Klayout使用教程課件

Klayout基本使用教程Klayout使用教程第一步百度搜索“Kalyout”O(jiān)pticalNoteKlayout使用教程第二步進入官網(wǎng)點擊“GetKalyout”O(jiān)pticalNoteKlayout使用教程第三步根據(jù)自己的系統(tǒng)選擇下載，我的windowsOpticalNoteKlayout使用教程如果官網(wǎng)下載速度慢，可以在其它網(wǎng)站下鏡像，親測發(fā)現(xiàn)第三個網(wǎng)站速度較快一些備用資源網(wǎng)站：OpticalNoteKlayout使用教程下載完成后，點擊exe文件安裝軟件OpticalNoteKlayout使用教程安裝完成后可以在開始菜單里面找到啟動程序，有幾個版本：默認模式(default)，可編輯模式(Editor)——可以修改版圖閱覽模式(viewer)——不可修改版圖，只能用來閱覽也可以通過安裝目錄點擊“klayout_app.exe”打開OpticalNoteKlayout使用教程以可編輯模式(Editor)打開Klayout->File->NewLayout->如下窗口你可以選擇你Technology文件，這個文件通常有Foundry（加工廠）提供，包括一些基本圖層定義和參數(shù)；然后將最上層cell取名為Top。你可以任意取名。OpticalNoteKlayout使用教程基本的頁面布局OpticalNoteKlayout使用教程關(guān)于版圖基本說明Layer1Layer2Layer3半導(dǎo)體芯片上的任何形狀圖案都是通過下面的光刻過程實現(xiàn)的，光刻的圖樣就是通過遮光板來定義的，而遮光板的圖案正是我們版圖上要繪制的圖案，所以芯片中每一個特定的材料層都需要一個特定的層來定義光刻圖案。所以我們的版圖需要很多圖層來定義，不同的加工工序。Klayout中每一層Layer圖案->遮光板圖案->芯片光刻圖案OpticalNoteKlayout使用教程關(guān)于版圖基本說明如果我們要在二氧化硅上表面加工成左圖所示的脊型波導(dǎo)結(jié)構(gòu)圖形，我們因該這樣定義版圖：SiliconSiO2SiliconSiliconSiO2Silicon對應(yīng)layer0對應(yīng)layer11um1um2um2umOpticalNoteKlayout使用教程版圖繪制方法1、添加需要的圖層：Edit->Layer->NewLayer需要填寫的信息：Layer和Datatype，以及圖層名字。其中關(guān)鍵的是Layer和Datatype，這兩個數(shù)共同決定一個圖層，只要有一個數(shù)不一樣，那么它們都不是一個圖層。一般來說，Layer用來表征同一加工目標，而Datatype表示同一加工目標中的不同加工步驟。例如我們的脊型波導(dǎo)：加工目標是“脊型波導(dǎo)”，而加工步驟包括兩步：上面的窄脊區(qū)（layer0）和下面寬脊區(qū)（layer1）。所以我們分別定義圖層為：1/0，1/1OpticalNoteKlayout使用教程版圖繪制方法2、定義好圖層后我們選擇layer0繪圖：點擊layer0->Box->繪圖，同理再選擇圖層layer1，繪制寬脊區(qū)，最終得到右圖的結(jié)果。OpticalNoteKlayout使用教程版圖繪制方法3、當然有時候我們又想實現(xiàn)更復(fù)雜單元如交叉結(jié)構(gòu)。那么我們需要先定義兩個更底層的Cell單元H和V，然后組成一個交叉結(jié)構(gòu)CellName:HCellName:TopCellName:VOpticalNoteKlayout使用教程版圖繪制方法3、創(chuàng)建名為V和Hcell：右鍵Top->NewCell->CellName:V，同理創(chuàng)建H。圖中H為加粗黑色，表示你當前繪圖板是繪制H這個Cell的內(nèi)容，此時我們在途中繪制下圖水平結(jié)構(gòu)。OpticalNoteKlayout使用教程版圖繪制方法4、右鍵V->ShowAsNowTop，這樣可以把V這個cell中的內(nèi)容顯示在繪圖區(qū)域，你可以增加或修改這個cell的內(nèi)容。此時我們在途中繪制下圖垂直結(jié)構(gòu)。OpticalNoteKlayout使用教程版圖繪制方法5、現(xiàn)在我們已經(jīng)定義好了底層的Cell：H和V，此時右鍵Top->ShowAsNowTop，然后拖拽V和H到繪圖區(qū)，就能實現(xiàn)兩個的組合結(jié)構(gòu)：交叉單元此時圖中可能什么也看不到，此時你需要調(diào)高你的視野層，將途中數(shù)字1調(diào)至大于2的值OpticalNoteKlayout使用教程版圖繪制方法5、現(xiàn)在我們已經(jīng)定義好了底層的Cell：H和V，此時右鍵Top->ShowAsNowTop，然后拖拽V和H到繪圖區(qū)，就能實現(xiàn)兩個的組合結(jié)構(gòu)：交叉單元OpticalNoteKlayout使用教程版圖繪制方法6、實際上我們還可以把交叉單元作為基本單元繼續(xù)調(diào)用：創(chuàng)建新的Cell：Sup_Top，然后拖拽交叉基本單元“Top”到繪圖區(qū)，圖中此時只有一個交叉結(jié)構(gòu)，此時我們可以用快捷鍵：Ctrl+C,然后Ctrl+V，并移動交叉結(jié)構(gòu)，就能看到多個同樣的結(jié)構(gòu)單元了。Ctrl+C復(fù)制時，有兩種復(fù)制方式：一種是深度復(fù)制，產(chǎn)生單元互相獨立另一種是淺復(fù)制，產(chǎn)生的單元完全相同，改其中一個，其他的也會跟著變。OpticalNoteKlayout使用教程總結(jié)：畫版圖和寫程序一樣，定義Cell的過程就等同于寫程序定義函數(shù)，更復(fù)雜的Cell需要調(diào)用基本的Cell單元組成，更復(fù)雜的函數(shù)也是通過調(diào)用跟基本的函數(shù)來實現(xiàn)的。首先：定義最基本的單元