數(shù)字式靜電計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范

1數(shù)字式靜電計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范本規(guī)范適用于測(cè)量電流不小于0.1pA、電阻不大于10PΩ、電荷不小于0.1nC、電壓不大于1kV的數(shù)字式靜電計(jì)的校準(zhǔn)。也適用于其他數(shù)字儀表中超高阻、微電流、微電荷測(cè)量功能的校準(zhǔn)。2引用文件本規(guī)范引用了以下文件：JJF1023—1991常用電學(xué)計(jì)量名詞術(shù)語(yǔ)(試行)凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規(guī)范。3術(shù)語(yǔ)和計(jì)量單位3.1靜電計(jì)electrometer靜電計(jì)是一種基于靜電放大器測(cè)量原理，用于高阻、微電流、電荷量和高輸入阻抗電壓測(cè)量的多功能測(cè)量?jī)x器。數(shù)字式靜電計(jì)主要由高輸入阻抗、低輸入偏置電流的靜電放大器和不同的反饋網(wǎng)絡(luò)組成，通過開關(guān)切換構(gòu)成測(cè)量電路，將被測(cè)信號(hào)轉(zhuǎn)換成直流電壓，再經(jīng)過模數(shù)轉(zhuǎn)換器，變換成數(shù)字信號(hào)顯示。電阻測(cè)量一般是向被測(cè)電阻施加恒定的電壓，利用電流測(cè)量功能，實(shí)現(xiàn)電阻的測(cè)量；電流測(cè)量一般是利用高值反饋電阻，將微電流轉(zhuǎn)換成電壓；電荷測(cè)量是利用電容反饋，將電荷轉(zhuǎn)換成電壓；電壓測(cè)量是利用靜電放大器組成同相放大器，實(shí)現(xiàn)高輸入阻抗的電壓測(cè)量。數(shù)字式靜電計(jì)主要用于高值電阻、微弱電流、電荷及電壓的測(cè)試，如光電倍增管和電離室輸出的電流以及諸如半導(dǎo)體、質(zhì)譜儀中的微弱電流測(cè)量，也可用于表面絕緣電阻、材料電阻率的測(cè)量，以及靜電電荷和高內(nèi)阻源電壓的測(cè)量等。5計(jì)量特性5.1電壓測(cè)量示值誤差電壓測(cè)量最大允許誤差用公式(1)表示：a?——與讀數(shù)有關(guān)的誤差系數(shù)2Vx——靜電計(jì)測(cè)量顯示值，V;b?——與量程有關(guān)的固定誤差，V。5.2電流測(cè)量示值誤差電流測(cè)量最大允許誤差用公式(2)表示：△ImpE——電流測(cè)量最大允許誤差，A;a2與讀數(shù)有關(guān)的誤差系數(shù)；I?——靜電計(jì)測(cè)量顯示值，A;b?——與量程有關(guān)的固定誤差5.3電阻測(cè)量示值誤差電阻測(cè)量最大允許誤差用公式(3)表示：R—靜電計(jì)測(cè)面顯示值，2%5.4電荷測(cè)量示值誤差a?—與賣數(shù)有關(guān)的誤差系數(shù)；Q靜電小測(cè)量顯示值，C;b?與量程有關(guān)的固定誤差，C。5.5電壓輸出示值誤差電壓輸出最大允許誤差用公式(5)表示：△VoMPE——電壓輸出最大允許誤差，V;as——與設(shè)定值有關(guān)的誤差系數(shù)；V'靜電計(jì)輸出電壓設(shè)置值，V;b?——與量程有關(guān)的固定誤差，V。6校準(zhǔn)條件6.1環(huán)境條件a)環(huán)境溫度：20℃±2℃;3b)相對(duì)濕度：40%～60%;c)供電電源：電壓220V±22V,頻率：50Hz±1Hz;d)周圍無影響儀器正常工作的電磁干擾和機(jī)械振動(dòng)，并具有良好的接地。6.2測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備校準(zhǔn)用設(shè)備的測(cè)量范圍要覆蓋被校準(zhǔn)參數(shù)的測(cè)量范圍，應(yīng)具有足夠的分辨力、準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性，以保證由標(biāo)準(zhǔn)器、輔助設(shè)備及環(huán)境條件所引起的擴(kuò)展不確定度(k=2)不大于被校準(zhǔn)參數(shù)最大允許誤差絕對(duì)值的1/3。根據(jù)所采用的校準(zhǔn)方法，選擇以下可以滿足校準(zhǔn)要求的測(cè)量設(shè)備：a)直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源；b)直流標(biāo)準(zhǔn)電流源：源內(nèi)阻大于1GΩ;c)標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器；d)模擬超高值電阻器；e)標(biāo)準(zhǔn)電荷源；g)直流標(biāo)準(zhǔn)電壓表。上述標(biāo)準(zhǔn)源穩(wěn)定性要足夠穩(wěn)定，標(biāo)準(zhǔn)源在連接被校數(shù)字式靜電計(jì)后，應(yīng)仍能保證輸數(shù)字式靜電計(jì)校準(zhǔn)項(xiàng)目見表1。校準(zhǔn)項(xiàng)目1電壓測(cè)量示值誤差2電流測(cè)量示值誤差3電阻測(cè)量示值誤差4電荷測(cè)量示值誤差5電壓輸出示值誤差8.1校準(zhǔn)前準(zhǔn)備a)外觀檢查目視檢查被校數(shù)字式靜電計(jì)的外觀和附件，端鈕、開關(guān)、按鍵和調(diào)節(jié)旋鈕應(yīng)無松動(dòng)、損傷、脫落，各種功能標(biāo)志應(yīng)齊全正確。b)工作正常性檢查通電后開關(guān)、按鍵、調(diào)節(jié)旋鈕、顯示屏、測(cè)量?jī)x表和各種狀態(tài)指示燈(標(biāo)志)應(yīng)工c)預(yù)熱和調(diào)零4被校數(shù)字式靜電計(jì)應(yīng)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中放置不小于24h,以消除溫度均勻性的影響。校準(zhǔn)示值誤差前，校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備以及被校數(shù)字式靜電計(jì)，應(yīng)按各自說明書的要求進(jìn)行預(yù)熱。一般要求預(yù)熱不小于2h,使儀表示值達(dá)到穩(wěn)定。8.2.1校準(zhǔn)點(diǎn)選擇電壓測(cè)量功能在每個(gè)量程內(nèi)一般選取正向的10%、50%量程點(diǎn)和接近滿量程點(diǎn)，a)采用專用低噪聲同軸電纜，按照?qǐng)D1所示接線，并確保一點(diǎn)接地。不帶屏蔽保護(hù)的電壓測(cè)量，按照?qǐng)D1(a)接線；帶有屏蔽保護(hù)的電壓測(cè)量，按照?qǐng)D1(b)接線。直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源被校數(shù)字式靜電計(jì)(a)不帶屏蔽保護(hù)的電壓測(cè)量接線圖(b)帶有屏蔽保護(hù)的電壓測(cè)量接線圖b)選擇被校數(shù)字式靜電計(jì)電壓測(cè)量功能和電壓量程，直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源置零，被校c)依據(jù)校準(zhǔn)點(diǎn)選擇被校數(shù)字式靜電計(jì)和直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源的電壓量程，并設(shè)定直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源的輸出電壓值Vs?。d)啟動(dòng)直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源輸出，待輸出穩(wěn)定后，讀取并記錄被校數(shù)字式靜電計(jì)的直流電壓測(cè)量值V?。5e)被校數(shù)字式靜電計(jì)電壓測(cè)量示值誤差按公式(6)計(jì)算：△V?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電壓測(cè)量示值誤差，V;V?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電壓測(cè)量值，V;Vs?——直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源的電壓設(shè)置值，V。8.3電流測(cè)量示值誤差8.3.1校準(zhǔn)點(diǎn)選擇電流測(cè)量功能在每個(gè)量程內(nèi)一般選取正向的10%、50%量程點(diǎn)和接近滿量程點(diǎn)，以及負(fù)向的接近滿量程點(diǎn)。8.3.2直接標(biāo)準(zhǔn)電流源法a)采用專用低噪聲同軸電纜，按照?qǐng)D2所示接線。非浮置保護(hù)電流測(cè)量的一般接法，按照?qǐng)D2(a)接線；浮置保護(hù)電流測(cè)量按照?qǐng)D2(b)接線。被校數(shù)字式靜電計(jì)(a)非浮置保護(hù)電流測(cè)量接線圖被校數(shù)字式靜電計(jì)(b)浮置保護(hù)電流測(cè)量接線圖b)選擇被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量功能和最小量程，直流標(biāo)準(zhǔn)電流源置零，被校數(shù)字式靜電計(jì)清零。c)依據(jù)校準(zhǔn)點(diǎn)選擇被校數(shù)字式靜電計(jì)和直流標(biāo)準(zhǔn)電流源的電流量程，并設(shè)定直流標(biāo)準(zhǔn)電流源的輸出電流值I。。6d)啟動(dòng)直流標(biāo)準(zhǔn)電流源輸出，待輸出穩(wěn)定后，讀取并記錄被校數(shù)字式靜電計(jì)的直流電流測(cè)量值Iz?。e)被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量示值誤差按公式(7)計(jì)算：式中：△I?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量示值誤差，A;Iz?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量值，A;I??——直流標(biāo)準(zhǔn)電流源輸出的電流標(biāo)準(zhǔn)值，A。8.3.3間接標(biāo)準(zhǔn)電流源法a)采用專用低噪聲同軸電纜，按照?qǐng)D3所示接線，選用相應(yīng)電阻值R?。的標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器。b)選擇被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量功能和最小量程，直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源電壓置零，被校數(shù)字式靜電計(jì)清零。c)依據(jù)校準(zhǔn)點(diǎn)選擇被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量量程和直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源的電壓量程；并按式(8)設(shè)定直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源輸出電壓值V|:V1?=I?R??(8)V'。直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源輸出電壓設(shè)置值，V;I?——被校數(shù)字式靜電計(jì)校準(zhǔn)點(diǎn)電流值，A;R?s——標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器電阻值，Ω。d)啟動(dòng)直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源電壓輸出開關(guān)，待輸出穩(wěn)定后，讀取并記錄數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量值Iz?。e)被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量示值誤差按公式(9)計(jì)算：式中：△I?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量示值誤差，A;I??——被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量值，A。78.4電阻測(cè)量示值誤差8.4.1校準(zhǔn)點(diǎn)選擇電阻測(cè)量功能在每個(gè)量程一般選取1至3個(gè)點(diǎn)，優(yōu)先選取量程的10%、50%、100%點(diǎn)。8.4.2高值電阻器法a)選擇電流測(cè)量功能和最小的電流測(cè)量量程，進(jìn)行電流清零。b)按照?qǐng)D4所示接線，標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器按照?qǐng)D4(a)接線；模擬超高值電阻器按照?qǐng)D4(b)接線。c)選擇被校數(shù)字式靜電計(jì)電阻測(cè)量功能，依據(jù)校準(zhǔn)點(diǎn)選擇被校數(shù)字式靜電計(jì)的測(cè)試電壓和電阻量程；并設(shè)置相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器或模擬超高值電阻器的電阻值R2sd)啟動(dòng)數(shù)字式靜電計(jì)輸出，待輸出穩(wěn)定后，讀取并記錄被校數(shù)字式靜電計(jì)的直流電阻測(cè)量值R。e)被校數(shù)字式靜電計(jì)電阻測(cè)量示值誤差按公式(10)計(jì)算：△R——被校數(shù)字式靜電計(jì)電阻測(cè)量示值誤差，Ω;R?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電阻測(cè)量值，Ω;8R?s——標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器(或者模擬超高值電阻器)的實(shí)際電阻值，Ω。8.5電荷測(cè)量示值誤差8.5.1校準(zhǔn)點(diǎn)選擇電荷測(cè)量功能在每個(gè)量程內(nèi)正向選取3至5個(gè)點(diǎn)，優(yōu)先選取量程的10%、50%、100%點(diǎn)，反向選取接近滿量程點(diǎn)。8.5.2直接標(biāo)準(zhǔn)電荷源法a)在校準(zhǔn)前應(yīng)對(duì)被校數(shù)字式靜電計(jì)進(jìn)行放電，消除內(nèi)部已積累電荷引起的誤差。b)選擇被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量功能和被校量程，做開路清零。c)采用專用低噪聲同軸電纜，按照?qǐng)D5所小接線d)依據(jù)校準(zhǔn)點(diǎn)選擇被校數(shù)字式靜電計(jì)和標(biāo)準(zhǔn)電荷源的量程；并設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)電荷源的輸出電荷值Qs。e)打開標(biāo)誰電荷源輸出開關(guān)，待輸出穩(wěn)定后，快速讀取并記錄數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量值Qx?:f)被校數(shù)字式靜電計(jì)電簡(jiǎn)測(cè)量示值誤差按公式(11)計(jì)算：式中：△Q被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量示值誤差，C;Q?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量值，C;Q?——標(biāo)準(zhǔn)電荷源輸出電荷值。C,8.5.3間接標(biāo)準(zhǔn)電荷源法間接標(biāo)準(zhǔn)電荷源法是以直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源和標(biāo)準(zhǔn)電容器作為標(biāo)準(zhǔn)。a)在校準(zhǔn)前應(yīng)對(duì)被校數(shù)字式靜電計(jì)進(jìn)行放電，消除內(nèi)部已積累的電荷引起的誤差。b)采用專用低噪聲同軸電纜，按照?qǐng)D6所示接線。c)依據(jù)校準(zhǔn)點(diǎn)選擇被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量量程和直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源的電壓量程；并按式(12)設(shè)定直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源輸出電壓值V2。:Q——被校數(shù)字式靜電計(jì)校準(zhǔn)點(diǎn)電荷值，C;Cs——標(biāo)準(zhǔn)電容器電容值，F(xiàn);9d)啟動(dòng)直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源電壓輸出開關(guān)，待輸出穩(wěn)定后，快速讀取并記錄數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量值Q2。圖6間接標(biāo)準(zhǔn)電荷源法電荷測(cè)量示值誤差校準(zhǔn)接線圖e)被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量示值誤差按公式(13)計(jì)算：注：在滿足耐壓的情況下，電容盡量選小。電壓輸出功能在每個(gè)量程內(nèi)一般選取正向的10%、50%量程點(diǎn)、接近滿量程點(diǎn)a)按照?qǐng)D7所示接線。圖7電壓輸出示值誤差校準(zhǔn)接線圖c)設(shè)定被校數(shù)字式靜電計(jì)的輸出電壓為V?,待輸出穩(wěn)定后，讀取并記錄直流標(biāo)準(zhǔn)電壓表測(cè)得電壓值V。d)被校數(shù)字式靜電計(jì)電壓輸出示值誤差按公式(14)計(jì)算：Vz?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電壓輸出值，V;V?——直流標(biāo)準(zhǔn)電壓表電壓測(cè)量值，V。9校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)9.1校準(zhǔn)證書校準(zhǔn)結(jié)果應(yīng)在棱準(zhǔn)證書上反映，校準(zhǔn)證書應(yīng)至少倉(cāng)括以下信息：b)實(shí)驗(yàn)室名稱和地址；c)進(jìn)律校準(zhǔn)的地點(diǎn)(如果與實(shí)驗(yàn)室的地址不同);d)語(yǔ)書的唯一程標(biāo)識(shí)(如編號(hào))。每頁(yè)及總頁(yè)數(shù)的標(biāo)識(shí)；e)客戶的名稱和地f)被校對(duì)象的描述和明確標(biāo)識(shí)；h)如果與校準(zhǔn)結(jié)果的行效性和能用有關(guān)時(shí)，應(yīng)對(duì)被校樣品的抽樣程序進(jìn)行說明；i)膠準(zhǔn)所依據(jù)的接木規(guī)范的標(biāo)識(shí)，包括名稱及民要k)校準(zhǔn)環(huán)境的描述1)校準(zhǔn)結(jié)果及其測(cè)量不確定度的說明；m)對(duì)校準(zhǔn)規(guī)范的偏離的說明；n)校準(zhǔn)證書和校準(zhǔn)報(bào)告簽發(fā)人的簽名、職務(wù)或等效標(biāo)識(shí)；o)校準(zhǔn)結(jié)果僅對(duì)破校對(duì)象有效的聲明；p)未經(jīng)實(shí)驗(yàn)室書面批準(zhǔn)。不得部分復(fù)制證書的聲明。校準(zhǔn)原始記錄格式見附錄B,校準(zhǔn)證書(報(bào)告)內(nèi)頁(yè)格式見附錄C。9.2數(shù)據(jù)修約校準(zhǔn)數(shù)據(jù)應(yīng)先計(jì)算，后修約。數(shù)據(jù)修約應(yīng)采用四舍五入及偶數(shù)法則進(jìn)行，末位數(shù)修約到被校數(shù)字式靜電計(jì)相應(yīng)參數(shù)最大允許誤差絕對(duì)值的1/10位。10復(fù)校時(shí)間間隔建議數(shù)字式靜電計(jì)的復(fù)校時(shí)間間隔為1年。送校單位也可根據(jù)實(shí)際使用情況，自主決定復(fù)校時(shí)間間隔。數(shù)字式靜電計(jì)校準(zhǔn)不確定度評(píng)定示例數(shù)字式靜電計(jì)的校準(zhǔn)項(xiàng)目有5項(xiàng)，其中電壓測(cè)量、電流測(cè)量、電阻測(cè)量、電荷量測(cè)量為主要參數(shù)，本附錄以10V電壓測(cè)量示值誤差、10nA電流測(cè)量示值誤差、10MΩ電阻測(cè)量示值誤差和10nC電荷測(cè)量示值誤差的校準(zhǔn)不確定度評(píng)定為例，說明數(shù)字式靜電計(jì)各校準(zhǔn)項(xiàng)目的校準(zhǔn)不確定度評(píng)定程序。A.2電壓測(cè)量示值誤差校準(zhǔn)不確定度評(píng)定A.2.1測(cè)量模型以標(biāo)準(zhǔn)電壓源法校準(zhǔn)數(shù)字式靜電計(jì)電壓測(cè)量功能示值誤差見8.2,測(cè)量模型可用△V?=Vx?-V?△V?——被校數(shù)字式靜電計(jì)直流電壓測(cè)量示值誤差，V;V——直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源輸出的直流電壓值，V;Vx?——被校數(shù)字式靜電計(jì)直流電壓測(cè)量值，V。各輸入量之間不相關(guān)，不確定度傳播可用公式(A.2)表示。uc(△V?)——被校數(shù)字式靜電計(jì)直流電壓測(cè)量示值誤差的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度，V;u(Vs?)——直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，V;u(V?)——被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，V。A.2.2標(biāo)準(zhǔn)不確定度來源A.2.2.1u(V??)的來源直流標(biāo)準(zhǔn)電壓源示值誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(V)。A.2.2.2u(Vz?)的來源a)被校數(shù)字式靜電計(jì)直流電壓測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Vz?)b)被校數(shù)字式靜電計(jì)直流電壓測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Vz?)。A.2.3標(biāo)準(zhǔn)不確定度的評(píng)定A.2.3.1標(biāo)準(zhǔn)電壓源引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(V?)按B類不確定度進(jìn)行評(píng)定。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)電壓源10V技術(shù)指標(biāo)，其最大允許誤差為 ±0.000033V,則分散區(qū)間的半寬度為a=0.000033V,為均勻分布，包含因子k= √3,則標(biāo)準(zhǔn)電壓源最大允許誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：A.2.3.2被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Vx?)a)被校數(shù)字式靜電計(jì)直流電壓測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Vz?)測(cè)量直流電壓10V點(diǎn)，被校數(shù)字式靜電計(jì)電壓測(cè)量分辨力為0.0001V,按B類進(jìn)行評(píng)定，區(qū)間半寬度為a=0.00005V,為均勻分布，包含因子k=√3,則被校數(shù)字式靜電計(jì)電壓測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：b)被校數(shù)字式靜電計(jì)直流電壓測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Vxi)重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，采用A類評(píng)定，通過多次重復(fù)測(cè)量，經(jīng)計(jì)算得到。多次重復(fù)測(cè)量結(jié)果如表A.1所示，用貝塞爾公式(A.3)計(jì)算實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差：Vx?——被校數(shù)字式靜電計(jì)直流電壓多次測(cè)量值的平均值，V;V?i;——被校數(shù)字式靜電計(jì)直流電壓測(cè)量第i次測(cè)量值，V;n重復(fù)測(cè)量的次數(shù)，此處n=10。根據(jù)表A.1中的數(shù)據(jù)，由公式(A.3)計(jì)算出實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差表A.1數(shù)字式靜電計(jì)直流電壓10V點(diǎn)重復(fù)性測(cè)量數(shù)據(jù)123456789電壓示值/V校準(zhǔn)時(shí)取單次測(cè)量結(jié)果，故測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：u?(Vx?)=s(Vx?)=1.0×10c)被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Vz?)為了避免重復(fù)計(jì)算，重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度和分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，取其中較大值作為被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量。u?(V)<uz(Vx?),故被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(V?):u(V?)=u?(Vx?)=1.0×1A.2.4不確定度分量一覽表不確定度分量見表A.2。分布類型標(biāo)準(zhǔn)不確定度B均勻A正態(tài)A.2.5合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度各不確定度分量之間不相關(guān)，故合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度：ue(△V?)=√c2(V??)u2(Vl)+c2(Va)u2(V)=1A.2.6擴(kuò)展不確定度取包含因子k=2,則擴(kuò)展不確定度為：U(△V?)=k×ue(△V?)=2.0×1A.3電流測(cè)量示值誤差校準(zhǔn)不確定度的評(píng)定A.3.1直接標(biāo)準(zhǔn)電流源法的不確定度評(píng)定A.3.1.1測(cè)量模型以標(biāo)準(zhǔn)電流源法校準(zhǔn)數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量功能示值誤差見8.3.1,測(cè)量模型可用△I?=Iz?-Is?△I?——被校數(shù)字式靜電計(jì)直流電流測(cè)量示值誤差，A;I?——直流標(biāo)準(zhǔn)電流源輸出的直流電流標(biāo)準(zhǔn)值(上級(jí)校準(zhǔn)結(jié)果),A;I?——被校數(shù)字式靜電計(jì)直流電流測(cè)量值，A。各輸入量之間不相關(guān)，不確定度傳播可用公式(A.5)表示。u2(△I?)=c2(Iz?)u2(Iz?)+c2(I??)u2ue(△I?)——被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量示值誤差的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度，A;u(I??)——標(biāo)準(zhǔn)電流源引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，A;u(I??)——被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，A。A.3.1.2標(biāo)準(zhǔn)不確定度來源A.3.1.2.1u(Is?)的來源a)標(biāo)準(zhǔn)電流源上級(jí)溯源引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(I);b)標(biāo)準(zhǔn)電流源年穩(wěn)定性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Ia)。A.3.1.2.2u(I??)的來源a)被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(I??);b)被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Iz?)。 A.3.1.3標(biāo)準(zhǔn)不確定度的評(píng)定 A.3.1.3.1標(biāo)準(zhǔn)電流源引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Is?)a)標(biāo)準(zhǔn)電流源上級(jí)溯源引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(I?)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)電流源校準(zhǔn)證書，10nA校準(zhǔn)點(diǎn)校準(zhǔn)不確定度為0.0026nA,k=2,則標(biāo)準(zhǔn)電流源引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：b)標(biāo)準(zhǔn)電流源年穩(wěn)定性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(I??)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)電流源10nA校準(zhǔn)點(diǎn)多年校準(zhǔn)結(jié)果，其年最大變化為0.0030nA,為均勻分布處理，包含因子k=√3,標(biāo)準(zhǔn)電流源年穩(wěn)定性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：A.3.1.3.2被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Iz?)a)被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Ix?)根據(jù)說明書可知，被校數(shù)字式靜電計(jì)測(cè)量10nA,分辨力為0.0001nA,按B類進(jìn)行評(píng)定，區(qū)間半寬度為a=0.00005nA,為均勻分布，包含因子k=√3,則被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：b)被校數(shù)字式靜電計(jì)直流電流測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度uz(Ix?)重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，采用A類評(píng)定，通過多次重復(fù)測(cè)量，經(jīng)計(jì)算得到。多次重復(fù)測(cè)量結(jié)果如表A.3所示，用貝塞爾公式(A.6)計(jì)算實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差：I??——被校數(shù)字式靜電計(jì)直流電流多次測(cè)量值的平均值，nA;Ix?——被校數(shù)字式靜電計(jì)直流電流測(cè)量第i次測(cè)量值，nA;n——重復(fù)測(cè)量的次數(shù)，此處n=10。123456789電流示值/nA根據(jù)表A.3中的數(shù)據(jù)，由公式A.6計(jì)算出實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差：校準(zhǔn)時(shí)取單次測(cè)量結(jié)果，故測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：c)被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Ia?):為了避免重復(fù)計(jì)算，重復(fù)性引入的不確定度和分辨力引入的不確定度，取其中較大值作為被校數(shù)字式靜電計(jì)引入標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量。u?(I)<u?(Iz?),故被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Iz?):u(Ix?)=u?(Ix?)=0.89×10~A.3.1.4不確定度分量一覽表不確定度分量見表A.4。分布類型標(biāo)準(zhǔn)不確定度B正態(tài)2B均勾A正態(tài)A.3.1.5合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度各不確定度分量之間不相關(guān)，故合成標(biāo)誰不確定度A.3.1.6擴(kuò)展不確定度取包含因子k=2,則護(hù)展不確定度A.3.2間接標(biāo)準(zhǔn)電流源法的不確定度評(píng)質(zhì)A.3.2.1測(cè)量模型△I?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量示值誤差，A;Ix?——被校數(shù)字武靜電計(jì)電流測(cè)量值，A;VI,——標(biāo)準(zhǔn)電壓源提供的電壓標(biāo)準(zhǔn)值，V;R?s——標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器電阻值，2。各輸入量之間互不相關(guān)，不確定度傳播可用公式(A.8)表示：u2(△I?)=c2(I?)u2(Ix?)+c2(V)?)u2(V|s)+c2(R??)u,,ue(△I?)——被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量示值誤差的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度，A;u(Iz?)——被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，A;u(V)?)——標(biāo)準(zhǔn)電壓源引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，V;u(R?s)——標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，Ω。A.3.2.2標(biāo)準(zhǔn)不確定度來源A.3.2.2.1u(V|?)的來源標(biāo)準(zhǔn)電壓源最大允許誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定u(V1?)。A.3.2.2.2u(R?s)的來源a)標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器示值誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Rls);b)標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器上級(jí)溯源引入的不確定度u?(R?s)。A.3.2.2.3u(Iz?)的來源a)被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Ix?);b)被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Ix?)。A.3.2.3標(biāo)準(zhǔn)不確定度的評(píng)定A.3.2.3.1標(biāo)準(zhǔn)電壓源引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(V1。)按B類進(jìn)行評(píng)定。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)電壓源1V技術(shù)指標(biāo)，其最大允許誤差為±0.0000060V,則區(qū)間半寬度為a=0.0000060V,為均勻分布，包含因子k=√3,則標(biāo)準(zhǔn)電壓源最大允許誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：A.3.2.3.2標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(R??)a)標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器示值誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(R?s)按B類進(jìn)行評(píng)定。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器100MΩ技術(shù)指標(biāo)，其最大允許誤差為±0.02MΩ,則分散區(qū)間的半寬度為a=0.02MΩ,為均勻分布，包含因子k=√3,則標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器最大允許誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：b)標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器上級(jí)溯源引入的不確定度u?(R?s)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器校準(zhǔn)證書可知，標(biāo)稱值為100MΩ的電阻器上級(jí)校準(zhǔn)相對(duì)不確定度為U,=0.01%,k=2,故標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器溯源引入的不確定度為：A.3.2.3.3被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Ix?)a)被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Iz)根據(jù)說明書可知，被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量10nA,分辨力為0.0001nA,按B類進(jìn)行評(píng)定，區(qū)間半寬度為a=0.00005nA,為均勻分布，包含因子k=√3,則被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：b)被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Iz?)重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，采用A類評(píng)定，通過多次重復(fù)測(cè)量，經(jīng)計(jì)算得到。多次重復(fù)測(cè)量結(jié)果如表A.5式中：所示，用貝塞爾公式(A.9)計(jì)算實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差：I?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電流多次測(cè)量值的平均值，nA;Iz——被校數(shù)字式靜電計(jì)電流測(cè)量值第i次測(cè)量值，nA;n——重復(fù)測(cè)量的次數(shù)，此處n=10。1235789電流示值/nA根據(jù)表A.5中的數(shù)據(jù)，由公式(A.9)計(jì)算出實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差：s(Iz?)=0.89×10-4校準(zhǔn)時(shí)取單滾測(cè)量結(jié)果，故測(cè)量重復(fù)性引人的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定底xeL?):不確定度分量一覓表A不確定度分量見表A.6標(biāo)準(zhǔn)不確定度B均守3標(biāo)準(zhǔn)高值電阻器的示值誤差引么均勻2A正態(tài)A.3.2.5合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度各不確定度分量之間不相關(guān)，故合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度：A.3.2.6擴(kuò)展不確定度取包含因子k=2,則擴(kuò)展不確定度為：中A.4電阻測(cè)量示值誤差校準(zhǔn)不確定度的評(píng)定中A.4.1測(cè)量模型式中：△R——被校數(shù)字式靜電計(jì)電阻測(cè)量示值誤差，MΩ;R?s——高值電阻器提供的電阻標(biāo)準(zhǔn)值，MQ;R?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電阻測(cè)量值，MΩ。各輸入量之間不相關(guān)，不確定度傳播可用公式(A.11)表示。u2(△R)=c2(R)u2(Rx)+c2(R?s)u2ue(△R)——被校數(shù)字式靜電計(jì)電阻測(cè)量示值誤差的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度，MΩ;u(R??)——高值電阻器引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，MΩ;u(R?)——被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，MΩ。A.4.2標(biāo)準(zhǔn)不確定度來源A.4.2.1u(R?s)的來源高值電阻器最大允許誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Rzs)。A.4.2.2u(R?)的來源a)被校數(shù)字式靜電計(jì)電阻測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(R);b)被校數(shù)字式靜電計(jì)電阻測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(R)。A.4.3標(biāo)準(zhǔn)不確定度的評(píng)定A.4.3.1高值電阻器引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(R?。)按B類進(jìn)行評(píng)定。根據(jù)高值電阻器10MQ技術(shù)指標(biāo)，其最大允許誤差為±0.0002MΩ,區(qū)間的半寬度為a=0.0002MΩ,為均勻分布，包含因子k=√3,則高值電阻器引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：A.4.3.2被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(R)a)被校數(shù)字式靜電計(jì)電阻測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Rx)根據(jù)說明書可知，被校數(shù)字式靜電計(jì)電阻測(cè)量分辨力為0.001MΩ,按B類進(jìn)行評(píng)定，區(qū)間半寬度為a=0.0005MΩ,為均勻分布，包含因子k=√3,則被校數(shù)字式靜電計(jì)電阻測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為： b)被校數(shù)字式靜電計(jì)電阻測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(R) 在重復(fù)性測(cè)量條件下，被校靜電計(jì)連續(xù)10次測(cè)量10MΩ高值電阻器，得測(cè)量數(shù)據(jù)如表A.7所示，用貝塞爾公式(A.12)計(jì)算實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差：式中：R?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電阻多次測(cè)量值的平均值，MQ;R——被校數(shù)字式靜電計(jì)電阻測(cè)量第i次測(cè)量值，MQ;n——重復(fù)測(cè)量的次數(shù)，此處n=10。123456789電阻示值/MΩ根據(jù)表A.7中的數(shù)據(jù)，由公式(A.12)計(jì)算出實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差：s(R)=0.57×10-3MΩ校準(zhǔn)時(shí)取單次測(cè)量結(jié)果，故測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：uz(R)=s(R)=0.57×10-c)被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(R):為了避免重復(fù)計(jì)算，重復(fù)性引入的不確定度和分辨力引入的不確定度，取其中較大值作為被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量。u?(Rx)<u?(Rx),故被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Ra):不確定度分量一覽表不確定度分量見表A.8。分布類型標(biāo)準(zhǔn)不確定度允許誤差引入B均勻A正態(tài)A.4.5合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度各不確定度分量之間不相關(guān)，故合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度：ue(△R)=√c2(R?)u2(R?)+c2(R?s)u2(R?s)=0擴(kuò)展不確定度取包含因子k=2,則擴(kuò)展不確定度為：A.5電荷測(cè)量示值誤差校準(zhǔn)不確定度評(píng)定A.5.1直接標(biāo)準(zhǔn)電荷源法A.5.1.1測(cè)量模型以標(biāo)準(zhǔn)電荷源法直接校準(zhǔn)數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量示值誤差見8.5.2,測(cè)量模型可用式(A.13)表示：△Q?=Q?-Q.式中：△Q?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量值示值誤差，C;Qs——標(biāo)準(zhǔn)電荷源提供的電荷標(biāo)準(zhǔn)值，C;Qxn——被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量值，C。各輸入量之間不相關(guān)，不確定度傳播可用式(A.14)表示：u2(△Q?)=c2(Qx?)u2(Qx?)+c2(Q?)u2式中：,,uc(△Q?)——被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量示值誤差的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度，C;u(Q?)——標(biāo)準(zhǔn)電荷源引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，C;u(Qx?)——被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，C。A.5.1.2標(biāo)準(zhǔn)不確定度來源A.5.1.2.1u(Qs)的來源標(biāo)準(zhǔn)電荷源最大允許誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Qs)。A.5.1.2.2u(Qx?)的來源a)被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Qx?);b)被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Qx?)。A.5.1.3標(biāo)準(zhǔn)不確定度的評(píng)定A.5.1.3.1標(biāo)準(zhǔn)電荷源引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Q。)根據(jù)說明書可知，標(biāo)準(zhǔn)電荷源的最大允許誤差為±0.045nC,按B類進(jìn)行評(píng)定，區(qū)間半寬度為a=0.045nC,為均勻分布，包含因子k=√3,則標(biāo)準(zhǔn)電荷源引人的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：A.5.1.3.2被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Qx?)a)被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Qx)被校數(shù)字式靜電計(jì)測(cè)量10nC電荷的分辨力為0.1pC。按B類進(jìn)行評(píng)定，則分散區(qū)間的半寬度為a=0.05pC,為均勻分布，包含因子k=√3,則被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為： b)被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Qx?) 重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，采用A類評(píng)定，通過多次重復(fù)測(cè)量，經(jīng)計(jì)算得到。多次重復(fù)測(cè)量結(jié)果如表A.9所示，用貝塞爾公式(A.15)計(jì)算實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差：Qx?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷多次測(cè)量值的平均值，nC;Qxu——被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量第i次測(cè)量值，nC;n——重復(fù)測(cè)量的次數(shù)，此處n=10。123456789根據(jù)表A.9中的數(shù)據(jù)，由公式(A.15)計(jì)算出實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差：校準(zhǔn)時(shí)取單次測(cè)量結(jié)果，故測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為c)被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Qx)為了避免重復(fù)計(jì)算，重復(fù)性引入的不確定度和分辨力引入的不確定度，取其中較大值作為被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量。u?(Qx?)<u?(Qx?),故被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Qx):u(Qxi)=uz(Qx?)=1.0×1不確定度分量一覽表不確定度分量見表A.10。分布類型標(biāo)準(zhǔn)不確定度電荷源的最大允許誤差引入B均勻A正態(tài)A.5.1.5合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度各不確定度分量之間不相關(guān)，故合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度：ue(△Q?)=√c2(Q)u2(Qx?)+c2(Q.)u2(Q.)=0擴(kuò)展不確定度取包含因子k=2,則擴(kuò)展不確定度為：A.5.2間接標(biāo)準(zhǔn)電荷源法校準(zhǔn)不確定度評(píng)定A.5.2.1測(cè)量模型以間接標(biāo)準(zhǔn)電荷源法校準(zhǔn)數(shù)字式靜電計(jì)電荷量測(cè)量示值誤差見8.5.3,測(cè)量模型可用式(A.16)表示：△Q?=Qx?-C?V'式中：△Q?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷量測(cè)量示值誤差，nC;Qr?——被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷量測(cè)量值，nC;V2——標(biāo)準(zhǔn)電壓源提供的電壓標(biāo)準(zhǔn)值，V;Cs——標(biāo)準(zhǔn)電容值，nF。各輸入量之間互不相關(guān)，不確定度傳播可用式(A.17)表示：u2(△su(Qr?)——被校數(shù)字式靜電計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，nC;u(C?)——標(biāo)準(zhǔn)電容引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，nF;u(V?)——標(biāo)準(zhǔn)電壓源引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，V。A.5.2.2標(biāo)準(zhǔn)不確定度來源A.5.2.2.1u(V2?)的來源標(biāo)準(zhǔn)電壓源最大允許誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(V2。)。A.5.2.2.2u(C?)的來源標(biāo)準(zhǔn)電容年變化引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(Cs)。A.5.2.2.3u(Qx?)的來源a)被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Qxz);b)被校數(shù)字式靜電計(jì)電荷測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u?(Qx?),A.5.2.3標(biāo)準(zhǔn)不確定度的評(píng)定A.5.2.3.1標(biāo)準(zhǔn)電壓源引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(V2)按B類進(jìn)行評(píng)定。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)電壓源10V技術(shù)指標(biāo)，其最大允許誤差為±0.000033V,則分散區(qū)間的半寬度為a=0.000033V,為均勻分布，包含因子k=√3,則標(biāo)準(zhǔn)電壓源最大允許誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：A.5.2.3.2標(biāo)準(zhǔn)電容引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(C,)按B類進(jìn)行評(píng)定。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)電容1nF技術(shù)指標(biāo)，其年變化為±0.001nF,則分散區(qū)間的半寬度為a=0.001nF,為均勻分布，包含因子k=√3,則標(biāo)準(zhǔn)電容引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：A.5.2.3.3被校數(shù)字式靜電計(jì)引