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文檔簡介

—— 1 1 1 1 1數(shù)字電壓源表 2 3 32.薄膜方塊電阻 3 5 52.測試線連接方式 5 64.探針接觸方式 85.數(shù)據(jù)測試指南 8第4章注意事項 I—本說明書主要介紹用四探針法測試薄膜方塊電阻及電阻率的原理及具體操作方法。2.應(yīng)用范圍測量參數(shù)：方塊電阻，電阻率測量樣品：均勻薄膜，均勻薄片方塊電阻測試范圍：0.01Ω~500MΩ-5Ω?cm～103Ω?cm樣品大?。褐睆?gt;1cm3.測試設(shè)備廣州四探針有限公司RTS-2型機械游移率:≤0.3%;探針：碳化鎢或高速鋼材質(zhì)，探針直徑Ф0.5mm；相對濕度：≤65%;—KEITHLEY2400高壓源表測量范圍：可選高電壓（1100V）或大電流（3A）源/測量（A）KEITHLEY2400通用型源表,最大可測量200V的電流和1A的電流，輸出功率20W.設(shè)計用于高速直流參數(shù)測度1100V,20Wto1000W可程控電流驅(qū)動和電壓測量鉗位的6位線電阻測量內(nèi)置快速失敗/通過測試比較器可選接觸式檢查功能數(shù)字I/O提供快速分選與機械手連接GPIB,RS-232,和觸發(fā)式連接面板—第2章原理簡述通以電流I(mA)，2、3探針間就產(chǎn)生一定的電壓V(mV)(如圖1)。測量此電壓并根據(jù)測量方式和樣品的尺寸不同，可分別按以下公式計算樣品的電阻率、方塊電阻、電阻：VVFigure2-線四探針法測試原理圖Fsp—探針間距修正系數(shù)(四探針頭合格證上的F值)；R—源表測量電阻值，單位Ω;2.薄膜方塊電阻—Fsp—探針間距修正系數(shù)(四探針頭合格證上的F值)；R—源表測量電阻值，單位Ω;—第3章操作方法電阻測量采用KEITHLEY2400高壓源表測量，參照4探針測試原理，源表設(shè)置應(yīng)采用42.測試線連接方式——Figure3-4先按?鍵，選中SENSE-MODE模式，按ENTER鍵?！?.探針接觸方式變化而改變，因而測試前要依據(jù)具體的測試材料而適當(dāng)?shù)母淖兲结槈毫Α?.數(shù)據(jù)測試指南待測試線連接無誤，源表設(shè)置完成，探針加到樣品表面后，可以開始測量電阻。樣品電阻率范圍樣品電阻率范圍(Ω?cm）<0.010.01-130-1000通過樣品電流<1mA<100μA<10μA—將測試得到的電阻，膜厚代入以下公式即可算出電阻率和方塊電阻。），-4，

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