柔性傳感技術(shù)概述課件

柔性薄膜電子器件設(shè)計制備與集成技術(shù)柔性傳感技術(shù)概述2內(nèi)容提綱一、需求與應(yīng)用二、面臨的技術(shù)挑戰(zhàn)三、國內(nèi)的情況和研究條件柔性傳感技術(shù)概述工業(yè)需求個人需求過去現(xiàn)在未來PNAS106,10875(2009).Science

327,1603(2010).生物集成需求可延展柔性化是微電子器件的革命性發(fā)展方向柔性傳感技術(shù)概述4現(xiàn)在未來采用柔性電子技術(shù)新生嬰兒護理與健康監(jiān)測Ann.Rev.Biomed.Eng.

14,113(2012).電子器件可伸展柔性的重要意義柔性傳感技術(shù)概述有機柔性電子器件的電學(xué)性能發(fā)展瓶頸5有機太陽能電池能量轉(zhuǎn)換效率8.3%；無機太陽能電池能量轉(zhuǎn)換效率41.1%(美國NationalEnergyRenewableLaboratory)藍(lán)光有機LED外部量子效率為4.8%，使用壽命小于15000小時；藍(lán)光無機LED外部量子效率達(dá)到60%，使用壽命達(dá)到50000小時以上（Kim等2010年報道）有機電子器件的電學(xué)性能與無機電子器件相比，相差數(shù)倍不能利用有機半導(dǎo)體實現(xiàn)高頻高速特性！柔性傳感技術(shù)概述無機電子器件可伸展柔性的重要意義6可供生物集成電子器件的半導(dǎo)體材料碳納米管:高的電子遷移率,比較穩(wěn)定高溫生長,電異質(zhì)性0.11101001,00010,000聚合物:溶液處理工藝性能較差小分子材料:性能接近于a-Si真空沉積單晶材料:

需要研究固有的電荷傳輸；易碎，集成工藝存在挑戰(zhàn)SiGaAsa-Si?poly-SiNature(2008)NatureNano.(2007)Science(2001)PNAS(2001)柔性傳感技術(shù)概述高速柔性無機薄膜電子器件設(shè)計原理電子學(xué)功能部件依然采用無機材料從而保證高速功能通過力學(xué)及幾何設(shè)計使得電子器件具備柔性可延展大變形不改變器件電子學(xué)性能基本原理剛性材料通過結(jié)構(gòu)化力學(xué)設(shè)計實現(xiàn)柔性SiPDMSL+dLWavySiLLPDMSmotherwafer:Si柔性傳感技術(shù)概述高速柔性無機薄膜電子器件設(shè)計原理島橋結(jié)構(gòu)設(shè)計屈曲互聯(lián)導(dǎo)線設(shè)計電子學(xué)功能部件依然采用無機材料從而保證高速功能通過力學(xué)及幾何設(shè)計使得電子器件具備柔性可延展柔性傳感技術(shù)概述電子信息產(chǎn)業(yè)是國民經(jīng)濟的重要支柱之一9電子信息制造業(yè)收入（億元）增長率（％）電子信息制造業(yè)收入在GDP中比重（％）電子信息制造產(chǎn)業(yè)在國內(nèi)生產(chǎn)總值中占有重要的穩(wěn)定比例電子信息制造業(yè)一直保持增長，但增長率在降低，高速柔性電子技術(shù)能夠促進信息產(chǎn)業(yè)革新和升級。柔性傳感技術(shù)概述10二、面臨的技術(shù)挑戰(zhàn)柔性傳感技術(shù)概述柔性無機微納電子器件原理器件或連線二氧化硅硅介電質(zhì)器件或連線柔性基體硅傳統(tǒng)“非柔性”電子器件“柔性”電子器件柔性化FlexibleICs難點與挑戰(zhàn)：基于無機薄膜的電子器件可延展柔性化？如何將脆性無機薄膜與柔性基體集成？大變形及疲勞載荷下薄膜器件是否失效？高速柔性薄膜電子器件設(shè)計制備與集成的挑戰(zhàn)11柔性傳感技術(shù)概述12關(guān)鍵科學(xué)問題高速薄膜器件的可延展柔性化與集成化設(shè)計理論高速柔性薄膜器件的轉(zhuǎn)印實現(xiàn)及其界面物理機理柔性環(huán)境下無機薄膜器件的高速電子學(xué)性能與退化機理柔性傳感技術(shù)概述13科學(xué)問題一：高速薄膜器件的可延展柔性化

與集成化設(shè)計理論科學(xué)難點如何實現(xiàn)脆性無機薄膜器件的可延展柔性？如何設(shè)計無機薄膜與柔性基體的集成結(jié)構(gòu)？研究思路利用力學(xué)屈曲變形使得互連導(dǎo)線或薄膜出現(xiàn)波浪狀基于分形的互連可展結(jié)構(gòu)及基體表面微結(jié)構(gòu)布控可延展柔性結(jié)構(gòu)聚合物柔性基體無機薄膜或互連導(dǎo)線聚合物柔性基體無機薄膜或互連導(dǎo)線柔性傳感技術(shù)概述14科學(xué)問題二：高速柔性薄膜器件的轉(zhuǎn)印實現(xiàn)

及其界面物理機理科學(xué)難點如何實現(xiàn)脆性薄膜與柔性基體的轉(zhuǎn)印集成？如何控制大變形下無機薄膜/柔性基體間的界面失效？研究思路調(diào)控?zé)o機薄膜/柔性基體界面的粘附特性利用斷裂力學(xué)確定界面失效準(zhǔn)則大變形異質(zhì)界面柔性器件柔性傳感技術(shù)概述15科學(xué)問題三：柔性環(huán)境下無機薄膜器件的

高速電子學(xué)性能與退化機理科學(xué)難點如何保證可延展柔性環(huán)境下無機薄膜的電學(xué)性能及其可靠性？研究思路通過理論分析無機薄膜在變形下的電學(xué)性能通過實驗與理論計算結(jié)合方式確定多場耦合作用下的無機薄膜的電學(xué)性能柔性傳感技術(shù)概述16主要研究內(nèi)容力學(xué)介入的可延展柔性高速薄膜器件集成化設(shè)計研究高速柔性薄膜器件的高效、大規(guī)模轉(zhuǎn)印集成技術(shù)研究滿足柔性基體集成的高速薄膜器件的微納制備技術(shù)研究柔性/剛性異質(zhì)界面對高速薄膜器件集成及電子學(xué)性能的調(diào)控機理研究具有柔性互連導(dǎo)線的高速薄膜器件的延遲機制與可靠性研究柔性傳感技術(shù)概述171.力學(xué)介入的可延展柔性高速薄膜器件集成化設(shè)計研究？？圖研究內(nèi)容：集成電路的可延展柔性化設(shè)計原理互連導(dǎo)線自相似結(jié)構(gòu)的大變形機理無機薄膜應(yīng)變隔離的新原理及其實現(xiàn)方法可延展柔性集成電路的仿真分析科學(xué)貢獻：基于力學(xué)屈曲變形的結(jié)構(gòu)可延展柔性化理論技術(shù)突破：微納尺度可延展柔性結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計方法島-橋構(gòu)型自相似導(dǎo)線柔性傳感技術(shù)概述182.高速柔性薄膜器件的高效、大規(guī)模轉(zhuǎn)印集成技術(shù)研究研究內(nèi)容：柔性基體表面微結(jié)構(gòu)設(shè)計實現(xiàn)界面粘附力調(diào)控的機理薄膜與柔性基體轉(zhuǎn)印結(jié)合過程及控制參數(shù)大規(guī)模局部主動控制的轉(zhuǎn)移印刷集成方法科學(xué)貢獻：基于界面可控粘附的轉(zhuǎn)印理論與集成方法技術(shù)突破：實現(xiàn)高效高成品率的轉(zhuǎn)印技術(shù)轉(zhuǎn)印機理大規(guī)模轉(zhuǎn)印柔性傳感技術(shù)概述193.滿足柔性基體集成的高速薄膜器件的微納制備技術(shù)研究研究內(nèi)容：小型化、薄膜器件的外延結(jié)構(gòu)設(shè)計和生長技術(shù)小型化、薄膜器件的器件結(jié)構(gòu)設(shè)計和制備技術(shù)面向精確轉(zhuǎn)印的襯底剝離和微結(jié)構(gòu)支撐技術(shù)科學(xué)貢獻：薄膜材料的微型化設(shè)計和制備研究技術(shù)突破：滿足轉(zhuǎn)印的襯底剝離技術(shù)和微支撐結(jié)構(gòu)襯底剝離后的微支撐結(jié)構(gòu)柔性傳感技術(shù)概述204.柔性/剛性異質(zhì)界面對高速薄膜器件集成及電子學(xué)

性能的調(diào)控機理研究研究內(nèi)容：電-力-熱等多場耦合下的薄膜器件性能基本參量的實驗表征方法大變形情況下柔性/剛性界面對高速薄膜器件電子學(xué)性能的影響柔性基體上集成薄膜結(jié)構(gòu)的應(yīng)變空間分布對電學(xué)性能的調(diào)控機理科學(xué)貢獻：界面對高速薄膜器件電子學(xué)性能的調(diào)控機理技術(shù)突破：電-力-熱多場耦合性能表征方法柔性傳感技術(shù)概述裂紋滑移脫粘作用力L-dL215.具有柔性互連導(dǎo)線的高速薄膜器件的延遲機制

與可靠性研究研究內(nèi)容：高速可延展無機薄膜器件互連導(dǎo)線延遲模型高速可延展無機薄膜器件互連導(dǎo)線可靠性評估薄膜/基體系統(tǒng)的穩(wěn)定性與可靠性界面強度在大變形情況下的演化及失效過程科學(xué)貢獻：高速可延展無機薄膜器件互連導(dǎo)線延遲機理技術(shù)突破：薄膜器件穩(wěn)定性和失效準(zhǔn)則大變形柔性傳感技術(shù)概述22三、國內(nèi)的情況和研究條件柔性傳感技術(shù)概述

通過力學(xué)機理設(shè)計的柔性無機mLED具比有機LED具有更高的亮度、更長的壽命；比傳統(tǒng)無機LED具有更低的成本和高的延展性。（PNAS105:18675-18680,2008）柔性無機μLED研究進展：可延展柔性無機電子器件柔性傳感技術(shù)概述

通過力學(xué)機理設(shè)計的柔性無機mLED具比有機LED具有更高的亮度、更長的壽命；比傳統(tǒng)無機LED具有更低的成本和高的延展性。（Science325:977-981,2009）柔性無機μLED研究進展：可延展柔性無機電子器件柔性傳感技術(shù)概述研究進展：可延展柔性無機電子器件可延展柔性電路板(Science320:507-511,2008)

電子路板的延展性高達(dá)140%可扭轉(zhuǎn)、彎曲（PNAS105:18675-18680,2008）柔性傳感技術(shù)概述研究進展：可延展柔性無機電子器件大腦上超柔的電路

電路的柔性使得其在濕潤的條件下與大腦不規(guī)則表面實現(xiàn)非常好的全面接觸（NatureMaterials9:511-517,2010）1cmunwrapped75

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munwrappedwrappedwrapped0.3cm75

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mwrapped柔性傳感技術(shù)概述

將電子元件轉(zhuǎn)移印刷到曲面上，實現(xiàn)與人眼相似的功能，同時通過內(nèi)壓的調(diào)控微調(diào)鏡頭曲面的曲率，實現(xiàn)鏡頭的縮放?？烧{(diào)電子眼（PNAS108(5),1788-1793,2011）（Nature454,748-753,2008）研究進展：可延展柔性無機電子器件柔性傳感技術(shù)概述多功能醫(yī)用導(dǎo)管利用結(jié)構(gòu)的高延展性（高達(dá)100％），實現(xiàn)了將多種功能的芯片集成于導(dǎo)管頭上，減小了微創(chuàng)手術(shù)的創(chuàng)傷。多功能醫(yī)用導(dǎo)管CatheterSensorsACFfilm15mmDeviceIntegrationontocatheterlesionlesion5mmCPDMStactilesensorelectrodeelectrode1mmrabbitheart500

m1mmdeflateinflateLEDtempsensorelectrode500

melectrode（NatureMaterials10,316-323,2011）研究進展：可延展柔性無機電子器件柔性傳感技術(shù)概述仿表皮的的電子原件具有與皮膚相近的模量，在無需外加粘結(jié)劑的情況下，在各種工況下（褶皺、彎曲）與人體皮膚保持很好的的接觸。仿表皮的柔性電子器件bareskinskinpatchdeformrelaxaftertransferelectronicsafterintegrationontoskinelectronicsfrontsidetattooafterdeformationbacksideoftattoo0.5cmtattoo（Science333,838-843,2011）研究進展：可延展柔性無機電子器件柔性傳感技術(shù)概述研究進展：可延展柔性無機電子器件可延展柔性電池(NATURECOMMUNICATIONS4:1543,2013)高達(dá)200％-250%的延展性柔性傳感技術(shù)概述研究進展：可延展柔性無機電子器件可延展柔性電池(NATURECOMMUNICATIONS4:1543,2013)柔性傳感技術(shù)概述研究進展：柔性電子器件的制備和集成方法ACSNano2011實現(xiàn)了波浪構(gòu)