測微儀檢定器(試行)

共8頁第1頁本規(guī)程適用于新制造、使用中和修理后的分度值為0.001mm,測量范圍為±0。1mm的測微儀檢定器的檢定。測微儀檢定器主要用于檢定分度值為0.001mm,示值范圍不大于±0.1mm的各種測微儀(扭簧比較儀、杠桿齒輪式測微表、測微計等)的示值誤差和回程誤差。它是借助于螺旋副—-杠桿的傳動，將螺桿的角位移轉(zhuǎn)變?yōu)闇y桿的直線位移的一種高精度機(jī)械式儀器。其傳動原理如圖1所示。5—杠桿支點；6—平行片簧；7—測桿；8-被檢測微表1.1測微儀檢定器的各部位不應(yīng)有碰傷、銹蝕、劃痕和涂層脫落等缺陷。微分頭上的刻線應(yīng)清晰、平直和均勻。1.2測微儀檢定器上應(yīng)標(biāo)有制造廠名(或廠標(biāo))、出廠編號、分度值和測量范圍。1.3使用中和修理后的測微儀檢定器不允許有影響使用準(zhǔn)確度的2各部分的相互作用2.1微分鼓輪的轉(zhuǎn)動必須勻滑平穩(wěn)，不應(yīng)有阻滯和手感配合松弛2.2測桿的升降應(yīng)自如，不得有摩擦和晃動現(xiàn)象。2.3臂架的φ28mm或φ8mm孔，應(yīng)易于裝夾測微表，緊固螺絲的作用必須切實可靠。3微分頭的固定套管縱刻線和鼓輪上的刻線寬度應(yīng)為0.15~0.20mm,各刻線寬度差應(yīng)不大于0.03mm。4當(dāng)微分鼓輪上的零刻線與固定套管的縱刻線對準(zhǔn)時，鼓輪錐部的端面與固定套管上相應(yīng)的橫刻線的距離，允許壓線不大于5個分度，離線不大于10個分度。5微分頭的固定套管刻線表面至微分鼓輪錐部棱邊外邊緣的距離a應(yīng)不大于0.4mm,如圖2所示。6測桿測量面的平面度應(yīng)不大于0.3μm(不允許凹).邊緣0.2mm范圍內(nèi)允許有塌邊。7測桿受1N軸向力時，其位置的變化不應(yīng)超過0.02μm。8測微儀檢定器在工作行程內(nèi)任意一點的回程誤差不應(yīng)大于0.19測微儀檢定器在工作行程內(nèi)任意一點對“零”點的示值誤差不應(yīng)大于±0.1μm,三檢定項目和檢定條件10測微儀檢定器的檢定項目和主要檢定工具列于表1。序號主要檢定工具新制造修理后使用中1十+十2各部分的相互作用十十十3刻線寬度及刻線寬度差工具顯微鏡十4微分鼓輪錐部端面與固定套管橫刻線的距離十+十十5固定套管刻線表面至微分鼓輪錐部棱邊外邊緣的距離工具顯微鏡或塞尺+6測量面的平面度二級平面平晶十十十7測桿受力時的位置變化接觸式干涉儀、加力工具+十十8回程誤差接觸式干涉儀十十+9示值誤差接觸式干涉儀、專用工作臺、二等量塊十十十注：表中“+”表示應(yīng)檢定；“-”表示可不檢定。11檢定測微儀檢定器的室內(nèi)溫度應(yīng)在20±5℃范圍內(nèi)，溫度的變化每小時不超過0.5℃。12受檢儀器在檢定室內(nèi)平衡溫度的時間應(yīng)不少于24h;標(biāo)準(zhǔn)器具在檢定室內(nèi)平衡溫度的時間應(yīng)不少于6h。13外觀14各部分相互作用試驗與目力觀察.在工具顯微鏡上進(jìn)行檢定。應(yīng)在微分鼓輪上至少選取三條刻線和16微分鼓輪錐部端面與固定套管上橫刻線的距離轉(zhuǎn)動微分鼓輪，當(dāng)鼓輪上的零刻線與固定套管上的縱刻線重合時，鼓輪錐部的端面應(yīng)與固定套管上橫刻線的上邊緣相切、如不相切上縱刻線的偏移量，此偏移量即為離線或壓線的數(shù)值。如圖3所示。17固定套管刻線表面至微分鼓輪錐部棱邊外邊緣的距離在工具顯微鏡上檢定。也可以用0.4mm的塞尺緊靠在固定套管刻線表面上以比較法檢定。用比較法檢定時，微分鼓輪錐部棱邊的外邊緣不應(yīng)高于塞尺表面。這一檢定應(yīng)在微分鼓輪轉(zhuǎn)動的任意一圈內(nèi)不18測桿測量面的平面度19測桿受力時的位置變化將接觸式干涉儀安裝在測微儀檢定器的φ28mm臂架孔內(nèi)，使干涉儀的球面測帽與測桿平面相接觸，并使黑色干涉帶對在某一刻度上.對測微儀檢定器的測桿加1N的軸向力，接觸式干涉儀示值的變化，即為被檢儀器測桿的位置變化。這一檢定應(yīng)分別在微分鼓輪的-0,1mm、0,+0,1mm三個位置上進(jìn)行。--用接觸式干涉儀進(jìn)行檢定。將裝有球形測帽的接觸式干涉儀裝夾在測微儀檢定器的φ28mm的臂架孔內(nèi)，并使球面測帽的測量頭與受檢儀器的測桿測量面相接觸。轉(zhuǎn)動微分鼓輪，使干涉儀的黑色干涉帶由負(fù)向正(或由正向負(fù))方向移動，當(dāng)移到某一位置時，從微分鼓輪上讀得一數(shù)a?;繼續(xù)按原方向轉(zhuǎn)動微分鼓輪，當(dāng)黑色干涉帶移動了50至60格時，反方向地旋轉(zhuǎn)微分鼓輪，使黑色干涉帶回到第一次讀數(shù)時的位置，此時，再次從微分鼓輪上讀數(shù)得a?。兩次讀數(shù)之差值，即為儀器該點的回程誤差。此項檢定至少應(yīng)在+0.1mm、0、-0.1mm三點上進(jìn)行，以讀數(shù)差值最大的一點作為該儀器的回程誤差。21示值誤差用接觸式干涉儀和二等量塊以“配對法”(配三對)進(jìn)行檢定。檢定前、把專用的球珠工作臺(見圖4)安裝在測桿上，將裝有球形測帽的接觸式于涉儀裝夾在測微儀檢定器的φ28mm的臂架孔內(nèi)，并使球面測帽的測量頭與專用工作臺的鋼珠相接觸，調(diào)整工作臺，找到轉(zhuǎn)折點(最高點)時，將其固緊。圖4專用球珠工作臺示意圖共8頁第6頁示值誤差的檢定應(yīng)在±0.03mm、±0.05mm和±0.1mm六個士0.08士0.05士0、1量塊尺寸111對準(zhǔn)零位(使干涉儀與受檢儀器的微分鼓輪同時為零),用1.20mm量塊檢定受檢點的示值，轉(zhuǎn)動微分鼓輪使干涉儀對零，從微分鼓輪上讀得該點與其標(biāo)稱值的差值為-0.25μm;再用1.20mm量塊對準(zhǔn)零位用1.10mm量塊檢定受檢點的示值，讀得該點與其標(biāo)稱值的差值為+0.1μm;然后用1.10mm量塊對準(zhǔn)零位，用1mm量塊(尺寸偏差為+0.01μm)檢定受檢點的示值，讀得該點與其標(biāo)稱值的差值為-0.05μm,則+0.1mm點的示值誤差為，m-0.06(μm)在檢定-0.1mm點時，用1mm量塊(尺寸偏差為+0.01μm)對準(zhǔn)零位(使干涉儀與受檢儀器的微分鼓輪同時為零),用1.10mm量塊檢定受檢點的示值，轉(zhuǎn)動微分鼓輪使干涉儀對零，從微分鼓輪上讀得該點與其標(biāo)稱值的差值為-0.1μm;再用1。10mm量塊對準(zhǔn)零位，用1.20mm量塊檢定受檢點的示值，讀得該點與其標(biāo)稱值的差值為-0.08μm;然后用1.20mm量塊對準(zhǔn)零位，用1.30mm量塊(