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文檔簡介

PECVD工藝虛擬仿真任務單學習說明1.請各位學員對照微知庫中虛擬仿真視頻來進行PPT學習，以期達到最佳學習效果；2.觀看虛擬仿真視頻時，需要記錄下關鍵的數(shù)據(jù)和操作方法；3.虛擬仿真平臺網(wǎng)址(必須使用Firefox瀏覽器登錄)：

/cell/用戶名：student1student2密碼：12345任務目標1.熟悉虛擬仿真系統(tǒng)基本操作；2.能夠獨立完成PE工藝模塊任務。3.培養(yǎng)小組協(xié)作能力，數(shù)據(jù)記錄和整理能力。任務實施1.根據(jù)教師分配賬號登錄平臺；2.進行模塊子工序練習。減反射模塊1.根據(jù)要求，完成子工序的任務；2.一邊練習，一邊記錄工作流程，整理出工藝流程指導書（需要包括每道工序涉及的場所，工具，原料，數(shù)據(jù)和工序內容，word格式，可配截圖輔助說明）。任務成果要求減反膜模塊任務：工藝流程作業(yè)指導書（圖文并茂）。每位學員須拿到減反膜模塊完成結束后的實訓報告，并截圖。光伏的未來需要大家

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