三氯氫硅氫氣還原工序操作指導(dǎo)書

三氯氫硅氫氣復(fù)原工序操作指導(dǎo)書三氯氫硅氫氣復(fù)原工序操作指導(dǎo)書1三氯氫硅氫氣復(fù)原工序操作指導(dǎo)書一、范圍1、目的晶硅。2、適用范圍本作業(yè)指導(dǎo)書適用于在復(fù)原爐中用氫氣復(fù)原三氯氫硅制取多晶硅工藝的操作。二、工藝標(biāo)準(zhǔn)11080高純硅沉積在硅芯載體上形成棒狀多晶硅，反響后的尾氣進(jìn)入干法回收工序。爐內(nèi)主要反響是：SiHCl3＋H2 Si＋3HCl 氫復(fù)原反響4SiHCl3 Si＋3SiCl4＋2H2 熱分解反響2。要求如下：硅芯電阻率：N型電阻率≥50歐姆·P型硅芯不用。每根硅芯電阻率檢驗不得少于七點〔即硅芯七等分處各測一點。SiHCl3SiHCl3P≤0.02PPb Al≤10PPb B≤0.03PPb。O2含量5ppm，HCl0.1%。350mm150mm長硅棒進(jìn)展鉆芯，獲得￠16mm左右硅棒料進(jìn)展磷、硼雜質(zhì)檢驗。三、 作業(yè)程序操作步驟開爐預(yù)備80%時停頓接料，關(guān)閉進(jìn)料閥并計錄加料量〔留意：加原料時不能開啟尾氣放空閥，利用塔壓差可接料。否則會影響提純塔的工藝操作〕、產(chǎn)品罐底部閥向揮發(fā)器供料，待料位稍超過揮發(fā)器加熱管時停頓SiHCl3進(jìn)料旁路閥，轉(zhuǎn)入調(diào)整閥自控。罐壓力設(shè)定是否正?！哺煞渚彌_罐壓力設(shè)定為0.65Mpa、復(fù)原氫緩沖罐壓力設(shè)定為0.35Mp。閥、開啟復(fù)原爐冷卻油泵，使油槽至油泵至汽化器至復(fù)原爐再回到油槽形成循環(huán)。腐蝕裝爐操作詳見復(fù)原爐腐蝕裝爐操作規(guī)程。開爐A．依據(jù)腐蝕裝爐工序供給的啟爐時間預(yù)備啟爐。1〔因12以后轉(zhuǎn)入自動掌握，尾氣開頭改為干法回收系統(tǒng)回收。D．按供料表操作到停爐條件，在生產(chǎn)期間應(yīng)嚴(yán)格掌握反響爐溫及反響料氣用量，每半小時記錄一次數(shù)據(jù)。停爐〔包括調(diào)整閥及其前后球閥內(nèi)趕氣，尾氣仍走干法系統(tǒng)。逐步降低硅棒電流，或許1小時左右全部降到零〔棒小時停爐稍快些，但過快會引起棒裂、脆。SiHCl3、關(guān)加熱溫水進(jìn)出閥，揮發(fā)器內(nèi)保持正壓待用。通知腐蝕裝爐人員拆爐和重裝爐。工員特別狀況現(xiàn)象的處理多晶硅中產(chǎn)生夾層的主要緣由及其消退方法緣由消退方法≤5PPm，露點低于-50℃；避開爐內(nèi)在空氣中暴露時間太長；停爐前掌握爐筒出水溫度~60℃；一根，視爐內(nèi)狀況，可重投入生產(chǎn)，也可拆下進(jìn)展清洗再投入生產(chǎn)。緣由在硅芯發(fā)熱體和沉積的硅之間有一圈，很多狀況是屬于這一類。成夾層。消退方法1050℃后，才能通入混合氣體。然后再氫氣氣氛中漸漸降溫。降溫完畢連續(xù)通氫，直至重開爐。C溫度夾層：是由于生長過程中溫度不穩(wěn)定而形成的。生產(chǎn)中由于某種緣由需臨時停爐，視爐內(nèi)生長狀況，假設(shè)不再重開爐，則按停爐操作步驟進(jìn)展。如預(yù)備再次開爐，則按以下步驟操作。間的長短。突然停電①短期停電〔指跳閘引起瞬時停電隨后同電工聯(lián)系，查明緣由，排解故障再重生產(chǎn)。如預(yù)備再次開爐，則按臨時停爐操作步驟操作。突然停冷卻水冷卻水突然中斷時，則馬上停爐。生產(chǎn)過程中覺察硅棒倒壁，則拆爐重裝。突然停氫氣覺察氫氣中斷后，馬上與氫氧站、干法工序聯(lián)系，了解緣由及停氫時間的長短。以上〕不需降溫，但要隨之減小三氯氫硅通入量，降低配比。待氫恢復(fù)供給時，進(jìn)入正常生產(chǎn)。長期停氫①關(guān)閉揮發(fā)器混合氣體出口閥和主氫閥，微開側(cè)氫閥，切斷電源，馬上降溫停爐。②關(guān)閉復(fù)原尾氣進(jìn)入尾氣回收系統(tǒng)入口閥，翻開放空閥進(jìn)入尾氣淋洗塔處理。③2~3分鐘后即關(guān)閉側(cè)氫閥，開啟氮氣閥，氮氣經(jīng)進(jìn)氣管進(jìn)入復(fù)原爐。④待氫氣恢復(fù)供給后，視其爐內(nèi)狀況，假設(shè)硅棒直徑已根本到達(dá)要求，就不必再次〔但要用氫氣置換爐內(nèi)氮氣后重開爐；假設(shè)不能啟動則拆爐重裝。由于電極燒壞，未能準(zhǔn)時覺察，造成大量水進(jìn)入爐內(nèi)，并且進(jìn)入尾氣回收管道，按以下步驟進(jìn)展：①切除電源，關(guān)閉電極冷卻水。②關(guān)閉復(fù)原尾氣進(jìn)入干法回收系統(tǒng)入口閥，開啟放空閥；其余生產(chǎn)爐子也同時進(jìn)展這項操作?！矚溆蓚?cè)路進(jìn)入。④關(guān)閉氫氣閥，開啟氮氣閥。⑤清洗尾氣管道和尾氣冷凝器。清洗、枯燥、安裝完畢，按有關(guān)規(guī)定進(jìn)展操作，然后投入生產(chǎn)。在操作無誤的狀況下，覺察尾氣壓力漸漸上升。處理如下：①首先詢問干法回收車間是否有特別，假設(shè)特別能短期恢復(fù)正常，此時應(yīng)停揮發(fā)器鼓爐條件連續(xù)生產(chǎn)。假設(shè)不能短期恢復(fù)正常應(yīng)按停爐處理。②假設(shè)干法工序正常而消滅此狀況應(yīng)考慮是否爐前水冷器堵塞〔包括尾氣管道堵塞按經(jīng)生產(chǎn)使用后尾氣冷凝器的清洗步驟進(jìn)展處理。三氯氫硅復(fù)原崗位安全技術(shù)操作過程及事故處理規(guī)程安全技術(shù)操作規(guī)程700℃以上高溫作〔空氣和氮氣的混合氣體爆炸極<體積>:73.5%H2和5%95%空氣〕為此要求：設(shè)備系統(tǒng)不許有漏氣，備有充分不得動火。H2閥滅火，或用CO2封閉滅火。SiHCl3易揮發(fā)，易水解，易燃易爆，對人體呼吸系統(tǒng)有猛烈的刺激作用，因此要求設(shè)備系統(tǒng)不得泄露原料。28220℃，所以要避開用火焰火花或高溫物體接近。CCl4,CO2滅火器滅火。SiHCl3濺入眼，手，臉上時，用干紗布或手巾擦，然后找醫(yī)生治療，不行用水沖洗。清洗管道設(shè)備時，要戴上防酸手套和眼鏡，以防酸堿燒傷。操作臺，設(shè)備，復(fù)原爐必需接地良好。到樓下合，拉閘時必需戴絕緣手套。高壓啟動時，必需先打報警鈴，任何人不得進(jìn)入復(fù)原大廳以及變壓器室。時，會引起火花，甚至著火，操作時應(yīng)留意。H2。覺察特別〔水管跳動或不暢通，導(dǎo)熱油泄露〕必需作停爐處理。事故處理過程硅芯嚴(yán)峻傾斜，掉橫梁，需通知裝爐人員重裝。啟動時爐內(nèi)拉弧，馬上停頓啟動，拆爐后經(jīng)處理在裝爐啟動。員重裝硅芯。復(fù)位，復(fù)位不成功應(yīng)作停爐處理。假設(shè)硅棒直徑可以復(fù)位，空燒半小時〔適當(dāng)提高溫度〕后再進(jìn)混合氣連續(xù)生產(chǎn)。尾氣閥，并快速通入氮氣，漸漸改入直接放空，滅火后再處理。揮發(fā)器轉(zhuǎn)子流量計，液位計等泄露時，應(yīng)關(guān)閉H2閥，加料閥，混合氣閥，爐前改放空，關(guān)閉尾氣閥，處理后再更換流量計和液位計。電極，底盤冷卻水在開爐過程中堵塞，應(yīng)準(zhǔn)時反沖處理，留意安全。系統(tǒng)壓力超過正常范圍，應(yīng)馬上查明緣由進(jìn)展