染控制系統(tǒng)電子工業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)中有關(guān)空氣化學(xué)污染控制的部分包括：新風(fēng)處理系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)、微環(huán)境控制系統(tǒng)以及移動式深層過濾器系統(tǒng)等。新風(fēng)處理系統(tǒng)用于去除室外空氣中化學(xué)污染物，重點(diǎn)是低濃度的硫氧化物、氮氧化物、臭氧、氨、揮發(fā)性有機(jī)物等。循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)用于控制潔凈室內(nèi)釋出的氣體，將空氣化學(xué)污染物降到一定濃度，該系統(tǒng)主要去除空氣中的中、低濃度的化學(xué)污染物。微環(huán)境控制系統(tǒng)將晶圓加工、儲存和運(yùn)輸時的局部環(huán)境與周圍潔凈室環(huán)境隔開，該局部區(qū)域設(shè)置空氣自循環(huán)系統(tǒng)或充氣系統(tǒng)，通過循環(huán)潔凈空氣(可配置化學(xué)過濾器)或充入高純度的氣體(如氮?dú)獾?,提供高質(zhì)量潔凈微環(huán)境。移動式深層過濾器系統(tǒng)用于去除工藝設(shè)備維修時某些局部的高濃度空氣化學(xué)污染氣體，以滿足空氣質(zhì)量要求。B.2電子工業(yè)潔凈室空氣化學(xué)污染的控制方案在潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)中，包括新風(fēng)處理機(jī)組配置化學(xué)過濾器，風(fēng)機(jī)過濾單元上安裝化學(xué)過濾器，以保持大環(huán)境、微環(huán)境中合格的空氣質(zhì)量。此外為了滿足各生產(chǎn)工序設(shè)備維修的需要，當(dāng)其他的系統(tǒng)不能經(jīng)濟(jì)合理地提供所需要的凈化處理時，設(shè)置移動式深層空氣化學(xué)過濾器，去除局部高濃度的污染氣體，避免高濃度的污染氣體進(jìn)入潔凈室循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)。微電子生產(chǎn)潔凈室空氣化學(xué)污染控制示意圖見圖B.1,平板顯示器件生產(chǎn)潔凈室空氣化學(xué)污染控制示意圖見圖B.2。中效過濾器化學(xué)過濾器-中效過濾器-初效過濾器—室外空氣沽凈室污染物)風(fēng)機(jī)過濾單元(ErU)工藝設(shè)備箱干表冷器(DCC)(控制空氣化學(xué)污染物)化學(xué)過濾器T.藝設(shè)備配置的一風(fēng)機(jī)過濾單元(FFL!)潔凈室(無硼區(qū))前區(qū)灰區(qū)化學(xué)過濾器晶圓下技術(shù)夾層工藝設(shè)備工藝設(shè)備4注1:圖中新風(fēng)處理機(jī)組省略其他功能段。注2:新風(fēng)處理機(jī)組采用板式密褶式化學(xué)過濾器時，高效過濾器前不設(shè)置中效過濾器。圖B.1微電子生產(chǎn)潔凈室空氣化學(xué)污染控制示意圖8中效過濾器化學(xué)過濾器中效過濾器風(fēng)機(jī)過濾單元(FFU)新風(fēng)處理機(jī)組工藝設(shè)路配置的風(fēng)機(jī)過濾單元存儲箱工藝設(shè)備一T表冷器(DCC)潔凈室(控制空氣化學(xué)污染物)化學(xué)過濾器下技術(shù)夾層工藝設(shè)備潔凈室注1:圖中新風(fēng)處理機(jī)組省略其他功能段。注2:風(fēng)機(jī)過濾單元配置的單層化學(xué)過濾器的阻力不大于30Pa。圖B.2平板顯示器件生產(chǎn)潔凈室空氣化學(xué)污染控制示意圖B.3新風(fēng)處理機(jī)組新風(fēng)處理機(jī)組功能段：新風(fēng)→進(jìn)風(fēng)段→初效過濾段→中效過濾段→一級加熱段→一級表冷段→加濕段→二級表冷段→二級加熱段→風(fēng)機(jī)段→兩級化學(xué)過濾段→中效過濾段→高效過濾段→出風(fēng)段→送新風(fēng)。新風(fēng)處理機(jī)組功能段示意圖見圖B.3。注1:目前微電子和平板顯示器件生產(chǎn)潔凈室凈化空調(diào)新風(fēng)處理機(jī)組除風(fēng)機(jī)段外，通常還有兩級加熱、兩級表冷、多注2:風(fēng)機(jī)的全壓通常>3000Pa,機(jī)外噪聲<80dB(A)。注3:加濕段采用淋水室時，對室外空氣中的化學(xué)污染物有一定的去除能力。但一些酸性物質(zhì)被淋水吸收后又很快地分解，達(dá)不到去除的目的，因此還需要設(shè)置化效率在70%以上，此時空氣的相對濕度<70%。注4:通過高效過濾器后的空氣潔凈度等級為5級。圖B.3新風(fēng)處理機(jī)組功能段示意圖(資料性)微電子工業(yè)潔凈室空氣化學(xué)污染物控制數(shù)據(jù)表為便于參考使用，本附錄摘錄了國際半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖(ITRS)于2015年、國際器件與系統(tǒng)路線圖(IRDS)于2022年發(fā)布的半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展路線圖中有關(guān)晶圓環(huán)境污染控制發(fā)展趨勢及預(yù)測的部分，局部有調(diào)整。晶圓環(huán)境污染控制數(shù)據(jù)表見表C.1和表C.2。表C.1國際半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖(ITRS)晶圓環(huán)境污染控制數(shù)據(jù)表(2015年)D動態(tài)隨機(jī)存取存儲器晶圓(DRAM)半節(jié)距/nm基于50%動態(tài)隨機(jī)存取存儲器晶圓半節(jié)距的臨界粒晶圓環(huán)境[例如潔凈室、機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)接口系統(tǒng)(SMIF)吊艙，晶圓傳送盒等]潔凈度級別空氣化學(xué)污染物光刻：接觸工具的入口點(diǎn)[10-12(體積分?jǐn)?shù))]總無機(jī)酸總有機(jī)酸待確定待確定待確定待確定待確定待確定待確定總堿丙二醇甲醚醋酸酯(PG-MEA)、乳酸乙酯揮發(fā)性有機(jī)物耐火材料化合物暴露的銅晶圓環(huán)境(晶圓傳送盒內(nèi)部)-10-12(體積分?jǐn)?shù))]總無機(jī)酸總有機(jī)酸總硫化物暴露的鋁晶圓環(huán)境(晶圓傳送盒內(nèi)部)[10-12(體積分?jǐn)?shù))]HCl表C.2國際器件與系統(tǒng)路線圖(IRDS)晶圓環(huán)境污染控制數(shù)據(jù)表(2022年)生產(chǎn)年份2021年2022年2023年2024年工藝邏輯“節(jié)點(diǎn)范圍”分類“5nm”“3nm”“3nm”“3nm”晶圓環(huán)境[例如潔凈室、機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)接口系統(tǒng)(SMIF)吊艙，晶圓傳送盒等]潔凈度級別空氣化學(xué)污染物柵極堆疊(柵極氧化物和柵極氧化物預(yù)清潔),進(jìn)口位置[10-12(體積分?jǐn)?shù))總無機(jī)酸(HF、HCl、HBr、HNO?、H?PO?、H?SO?、H?SO?,包括酸性氧化物SO?,不包括HNO?)4000(全體)/500(個體)2000(全體)/500(個體)2000(全體)/500(個體)2000(全體)/500(個體)有機(jī)和無機(jī)堿總量碳鏈長度大于6的總有機(jī)物[脂肪類、共軛類、酮類、醛類、酯類等，采用氣相色譜-質(zhì)譜(GC-MS)法測量濃度，使用正十六烷標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)曲線做對比測試，測量物的出峰時間晚于苯總有機(jī)化合物和含有P、B、As的無機(jī)化合物(摻雜劑)源極-漏極接觸模塊(溝槽蝕刻和外延),進(jìn)口位置[10-12(體積分?jǐn)?shù))]總無機(jī)酸(HF、HCl、HBr、HNO?、H?PO?、H?SO?、H?SO?,包括酸性氧化物SO?,不包括HNO?)有機(jī)和無機(jī)堿總量總有機(jī)酸碳鏈長度大于6的總有機(jī)物(脂肪類、共軛類、酮類、醛類、酯類等，采用氣相色譜-質(zhì)譜法測量濃度，使用正十六烷標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)曲線做對比測試，測量物的出峰時間晚于苯的)通孔(VIA)成型(通孔底部清潔和化學(xué)機(jī)械拋光后清潔)和金屬化，進(jìn)口位置[10-12(體積分?jǐn)?shù))]總無機(jī)酸(HF、HCl、HBr、HNO?、H?PO?、H?SO?、H?SO?,包括酸性氧化物SO?,不包括HNO?)200(全體)200(全體)200(全體)200(全體)總有機(jī)酸反應(yīng)性含硫化合物(如H?S)碳鏈長度大于6的總有機(jī)物(脂肪類、共軛類、酮類、醛類、酯類等，采用氣相色譜-質(zhì)譜法測量濃度，使用正十六烷標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)曲線做對比測試，測量物的出峰時間晚于苯的氧化劑(如臭氧)(資料性)潔凈室施工階段化學(xué)物濃度控制措施D.1概述隨著高科技產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，產(chǎn)品制造技術(shù)不斷提高，工藝生產(chǎn)環(huán)境對潔凈室內(nèi)的空氣化學(xué)物濃度提出了嚴(yán)格的控制要求?？諝饣瘜W(xué)污染物有潔凈室外部和內(nèi)部等多種來源，外部來源于環(huán)境大氣中的污染物；內(nèi)部來源于建設(shè)材料、人員、設(shè)備、工藝生產(chǎn)等。因此在潔凈室建設(shè)施工階段需要對空氣化學(xué)物濃度進(jìn)行控制。D.2施工前期建設(shè)材料控制施工前期建設(shè)材料控制采取下列措施：——潔凈室使用無揮發(fā)性或低揮發(fā)性的建設(shè)材料(建設(shè)材料的選用見附錄A);——對需要進(jìn)行化學(xué)物釋出氣體檢測的材料，提供檢測合格文件后使用；——控制化學(xué)物散發(fā)的重點(diǎn)管控材料如潔凈區(qū)地面環(huán)氧、鋼結(jié)構(gòu)防火涂料、防火封堵密封膠、管道及支架涂刷的油漆、保溫材料、聚氯乙烯(PVC)制品、電纜等。D.3施工初期控制施工初期控制采取下列措施：——此階段潔凈室沒有完全封閉，先進(jìn)行可能會大量散發(fā)空氣化學(xué)污染物的工作，如鋼結(jié)構(gòu)防火涂料及油漆涂刷、環(huán)氧地面施工等； 管道支架等的油漆涂刷，在潔凈室外加工區(qū)完成，靜置不少于兩天后再進(jìn)行現(xiàn)場安裝，并且在加工區(qū)內(nèi)安裝通風(fēng)設(shè)備進(jìn)行通風(fēng)，減低揮發(fā)性有機(jī)物(VOC)殘留。D.4施工中期控制施工中期控制采取下列措施?！M量減少油漆、環(huán)氧作業(yè)施工，如需施工則在室外提前預(yù)制，再到潔凈室內(nèi)安裝?！O(shè)置潔凈室物料進(jìn)入管制口，管制口附近設(shè)檢測室，檢測室設(shè)置通風(fēng)設(shè)施。檢測人員使用手持式揮發(fā)性有機(jī)物檢測儀在檢測室內(nèi)對進(jìn)入潔凈室的建設(shè)材料進(jìn)行揮發(fā)性有機(jī)物檢測，檢測時通風(fēng)機(jī)關(guān)閉，檢測儀進(jìn)氣口距離材料≤0.1m,材料總揮發(fā)性有機(jī)物濃度≤0.5×10-6(體積分?jǐn)?shù))。D.5施工中后期控制施工中后期控制采取下列措施：——潔凈室進(jìn)行通風(fēng)換氣，開啟新風(fēng)處理機(jī)組和排風(fēng)機(jī)，降低室內(nèi)揮發(fā)性有機(jī)物濃度；——如進(jìn)行有揮發(fā)性的施工作業(yè)，在潔凈室內(nèi)設(shè)置隔離加工間，設(shè)置通風(fēng)設(shè)施，避免揮發(fā)性有機(jī)物擴(kuò)散至潔凈室內(nèi)；——每天定點(diǎn)、定時檢測潔凈室內(nèi)揮發(fā)性有機(jī)物濃度，記錄數(shù)據(jù)并進(jìn)行分析，查找污染源。D