人形機(jī)器人傳感器專題：柔性控制新藍(lán)海

摘要人形機(jī)器人提出更高力控要求人形機(jī)器人提升傳感器需求：在機(jī)器人核心零部件中，傳感器作為機(jī)器人重要組成部分，是力控擺動、穩(wěn)定控制的核心，可精準(zhǔn)測量隨機(jī)變化的力，價值量或僅次于關(guān)鍵模組。人形機(jī)器人對于傳感器的需求增多，有望推動相關(guān)傳感器行業(yè)擴(kuò)容。柔順控制為發(fā)展方向：從自動化到機(jī)器智能、人工智能邁進(jìn)，需要將力/力矩的測量和引入控制系統(tǒng)，提高機(jī)器人對未知環(huán)境適應(yīng)性和交互安全性，即柔順控制；外力的感應(yīng)可基于電流環(huán)、末端力傳感器、關(guān)節(jié)力矩傳感器、電子皮膚/柔性傳感器。末端力傳感器：六維力傳感器感應(yīng)精準(zhǔn)，技術(shù)+量產(chǎn)有望推動降本六維力傳感器性能最優(yōu)，降本潛力較大：大部分六維力傳感器基于應(yīng)變片結(jié)構(gòu)，具有精度高、范圍廣優(yōu)勢；目前六維力/力矩傳感器市場基數(shù)較小，尚未形成明顯規(guī)模效應(yīng)，未來伴隨多技術(shù)路線產(chǎn)品完善、產(chǎn)品價格下降及國產(chǎn)化率提升，有望進(jìn)入高速成長期。人形機(jī)器人或?qū)⑶藙邮袌隹焖贁U(kuò)容：目前受制于高技術(shù)壁壘，批量化產(chǎn)能依舊稀缺；根據(jù)MIR睿工業(yè)數(shù)據(jù)，我們測算當(dāng)人形機(jī)器人出貨量達(dá)到100萬臺時，對應(yīng)末端六維力傳感器市場規(guī)模約80億元。觸覺傳感器：技術(shù)路線百花齊放國外廠商占據(jù)八成高端觸覺傳感器市場，國產(chǎn)替代空間廣闊：觸覺傳感器行業(yè)技術(shù)壁壘較高，目前CR3占比約60

，美國傳感器行業(yè)競爭力較強(qiáng)。觸覺傳感器是我國重點(diǎn)攻艱的35項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)之一，市場需求對外依賴度超過90

。多點(diǎn)陣列指尖觸覺解決方案：將MEMS傳感器陣列化并集成在柔性可延展襯底是實(shí)現(xiàn)柔性電子的重要途經(jīng)，目前有部分機(jī)器人廠商和研究機(jī)構(gòu)采用了多點(diǎn)陣壓力傳感器方案來實(shí)現(xiàn)人工指尖觸覺感應(yīng)，可高精度地執(zhí)行多種抓取操作。電子皮膚：潛在市場廣闊，機(jī)遇與挑戰(zhàn)并存柔性電子皮膚：電子皮膚（E-skin）作為機(jī)器人外表面蒙皮可為機(jī)器人提供豐富的觸覺信息，促進(jìn)機(jī)器人控制領(lǐng)域及新一代人機(jī)交互領(lǐng)域的發(fā)展。高柔彈性、高靈敏度的電子皮膚觸覺傳感器使機(jī)器人更加靈活、纖細(xì)、智能、人性化。電子皮膚應(yīng)用存在諸多挑戰(zhàn)：高靈敏度、高柔性的電子皮膚制造工藝復(fù)雜、成本高和難以批量生產(chǎn)；目前，柔性電子皮膚的發(fā)展仍然受材料與結(jié)構(gòu)限制，在測量精度上無法與傳統(tǒng)成熟的金屬及半導(dǎo)體傳感器相比。風(fēng)險提示：政策推動效應(yīng)不達(dá)預(yù)期風(fēng)險、研發(fā)進(jìn)度不達(dá)預(yù)期風(fēng)險、貿(mào)易摩擦風(fēng)險、測算主觀性風(fēng)險。2人形機(jī)器人提出更高的力控要求13請務(wù)必閱讀正文之后的信息披露和免責(zé)申明41.1

傳感器于人形機(jī)器人重要性顯著提升傳感器保證機(jī)器人靈敏度，推動智能化升級：傳感器賦予機(jī)器人視、力、觸、嗅、味等多種感知能力，不僅能從外部賦予機(jī)器人感知功能，還能用于檢測機(jī)器人自身的內(nèi)部工作狀態(tài)，通過對各關(guān)節(jié)的位置、速度、溫度、載荷、電壓等信息進(jìn)行探測和了解，有效保證和提升機(jī)器人自身動作準(zhǔn)確性和靈敏度；更推動機(jī)器人智能化和信息化升級。人形機(jī)器人傳感器根據(jù)檢測對象不同分為內(nèi)部傳感器和外部傳感器：內(nèi)部傳感器：用來感知機(jī)器人的自身狀態(tài)的傳感器，比如位置、速度、加速度等；外部傳感器：用來感受機(jī)器人周圍環(huán)境、目標(biāo)物的狀態(tài)信息的傳感器，比如視覺、觸覺、聽覺、嗅覺、溫度、力度等。資料來源：傳感器專家網(wǎng)公眾號，思嵐科技官網(wǎng)，天風(fēng)證券研究所51.2

政策加持人形機(jī)器人，著重發(fā)力傳感器等關(guān)鍵部件?

政策加持人形機(jī)器人，賦能發(fā)展傳感器：工信部在23年9月份發(fā)布針對人形機(jī)器人的“揭榜掛帥”任務(wù)榜單，其中5項(xiàng)核心基礎(chǔ)中，有3項(xiàng)關(guān)于傳感器，分別強(qiáng)調(diào)力傳感器、MEMS姿態(tài)傳感器和觸覺傳感器等關(guān)鍵部件。資料來源：工信部、傳感器專家網(wǎng)，天風(fēng)證券研究所力傳感器面向人形機(jī)器人準(zhǔn)確獲取驅(qū)動關(guān)節(jié)和肢體末端觸感力學(xué)信號的需求，突破穩(wěn)定可靠的力傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與制造、智能揭榜任務(wù) 化信號處理與分析、多信息智能識別與模型分析等關(guān)鍵技術(shù)；研制系列化、高性能、低成本、智能化的新型力傳感器；發(fā)展低成本、規(guī)?；膫鞲衅魃a(chǎn)制造方法，推動新型力傳感器在人形機(jī)器人上的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。到2025年，完成人形機(jī)器人系列化力傳感器的設(shè)計(jì)與制造，滿足驅(qū)動關(guān)節(jié)、手指、足底等肢體末端力測量需要，并在預(yù)期目標(biāo) 人形機(jī)器人上開展實(shí)際應(yīng)用。傳感器采用低成本、高性能的設(shè)計(jì)，精度達(dá)到0.5%FS，響應(yīng)時間優(yōu)于0.03s，具有智能信息采集與處理能力，提升力傳感器的智能化水平。觸覺傳感器揭榜任務(wù)圍繞人形機(jī)器人靈巧手使用工具、操作設(shè)備、分揀物品、高精度裝配等能力，在靈巧手掌內(nèi)配置觸覺傳感器，以感知操作目標(biāo)的位姿、硬度、肌理等特征，提高靈巧手的智能化操作能力。研發(fā)小體積、高可靠性、高穩(wěn)定性的人形機(jī)器人手部觸覺傳感器，滿足人形機(jī)器人靈巧手感知、操作、交互等需求，提升新型觸覺傳感器自主設(shè)計(jì)與研發(fā)水平，推動觸覺傳感器的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)期目標(biāo)到2025年，完成小體積高可靠性高穩(wěn)定性的手部觸覺傳感器研制，實(shí)現(xiàn)指尖、指腹和掌面部位傳感器陣列密度1mm×1mm（厚度≤0.3mm）；力檢測范圍0.1N/cm2~240N/cm2

(10g/cm2~24kg/cm2)±5%；最小檢測力10g。MEMS姿態(tài)傳感器揭榜任務(wù)面向人形機(jī)器人姿態(tài)控制對高性能、小型化姿態(tài)傳感器的需求，突破傳感器小型化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、陀螺儀高精度加工工藝、智能響應(yīng)姿態(tài)解算等關(guān)鍵技術(shù)；研制基于MEMS慣性器件的高性能姿態(tài)傳感器；研究減小傳感系統(tǒng)體積重量，降低功耗，提升傳感器抗振動、抖動能力以及傳輸性能的方法；發(fā)展低成本、規(guī)?；瘋鞲衅魃a(chǎn)制造方法，推動新型MEMS姿態(tài)傳感器在人形機(jī)器人上的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)期目標(biāo)到2025年，完成高性能、低成本的MEMS姿態(tài)傳感器研制，具有較強(qiáng)的抗振動和抖動性能，俯仰角和橫滾角靜態(tài)精度為0.1°，零偏穩(wěn)定性（1σ，10s平滑）不低于0.3°/h，MEMS姿態(tài)傳感器具有強(qiáng)的魯棒性和智能穩(wěn)定算法。61.3

傳感器系第二代Optimus最大邊際變化特斯拉第二代Optimus人形機(jī)器人主要亮點(diǎn)：觸覺傳感器、力傳感器以及更強(qiáng)大的平衡感知能力。第二代Optimus搭載由特斯拉設(shè)計(jì)的執(zhí)行器與傳感器、2自由度驅(qū)動頸部、響應(yīng)更快的11自由度靈巧手、觸覺傳感器（十指）、執(zhí)行器集成電子和線束、足部力/扭矩傳感器、鉸接式腳趾等。重量減輕10kg，平衡力及全身控制均得到提高，更聚焦運(yùn)動與控制。傳感器系Optimus最大邊際變化：第二代Optimus新增多項(xiàng)特斯拉自研傳感器：足部：腳掌分為兩個部分，通過增加足部力/力矩傳感器，使得步行姿態(tài)更接近人類，且行走速度提升30%。手部：全新11自由度靈巧手，通過新增手指觸覺傳感器，可以實(shí)現(xiàn)兩指捏起雞蛋的精細(xì)操作。全身：90°深蹲動作需要調(diào)動全身多個環(huán)節(jié)參與，預(yù)計(jì)其搭載的IMU等慣性傳感器及感知算法有大幅提升。圖：第二代optimus靈巧手圖：第二代optimus足部圖：第二代optimus全身控制資料來源：財聯(lián)社公眾號，電子發(fā)燒友網(wǎng)公眾號，傳感器專家網(wǎng)，天風(fēng)證券研究所71.4

人形機(jī)器人顯著提升傳感器需求資料來源：傳感器專家網(wǎng)公眾號，鑫精誠官網(wǎng)，優(yōu)必選官網(wǎng)，天風(fēng)證券研究所人形機(jī)器人提升傳感器需求：在機(jī)器人核心零部件中，傳感器作為機(jī)器人重要組成部分，是力控擺動、穩(wěn)定控制的核心，可精準(zhǔn)測量隨機(jī)變化的力，價值量或僅次于關(guān)鍵模組。人形機(jī)器人對于傳感器的需求增多，力/力矩傳感器方面，目前有微型壓力傳感器、拉壓力傳感器、關(guān)節(jié)扭力傳感器、六維力傳感器等，隨著人形機(jī)器人逐步量產(chǎn)，有望推動傳感器行業(yè)擴(kuò)容。特斯拉人形機(jī)器人：根據(jù)AI

DAY

2022披露信息，其第一代Optimus身體上共計(jì)28個自由度，每一個旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)需要1個力矩傳感器，每一個直線關(guān)節(jié)需要1個拉壓力傳感器和1個位置傳感器；根據(jù)第二代Optimus視頻，新增多項(xiàng)特斯拉自研傳感器（足部力/力矩傳感器、手指觸覺傳感器）優(yōu)必選人形機(jī)器人：根據(jù)官網(wǎng)示意圖，單個機(jī)器人需要4個六維力/力矩傳感器（手部及足部各2個），以及1個高精度慣導(dǎo)傳感器。圖：優(yōu)必選機(jī)器人示意圖 圖：鑫精誠傳感器機(jī)器人應(yīng)用領(lǐng)域81.5

人形機(jī)器人市場空間廣闊，智能服務(wù)機(jī)器人加速滲透全球智能服務(wù)機(jī)器人加速滲透：隨著機(jī)器人價格不斷下降及解決方案應(yīng)用場景愈加廣泛，下游客戶接受意愿逐步提升，加速全球智能服務(wù)機(jī)器人產(chǎn)品及解決方案的快速滲透。根據(jù)弗若斯特沙利文資料，全球智能服務(wù)機(jī)器人產(chǎn)品及解決方案市場預(yù)計(jì)2028年達(dá)到628億美元，2022-2028年期間CAGR≈17.8%中國智能服務(wù)機(jī)器人滲透率有望提升：目前中國智能服務(wù)機(jī)器人產(chǎn)品及解決方案滲透率仍然偏低，預(yù)計(jì)前沿人工智能技術(shù)將于未來數(shù)年大幅影響中國智能機(jī)器人產(chǎn)品及解決方案市場發(fā)展。根據(jù)弗若斯特沙利文資料，中國智能服務(wù)機(jī)器人產(chǎn)品及解決方案市場預(yù)計(jì)2028年達(dá)到1832億元，2022-2028年期間CAGR≈23.5%資料來源：弗若斯特沙利文，國際機(jī)器人聯(lián)合會，優(yōu)必選招股說明書，天風(fēng)證券研究所圖：全球智能服務(wù)機(jī)器人產(chǎn)品及解決方案市場規(guī)模（十億美元）圖：中國智能服務(wù)機(jī)器人產(chǎn)品及解決方案市場規(guī)模（十億元）20182019202020212022

2023E2024E2025E2026E2027E2028E智能個人/家庭服務(wù)機(jī)器人 智能專業(yè)服務(wù)機(jī)器人7020060180160501404042.848.4120100106.4125.83031.637.38070.2882010083.4114.313.1516.16176.521.67.626.38.910.211.61314.4604020010.19.216.511.821.613.629.217.531.220.440.525.554.631.137.543.550.557.420182019202020212022

2023E2024E2025E2026E2027E2028E智能個人/家庭服務(wù)機(jī)器人 智能專業(yè)服務(wù)機(jī)器人91.6

人形機(jī)器人對力控提出更高要求：柔性控制+智能感應(yīng)力感應(yīng)器歷史悠久應(yīng)用廣泛，柔順控制為發(fā)展方向傳統(tǒng)工業(yè)機(jī)器人控制通過伺服系統(tǒng)發(fā)送位置指令，即位置控制來實(shí)現(xiàn)，機(jī)械臂沿著事先規(guī)劃好的軌跡在封閉、確認(rèn)的空間中運(yùn)動，在簡單工業(yè)場景中的效率和精度很高。而在智能工廠中,

機(jī)器人的作業(yè)環(huán)境日益非結(jié)構(gòu)化,

作業(yè)工序趨于柔性化，要求逐步提高。從自動化到機(jī)器智能、人工智能邁進(jìn)，需要將力/力矩作為閉環(huán)反饋量引入控制，提高機(jī)器人對未知環(huán)境的適應(yīng)性和與人交互的安全性，即柔順控制。柔順控制可分為被動柔順和主動柔順。被動柔順通過在傳統(tǒng)機(jī)械臂末端安裝機(jī)械彈性結(jié)構(gòu)利用機(jī)械臂的彈性來實(shí)現(xiàn)；主動柔順通過加入力傳感器反饋力度信息，采用一定控制策略主動控制作用力，可分為直接力控與間接力控。間接力控通過控制力和位置的相對關(guān)系實(shí)現(xiàn)，直接力控則直接精確控制壓力大小，外力的感應(yīng)可基于電流環(huán)、末端力傳感器、關(guān)節(jié)力矩傳感器、電子皮膚/柔性傳感器。圖：機(jī)器人傳統(tǒng)控制與柔順控制對比圖：柔順控制技術(shù)分類與應(yīng)用場景資料來源：智星崛起公眾號，天風(fēng)證券研究所傳統(tǒng)控制柔順控制搬精運(yùn)度機(jī)、器高人剛要性求控高制基的于機(jī)被器動人柔示順教控制機(jī)縫械針臂為一顆葡萄101.6

人形機(jī)器人對力控提出更高要求：柔性控制+智能感應(yīng)?

力控環(huán)節(jié)關(guān)注四種實(shí)現(xiàn)力感應(yīng)技術(shù)路線的可替代性與可實(shí)現(xiàn)性電流環(huán)方案：電流環(huán)感應(yīng)力覺基于電流反饋和辨識的動力學(xué)模型，無需加裝傳感器，但精度較低，僅有10N；末端力傳感器方案：末端力傳感器感應(yīng)力覺主要通過在機(jī)械臂末端加裝如一維力、六維力等傳感器實(shí)現(xiàn)，其優(yōu)點(diǎn)在于精度較高，如一維力傳感器精度可達(dá)0.1N，六維可達(dá)到0.01N，但目前價格昂貴，一維力傳感器價格上千，而最便宜的六維力傳感器也需要2-3萬元；關(guān)節(jié)力矩傳感器方案：關(guān)節(jié)力矩傳感器需要安裝在關(guān)節(jié)之中，精度、價格在電流環(huán)方案與末端力傳感器方案之間；電子皮膚/柔性傳感方案：即通過給機(jī)器人添加電子皮膚實(shí)現(xiàn)對力覺的感應(yīng)與控制。例如在靈巧機(jī)械手的驅(qū)動控制方面，電子皮膚可以感知抓取過程的握力。柔性傳感器在傳統(tǒng)消費(fèi)電子產(chǎn)品中有一定應(yīng)用，但與靈巧手仍有差距，仍處于研發(fā)之中。圖：力覺感應(yīng)不同技術(shù)路線對比資料來源：財聯(lián)社早知道、智星崛起公眾號，天風(fēng)證券研究所力覺感應(yīng)方式描述優(yōu)點(diǎn)缺點(diǎn)電流環(huán)通過電流反饋和辨識的動力學(xué)模型估計(jì)外力無需加裝傳感器精度低，只有10N關(guān)節(jié)力矩傳感器機(jī)械臂關(guān)節(jié)處加裝力矩傳感器精度可達(dá)0.5~0.1N，價格在電流環(huán)與末端力傳感器之間電子皮膚/柔性傳感肢體外層添加電子皮膚/柔性傳感器可實(shí)現(xiàn)靈巧和敏銳觸覺，消費(fèi)電子有初步應(yīng)用，但仍處于研發(fā)中末端力傳感器機(jī)械臂末端加裝力傳感器精度高，一維可達(dá)0.1N，六維可達(dá)0.01N價格高，一維價格上千，六維為2萬以上力/力矩傳感器211請務(wù)必閱讀正文之后的信息披露和免責(zé)申明122.1

末端力傳感器：六維力傳感器感應(yīng)精準(zhǔn)，技術(shù)+量產(chǎn)有望推動降本六維力傳感器性能最優(yōu)，關(guān)注硅應(yīng)變片+壓電傳感按照測量維度分類，力傳感器可分為一維和多維。一維力傳感器僅檢測一個方向的作用力，價格多為數(shù)百元，廣泛應(yīng)用于工業(yè)場景；多維力傳感器能夠測量多個維度的力，常見的是三維和六維。六維力傳感器能夠同時測量XYZ軸向力和環(huán)繞軸的力矩，內(nèi)部算法可以解耦各個方向的力和力矩的干擾，給出最全面的力覺信息，技術(shù)壁壘高、應(yīng)用難度大。一維力傳感器：標(biāo)定坐標(biāo)軸為OZ軸，被測量力F的方向與OZ完全重合時即可完成任務(wù)，代表產(chǎn)品為稱重傳感器、壓力傳感器；三維力傳感器：如果力F的作用點(diǎn)與傳感器的標(biāo)定參考點(diǎn)O保持重合，力F的方向在三維空間中隨機(jī)變化，三維力傳感器即可完成測量任務(wù)，同時測量Fx、Fy、Fz三個分力。當(dāng)力的作用點(diǎn)遠(yuǎn)離傳感器時，傳感器要同時承受力的分量和彎矩的作用偏差較大。六維力傳感器：空間中任意方向的力F，作用點(diǎn)P不與傳感器標(biāo)定參考點(diǎn)重合且隨機(jī)變化，這種情況下需選用六維力傳感器，同時測量Fx、Fy、Fz、Mx、My、Mz六個分量，適用于參考點(diǎn)距離較遠(yuǎn)、隨機(jī)變化的場景，且測量精度要求高。圖：一維傳感器作用示意圖 圖：三維傳感器作用示意圖 圖：六維傳感器作用示意圖資料來源：坤維科技公眾號，高工機(jī)器人公眾號，天風(fēng)證券研究所傳感器傳感器傳感器OXYZ

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傳感器的標(biāo)定坐標(biāo)系O

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傳感器標(biāo)定參考點(diǎn)OZ

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傳感器的標(biāo)定軸線OXYZ

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傳感器的標(biāo)定坐標(biāo)系O

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傳感器標(biāo)定參考點(diǎn)OZ

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傳感器的標(biāo)定軸線OXYZ

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傳感器的標(biāo)定坐標(biāo)系O

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傳感器標(biāo)定參考點(diǎn)P

–力作用點(diǎn)13檢測方法方法描述優(yōu)點(diǎn)缺點(diǎn)電阻應(yīng)變式力作用→

電阻變化量精度高、技術(shù)成熟、范圍廣、頻響特性好存在非線性誤差、信號輸出微弱電容式力作用→

電容變化量靈敏度高、分辨率高、頻率范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單、適用性強(qiáng)存在電荷泄露，靜態(tài)力測量困難、分辨率不高壓電式基于壓電效應(yīng)，力作用

→

電荷量變化動態(tài)響應(yīng)好、精準(zhǔn)性好、分辨率高、結(jié)構(gòu)緊湊、尺寸小、剛度強(qiáng)調(diào)理電路復(fù)雜、寄生電容影響大電磁式基于霍爾效應(yīng)，力作用

→

磁通量變化動態(tài)量測范圍大、功耗小、簡單可靠非線性誤差大、互換性差、分辨率不高光電式基于光電效應(yīng)，力作用

→

光學(xué)量變化可靠性高、測量范圍廣、動態(tài)響應(yīng)好價格昂貴、測試環(huán)境要求高電感式力作用→

電感量變化靈敏度高、分辨率高、線性度好、重復(fù)性高不適用于動態(tài)測量、可靠性不高2.1

末端力傳感器：六維力傳感器感應(yīng)精準(zhǔn)，技術(shù)+量產(chǎn)有望推動降本六維力傳感器性能最優(yōu)，關(guān)注硅應(yīng)變片+壓電傳感按照測量原理/信號采集原理分類，應(yīng)用較久的是電阻應(yīng)變式、電容式、壓電式，隨著檢測傳感技術(shù)的發(fā)展，光電式、電感式、氣壓式、電磁式等檢測方法也有應(yīng)用，不同技術(shù)各有優(yōu)缺。大部分六維力傳感器基于應(yīng)變片結(jié)構(gòu)：硅應(yīng)變片式性能表現(xiàn)好于金屬應(yīng)變片，但成本較高，近年來硅應(yīng)變片工藝有所改進(jìn)，成本有望降低；壓電式動態(tài)特性較好，但更多用于少于六維力傳感器上，六維力傳感器上的應(yīng)用有望增加。表：不同檢測方法的優(yōu)缺點(diǎn)資料來源：《機(jī)器人多維力傳感器》梁橋康等，Leaderobot公眾號，天風(fēng)證券研究所—硅應(yīng)變片式很高很高中很高中—金屬箔式中很高中低中低中低電容式中低低中低低中低光學(xué)式中低低中低中壓電式中很高很高中很高動態(tài)特性

信噪比成本表：不同技術(shù)類型傳感器綜合比較技術(shù)類型

穩(wěn)定性

剛度應(yīng)變式142.1

末端力傳感器：六維力傳感器感應(yīng)精準(zhǔn)，技術(shù)+量產(chǎn)有望推動降本應(yīng)變式六維力傳感器結(jié)構(gòu)核心是應(yīng)變片多維力傳感器主要由力敏元器件、信號采集電路、信號調(diào)理電路、多維信號解耦系統(tǒng)（硬件/軟件）、上位機(jī)或嵌入式系統(tǒng)信息處理軟件等構(gòu)成。力敏元件的性能直接決定多維力傳感器的靈敏度、量程、分辨率、剛性等性能指標(biāo)。以ATI應(yīng)變式六維力傳感器為例，其內(nèi)部擁有三根梁，每個梁上有四個硅應(yīng)變片，成對工作構(gòu)成半橋電路。就愛采購、京東等在線平臺產(chǎn)品及MIR睿工業(yè)公眾號的數(shù)據(jù)，進(jìn)口的ATI六維力傳感器價格在8萬元左右，外資產(chǎn)品單個均價約為4萬元；國產(chǎn)六維力傳感器價格在6000-40000元之間，均價在2萬元以上。國外品牌HBM應(yīng)變片價格在800-3000元左右。按ATI六維力傳感器使用12個應(yīng)變片計(jì)算，應(yīng)變片成本將達(dá)到0.96-3.6萬元。據(jù)MIR睿工業(yè)調(diào)研數(shù)據(jù)，國產(chǎn)六維力傳感器成本僅有數(shù)千元，利潤率較高，兩年內(nèi)單個產(chǎn)品價格有望降至5000元左右。圖：應(yīng)變片將形變變?yōu)殡娦盘枅D：應(yīng)變片內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖：ATI六維力傳感器內(nèi)部結(jié)構(gòu)資料來源：HBM測試與測量、ATI工業(yè)自動化公眾號，天風(fēng)證券研究所15工藝層次工藝內(nèi)容支持工藝彈性元件毛坯鍛造加工、機(jī)械加工、熱處理、表面處理基礎(chǔ)工藝電阻應(yīng)變計(jì)及其膠粘劑、電路補(bǔ)償與調(diào)整工藝用原材料及元器件、封裝用防護(hù)與密封材料核心工藝全生產(chǎn)流程，重點(diǎn)為電阻應(yīng)變計(jì)粘貼與固化處理、組焊惠斯通電橋電路、電路補(bǔ)償與調(diào)整、防護(hù)與密封特殊工藝 能夠提高傳感器性能的反淬火法、冷熱循環(huán)法、恒溫時效法、振動時效工藝等2.1

末端力傳感器：六維力傳感器感應(yīng)精準(zhǔn)，技術(shù)+量產(chǎn)有望推動降本應(yīng)變式六維力傳感器結(jié)構(gòu)核心是應(yīng)變片，技術(shù)核心在于采集+算法力傳感器機(jī)械本體結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，很難用經(jīng)典力學(xué)知識建立精確理論模型；維間耦合、非線性耦合等增加了解耦和精度的難度；工藝方面，應(yīng)變片對粘貼精度要求高且容易損壞，結(jié)構(gòu)和加工誤差可能加劇維間耦合現(xiàn)象，且生產(chǎn)工藝中手工操作流程多，人為因素對品質(zhì)影響較大。六維力傳感器形態(tài)多、研發(fā)難度大，并非多個一維力傳感器和扭矩傳感器結(jié)構(gòu)的簡單疊加，需要考慮非線性力學(xué)、多通道信號溫漂、蠕變、交叉干擾、數(shù)據(jù)實(shí)時處理、六維聯(lián)合加載標(biāo)定的復(fù)雜性。應(yīng)變式傳感器是依賴于制造工藝的。高精度力傳感器壁壘來自于多方面，設(shè)計(jì)端的應(yīng)變片材料及設(shè)計(jì)、傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，工藝端粘貼、加工精度，應(yīng)用端的校準(zhǔn)標(biāo)定，

算法端的解耦計(jì)算，均需熟練掌握相關(guān)know-how。表：藍(lán)點(diǎn)觸控六維力傳感器及力控解決方案表：應(yīng)變式傳感器生產(chǎn)制造工藝資料來源：MIR睿工業(yè)公眾號，《稱重傳感器制造工藝機(jī)理及其發(fā)展趨勢》劉九卿，天風(fēng)證券研究所162.2

六維力傳感器：機(jī)器人撬動市場空間，量產(chǎn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)能稀缺?

機(jī)器人領(lǐng)域系六維力/力矩傳感器重要市場，人形機(jī)器人市場應(yīng)用潛力較大：目前六維力/力矩傳感器主要應(yīng)用于工業(yè)機(jī)器人、協(xié)作機(jī)器人、手術(shù)機(jī)器人和康復(fù)機(jī)器人等，隨著機(jī)器人力控技術(shù)發(fā)展及成本降低，六維力傳感器將在人形機(jī)器人領(lǐng)域發(fā)揮及其重要的作用，未來市場潛力較大。圖：六維力傳感器機(jī)器人領(lǐng)域應(yīng)用場景圖：六維力傳感器行業(yè)應(yīng)用持續(xù)擴(kuò)展資料來源：高工機(jī)器人公眾號，天風(fēng)證券研究所應(yīng)用領(lǐng)域市場規(guī)模（GGII預(yù)測口徑）潛在客戶工業(yè)機(jī)器人預(yù)計(jì)2026年中國銷量達(dá)67萬臺以上發(fā)那科、安川、ABB、庫卡、埃斯頓、伯朗特、圖靈、埃夫特、華數(shù)機(jī)器人等協(xié)作機(jī)器人預(yù)計(jì)中國六軸及以上協(xié)作機(jī)器人2026年出貨將近6萬臺，市場規(guī)模接近60億元遨博、節(jié)卡、艾利特、大族、珞石、越疆、中科新松、法奧、集萃等血管介入機(jī)器人中國市場規(guī)模預(yù)計(jì)從2022年的0.34億元增長到2030年的58.24億元，CAGR≈90.3%博動醫(yī)療、潤邁德醫(yī)療、愛博醫(yī)療、唯邁醫(yī)療、奧朋醫(yī)療、微創(chuàng)醫(yī)療、萬思醫(yī)療、睿心醫(yī)療等康復(fù)機(jī)器人預(yù)計(jì)中國市場2023-2026年期間CAGR≈50%，2026年市場規(guī)模達(dá)79.5億元傅利葉智能、大艾機(jī)器人、程天科技、卓道醫(yī)療、哈工天愈、邁步醫(yī)療、埃斯頓等人形機(jī)器人預(yù)計(jì)2030年全球人形機(jī)器人滲透率有望達(dá)7%，市場規(guī)模超200億美元優(yōu)必選、小米、特斯拉、達(dá)闊科技、智元科技、傅利葉智能等172.2

六維力傳感器：機(jī)器人撬動市場空間，量產(chǎn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)能稀缺銷量方面：2022年中國市場六維力/力矩傳感器銷量8360套，同比增長57.97%，其中機(jī)器人行業(yè)銷量4840套，同比增長62.58%。GGII預(yù)計(jì)到2027年中國市場六維力力矩傳感器銷量有望突破84,000套，復(fù)合增長率超過60%，其中機(jī)器人行業(yè)銷量有望突破42,000套；空間方面：2022年中國六維力/力矩傳感器市場規(guī)模2.39億元，同比增長52.04%，其中機(jī)器人行業(yè)六維力/力矩傳感器市場規(guī)模1.56億元，同比增長54.

35%。GGII預(yù)計(jì)，2027年中國六維力/力矩傳感器市場規(guī)模將超過15億元，復(fù)合增長率超過45%。?

市場規(guī)模有望高速成長：六維力測量技術(shù)屬于平臺型技術(shù)，目前主要應(yīng)用于機(jī)器人、汽車、航空航天等領(lǐng)域。當(dāng)前六維力/力矩傳感器市場基數(shù)依然偏小，尚未形成明顯規(guī)模效應(yīng)；隨著應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，六維力和力矩傳感器有望進(jìn)入高速成長期，期間或?qū)殡S多技術(shù)路線產(chǎn)品矩陣的完善、產(chǎn)品價格的下降以及國產(chǎn)化率的提升。圖：2017-2027年中國六維力/力矩傳感器市場銷量及預(yù)測圖：2017-2027年中國六維力/力矩傳感器市場規(guī)模及預(yù)測資料來源：高工機(jī)器人公眾號，天風(fēng)證券研究所10000090000800007000060000500004000030000200001000002027E2017

2019

2021機(jī)器人行業(yè)銷量（套）2023E 2025E非機(jī)器人行業(yè)銷量（套）18161412108642020172018201920202021

20222023E2024E2025E2026E2027E機(jī)器人行業(yè)規(guī)模（億元） 非機(jī)器人行業(yè)規(guī)模（億元）182.2

六維力傳感器：機(jī)器人撬動市場空間，量產(chǎn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)能稀缺批量化產(chǎn)能稀缺：盡管受益于機(jī)器人市場需求增加，中國六維力矩傳感器供應(yīng)商逐年增加，但受制于高技術(shù)壁壘，真正具備批量化產(chǎn)品供應(yīng)能力的廠商依舊較少。根據(jù)2022年銷量口徑劃分，ATI、宇立科技、坤維科技、鑫精誠位于第一梯隊(duì)，但各家廠商下游應(yīng)用側(cè)重點(diǎn)各有特色：ATI作為全球龍頭，積累豐富，應(yīng)用面相對較廣；宇立在工業(yè)機(jī)器人磨拋行業(yè)和汽車碰撞測試行業(yè)應(yīng)用更多；坤維科技在協(xié)作機(jī)器人、醫(yī)療手術(shù)機(jī)器人和康復(fù)機(jī)器人領(lǐng)域具備明顯優(yōu)勢，同時其產(chǎn)品在航空航天領(lǐng)域具備行業(yè)核心競爭力，鑫精誠憑借蘋果供應(yīng)商的身份已將其產(chǎn)品推入到3C行業(yè)，同時在機(jī)器人行業(yè)和醫(yī)療行業(yè)也有布局。圖：全球六維力/力矩傳感器主流廠商圖：2022年中國協(xié)作機(jī)器人六維力/力矩傳感器市場競爭格局（銷量）資料來源：高工機(jī)器人公眾號，天風(fēng)證券研究所坤維科技 ATI 藍(lán)點(diǎn)觸控 宇立 鑫精誠 其他192.2

六維力傳感器：機(jī)器人撬動市場空間，量產(chǎn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)能稀缺資料來源：高工機(jī)器人公眾號，天風(fēng)證券研究所企業(yè)總部準(zhǔn)度（%FS）公司簡介坤維科技中國0.5%成立于2018年，是一家致力于提供高精度力覺傳感器(六軸力傳感器)及力控解決方案的企業(yè)。公司主營智能力覺傳感器的研發(fā)、制造、銷售、及技術(shù)準(zhǔn)廣，開發(fā)面向機(jī)器人及其他智能裝備行業(yè)的力覺傳感器產(chǎn)品，為機(jī)器人及其它智能裝備、工業(yè)過程監(jiān)控、產(chǎn)品質(zhì)量檢測、科研測試測量等領(lǐng)域提供力覺測量解決方案及相關(guān)產(chǎn)品。鑫精誠傳感器中國1%-3%深圳市鑫精誠科技有限公司成立于2009年，公司專注于微型壓力、稱重、多軸力、扭力等多樣化的智能傳感器及控制儀表的工業(yè)級產(chǎn)品研發(fā)和創(chuàng)新。為3C自動化設(shè)備、精密醫(yī)療、農(nóng)業(yè)、新能源鯉電、機(jī)器人、半導(dǎo)體、航空鐵路等領(lǐng)域提供力控系統(tǒng)解決方案與技術(shù)合作。宇立儀器中國1%-5%是一家集生產(chǎn)、研發(fā)于一體的技術(shù)密集型企業(yè)，是原美國FTSS（現(xiàn)Humanetics

ATD）總工黃約博士于2007年創(chuàng)立，公司在多軸力傳感器設(shè)計(jì)領(lǐng)域積累了20余年經(jīng)驗(yàn)，在汽車和工業(yè)機(jī)器人領(lǐng)域具有較強(qiáng)的競爭優(yōu)勢。藍(lán)點(diǎn)觸控中國1%-2%藍(lán)點(diǎn)觸控成立于2019年，是一家專業(yè)從事高精度、高性能力傳感器以及力控產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)。公司在多維力傳感器、關(guān)節(jié)扭矩傳感器、機(jī)器人力控技術(shù)等方面擁有深厚的經(jīng)驗(yàn)積累和技術(shù)優(yōu)勢，現(xiàn)已形成了六維力傳感器、關(guān)節(jié)扭矩傳感器、力控應(yīng)用軟件包等多個產(chǎn)品系列。海伯森中國1%-2%成立于2015年，公司始終專注工業(yè)傳感技術(shù)的創(chuàng)新，并在光學(xué)精密測量、工業(yè)2D/3D檢測、機(jī)器人智能應(yīng)用等領(lǐng)域形成了成熟的產(chǎn)品矩陣，主營產(chǎn)品包括3D閃測傳感器、3D線光譜共焦傳感器、點(diǎn)光譜共焦位移傳感器、超高速工業(yè)相機(jī)和六維力傳感器等。ATI美國0.5%-2%世界領(lǐng)先的多維力傳感器制造商，致力于開發(fā)最先進(jìn)的產(chǎn)品和解決方案，在世界各地得到了成千上萬的成功應(yīng)用。公司主營業(yè)務(wù)包括機(jī)器人快速轉(zhuǎn)換裝置及力傳感器。SCHUNK德國2%創(chuàng)建于1945年，主營產(chǎn)品包括精密夾具和自動化抓取系統(tǒng)、傳感器等。公司的產(chǎn)品主要應(yīng)用于機(jī)械和自動化領(lǐng)域。Robotiq加拿大3%Robotiq公司成立于2008年，總部位于加拿大魁北克，主營產(chǎn)品包括機(jī)器人末端夾具、力矩傳感器、機(jī)器人相機(jī)套件等。OnRobot丹麥3%是一家全球性公司，由丹麥OnRobot、匈牙利OptoForce和美國Perception

Robotics合并而成。主營產(chǎn)品包括機(jī)器人末端央具、力矩傳感器、機(jī)器人相機(jī)套件等。Sintokogio日本1%-3%成立于1934年，總部位于日本；五項(xiàng)主營業(yè)務(wù)，業(yè)務(wù)遍及全球，亞洲、北美和歐洲是其前三大市場。WACOH-TECH日本1%-3%成立于2007年，總部位于日本，主營業(yè)務(wù)包括力傳感器和MEMS傳感器產(chǎn)品的開發(fā)、生產(chǎn)、銷售。202.3關(guān)節(jié)扭矩傳感器：協(xié)作機(jī)器人大量應(yīng)用，關(guān)節(jié)+末端方案值得重視扭矩傳感器大量應(yīng)用于協(xié)作機(jī)器人關(guān)節(jié)扭矩測量扭矩傳感器可以將扭力的物理變化轉(zhuǎn)換成精確的電信號，實(shí)現(xiàn)對旋轉(zhuǎn)或非旋轉(zhuǎn)機(jī)械部件上扭轉(zhuǎn)力矩的檢測，可分為動態(tài)和靜態(tài)兩大類。扭矩傳感器適用于機(jī)器人關(guān)節(jié)扭矩測量，大量應(yīng)用于協(xié)作機(jī)器人中高端機(jī)型。相較于末端安裝六維力傳感器，在機(jī)器人每個關(guān)節(jié)安裝扭矩傳感器同樣可以解算出末端六維力。關(guān)節(jié)力矩方案具有理論力控制帶寬高、整臂具備力感知、安全的優(yōu)點(diǎn)，可以在有限信息反饋下實(shí)現(xiàn)扭矩的高解耦度輸出。據(jù)MIR睿工業(yè)數(shù)據(jù)，2022年整個中國扭矩傳感器市場大約在1.5萬臺左右，市場規(guī)模大約在5000萬左右，主要以國產(chǎn)廠商為主，其中藍(lán)點(diǎn)觸控占據(jù)著領(lǐng)先地位，出貨量超過70%。關(guān)節(jié)扭矩傳感器均價在2000-4000元左右，隨著市場快速放量和技術(shù)突破有望大幅度降價。圖：2020-2029E中國市場關(guān)節(jié)力矩傳感器出貨量（臺）圖：2020-2029E中國市場關(guān)節(jié)力矩傳感器市場規(guī)模（億元）資料來源：MIR睿工業(yè)公眾號，天風(fēng)證券研究所0.500%50%100%150%200%250%300%0102030405060702020202120222023E2024E2025E2026E2027E2028E

2029E市場規(guī)模（億元） YoY15000400%350%300%250%200%150%100%50%0%0100000020000003000000400000050000002020202120222023E2024E2025E2026E2027E2028E

2029E出貨量（臺） YoY212.4

人形機(jī)器人：關(guān)注關(guān)節(jié)+末端方案，市場潛力空間廣闊?

人形機(jī)器人傳感器方案：關(guān)節(jié)力矩傳感器+末端六維力傳感器據(jù)MIR睿工業(yè)調(diào)研，業(yè)內(nèi)普遍認(rèn)為一臺人形機(jī)器人至少需四個六維力傳感器和數(shù)十個關(guān)節(jié)力矩傳感器。我們計(jì)算了不同人形機(jī)器人出貨量情況下對應(yīng)的末端六維力+關(guān)節(jié)力矩傳感器應(yīng)用方案與市場規(guī)模，主要假設(shè)如下：傳感器數(shù)量：以O(shè)ptimus為例，四肢末端需4個六維力傳感器，身體部分共28個關(guān)節(jié)，包含14個旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，最多需使用14個關(guān)節(jié)扭矩傳感器；傳感器價格：當(dāng)前末端六維力、關(guān)節(jié)扭矩傳感器單價分別約20000、3500元，假設(shè)機(jī)器人百萬臺出貨量時價格分別為2000、800元。表：人形機(jī)器人力/力矩傳感器方案組合市場規(guī)模測算資料來源：MIR睿工業(yè)公眾號，電子發(fā)燒友網(wǎng)公眾號，愛采購網(wǎng)，天風(fēng)證券研究所人形機(jī)器人數(shù)量（萬臺端力傳感器單臺末端六維力傳感器數(shù)量（個）444444末端六維力傳感器總數(shù)量（萬個）4204080200400末端六維力傳感器單價（萬元）2.00.50.40.30.20.2末端六維力傳感器市場規(guī)模（億元）81016244080關(guān)節(jié)扭矩傳感器旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)數(shù)量（個）141414141414關(guān)節(jié)扭矩傳感器數(shù)量（萬個）14701402807001400單臺關(guān)節(jié)扭矩傳感器單價（萬元）0.350.300.250.150.100.08關(guān)節(jié)扭矩傳感器市場規(guī)模（億元）521354270112末端力+關(guān)節(jié)扭矩傳感器—4末端六維力+100%關(guān)節(jié)扭矩（億元）13315166110192—全關(guān)節(jié)扭矩傳感器（億元）521354270112—4末端六維力+50%關(guān)節(jié)扭矩（億元）1021344575136—2末端六維力+50%關(guān)節(jié)扭矩（億元）61626335596柔性傳感器322請務(wù)必閱讀正文之后的信息披露和免責(zé)申明233.1

觸覺是機(jī)器人的重要感知方式，柔性傳感器市場空間廣闊多維觸覺是機(jī)器人重要的知覺形式，在諸多場景下發(fā)揮核心作用；1）多維觸覺使機(jī)器人能夠感知物體的硬度、粗糙度、形狀等多維信息，使得機(jī)器人能夠更加準(zhǔn)確地感知和理解環(huán)境中的物體特征，是機(jī)器人實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)操作物體和執(zhí)行復(fù)雜任務(wù)的基礎(chǔ)。2）確保機(jī)器人在復(fù)雜環(huán)境中（視覺系統(tǒng)失效）依然能夠發(fā)揮作用，增強(qiáng)機(jī)器人在復(fù)雜環(huán)境下的可靠性。3）使機(jī)器人能夠控制施加在物體上的力量，從而實(shí)現(xiàn)更加精細(xì)和智能的力控操作。壓力檢測是觸覺感知的重要方面：觸覺感知是機(jī)器人獲取外界環(huán)境信息的重要途徑，其中壓力檢測是觸覺感知的重要方面。所謂“柔性”是指觸覺傳感器具有類似人類皮膚的物理特性，即具備一定的柔度可覆蓋在載體表面測量受力信息，從而感知目標(biāo)對象的特征信息。因此，柔性壓力傳感技術(shù)的發(fā)展對機(jī)器觸覺感知領(lǐng)域至關(guān)重要。資料來源：上海硅步公眾號，《Energy

autonomous

electronic

skin》Carlos

García

Nú?ez等，天風(fēng)證券研究所圖：Freedom仿人觸覺靈巧手對比圖：機(jī)器人多類傳感器和柔性電子皮膚無觸覺力控情況有觸覺力控情況243.1

觸覺是機(jī)器人的重要感知方式，柔性傳感器市場空間廣闊資料來源：新思界，智研咨詢公眾號，天風(fēng)證券研究所0100020003000400050006000201720182019

2020

20212022產(chǎn)量（萬個） 需求量（萬個）45%40%35%30%25%20%15%10%5%0%051015202520172018

201920202022市場規(guī)模（億元）2021YoY（%）觸覺傳感器應(yīng)用廣泛：觸覺傳感器可以廣泛應(yīng)用在工業(yè)機(jī)器人、服務(wù)機(jī)器人、醫(yī)療機(jī)器人、消費(fèi)電子、可穿戴智能設(shè)備、智能家居、智能汽車等領(lǐng)域。根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心數(shù)據(jù)，預(yù)計(jì)2022-2027年期間觸覺傳感器市場規(guī)模CAGR≈13.1%；其中美國是全球最大的觸覺傳感器市場，需求占比達(dá)到75%以上。國外廠商占據(jù)八成高端觸覺傳感器市場：觸覺傳感器行業(yè)技術(shù)壁壘較高，全球范圍內(nèi)觸覺傳感器產(chǎn)商主要是美國Tekscan公司、美國Pressure

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Systems、美國Sensor

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Inc等，CR3占比達(dá)60%以上，美國觸覺傳感器行業(yè)競爭力強(qiáng)。國產(chǎn)觸覺傳感器替代空間廣闊：中國在高端觸覺傳感器領(lǐng)域處于明顯弱勢地位，觸覺傳感器是我國重點(diǎn)攻艱的35項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)之一，目前我國觸覺傳感器生產(chǎn)實(shí)力不足，布局企業(yè)數(shù)量較少，且多數(shù)以技術(shù)含量較低的產(chǎn)品研制為主，市場需求對外依賴度超90%。圖：2017-2022年中國柔性傳感器行業(yè)供需情況 圖：2017-2022年中國柔性傳感器行業(yè)規(guī)模253.1

觸覺是機(jī)器人的重要感知方式，柔性傳感器市場空間廣闊全球柔性傳感器市場量價齊升：隨著科技的不斷進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，柔性傳感器在智能手機(jī)、可穿戴設(shè)備、智能家居等消費(fèi)電子產(chǎn)品中的應(yīng)用將持續(xù)增長，推動市場規(guī)模的增長。隨著人們對智能化產(chǎn)品的需求增加，柔性傳感器市場在消費(fèi)電子領(lǐng)域的份額將繼續(xù)擴(kuò)大。根據(jù)智研咨詢數(shù)據(jù)顯示，全球柔性傳感器行業(yè)市場規(guī)模呈現(xiàn)逐年上漲態(tài)勢，2022年全球柔性傳感器市場規(guī)模為19.31億美元，需求量為2.43萬個，均價為7.95美元/個。中國柔性傳感器市場規(guī)模有望繼續(xù)擴(kuò)大：隨著國內(nèi)制造業(yè)的升級和智能化需求的增加，柔性傳感器在各個領(lǐng)域的應(yīng)用將不斷增加。根據(jù)智研究咨詢數(shù)據(jù)顯示，中國柔性傳感器行業(yè)市場規(guī)模增長速度較快，2022年中國柔性傳感器行業(yè)市場規(guī)模為21.12億元。資料來源：智研咨詢公眾號，天風(fēng)證券研究所圖：2017-2022年全球柔性傳感器行業(yè)規(guī)模2525%2020%1515%1010%0%5%0520172018 2019 2020市場規(guī)模（億美元）2021 2022YoY（%）6.26.46.66.877.27.47.67.888.200.511.522.5圖：2017-2022年全球柔性傳感器需求及價格情況32017 2018 2019 2020 2021 2022需求量（億個） 均價（美元/個，右軸）263.1

觸覺是機(jī)器人的重要感知方式，柔性傳感器市場空間廣闊消費(fèi)電子應(yīng)用持續(xù)擴(kuò)大，新興領(lǐng)域不斷拓展：柔性傳感器在智能手機(jī)、可穿戴設(shè)備、智能家居等消費(fèi)電子產(chǎn)品中的應(yīng)用將持續(xù)增長。中國消費(fèi)者對智能化產(chǎn)品的需求持續(xù)高漲。除了傳統(tǒng)的消費(fèi)電子領(lǐng)域，中國柔性傳感器市場還將在新興領(lǐng)域得到進(jìn)一步發(fā)展。例如，中國工業(yè)自動化、機(jī)器人技術(shù)的快速發(fā)展將推動柔性傳感器在工業(yè)應(yīng)用中的應(yīng)用增長。需求持續(xù)增長，國產(chǎn)化率逐步提高：根據(jù)智研究咨詢數(shù)據(jù)顯示，中國柔性傳感器需求較大，2022年中國柔性傳感器需求量為4923萬個，產(chǎn)量僅為1634萬個；2022年國產(chǎn)柔性傳感器市場規(guī)模達(dá)3.12億元，同比增長31.6%；國產(chǎn)化率逐步提高，2022年中國柔性傳感器國產(chǎn)化率為32.50%。資料來源：智研咨詢公眾號，共研咨詢，天風(fēng)證券研究所圖：2017-2022年國產(chǎn)柔性傳感器銷量及中國市場傳感器價格情況圖：2017-2022年國產(chǎn)柔性傳感器市場規(guī)模0%10%20%30%40%50%60%70%80%00.511.522.533.520172018

201920202022市場規(guī)模（億元）2021YoY（%）120040100039800383736353433444342416004002000180016001400201720222018 2019銷量（萬個，左軸）2020 2021單價（元/個）273.2

柔性壓力傳感器：壓阻式傳感器或?qū)⒊蔀橹髁髻Y料來源：《機(jī)器人觸覺傳感器發(fā)展概述》宋愛國，天風(fēng)證券研究所?

柔性壓力傳感器按照傳感原理主要可以分為，壓阻式（電阻式）、電容式、電感式、壓電式、光電式等：電容式：在外力作用下使兩極板間的相對位置發(fā)生變化，從而導(dǎo)致兩級間電容變化，通過檢測電容的變化量實(shí)現(xiàn)檢測。優(yōu)勢是測量量程大，線性度好，制造成本低，實(shí)時性高；劣勢是物理尺寸大，不易集成化，易受噪聲影響，穩(wěn)定性差。電感式：利用電磁感應(yīng)原理將壓力作用轉(zhuǎn)換為線圈的自感系數(shù)和互感系數(shù)的變化，并將磁場的變化通過磁路系統(tǒng)轉(zhuǎn)化為電信號，從而檢測接觸面上的壓力信號。優(yōu)勢是制造成本低，測試量程范圍大；劣勢是磁場分布難以控制，分辨率低；一致性差。壓電式：基于壓電效應(yīng)的傳感器，是一種自發(fā)電式和機(jī)電轉(zhuǎn)換式傳感器。優(yōu)勢是動態(tài)范圍寬，有較好的耐用性；劣勢是易受熱響效應(yīng)影響。圖：電子觸覺皮膚傳感器的轉(zhuǎn)換機(jī)制283.2

柔性壓力傳感器：壓阻式傳感器或?qū)⒊蔀橹髁髻Y料來源：《柔性壓阻式壓力傳感器的研究進(jìn)展

》李鳳超，天風(fēng)證券研究所柔性壓阻式壓力傳感器被認(rèn)為是下一代柔性壓力傳感器的理想選擇：柔性壓阻式傳感器以器件結(jié)構(gòu)簡單、靈敏度高、響應(yīng)快、制造成本低、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)被認(rèn)為是下一代柔性壓力傳感器的理想選擇。劣勢是體積大，不易實(shí)現(xiàn)微型化；功耗高，接觸表面易碎；易受噪聲影響。柔性壓阻式壓力傳感器：利用彈性材料的電阻率隨壓力大小的變化而變化的性質(zhì)制成，將接觸面上的的壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號。主要分為兩大類：一類是基于導(dǎo)電橡膠、導(dǎo)電塑料、導(dǎo)電纖維等復(fù)合型高分析導(dǎo)電材料制成的器件；導(dǎo)電橡膠是將玻璃鍍銀、鋁鍍銀、銀等導(dǎo)電顆粒均勻分布在硅橡膠中，受到壓力時導(dǎo)電顆粒發(fā)生接觸導(dǎo)致電阻率發(fā)生變化。另一類是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)制成的器件，其基片可直接作為測量傳感元件，擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)組成惠斯通電橋。當(dāng)基片受到外力作用時，電阻率發(fā)生顯著變化導(dǎo)致各電阻值發(fā)生變化，電橋就會產(chǎn)生相應(yīng)的電壓信號輸出。圖：半導(dǎo)體材料壓阻效應(yīng) 圖：

高分子復(fù)合材料壓阻效應(yīng)（d）和隧穿效應(yīng)（e）293.3

柔性MEMS壓力傳感器：空間分辨率和靈敏度較高資料來源：《一種面向視觸融合人機(jī)交互的柔性觸覺傳感陣列》王爽，天風(fēng)證券研究所種類柔性基底+敏感材料舉例優(yōu)點(diǎn)缺點(diǎn)MEMS應(yīng)變計(jì)PI+金屬應(yīng)變計(jì)PI+NiCrPDMS+應(yīng)變片靈敏度高空間分辨率高單元易碎成本較高封裝后尺寸大導(dǎo)電聚合物PDMS+Flemion彎曲性好成本低靈敏度低導(dǎo)電橡膠PDMS+混有CNT的PDMSPDMS+INASTROMER導(dǎo)電橡膠彎曲性好可檢測靜態(tài)動力存在遲滯現(xiàn)象導(dǎo)電溶液柔性橡膠+導(dǎo)電液（Bio

Tac）集成度高穩(wěn)定性好信號串?dāng)_密封性要求高壓阻性觸覺傳感器根據(jù)敏感材料不同分為MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）應(yīng)變計(jì)類、導(dǎo)電聚合物類、導(dǎo)電橡膠類和導(dǎo)電溶液類。MEMS工藝是微電子和微機(jī)械的巧妙結(jié)合：MEMS是集微型傳感器、執(zhí)行器、機(jī)械結(jié)構(gòu)、電源能源、信號處理、控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微米或納米級器件或系統(tǒng)。簡而言之，MEMS工藝就是將傳統(tǒng)機(jī)械系統(tǒng)的部件微型化后，利用半導(dǎo)體加工技術(shù)將微型機(jī)械系統(tǒng)和集成電路固定在硅晶圓上，然后根據(jù)不同的應(yīng)用場景采用特殊定制的封裝形式，最終切割組裝形成硅基換能器。柔性MEMS壓阻式傳感器具有靈敏度高、空間分辨率高的優(yōu)勢：基于微納結(jié)構(gòu)的柔性壓力傳感器集成到機(jī)器人中，可以實(shí)現(xiàn)靈敏的觸覺感知，然而例如金字塔和半球等傳統(tǒng)對稱結(jié)構(gòu)，只能感知力的大小，卻無法感受力的方向；觸覺不僅由壓力引起，還由剪切力和摩擦力所引起，其大小和方向都很重要。圖：不同壓阻式傳感器優(yōu)缺點(diǎn)對比*CNT：碳納米管，MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)，PDMS：聚二甲基硅氧烷，PI：聚酰亞胺303.3

柔性MEMS壓力傳感器：空間分辨率和靈敏度較高資料來源：芯智訊公眾號，麥姆斯咨詢，天風(fēng)證券研究所MEMS技術(shù)應(yīng)用在大部分觸覺傳感器：大部分常用的觸覺傳感器或多或少地應(yīng)用了MEMS技術(shù)，此類傳感器空間分辨率較高，但MEMS觸覺設(shè)備容易損壞。柔性MEMS壓力傳感器：使用柔性材料制作的MEMS壓力傳感器，通過直接檢測材料表面形變來感知力度，相較于傳統(tǒng)硅基MEMS壓力傳感器來說，柔性MEMS傳感器由于具有柔性特質(zhì)，因此對于系統(tǒng)其他部件的結(jié)構(gòu)和內(nèi)部空間結(jié)構(gòu)要求較低，具有更強(qiáng)的適應(yīng)性，應(yīng)用范圍較廣。傳統(tǒng)MEMS壓力傳感器：主要通過測量面板與固定位之間的間距變化，導(dǎo)致對MEMS觸點(diǎn)產(chǎn)生擠壓來測量壓力；由于需要檢測面板間距變化，需緊密支撐，對結(jié)構(gòu)依賴度高，并且容易受到外部結(jié)構(gòu)變化的影響，這也使得其在部署上對其他部件結(jié)構(gòu)和內(nèi)部結(jié)構(gòu)要求較高，組裝更為復(fù)雜，可適應(yīng)性和應(yīng)用范圍相對較窄。圖：柔性壓力傳感器下游應(yīng)用 圖：紐迪瑞（NDT）柔性與傳統(tǒng)技術(shù)示意圖313.4

指尖觸覺解決方案：多點(diǎn)陣列壓力傳感器資料來源：財聯(lián)社公眾號，《用于人工指尖觸覺感應(yīng)的柔性MEMS電容式壓力傳感器研究》楊俊，天風(fēng)證券研究所將MEMS傳感器陣列化并集成在柔性可延展襯底是實(shí)現(xiàn)柔性電子的重要途經(jīng)：許多研究采用了復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)來增強(qiáng)傳感器的靈敏度，但實(shí)現(xiàn)微型結(jié)構(gòu)通常要涉及復(fù)雜且昂貴的制造工序，不利于陣列化；目前有部分機(jī)器人廠商和研究機(jī)構(gòu)采用了多點(diǎn)陣壓力傳感器方案來實(shí)現(xiàn)人工指尖觸覺感應(yīng)。瑞森可Freehandy靈巧手：瑞森可聯(lián)合清華大學(xué)開發(fā)團(tuán)隊(duì)推出可穿戴式五指靈巧手Freehandy；使用多陣列壓力傳感器（15*15mm的面積上共25個感應(yīng)點(diǎn)），利用CMOS

工藝，組成復(fù)合傳感結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)觸覺、滑覺的精準(zhǔn)感知；單指指尖抓取力強(qiáng)（整手最大負(fù)載1.0Kg），指尖傳感精度高（單點(diǎn)0.3N），可適用于多種類物品的復(fù)雜抓取場景。特斯拉第二代Optimus機(jī)器人增加手指觸覺傳感器：全新11自由度靈巧手，通過新增手指觸覺傳感器，實(shí)現(xiàn)捏雞蛋的精細(xì)操作。圖：集成微型觸覺傳感器陣列機(jī)器手 圖：第二代Optimus靈巧手部指尖傳感器323.4

指尖觸覺解決方案：多點(diǎn)陣列壓力傳感器資料來源：上海硅步公眾號，《智能機(jī)器人用觸覺傳感器應(yīng)用現(xiàn)狀》鄧劉劉，天風(fēng)證券研究所?

上海硅步靈巧手：Freedom仿人形五指觸感靈巧手整機(jī)重量較輕，單指指尖抓取力強(qiáng)，單手具有6個自由度；該靈巧手憑借指尖末端多點(diǎn)陣列壓力傳感器，可高精度地執(zhí)行多種抓取操作。指尖多陣列觸覺傳感器：設(shè)計(jì)上下面為“五縱五橫”形式，從而將整塊壓敏材料自動分割為5*5矩陣形式，共具有25個壓阻力單元，靈巧手手指傳感器實(shí)物抓取中實(shí)時反饋，通過算法實(shí)現(xiàn)觸感感知能力，感知精度最小為0.3N以內(nèi)，響應(yīng)速度0.05S。觸覺傳感單元：具有16個觸點(diǎn)，采用靈敏度高弛豫時間低的柔性壓敏材料、穩(wěn)定性高的“柔性-非柔性”界面過渡材料、彈性好機(jī)械強(qiáng)度高的柔性包覆與支撐材料、節(jié)點(diǎn)間的柔性互連材料為主要本體材料，同時結(jié)合

CMOS

工藝技術(shù)，通過在

CMOS

觸覺傳感器實(shí)現(xiàn)復(fù)合傳感結(jié)構(gòu)，構(gòu)成單片的觸覺傳感單元（即觸點(diǎn)）；并采用柔性技術(shù)實(shí)現(xiàn)傳感單元間的互連與信號讀出。圖：Freedom仿人形五指觸感靈巧手 圖：壓力傳感器陣列裝置和PＲ2機(jī)器人手爪333.5

微結(jié)構(gòu)：提升壓阻式柔性傳感器靈敏度微結(jié)構(gòu)創(chuàng)新設(shè)計(jì)被認(rèn)為是增強(qiáng)柔性傳感器性能最有效的手段之一：微結(jié)構(gòu)具有在微小壓力下易變形的特點(diǎn)，國際學(xué)者相繼提出了各種利用微結(jié)構(gòu)之間相互接觸導(dǎo)致電阻變化進(jìn)而實(shí)現(xiàn)傳感的柔性壓力傳感器。微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)類型主要有三類，分別為單一微凸體結(jié)構(gòu)

(金字塔結(jié)構(gòu)、半球狀結(jié)構(gòu)、半柱狀結(jié)構(gòu)、無規(guī)則結(jié)構(gòu)等)；復(fù)合微凸體結(jié)構(gòu)；三維多孔結(jié)構(gòu)等。微結(jié)構(gòu)可以通過增加形變時接觸面積來提升傳感器靈敏度：微結(jié)構(gòu)逐漸應(yīng)用在柔性襯底或?qū)щ妼樱@著提升傳感器靈敏度。例如互鎖結(jié)構(gòu)（左下圖c/d）在加載壓力時，在接觸點(diǎn)處引起應(yīng)力集中和微腔局部變形,

使得互鎖微穹陣列之間的接觸面積顯著增大并影響接觸點(diǎn)處的隧穿電阻。相對于平面結(jié)構(gòu)和單一的半球形結(jié)構(gòu)而言,

互鎖型微結(jié)構(gòu)有效的提高了傳感器的靈敏度資料來源：《柔性壓力傳感器的原理及應(yīng)用》侯星宇，《微結(jié)構(gòu)化柔性壓力傳感器的性能增強(qiáng)機(jī)制、實(shí)現(xiàn)方法與應(yīng)用優(yōu)勢》趙

靜，天風(fēng)證券研究所圖：基于微結(jié)構(gòu)電容型壓力傳感器和電阻型壓力傳感器基于電雙層的電容型壓力傳感器，含有多級非穩(wěn)態(tài)自補(bǔ)償基于互鎖結(jié)構(gòu)的電阻型壓力傳感器圖：微結(jié)構(gòu)電阻式柔性壓力傳感器示意圖343.5

微結(jié)構(gòu)：提升壓阻式柔性傳感器靈敏度資料來源：《柔性力敏傳感器發(fā)展現(xiàn)狀》蘇倩，《柔性壓阻式壓力傳感器的研究進(jìn)展》李鳳超，天風(fēng)證券研究所微結(jié)構(gòu)拓寬柔性壓力傳感器應(yīng)用范圍：通過活性層材料種類的篩選及微結(jié)構(gòu)的合理設(shè)計(jì)，可以進(jìn)一步提高材料的傳感范圍、靈敏度和穩(wěn)定性，從而實(shí)現(xiàn)柔性壓阻式壓力傳感器在人工智能、機(jī)器人電子皮膚、可穿戴設(shè)備及健康檢測領(lǐng)域的實(shí)際應(yīng)用。微結(jié)構(gòu)制造較為復(fù)雜：目前學(xué)者普遍用微結(jié)構(gòu)增敏技術(shù)，旨在提高傳感器的靈敏度，雖然在低壓范圍內(nèi)傳感器靈敏度得到極大提高，但傳感范圍普遍較小。多層微結(jié)構(gòu)可以提升靈敏度和測量范圍，但制造方法復(fù)雜，制造設(shè)備昂貴、難以批量生產(chǎn)及測量范圍相對較小等問題限制了微結(jié)構(gòu)柔性力敏傳感器的廣泛應(yīng)用。此外，柔性壓力傳感器在人體上或者惡劣的環(huán)境下的實(shí)際應(yīng)用受到很大限制，研制更加環(huán)境友好的的傳感器也是未來研究重點(diǎn)。圖：柔性壓阻式壓力傳感器活性層材料、微結(jié)構(gòu)類型及應(yīng)用353.6

柔性電子皮膚：潛在市場廣闊，機(jī)遇與挑戰(zhàn)并存資料來源：《Embedment

of

sensing

elements

for

robust,

highly

sensitive,

and

cross-talk–freeiontronic

skins

forrobotics

applications》JUNLI

SHI，國家自然科學(xué)基金委員會，浙江清華柔性電子技術(shù)研究院，天風(fēng)證券研究所柔性觸覺電子皮膚具有與人體觸覺傳感器相仿的功能：電子皮膚（E-skin）作為機(jī)器人外表面蒙皮可為機(jī)器人提供豐富的觸覺信息，促進(jìn)機(jī)器人控制領(lǐng)域及新一代人機(jī)交互領(lǐng)域的發(fā)展。高柔彈性、高靈敏度的電子皮膚觸覺傳感器使機(jī)器人更加靈活、纖細(xì)、智能、人性化。感知皮膚可以如同衣服一樣附著在更重載體表面，完成接觸力的測量，不受接觸面積和形狀限制。如何在提升觸覺靈敏度的同時保持傳感器的機(jī)械穩(wěn)定性是柔性電子皮膚研究領(lǐng)域的一大挑戰(zhàn)：電子皮膚研究面臨的最大難點(diǎn)在于難以找到合適的復(fù)合材料，以同時實(shí)現(xiàn)人類皮膚的物理化學(xué)屬性和刺激感知屬性。圖：電子皮膚觸覺傳感陣列的構(gòu)建過程 圖：仿真電子皮膚結(jié)構(gòu)363.6

柔性電子皮膚：潛在市場廣闊，機(jī)遇與挑戰(zhàn)并存電子皮膚在智能系統(tǒng)應(yīng)用具有重要意義：由于觸覺傳感器的高性能，在智能系統(tǒng)中的應(yīng)用越來越廣泛；電子皮膚不僅可以實(shí)現(xiàn)更智能的機(jī)器人，而且在可穿戴設(shè)備和醫(yī)療領(lǐng)域具有重要意義。電子皮膚在實(shí)際應(yīng)用中存在諸多挑戰(zhàn)：高靈敏度、高柔性的電子皮膚制造工藝復(fù)雜、成本高和難以批量生產(chǎn)；目前，柔性電子皮膚的發(fā)展仍然受材料與結(jié)構(gòu)限制，在測量精度上無法與傳統(tǒng)成熟的金屬及半導(dǎo)體傳感器相比；未來研究中，探索新材料和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)仍是制備高性能電子皮膚的關(guān)鍵，尤其是高靈敏度和高柔性的電子皮膚。資料來源：《高靈敏度柔性電子皮膚的研究與應(yīng)用進(jìn)展》吳帥帥，《On-skin

and

tele-haptic

application

of

mechanicallydecoupled

taxel

array

ondynamicallymoving

andsoft

surfaces》Se

Young

Kwon，天風(fēng)證券研究所圖：全柔性觸覺壓力傳感器圖：機(jī)械解耦的壓力傳感器（MDPS）總體示意圖373.6

柔性電子皮膚：潛在市場廣闊，機(jī)遇與挑戰(zhàn)并存資料來源：《柔性壓阻式壓力傳感器的研究進(jìn)展》李鳳超，《微結(jié)構(gòu)化柔性壓力傳感器的性能增強(qiáng)機(jī)制、實(shí)現(xiàn)方法與應(yīng)用優(yōu)勢》趙靜，天風(fēng)證券研究所大規(guī)模部署難題：人類皮膚是人體面積最大的器官，一個成年人的皮膚展開面積約2平方米。為了模擬人類皮膚，觸覺傳感器陣列需要具有良好的拼接性，以適應(yīng)不同尺寸和形狀的測量表面，要求觸覺傳感器具備可以自由擴(kuò)展的特性。雖然在對單個傳感單元的研究中，無論是傳感單元的靈敏度、分辨率、柔彈性等性能都已經(jīng)取得突破，但是陣列式觸覺傳感器在成本、拼接、串?dāng)_等難題上的進(jìn)步空間還很大。新型制造工藝：聚合物微機(jī)械加工工藝等新型制作方法和3D打印技術(shù)逐步興起，在部分領(lǐng)域顛覆了傳統(tǒng)的設(shè)計(jì)和制造方式，為電子皮膚觸覺傳感器的柔彈性的實(shí)現(xiàn)創(chuàng)造了新的可能。另外，在柔性化和集成化方面，隨著微電子技術(shù)的飛速發(fā)展、微米/納米技術(shù)的問世，以及大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)的日臻完善，集成電路器件的密集度越來越高。同時，各種數(shù)字電路芯片、模擬電路芯片、微處理器芯片、存儲器電路芯片的價格大幅度下降，對觸覺傳感器的發(fā)展起到極大的推動作用。圖：光刻模板法制作微結(jié)構(gòu)共形電極 圖：3D打印制備活性層圖：石墨烯復(fù)合材料制備工藝建議關(guān)注438請務(wù)必閱讀正文之后的信息披露和免責(zé)申明394.1

漢威科技：能斯達(dá)立足柔性微納傳感，開創(chuàng)柔性感知產(chǎn)業(yè)新未來漢威科技全面布局傳感器業(yè)務(wù)：公司的傳感器業(yè)務(wù)集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體，掌握厚膜、薄膜、MEMS、陶瓷等核心工藝，產(chǎn)品覆蓋氣體、壓力、流量、溫度、濕度、光電、加速度等門類，是最具成長性和價值的核心業(yè)務(wù)板塊之一。該板塊業(yè)務(wù)主要由公司旗下子公司煒盛科技、山西騰星、深圳漢威、蘇州能斯達(dá)等開展。2013年開始布局柔性傳感器：漢威傳感器產(chǎn)業(yè)集群成員蘇州能斯達(dá)（控股子公司）已經(jīng)攻克了柔性微納傳感器靈敏度低、穩(wěn)定性差和規(guī)?；圃祀y等關(guān)鍵技術(shù)難題，建立了穩(wěn)定的納米敏感材料體系。其現(xiàn)已掌握了柔性壓阻、柔性壓電、柔性溫濕度、柔性電容、柔性汗液五大核心技術(shù)，擁有柔性壓力傳感器、柔性壓電傳感器、柔性織物、柔性應(yīng)變傳感器、柔性溫濕度傳感器、柔性熱敏傳感器、柔性電容傳感器、柔性汗液傳感器八大產(chǎn)品系列，百余項(xiàng)核心專利，還擁有一條年產(chǎn)千萬支柔性傳感器的超凈印刷線和組裝線，在消費(fèi)電子、健康醫(yī)療、IOT等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)均有相關(guān)應(yīng)用落地，在柔性傳感器產(chǎn)業(yè)化方面具有國際領(lǐng)先水平。資料來源：漢威科技公告，漢威科技集團(tuán)股份有限公司公眾號，Wind，天風(fēng)證券研究所

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*漢威科技（機(jī)械團(tuán)隊(duì)與電子團(tuán)隊(duì)聯(lián)合覆蓋）圖：公司營收及凈利潤情況18.219.423.224.015.42.12.62.81.220.3%6.7%3.4%-12.6%-268.3%298.1%28.0%19.3%4.9%-49.8%200%100%0%-100%-200%-300%400%300%30.025.020.015.010.05.00.0-5.0-1.020192020

2021營業(yè)收入（億元）收入YoY2022 2023Q1-3歸母凈利潤（億元）歸母凈利潤YoY40%35%31.41%30%25%20%圖：公司毛利率及歸母凈利率情況33.47% 33.47%28.37%31.84%15%10.59% 11.36%10%5%0%-5.70%-5%2019 2020 202111.53%7.43%-10%20222023Q1-3銷售毛利率 歸母凈利率404.1

漢威科技：能斯達(dá)立足柔性微納傳感，開創(chuàng)柔性感知產(chǎn)業(yè)新未來蘇州能斯達(dá)：中科院蘇州納米所知名海歸科學(xué)家張珽團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立的一家國家級高新技術(shù)企業(yè)，公司致力于柔性壓力傳感器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，開創(chuàng)了國內(nèi)柔性智能感知技術(shù)和印刷電子的領(lǐng)先品牌，公司將柔性感知傳感器與智能終端緊密結(jié)合，打造了柔性傳感智能化平臺。蘇州能斯達(dá)積極拓展柔性微納傳感器應(yīng)用場景：23H1蘇州能斯達(dá)訂單金額不斷增加，應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展，柔性微納傳感器目前已在智能機(jī)器人領(lǐng)域有明確的應(yīng)用，并與小米科技、九號科技、深圳科易機(jī)器人等積極開展業(yè)務(wù)合作，后續(xù)發(fā)展空間廣闊。小米長江產(chǎn)業(yè)基金于2