氪氣 編制說明

2根據(jù)國(guó)標(biāo)委發(fā)〔2022〕10號(hào)文——《國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)關(guān)于開展推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)復(fù)審工作的通知》，國(guó)標(biāo)委下達(dá)了16項(xiàng)氣體標(biāo)準(zhǔn)的復(fù)審項(xiàng)目2022年2月，氣標(biāo)委秘書處首先對(duì)復(fù)審標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)基本信息、標(biāo)準(zhǔn)的時(shí)效性、標(biāo)展了評(píng)估，并對(duì)初步的復(fù)審意見進(jìn)行了討論，最終形成了標(biāo)準(zhǔn)的復(fù)審結(jié)論建議。2022人，贊成率為99%～100%（具體的投票情況詳），34二、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)編制原則、主要內(nèi)容及其確定依據(jù)（二）本標(biāo)準(zhǔn)（GB/T5829-XXXX）與GB/T5829-2006相比，主要變化本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T5829—2006《氪氣》，與GB5829—2006相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動(dòng)外，主要技術(shù)變化如下：）；——增加了組批規(guī)則（見5.1）；——增加了采樣規(guī)定（見5.2，2006年版的4.1.2）；——增加了管道輸送的氪氣的抽樣規(guī)則（見5.3.4）；——更改了氪氣純度的計(jì)算方法（見6.1，2006年版的4.2）；——更改了氪氣的檢驗(yàn)規(guī)則（見第7章，2006年版的4.1）；——增加了標(biāo)簽要求（見8.2）；——增加了隨行文件要求（見8.3）；——更改了包裝、充裝、運(yùn)輸、貯存的規(guī)定（見第9章，GB/T5829—2006的第5）；——增加了關(guān)于氪氣的安全信息（見附錄A）。（三）標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿與草案稿相比，主要變化1.規(guī)范性引用文件根據(jù)第3章及以后的規(guī)范性引用文件的情況，增加以下3個(gè)規(guī)范性引用文件：——GB/T4946氣相色譜法術(shù)語——GB/T14850氣體分析詞匯——GB/T27550氣瓶充裝站安全技術(shù)條件（1）氧、氬指標(biāo)分開規(guī)定；增加5.5N、6N氪氣的技術(shù)指標(biāo)；甲烷含量改為總碳（2）修改后的表1高純氪5氮(N2)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6））氙氣（Xe）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6（2）增加了管道輸送的氪氣的抽樣規(guī)則，“對(duì)于管道輸送的純氪、高純氪，每1h抽樣檢驗(yàn)一次，或供需雙方協(xié)商抽樣頻次?！薄皒1——氮?dú)夂浚柗謹(jǐn)?shù)），10-6；），），6），），），），），），），），（2）公式（2）修改為：“x=100-x1110-4”。（1）6.2條的標(biāo)題修改為“氮?dú)夂?、氧氣含量、氬氣含量、氫氣含量、氙氣含量、氟化物含量、一氧化碳含量、二氧化碳含量、碳?xì)浠衔锖康臏y(cè)定”，即將草案稿中的“（氧氣+氬氣）含量”修改為“氧氣含量、氬氣含量”字樣，6.3中“一氧化碳、二氧化碳含量、甲烷含量的測(cè)定”刪除，采用GB/T28726方法測(cè)定，合并到6.2預(yù)分離色譜柱Ⅰ：柱長(zhǎng)約4m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝高分子聚合物（乙基苯乙）；色譜柱Ⅲ：柱長(zhǎng)約0.6m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，）；色譜柱Ⅳ：柱長(zhǎng)約0.6m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，）；色譜柱Ⅴ：柱長(zhǎng)約4m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝高分子聚合物（乙基苯乙烯和二7（1）B.1.3增加“UN號(hào)：【壓縮氪】1056；【冷凍液態(tài)氪】1970”（-153℃)。不燃，無特殊燃爆特性?！表?xiàng)目指標(biāo)氪氣%99.998氧氣≤2.0ppmv氮?dú)狻?0.0ppmv一氧化碳≤1.0ppmv8二氧化碳≤1.0ppmv≤1.0ppmv水≤4.0ppmv氬氣≤1.0ppmv氙氣≤10.0ppmv氦氣≤1.0ppmv氫氣≤1.0ppmv項(xiàng)目指標(biāo)氪氣%99.999氫氣≤0.5ppmv氧+氬≤1.5ppmv氮?dú)狻?.0ppmvTHC≤0.2ppmv氙氣≤2.0ppmv二氧化碳≤0.4ppmv一氧化碳≤0.3ppmv四氟化碳≤1.0ppmv水≤2.0ppmv高純氪心心氮(N2)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-69氧化亞氮（N2O）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/1——————————氙氣（Xe）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6————————————六氟化硫（SF6）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6——————————六氟乙烷（C2F6）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6——————————四氟化碳（CF4）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6——1111高純氪純氪一等品合格品氮(N2)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6））氙氣（Xe）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6高純氪氮(N2)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6））氙氣（Xe）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6x=x+x+x+x+x+x+式中：x1——氮?dú)夂浚柗謹(jǐn)?shù)），10-6；x2——氧氣含量（摩爾分?jǐn)?shù)），10-6；x3——?dú)鍤夂浚柗謹(jǐn)?shù)），10-6；x4——?dú)錃夂浚柗謹(jǐn)?shù)），10-6；x5——一氧化碳含量（摩爾分?jǐn)?shù)），10-6；x6——二氧化碳含量（摩爾分?jǐn)?shù)），10-6；x7——碳?xì)浠衔铮ㄒ约淄橛?jì)）含量（摩爾分?jǐn)?shù)），10-6；x8——水分含量（摩爾分?jǐn)?shù)），10-6；x9——氙氣含量（摩爾分?jǐn)?shù)），10-6；x10——氟化物含量（摩爾分?jǐn)?shù)），10-6；x11——雜質(zhì)總含量（摩爾分?jǐn)?shù)），10-6。按公式（2）計(jì)算：x=100-x1110-4…………………(3)式中：x——氪氣純度。（2）氪氣中氮?dú)夂?、氧氣含量、氬氣含量、氫氣含量、氙氣含量、氟化物含量、GB/T5829-2006《氪氣》標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布時(shí)，當(dāng)時(shí)GB/T28726-2012《氣體分析氦離子化氣相色譜法》還未發(fā)布實(shí)施，故無法引用。GB/T28726已經(jīng)正式發(fā)布實(shí)施近12年，已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。氪現(xiàn)行版本中規(guī)定一氧化碳、二氧化碳和甲烷含量的測(cè)定采用的是GB/T8984規(guī)定的氫火焰法，該方法檢測(cè)靈敏度偏低，對(duì)高純度性稀有氣體中一氧化因此，根據(jù)工作組會(huì)議的要求，起草小組及標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)證平臺(tái)作了試驗(yàn)驗(yàn)證工作，驗(yàn)證定氪氣中氮?dú)夂?、氧氣含量、氬氣含量、氫氣含量、氙氣含量、氟化物含量、一氧化碳含量、二氧化碳含量、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)含量，檢出限和靈敏度遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于其他方法，現(xiàn)行氪氣標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定水含量的測(cè)定是采用GB/T5832.1-2016《氣體規(guī)定的方法，由于該方法存在誤差較大等缺陷，另外當(dāng)時(shí)GB/T5832.3-201光譜法測(cè)定水含量。由于GB/T5832.3已經(jīng)正式發(fā)布實(shí)施近13年，目前該方法依然是高標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)尾氣處理提出了原則性要求：測(cè)定氪氣的雜質(zhì)應(yīng)將尾氣排放至室外，考慮到氪氣均為大氣固有組分，不必考本次修訂參照了最新的有關(guān)法律法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)際化學(xué)品安全卡。2009版的規(guī)定（1）產(chǎn)品質(zhì)量合格證修改為：氪氣出廠時(shí)應(yīng)附有質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應(yīng)包——產(chǎn)品名稱、生產(chǎn)廠名稱；——生產(chǎn)日期或批號(hào)；——本文件的編號(hào)及技術(shù)指標(biāo)。（2）本次制修訂更改為：包裝容器上應(yīng)涂刷“純氪”、“高純氪”字樣。191規(guī)定，顏色標(biāo)志應(yīng)符合GB7144的規(guī)定，運(yùn)輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志應(yīng)符合GB/T6388的規(guī)定。氪氣的標(biāo)簽應(yīng)符合GB/T16084規(guī)定的要求。7.2包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存氪是大氣氣體中的稀有組分，為無臭、無色、無味、無毒、具有單原子結(jié)構(gòu)的化學(xué)術(shù)規(guī)程》中包括了對(duì)于氣瓶的安全使用和監(jiān)督監(jiān)察氪可以充裝到適合非液化壓縮氣體使用的經(jīng)TC或DOT認(rèn)證的任何別的鋼瓶中運(yùn)允許氪氣使用的所有鋼瓶，按現(xiàn)行規(guī)章，必須每5年進(jìn)行一次水壓試驗(yàn)，以對(duì)質(zhì)量（4）運(yùn)輸和儲(chǔ)存氪氣常氣壓下無毒。高濃度時(shí)，使氧分壓降低而發(fā)生窒息。吸入氪氣可能會(huì)引起對(duì)健康有害的影響或呼吸道不適。通過割傷、擦傷或病變處進(jìn)入血液，可能產(chǎn)生全身損傷如呼吸、心跳停止，立即進(jìn)行心肺復(fù)蘇術(shù)，并及時(shí)就醫(yī)。如發(fā)生皮膚接觸或發(fā)生凍傷，對(duì)保護(hù)施救者的忠告：根據(jù)需要使用個(gè)人防護(hù)設(shè)備；對(duì)醫(yī)生的特別提示：應(yīng)早期給滅火注意事項(xiàng)及防護(hù)措施：消防人員須佩戴防毒面具、穿全身消防服，在上風(fēng)向滅作業(yè)人員防護(hù)措施、防護(hù)裝備和應(yīng)急處置程序：根據(jù)氣體擴(kuò)散的影響區(qū)域劃定警戒區(qū)，無關(guān)人員從側(cè)風(fēng)、上風(fēng)向撤離至安全區(qū)。建議應(yīng)急處理人員戴正壓自給式呼吸器，泄漏化學(xué)品的收容、清除方法及所使用的處置材料：漏出允許排入大氣中。泄漏場(chǎng)嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。搬運(yùn)時(shí)輕裝儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的不燃?xì)怏w專用庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不三、試驗(yàn)驗(yàn)證的分析、綜述報(bào)告,技術(shù)經(jīng)濟(jì)論證，預(yù)期的經(jīng)濟(jì)效益、社會(huì)效益和生態(tài)效益還可制成不需電能的原子燈。此外，Kr-86用于長(zhǎng)度的國(guó)際基準(zhǔn)標(biāo)定，Kr-85用于材料四、與國(guó)際、國(guó)外同類標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)內(nèi)容的對(duì)比情況，或者與測(cè)試的國(guó)外樣品、樣機(jī)的有根據(jù)FMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，中國(guó)市場(chǎng)的銷售額在評(píng)估期內(nèi)將以6%的復(fù)合年增業(yè)的氪氣產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，修訂后的我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)與國(guó)外五、以國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)為基礎(chǔ)的起草情況，以及是否合規(guī)引用或者采用國(guó)際國(guó)外標(biāo)準(zhǔn)，并說六、與有關(guān)法律、行政法規(guī)及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系（一）與氪氣的生產(chǎn)、儲(chǔ)存、運(yùn)輸、安全相關(guān)的法律、法規(guī)有：令2013年第2號(hào)公布，交通運(yùn)輸部令2）；）；）；（二）本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范性引用的標(biāo)準(zhǔn)化文件有GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限GB/T34525氣瓶搬運(yùn)、裝卸、儲(chǔ)七、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)九、實(shí)施國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的要求，以及組織措施、技術(shù)措施、過渡期和實(shí)施日期的建議等措起草單位承擔(dān)的具體工作明細(xì)表序號(hào)單位名稱標(biāo)準(zhǔn)起草人主要工作序號(hào)修改意見提出單位名稱11、建議修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容，2、規(guī)范性引用文件增加光腔衰蕩的檢測(cè)方法，3、增加檢驗(yàn)環(huán)境的要求。4、4.4中HG/T2686改成GB/T28124，允許采用其他等效的方法測(cè)定。5、4.5中GB/T8984.1改成GB/T8984。6、4.6中增加GB/T5832.3，允許采用其他等效的方法測(cè)定。北京首鋼2一氧化碳0.1ppm，二氧化碳0.2ppm，四氟化碳0.1ppm，氙1ppm，水1ppm2、建議增加6N指標(biāo)，氫0.05ppm，氧氬0.1ppm，氮0.3ppm，甲烷0.05ppm，一氧化碳0.05ppm，二氧化碳，0.05ppm，四氟化碳0.1ppm，氙0.1ppm，水0.2ppm3、建議組分采用PDHID檢測(cè)，水分采用光腔衰蕩法檢測(cè)心連心31、建議5.5N指標(biāo)組分含量改為：氫0.1ppm，氧氬0.5ppm，氮1ppm，六氟化硫0.1ppm，六氟乙烷0.1ppm，四氟化碳0.1ppm，氪1ppm，水0.5ppm2、建議增加6N指標(biāo)，氫0.05ppm，氧氬0.1ppm，氮0.3ppm，甲烷0.05ppm，一氧化碳0.05ppm，二氧化碳0.05ppm，氧化亞氮0.05ppm，六氟化硫0.05ppm，六氟乙烷0.05ppm，四氟化碳0.05ppm，氪0.1ppm，水0.1ppm3、建議組分采用PDHID檢測(cè)，水分采用光腔衰蕩法檢測(cè)41、建議建立一個(gè)6N氪氣產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)2、氧氬指標(biāo)分別檢測(cè)武鋼氣體5對(duì)應(yīng)不同用戶需要，設(shè)置高純氪合格品5N，一等品5.5N，優(yōu)等品6N三個(gè)檔次標(biāo)準(zhǔn)河南納新氣體6特種刀具、標(biāo)記材料等”（2）修訂意見：4.6水分含量測(cè)定內(nèi)容改為“按GB/T5832.2或GB/T5832.3的規(guī)定執(zhí)行?？刹捎闷渌刃У姆椒y(cè)定氪氣中水分含量。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，當(dāng)水含量在0.5ppm以上時(shí)，以GB/T5823.2為仲裁方法；當(dāng)水含量在0.5ppm及0.5ppm以下時(shí)，以GB/T5823.3為仲裁方法?！保?）修訂意見：5.2氪氣出廠時(shí)應(yīng)附有質(zhì)量合格證，內(nèi)容中應(yīng)增加“瓶（4）修訂意見：增加氪氣的基礎(chǔ)信息“代碼：CAS號(hào)：7439-90-9、熔點(diǎn)-157.37℃,燃燒極限（體積分?jǐn)?shù)無意義，燃燒極限（密度無意義，臨界溫度：-63.8℃,臨界壓力：5.4Mpa；相對(duì)密度：2.9(干燥空氣=1)；自燃溫度：無意義。”（5）修訂意見：測(cè)定時(shí)，應(yīng)增加尾氣處理措施；（6）考慮載氣的純度問題；衢州杭氧714194壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定”；“GB16483化學(xué)品安全技術(shù)說明書編寫規(guī)定”修訂為：“GB/T16483化學(xué)品安全技術(shù)說明書內(nèi)容和項(xiàng)深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程”；“《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》”修訂為：“《氣瓶安全技術(shù)規(guī)程》TSG23”福建久策81、4.3/4.4/4.5條款雜質(zhì)的含量的測(cè)定都可以引用GB/T287262、4.6水分含量的測(cè)定按5832.3執(zhí)行中船特氣9需要完善適合充裝容器的種類，新瓶規(guī)中嚴(yán)格的規(guī)定了充裝介質(zhì)的合規(guī)性，需要有可循的標(biāo)準(zhǔn)作為依據(jù)中復(fù)科金1.規(guī)范性引用文件中GB7144《氣瓶顏色標(biāo)記》已被GB/T7144-2016《氣瓶顏色標(biāo)志》代替；GB14194《永久14194-2017《壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定》代替GB16483《化學(xué)品安全技術(shù)說明書編寫規(guī)定》已被GB/T16483-2008《化學(xué)品安全技術(shù)說明書內(nèi)容和項(xiàng)目順序》代替；《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》已被TSG23《氣瓶安全技術(shù)規(guī)程》代替；GB16912《氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程》已被GB16912-2008《深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程》代替。2.規(guī)范性引用文件中建議增加以下標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)程文件：GB/T16804-2011《氣瓶警示標(biāo)簽》、GB/T3723《工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全《氣相色譜法術(shù)語》、GB/T14850-2020《氣體分析詞匯》、GB/T38677-2020《氣體分析測(cè)量過程及結(jié)果校準(zhǔn)技術(shù)要求》、GB/T38521-2020《氣體分析純度分析和純度數(shù)據(jù)的處理》、GB/T37180-2018《氣體分析校準(zhǔn)用純氣和混合氣體的使用指南》、GB/T33360-2016《氣體分析痕量分析用氣體純化技術(shù)導(dǎo)則》。3.規(guī)范性引用文件中水分分析方法建議增加GB/T5832.3《氣體中微量水分的測(cè)定第3部分：光腔衰蕩法》，并以該方法作為仲裁方法。4.規(guī)范性引用文件中微量氫含量分析方法標(biāo)準(zhǔn)為GB/T8981《氣體中微量氫的測(cè)定氣相色譜法》，該方法目前已較少使用，建議取消該引用標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)氪中氫采用"GB/T28726-2012氣體分析氦離子化氣相色譜法"進(jìn)行測(cè)量。5.規(guī)范性引用文件中建議增加GB/T28726-2012《氣體分析氦離子化氣相色譜法》，附錄A與”GB/T28726”相同，可刪除。6.規(guī)范性引用文件中所引用標(biāo)準(zhǔn)HG/T2686《惰性氣體中微量氫、氧、甲烷、一氧化碳的測(cè)定氧化鋯氣相色譜法》建議刪除，對(duì)于氪中微量氫、氮、氧＋氬、氙、氟化物、甲烷、一氧化碳可采用GB/T28726-2012《氣體分析氦離子化氣相色譜法》進(jìn)行測(cè)量；對(duì)于氪中氧，建議采用GB/T6285《氣體中微量氧的測(cè)定電化學(xué)法》進(jìn)行測(cè)量。7.表1中，建議將“甲烷(CH4)含量"改為”總碳?xì)?THC)含量(以甲烷計(jì))"，后文同；8.表1中，“氟化物(CF4)"是指所有氟化物以CF4計(jì)還是只需檢測(cè)CF4?9.表1中建議增加對(duì)于總雜質(zhì)含量的指標(biāo)要求。10.4.3條中，氪中氮、氧＋氬、氙、氟化物含量建議采用"GB/T液空28726-2012氣體分析氦離子化氣相色譜法"作為仲裁方法，但允許使用其它等效方法進(jìn)行測(cè)量，附錄A與”GB/T28726”相同，可刪除。11.4.4條中，微量氫含量分析方法標(biāo)準(zhǔn)為“GB/T8981氣體中微量氫的測(cè)定氣相色譜法”，該方法目前已較少使用，建議取消該引用標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)氪中氫采用"GB/T28726-2012氣體分析氦離子化氣相色譜法"進(jìn)行測(cè)量。12.4.6條中，建議采用GB/T5832.3《氣體中微量水分的測(cè)定第3部分：光腔衰蕩法》作為仲裁方法，但允許使用其它等效方法進(jìn)行測(cè)量。13.第5章中所涉及引用標(biāo)準(zhǔn)與引用規(guī)程文件參照前述進(jìn)行更新。1、氟化物的測(cè)試建議增加GCMS方法，因?yàn)榘凑諛?biāo)準(zhǔn)是所有氟化物以CF4計(jì)，但氦放電離子化法實(shí)際操作性不強(qiáng)，無法定性未知氟化物。GC/MS法可以較好解決該問題。2、進(jìn)一步明確氟化物測(cè)試指標(biāo)，是否只測(cè)試CF4、C2F6。3、1)GB/T8984.1、HG/T2686、GB/T8981已廢止；2）GB14194永久氣體氣瓶充裝規(guī)定已更新為：GB/T14194壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定；3）GB7144已更新為GB/T7144；4）GB16483化學(xué)品安全技術(shù)說明書編寫規(guī)定已更新為：GB/T16483化學(xué)品安全技術(shù)說明書內(nèi)容和項(xiàng)目順序；5）GB16912氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程已更新為GB/T16912深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程；4、4.4條款氫氣含量的測(cè)定方法需更新GB/T5829—2006《氪氣》標(biāo)準(zhǔn)修訂意見杭氧建議將“1范圍”中應(yīng)用領(lǐng)域增加“中空玻璃、航空航天（氪離子推進(jìn)氣）、特種刀具、標(biāo)記材料等”瓶充裝規(guī)定”福建久策，液空）3）“GB16912氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程”修訂為：GB16912深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程”福建久策、液空）9）增加GB/T33360-2016《氣體分析痕量分析用氣體純化技術(shù)導(dǎo)則》、GB/T37180-2018《氣體分析校準(zhǔn)用純氣和混合氣體的使用指南》、GB/T38521-2020《氣體分析純度分析和純度數(shù)高純氪氮(N2)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6））氙氣（Xe）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6執(zhí)行?？刹捎闷渌刃У姆椒y(cè)定氪氣中水分含量。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，1）氟化物的測(cè)試建議增加GCMS方法，因?yàn)榘凑諛?biāo)準(zhǔn)是所有氟化物以CF4計(jì)，但氦放電離子化法實(shí)際操作性不強(qiáng)，無法定性未知氟化物。GC/MS法可以建議增加微量水分的測(cè)量方法GB/T5）：）：臨界壓力：5.4Mpa；相對(duì)密度：2.9(干燥空氣=1)；自燃溫度：無意義。”組分含量（mol/mol）氫氣5.03×10-6氧氣5.07×10-6氬氣5.11×10-6氮?dú)?.15×10-6一氧化碳5.06×10-6二氧化碳5.07×10-65.09×10-6氪氣5.09%氦氣平衡組分含量（mol/mol）氙氣4.94×10-6四氟化碳5.01×10-6六氟化硫4.93×10-6氪氣5.00%氦氣平衡組分含量（mol/mol）0.202×10-60.203×10-60.196×10-6丙烷0.198×10-6丙烯0.205×10-6正丁烷0.199×10-6正丁烯0.199×10-6氮?dú)馄胶饨M分含量（mol/mo