光伏設(shè)備行業(yè)HJT市場分析

光伏設(shè)備行業(yè)HJT市場分析一、HJT降本增效持續(xù)進(jìn)行，龍頭擴(kuò)產(chǎn)依舊（一）HJT擴(kuò)產(chǎn)不停歇，以新玩家為主HJT擴(kuò)產(chǎn)規(guī)模以及出貨維持較高增速。隨著雙面微晶、0BB、銀包銅、銅電鍍、HJT/鈣鈦礦疊層電池等新技術(shù)的持續(xù)進(jìn)步，HJT投資依然維持了較高的景氣度。根據(jù)PVInfolink，2023年中國HJT產(chǎn)能預(yù)估可達(dá)到58GW，同比增長346%，組件出貨13GW，同比增長333%；根據(jù)Taiyangnews發(fā)布的《2023年異質(zhì)結(jié)太陽能技術(shù)報(bào)告》，中國已經(jīng)有超過40家企業(yè)布局HJT行業(yè)，規(guī)劃和在建的產(chǎn)能合計(jì)約218GW，其中不乏三五互聯(lián)、乾景園林、寶馨科技等跨界玩家。華晟新能源、東方日升、金剛光伏貢獻(xiàn)了HJT擴(kuò)產(chǎn)的主要份額。華晟新能源、愛康科技、東方日升、金剛光伏等主要玩家電池和組件產(chǎn)能建設(shè)規(guī)模合計(jì)超過80GW，三五互聯(lián)、乾景園林、寶馨科技、泉為科技、國電投、正業(yè)科技等跨界玩家均具有超過10GW的擴(kuò)產(chǎn)規(guī)劃。（二）HJT組件首次進(jìn)入央企集采，下游認(rèn)可度明顯提高HJT組件首次進(jìn)入央企集采，中標(biāo)企業(yè)均為頭部玩家。3月27日，中核匯能開展“2023年度光伏組件設(shè)備集中采購”開標(biāo)，中核匯能作為中國核電的控股子公司，是國內(nèi)央企首次將“HJT組件”作為一個單獨(dú)的產(chǎn)品分類進(jìn)行招標(biāo)。本次招標(biāo)共6GW，分為三個包件，其中：包件1為P型單晶（540W以下規(guī)模500MW，540W及以上規(guī)模3GW），包件2為N型單晶（TOPCon，550W及以上規(guī)模2GW），包件3為N型單晶（HJT，580W及以上規(guī)模500MW）。根據(jù)中標(biāo)結(jié)果，東方日升、通威太陽能和愛康光電中標(biāo)N型HJT電池組件。HJT組件在功率和溢價(jià)上有顯著優(yōu)勢。本次招標(biāo)的HJT組件的門檻功率為580W，比PERC高出40W，比TOPCon高出30W。根據(jù)SOLARZOOM新能源智庫統(tǒng)計(jì)的最新開標(biāo)結(jié)果，此次招標(biāo)共有40家企業(yè)參與投標(biāo)，包件1均價(jià)為1.64元/W，投標(biāo)價(jià)格范圍在1.60-1.72元/W；包件2均價(jià)為1.72元/W，投標(biāo)價(jià)格范圍在1.65-1.80元/W；包件3均價(jià)為1.80元/W，投標(biāo)價(jià)格范圍在1.73-1.89元/W；對比報(bào)價(jià)均價(jià)，HJT組件和TOPCon組件相比PERC的溢價(jià)分別為0.16元/W和0.08元/W。本次中核匯能招標(biāo)規(guī)模共6GW，參與招標(biāo)企業(yè)共40家，規(guī)模大小和參與數(shù)量具有一定代表性，溢價(jià)數(shù)據(jù)更加客觀，展示了HJT技術(shù)的高功率、高發(fā)電量的優(yōu)勢。隨著雙面微晶、0BB、銀包銅、銅電鍍、薄片化等降本提效技術(shù)的逐漸成熟，HJT技術(shù)的競爭力預(yù)計(jì)將進(jìn)一步增強(qiáng)，性價(jià)比將逐步顯現(xiàn)。（三）HJT組件功率優(yōu)勢明顯，多技術(shù)爭奇斗艷HJT組件功率和轉(zhuǎn)換效率優(yōu)于TOPCon組件和PERC組件。2023年SNEC展會上，TOPCON、HJT、鈣鈦礦等多項(xiàng)技術(shù)成為焦點(diǎn)，從組件功率來看，HJT組件占據(jù)前列，以東方日升伏羲系列組件的最高功率741.456W為首，高出TOPCon組件最高功率約21W，高出PERC組件最高功率約61W，轉(zhuǎn)換效率也有一定優(yōu)勢。0BB、銀包銅、MBB/SMBB、HBC、HPDC等技術(shù)路線多點(diǎn)開花。在HJT組件技術(shù)路線中，已開發(fā)了0BB、MBB、SMBB等多種類型的主柵技術(shù)，HBC（HJT+IBC）、HPDC（復(fù)合鈍化雙結(jié)電池）等電池結(jié)構(gòu)優(yōu)化技術(shù)，以及銀包銅等材料改進(jìn)技術(shù)，HJT的降本提效路線多點(diǎn)持續(xù)突破。二、提效降本路線明晰，多線并舉待花開HJT提效降本路線較為明確，23年逐步進(jìn)入兌現(xiàn)期。參考HJT龍頭企業(yè)華晟新能源的展望，HJT技術(shù)將歷經(jīng)5個階段，逐步將單面/雙面微晶、銅電鍍電極、無銦TCO、背接觸結(jié)構(gòu)等技術(shù)運(yùn)用到異質(zhì)結(jié)電池中；雙面微晶、0BB、銀包銅、銅電鍍、低銦化/無銦化靶材的導(dǎo)入多在2023~2024年陸續(xù)完成測試，25年有望成為HJT大規(guī)模量產(chǎn)的時間節(jié)點(diǎn)。（一）雙面微晶：22年為導(dǎo)入期，23年逐步走向成熟雙面微晶效率預(yù)計(jì)提升0.5%以上，2023年全面導(dǎo)入。2023年3月和4月，華晟宣城三期2.4GW和金剛酒泉4.8GW的雙面微晶電池分別實(shí)現(xiàn)出片，轉(zhuǎn)換效率均突破25%，比單面微晶提高0.5%以上。通威股份、東方日升、愛康科技、寶馨科技等頭部玩家正在積極導(dǎo)入測試中，預(yù)計(jì)2023年各企業(yè)將全面完成雙面微晶的開發(fā)測試，逐步步入成熟的量產(chǎn)階段。（二）薄片化：100μm各家導(dǎo)入研發(fā)中HJT電池在“薄片化”上具備一定的先天優(yōu)勢。根據(jù)南京航空航天大學(xué)沈鴻烈教授介紹，一般的，硅片每減薄20μm，可使價(jià)格可下降10%，對應(yīng)組件成本降低約5-6分/W。與PERC和TOPCon電池相比，HJT電池結(jié)構(gòu)對稱，應(yīng)力分布更加均勻；制備溫度較低（200℃左右），不容易因?yàn)槭軣岵痪鸸杵N曲；硅片減薄對轉(zhuǎn)換效率的影響較小，因此薄片化對HJT的競爭力提高有著明顯的促進(jìn)作用。愛康科技認(rèn)為，隨著焊接工藝、自動化工藝和層壓工藝的優(yōu)化以及無主柵技術(shù)的開發(fā)，210硅片厚度可降至90μm。TCL中環(huán)首發(fā)110μmN型硅片，硅片龍頭開始推動行業(yè)降本。2023年3月，TCL中環(huán)價(jià)格公示中首次新增110μmN型硅片，210片報(bào)價(jià)8.02元/片，182片報(bào)價(jià)6.14元/片，明顯低于P型150μm硅片價(jià)格，主要來自于薄片化帶來的成本降低；5月，TCL中環(huán)公示的110μm和130μm硅片的價(jià)格均有一定幅度下降，主要原因是伴隨產(chǎn)業(yè)鏈成本下降，一季度終端需求逐步回暖，產(chǎn)業(yè)鏈開工率提升，硅片環(huán)節(jié)受供應(yīng)鏈關(guān)鍵輔材短缺影響呈現(xiàn)供應(yīng)緊缺局面，同時隨硅料供給能力提升，價(jià)格逐步下行，光伏制造業(yè)硅成本占比逐步下降，核心競爭力重新回歸至技術(shù)創(chuàng)新與先進(jìn)的制造方式。110μm硅片的量產(chǎn)實(shí)現(xiàn)在推動硅片環(huán)節(jié)降本的同時，為N型電池技術(shù)的發(fā)展提供保障，助力產(chǎn)業(yè)鏈成本的持續(xù)降低?！氨∑睂?dǎo)入各家進(jìn)度不一，東方日升較為領(lǐng)先。目前行業(yè)內(nèi)的HJT玩家已經(jīng)完成對130μm硅片的開發(fā)，而東方日升率先完成100μm硅片的開發(fā)，而華晟新能源、愛康科技和金剛光伏等HJT頭部企業(yè)均在積極導(dǎo)入測試更薄的硅片。根據(jù)4月27日東方日升披露的公眾號，首批異質(zhì)結(jié)伏曦電池已于金壇基地成功下線，采用了多項(xiàng)行業(yè)領(lǐng)先技術(shù)，包括使用100μm厚度的210半切硅片、微晶技術(shù)和低銀含漿料，電池效率突破25.5%，組件功率突破700W，成本降低20%。（三）0BB：降本增效利器，組件端重大技術(shù)變化HJT采用高含銀量的低溫銀漿，少銀化是降本的關(guān)鍵方向。HJT采用低溫銀漿，導(dǎo)電性能弱于高溫銀漿，因此需要提高銀含量增強(qiáng)導(dǎo)電性，從而導(dǎo)致更大的銀耗量。無主柵（0BB）技術(shù)、銀包銅技術(shù)和銅電鍍技術(shù)是目前行業(yè)攻堅(jiān)的重點(diǎn)方向，多項(xiàng)技術(shù)已進(jìn)入測試階段，量產(chǎn)突破在即。0BB降本提效同步進(jìn)行，東方日升專利布局較為深入。0BB技術(shù)可以大大減少柵線對光線的遮擋，提高電池轉(zhuǎn)換效率，同時還可以降低銀漿用量，從而降低電池制造成本。專利布局方面，東方日升在電池串連接方法、組件制備工藝方面布局較為深入，華晟新能源、愛康科技也在復(fù)合膜、0BB電池片和組件等方面有部分專利布局。東方日升可能通過加粗柵塊和導(dǎo)電環(huán)保證0BB組件的穩(wěn)定性。專利CN218602452U公布了一種0BB電池，在水平柵線上間隔排布連接有多個加粗柵塊或?qū)щ姯h(huán)的布置線，沿布置線上點(diǎn)涂非導(dǎo)電膠并連接焊帶；導(dǎo)電環(huán)內(nèi)涂膠水后，能夠增大每條布置線上用于粘接焊帶的涂膠面積，保證焊帶在電池片上的固定效果；同時加粗柵塊使點(diǎn)涂膠水不容易遮擋柵線，保證組串形成的組件可靠性，解決了膠水涂布面積不當(dāng)導(dǎo)致焊帶固定不牢或EL不良的問題。華晟新能源可能運(yùn)用軟連接和硬連接相互搭配的工藝，防止電池片和焊帶脫離。專利CN115347080A在太陽能電池片兩面均使用液態(tài)粘接膠與粘接膠帶搭配的工藝，液態(tài)膠與電池片之間屬于硬連接，能夠減少電池片的彎曲程度；粘接膠帶與太陽能電池片之間的連接屬于軟連接，能夠緩沖保護(hù)電池片頭尾部易碎區(qū)域，兩者共同作用有利于減少碎片的產(chǎn)生，使焊帶和電池片連接更加緊密，同時避免在層壓的過程中電池片發(fā)生翹曲和焊帶脫離，提高電池片的使用壽命。0BB對組件亦提出了新的要求。0BB的電池結(jié)構(gòu)發(fā)生了較大的變化，因此組件端也需要做出相應(yīng)的調(diào)整，東方日升、華晟新能源的組件連接方法比較類似類似，均是將前一電池片正面焊帶連接至下一電池片背面膠水結(jié)構(gòu)，從而將多塊電池片連通形成組件，這種連接方式相對傳統(tǒng)；而愛康科技則開發(fā)了新的焊接工藝，電池片之間經(jīng)過疊片后通過焊接點(diǎn)上的導(dǎo)電膠進(jìn)行電流傳輸，取消了相鄰電池片之間的間距，組件內(nèi)有效發(fā)電面積增多，從而提升組件效率。華晟新能源可能使用凹槽和復(fù)合膜保證封裝時組件效率不受損。在專利CN218827159U中提出了一種復(fù)合膜，由表面開設(shè)有凹槽的承載膜和粘接膜構(gòu)成，通過將導(dǎo)電絲（焊帶）嵌入凹槽固定并減少移動，在復(fù)合膜和無主柵太陽能電池進(jìn)行層壓時，即使承載膜在高溫熔化后具有流動性，也能夠避免因承載膜流動引起的導(dǎo)電絲出現(xiàn)移位，還能避免復(fù)合膜和無主柵太陽能電池在壓合過程中由于受到較大壓力造成導(dǎo)電絲彎曲或者卷翹，保證太陽能電池組件效率。設(shè)備端，0BB電池主要設(shè)備為連接電池片使用的串焊機(jī)。目前0BB主要有SmartWire、點(diǎn)膠和焊接三種方案。SmartWire需要先制作內(nèi)嵌銅焊帶的有機(jī)薄膜（即銅絲復(fù)合膜），再與電池片連接、組串隨后與封裝膠膜熱壓；點(diǎn)膠方案先在電池片表面進(jìn)行點(diǎn)膠，再將整條焊帶利用UV燈固化在電池片上，最后通過層壓實(shí)現(xiàn)焊帶與電池片的合金化；焊接方案則通常與點(diǎn)膠結(jié)合，先將焊帶和柵線初步焊接，再在指定位置點(diǎn)膠固化，從而穩(wěn)固焊帶與細(xì)柵的結(jié)合，或?qū)⒑笌c柵線點(diǎn)膠固化后再進(jìn)行焊接合金化。奧特維作為0BB串焊機(jī)龍頭，多方案均有布局。SmartWire方案中，專利CN112490329A先將正背面膜片與焊帶貼敷形成焊帶組件，再將電池片依次疊放，即可通過熱壓完成電池串的連接，生產(chǎn)效率高；點(diǎn)膠方案中，專利CN217280819U直接通過施膠、疊放、照射固化完成串焊；焊接方案中，布局了點(diǎn)膠+焊接和焊接+點(diǎn)膠兩種串焊技術(shù)，“點(diǎn)膠+焊接方案”即在將焊帶膠粘至無主柵電池片上后，立即對焊帶實(shí)施低溫焊接，使得焊帶與無主柵電池片的副柵之間形成合金化連接以形成電池串，此時后道層壓無需設(shè)置功能膜隔離EVA，從而降低成本，“焊接+點(diǎn)膠方案”即先將將焊帶組焊接到電池片上，使焊帶組與副柵之間形成合金化連接，再利用膠帶將焊帶組固定至電池表面并層壓固化，可以提高焊接強(qiáng)度，防止焊帶位移。邁為股份相對聚焦，采用先焊接再點(diǎn)膠的方案。根據(jù)專利CN218769576U，邁為發(fā)明的0BB串焊機(jī)先將電池片主背面、焊帶焊接在一起形成電池串，并進(jìn)行粘合劑涂敷、固化，消除了搭接不良的風(fēng)險(xiǎn)，降低了焊帶與細(xì)柵對齊度的要求，提升焊帶與電池片的結(jié)合力；同時取消了復(fù)合膜和電池片正背面PAD點(diǎn)，減少光伏電池片表面遮擋和銀漿使用量，極大的降低了成本；此外，兩套電池串翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、涂敷固化機(jī)構(gòu)以及加熱裝置，能夠維持工作溫度，提高電池串穩(wěn)定性的同時提高產(chǎn)能。小牛自動化、光遠(yuǎn)股份也涉及0BB串焊機(jī)布局。小牛自動化開發(fā)的適應(yīng)0BB膠粘工藝的NS02-5000T型超高速劃焊一體機(jī)在2023年先后中標(biāo)正泰新能、晶澳太陽能、韓華美國和隆基嘉興，2023年5月24日，在新品發(fā)布會上提出在0BB和薄片化背景下克服傳統(tǒng)焊接隱裂斷柵等問題的IFC技術(shù)，開發(fā)了CHJ40型一體化覆膜機(jī)，能夠?qū)崿F(xiàn)電池片、焊帶、正背面膠膜一次性直接覆膜成串，焊帶與膠膜無需提前復(fù)合，兼容復(fù)合膜覆膜工藝，具有無需助焊劑、互聯(lián)條密集，隱裂和微裂電流傳導(dǎo)更優(yōu)的特點(diǎn)。光遠(yuǎn)股份（非上市）聚焦電池片組件端新主流高速劃焊一體設(shè)備、無應(yīng)力焊接設(shè)備，開發(fā)了眾多針對多主柵和無主柵等密柵電池的串焊設(shè)備、壓緊設(shè)備。東方日升率先突破0BB電池量產(chǎn)，各廠家測試中。2023年4月27日，東方日升（江蘇公司）宣布4GW高效25.5%異質(zhì)結(jié)0BB電池順利實(shí)現(xiàn)首線全線貫通，首批異質(zhì)結(jié)伏曦電池已于金壇基地成功下線，標(biāo)志著東方日升金壇基地210異質(zhì)結(jié)電池正式進(jìn)入大規(guī)模量產(chǎn)階段；愛康科技5月30日在互動平臺表示，新開發(fā)的730W異質(zhì)結(jié)組件屬于AKiDower7.0系列，采用0BB技術(shù)，可有效降低串聯(lián)電阻，實(shí)現(xiàn)組件CTM提升1%；疊加100um以下硅片薄片化、光轉(zhuǎn)膜、微晶工藝等先進(jìn)技術(shù)，轉(zhuǎn)換效率高達(dá)23.5%；公司已具備量產(chǎn)能力。（四）銀包銅：少銀化重要手段，核心在于下游的接受程度銀包銅漿料國產(chǎn)替代進(jìn)展良好，廠家專利布局已久。帝科股份、邁為股份、蘇州固锝（子公司蘇州晶銀）和博遷新材進(jìn)展相對較快，其中帝科股份、蘇州晶銀和博遷新材在低溫銀漿制備、銀包銅粉及漿料制備和絲網(wǎng)印刷裝置上有一定專利布局，有望解決國產(chǎn)廠家導(dǎo)電漿料可靠性差、導(dǎo)電性低、太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率低等諸多技術(shù)缺陷，能夠產(chǎn)生優(yōu)異的歐姆接觸性能的同時，通過銀包銅粉的使用降低材料成本，并改善銀顆粒之間的團(tuán)聚現(xiàn)象，提高導(dǎo)電性能。含銀量低于50%的漿料，驗(yàn)證相對順利。主流銀包銅漿料含銅量為40~50%，背面效率與低溫銀漿持平，正面略有差距。目前蘇州固锝、帝科股份40~50%銅含量的漿料已通過客戶可靠性測試，實(shí)現(xiàn)了批量供貨；邁為股份正在測試40%的銀包銅漿料；博遷新材搭建了中試線，小粒徑成品銀包銅粉突破噸級以上銷售。銀包銅有望降低單片銀耗量30%以上，每W耗量降至10mg水平。根據(jù)華晟新能源的最新測算，M6-12BB電池單片銀耗量已降至150mg，通過在背面副柵使用銀包銅漿料，可將單片銀耗降低至120mg；2023年，華晟預(yù)計(jì)將全面使用銀包銅漿料代替純銀漿，屆時單片銀耗量將可低至80mg，換算每瓦耗量11.4mg。銀包銅作為一項(xiàng)新技術(shù)，還未經(jīng)歷過電站端長時間的驗(yàn)證，下游的接受預(yù)計(jì)還將需要一定的時間。（五）銅電鍍：去銀化終極方案，中試走向量產(chǎn)的關(guān)鍵階段銅電鍍?yōu)槿ャy化終極方案，提效降本共發(fā)力。效率端，銅電阻為低于含有機(jī)雜質(zhì)的低溫銀漿，導(dǎo)電性能更好，線寬可以做到10-20μm，而HJT低溫銀漿電極一般在30-50μm，銅電極遮光更少，可釋放電池片發(fā)電效率潛力，預(yù)計(jì)效率增幅在0.3~0.5%，電鍍銅有望將HJT電池轉(zhuǎn)換效率提高到26%以上；成本端，銅材料價(jià)格遠(yuǎn)低于低溫銀漿，用銅柵線替換銀柵線能夠?qū)崿F(xiàn)大幅度降本，根據(jù)國電投測算，到2023年底，銅柵線異質(zhì)結(jié)金屬化成本有望降低到0.08元/W，比銀柵線技術(shù)成本降低50%，度電成本（LCOE）顯著降低。銅電鍍主要步驟為種子層+圖形化+金屬化，各路廠家多方布局。制備種子層是為了提升柵線與TCO層間的導(dǎo)電性和附著力，易于電鍍銅附著，目前邁為正在攻克無種子層技術(shù)；圖形化主要分為激光直寫、掩膜顯影，代表廠商分別為芯碁微裝、蘇大維格，近期太陽井布局了投影式光刻技術(shù)，具有較好的曝光效果同時避免掩膜板損傷，邁為則布局了激光開槽和掩膜顯影等圖形化方式。金屬化分為水平電鍍和垂直電鍍，代表廠家分別為捷德寶、太陽井和東威科技，水平電鍍更利于產(chǎn)量提升和自動化實(shí)現(xiàn)，邁為參股子公司啟威星主要涉及銅電鍍的濕法裝備，在水平電鍍方面亦有布局。通威布局了種子層電鍍方案。在專利CN115799400A中，發(fā)現(xiàn)槽道中部的感光膠層殘留導(dǎo)致電鍍沉積速度慢于正常銅種子層上的電鍍沉積速度，而發(fā)生“U型冒鍍”，通過調(diào)整顯影能力和改變顯影方式、額外增加除膠步驟能夠?qū)l(fā)生U型冒鍍概率控制在0.004%以下；在專利CN115986006A中，通過進(jìn)行多次電流密度遞增的電鍍逐步形成柵線，能夠減小由于槽壁與電鍍液的接觸不均而導(dǎo)致金屬鍍層內(nèi)形成孔洞的幾率，增強(qiáng)鍍層與鍍層、鍍層與種子層之間的結(jié)合力，降低柵線的電阻率，進(jìn)而提高太陽電池的可靠性和轉(zhuǎn)換效率。通威布局的銅互聯(lián)電池，采用銅與氧化銅的混合層作為種子層。在完成非晶硅、摻雜層和透明導(dǎo)電層的制備后，先利用PVD在正背面沉積100~250nm的銅種子層，再沉積100~200nm的混合物層，其中氧化銅的含量在30~80%之間，可以阻擋環(huán)境中的水和氧氣影響內(nèi)部的銅種子層，還能使得形成的銅柵線形貌整齊且毛刺較少；圖形化使預(yù)鍍混合層表面露出，再用弱酸洗去氧化銅，便會形成鏤空的單質(zhì)銅層，此時再進(jìn)行電鍍，銅會從最底部的種子層表面開始生長，逐漸填充“鏤空銅”之后在表面生長銅柵線（高度為8~10μm），使得電鍍銅整體與銅種子層之間的接觸電阻變小、空洞數(shù)量和尺寸顯著減少；電鍍銅完成后再二次電鍍一層2~4μm的錫柵線以保護(hù)銅柵線。邁為另辟蹊徑，重點(diǎn)開發(fā)無種子層電鍍技術(shù)。在電鍍銅步驟前采用預(yù)鍍鎳的方式，直接生成了正背電極的柵線，從而無需雙面PVD濺射銅種子層及刻蝕，避免了含銅廢水的排放；減少了由于銅種子層刻蝕引起的TCO損傷，無效線寬遮擋區(qū)域從占整體吸線寬50%以上降低到低于10%水平，克服了傳統(tǒng)技術(shù)的不足。邁為布局的銅電鍍電池可能采用多疊層TCO層和多層減反層膜設(shè)計(jì)。在專利CN115911167A中，在電池正面以PVD方法沉積的ITO作為緩沖層，再在ITO表面以RPD方法沉積IZrO、背面直接沉積ICO作為TCO層，并均以SnO2作為保護(hù)層，從而形成疊層TCO層，具備高遷移率、高透過性、耐腐蝕性的特征；由于SnO2保護(hù)層的存在，無需鍍銅種子層即可進(jìn)行銅電鍍工藝，避免了去除銅種子層的蝕刻工藝對TCO層造成損傷；多層減反膜工藝能夠再次提高光的吸收，且SiO2與POE膜封裝效果較好，更利于后續(xù)電池的組裝。捷佳偉創(chuàng)針對金屬電極技術(shù)和組件問題，開發(fā)了多種電鍍銅方案。捷佳創(chuàng)偉首席科學(xué)家宋廣華認(rèn)為傳統(tǒng)的電鍍銅工藝容易出現(xiàn)種子銅殘余、壓膜表面損傷和EVA膠膜脫層等問題，而組件產(chǎn)品則面臨戶外電站和短路LID實(shí)驗(yàn)出現(xiàn)EL主柵發(fā)黑的問題，針對此開發(fā)了無種子銅電鍍+IWO+介質(zhì)膜+水平電鍍的方案，能夠在一定程度上避免上述問題的發(fā)生。國電投除開發(fā)普通銅電鍍電池外，還布局了背面為銅薄膜的銅電鍍電池。普通銅柵線電池使用疊層TCO，以氫摻雜氧化銦層為底層，提高整體載流子遷移率、降低電阻率，覆蓋一層ITO、IWO等構(gòu)成的接觸層，以保證TCO層與金屬電極之間較低的接觸電阻；國電投還開發(fā)了一種背面為整面銅薄膜的電極，無需進(jìn)行圖形化，即可以節(jié)省工藝流程和光刻掩膜的使用，有效地降低成本，同時降低串聯(lián)電阻、提高填充因子，提高電池的效率。電鍍環(huán)節(jié)，垂直電鍍相對成熟，但是具有產(chǎn)能相對較小、良率較差的弊端，水平電鍍成為行業(yè)研發(fā)的重點(diǎn)方向。垂直電鍍廣泛應(yīng)用于PCB電鍍銅工藝，夾爪夾住陰電極，豎著掛在電鍍槽中進(jìn)行銅電鍍。從產(chǎn)業(yè)目前進(jìn)展看，垂直電鍍用于HJT電池銅電極電鍍，必須放慢沉積速度以提高均勻性，所以單機(jī)產(chǎn)能比較小（每小時2000-3000片），良率也比較差，容易發(fā)生碎片；水平電鍍增加了陰極與欲鍍表面的接觸面積，保持待鍍表面的電流密度分布更加均勻，是行業(yè)重點(diǎn)攻堅(jiān)方向。水平電鍍難度高、潛力大。太陽井開發(fā)了一種使用探針進(jìn)行電鍍的水平電鍍設(shè)備，陰極探針組件包括貼合吸盤和陰極導(dǎo)電探針，貼合吸盤設(shè)有吸附腔體，陰極導(dǎo)電探針設(shè)于吸附腔體內(nèi)，旋轉(zhuǎn)運(yùn)動件能帶動陰極導(dǎo)電探針同步旋轉(zhuǎn)，降低了電鍍過程中發(fā)生位置偏移的風(fēng)險(xiǎn)；貼合吸盤周期性地貼合于電池片，形成隔離空間，僅含少量電鍍液，降低了陰極探針與電池片鍍在一起的風(fēng)險(xiǎn)，也減少了后續(xù)退鍍的時間，降低了探針被腐蝕的風(fēng)險(xiǎn)，延長使用壽命。捷得寶布局了增加電池片受鍍面積的單雙面水平鍍設(shè)備。通過擴(kuò)增部的設(shè)置提高電鍍效率，縮短設(shè)備的制造長度，在陽極組的上藥水盒內(nèi)有柔性海綿擴(kuò)增面，能夠使上方藥水均勻擴(kuò)散；下方藥水從底部涌出，能夠擴(kuò)大藥水與電池片的接觸面積，完成電池片的雙面電鍍。由于配置了真空吸嘴接頭與阻水滾輪組及熱風(fēng)刀結(jié)構(gòu)，能有效阻絕電鍍藥水于陽極組內(nèi)，有效保持陰極組干燥，無需消掛退鍍。羅博特科獨(dú)創(chuàng)了VDI電鍍技術(shù)，具有產(chǎn)能大、碎片率低、占地面積小的優(yōu)點(diǎn)。在專利CN115613106B中，將電池片插入陰極導(dǎo)電支架上的導(dǎo)電支撐單元中，再插入位于電鍍槽內(nèi)的陽極結(jié)構(gòu)中，使一個導(dǎo)電支撐單元位于相鄰兩個陽極板組件之間，即可完成雙面電鍍。該插片式電鍍裝置產(chǎn)能可達(dá)到14000整片/小時，碎片率約為0.02%，遠(yuǎn)優(yōu)于相同面積下垂直連續(xù)式（7200半片/小時，碎片率0.04%）和水平式電鍍裝置（6000整片/小時，碎片率0.03%）的生產(chǎn)能力。23年為銅電鍍中試之年，下半年值得期待。邁為股份在4月25日投資者關(guān)系公告中表示，今年是銅電鍍中試的大年，至少有3-4家客戶年內(nèi)有300MW級別的中試，下半年公司會有一條中試線在客戶端開始驗(yàn)證；寶馨科技、愛康科技也在積極進(jìn)行相應(yīng)開發(fā)工作；國電投為規(guī)劃的首個5GW高效HJT電池及組件量產(chǎn)基地在溫州龍港市開工建設(shè)，與羅博特科合作的VDI電鍍設(shè)備已順利進(jìn)場，力爭三季度建成產(chǎn)線。（六）靶材：低銦化、無銦化為主要方向含銦靶材為主流應(yīng)用，銦價(jià)格和儲量影響HJT發(fā)展。目前，無論研發(fā)或是量產(chǎn)中，絕大多數(shù)異質(zhì)結(jié)電池的TCO層材料均為ITO（主體為氧化銦，占比90%以上，摻雜錫）或其他以銦為主的摻雜材料（鎢摻雜IWO、鋅摻雜IZO等），其中銦是稀有金屬，儲量有限，且價(jià)格經(jīng)常波動，會嚴(yán)重制約異質(zhì)結(jié)電池的發(fā)展。因此，開發(fā)含銦量更低的透明導(dǎo)電材料或能取代氧化銦錫材料的其他類型透明導(dǎo)電材料迫在眉睫。低銦、無銦電池技術(shù)開發(fā)中，邁為布局較深。在最新的專利CN218918903U中，邁為公開了以氧化錫基TCO材料代替銦基TCO材料的異質(zhì)結(jié)電池方案，使用摻鉭氧化錫（TTO）、摻鉬氧化錫（MTO）或者鉭鉬共摻氧化錫（MTTO）進(jìn)行多層梯度摻雜作為TCO，有望解決傳統(tǒng)無銦TCO氧化鋅鋁（AZO）材料性能不佳、穩(wěn)定性差、可靠性差的問題，降低了成本的同時保證了電池穩(wěn)定性；在專利CN116031323A中，邁為通過在氧化錫層和摻雜層之間使用PVD方法制備超薄ITO緩沖層和RPD制備超薄ICO/IWO緩沖層，改善了氧化錫層與摻雜層間的接觸電阻大的問題，該疊層結(jié)構(gòu)可大幅度減少靶材的使用，降低生產(chǎn)的工藝成本；同時，該種電池方案可結(jié)合銅電鍍技術(shù)，在氧化錫層上無需制備銅種子層，可直接執(zhí)行銅電鍍工藝，進(jìn)一步減少工藝步驟、降低工藝難度和銀材料成本。愛康科技與創(chuàng)發(fā)科技合作研發(fā)。創(chuàng)發(fā)光電科技總經(jīng)理為黃信二（愛康集團(tuán)副總裁），主營業(yè)務(wù)為各類光伏靶材，借助薄膜材料研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，創(chuàng)發(fā)科技開發(fā)出較多種類的無銦靶材，包括GZO、AZO、GAZO等，在背面無銦電池測試中與ITO靶材對照組相比，在膜增厚或網(wǎng)版優(yōu)化時可達(dá)到相近效率。低銦/無銦異質(zhì)結(jié)電池取得突破進(jìn)展。根據(jù)邁為股份公眾號，2022年8月，邁為股份采用低銦含量的TCO工藝結(jié)合SunDrive公司的銅電鍍柵線，在全尺寸（M6，274.4cm2）單晶硅異質(zhì)結(jié)電池上獲得了25.94%的效率，單片銦的使用量比常規(guī)（未采用低銦方案）的異質(zhì)結(jié)電池降低了50%，如果疊加設(shè)備降銦的方案再降低40%，可以將銦用量降低到常規(guī)水平的30%；而銅電鍍工藝省去了昂貴的銀漿成本，這兩項(xiàng)工藝的結(jié)合使異質(zhì)結(jié)電池的制造成本降至新低，同時確保了優(yōu)異的光電轉(zhuǎn)化效率。根據(jù)隆基綠能官網(wǎng)，2022年12月，隆基研發(fā)團(tuán)隊(duì)利用儲量豐富、價(jià)格便宜且安全環(huán)保的薄膜材料，取代了傳統(tǒng)的銦基透明導(dǎo)電膜，實(shí)現(xiàn)了26.09%的轉(zhuǎn)換效率，再一次打破世界紀(jì)錄，體現(xiàn)了HJT電池工藝在技術(shù)改進(jìn)和降本方面的潛力。（七）設(shè)備端：板式PECVD為主流，Cat-CVD為降本提效潛在選項(xiàng)板式PECVD為目前主流，Cat-CVD相對具備一定優(yōu)點(diǎn)。在HJT電池技術(shù)中，PECVD技術(shù)為沉積非晶硅層和微晶硅層的主流選擇，然而處理等離子體會對薄膜造成不期望的離子轟擊或電荷誘導(dǎo)損傷，且PECVD制備的非晶硅薄膜中氫原子含量過高（10%左右），需要進(jìn)行脫氫處理；Cat-CVD是基于PECVD等離子體損傷的缺陷所開發(fā)的技術(shù)，具有薄膜和襯底不受等離子體損傷，氣體利用率高、無需脫氫，裝置兼容性強(qiáng)、容易擴(kuò)產(chǎn)，設(shè)備成本低、降本空間大等主要優(yōu)點(diǎn)。Cat-CVD通過催化熱絲活化粒子，避免了高能粒子轟擊對襯底或已沉積薄膜表面的損傷，能夠產(chǎn)生更加平整的薄膜界面；氣體分子利用效率達(dá)到了40%，制備薄膜氫原子含量在10%以下；Cat-CVD設(shè)備不需要昂貴的射頻電源和復(fù)雜的勻氣系統(tǒng)，載板和腔體要求也低得多，設(shè)備長度等也短很多，因此造價(jià)比PECVD更低，根據(jù)江西漢可測算，每GW電池的鍍膜設(shè)備成本從2億元降低至1億元，運(yùn)營成本低10%以上。臥式設(shè)備能夠減少襯底被遮蔽的面積，提高轉(zhuǎn)換效率，降低自動化難度。根據(jù)熱絲放置方向，Cat-CVD可分為臥式和立式，在臥式Cat-CVD設(shè)備中，熱絲在鍍膜腔內(nèi)水平延伸，襯底能夠在水平放置的狀態(tài)下進(jìn)行鍍膜，無需通過特殊結(jié)構(gòu)被固定到載板上，因此能夠減少襯底被遮蔽的面積，進(jìn)而一定程度上擴(kuò)大鍍膜面積、提高光電轉(zhuǎn)換效率；由于無需固定結(jié)構(gòu)，能夠防止壓片、磁吸或蓋板等固定結(jié)構(gòu)導(dǎo)致的襯底擦傷或碎片；由于襯底水平放置，運(yùn)輸和取放料更加容易，降低自動化的難度。捷佳偉創(chuàng)、江西漢可為主要國內(nèi)Cat-CVD供應(yīng)商。捷佳偉創(chuàng)自主研發(fā)了HJT全線四道工序所有設(shè)備及配套自動化設(shè)備，Cat-CVD設(shè)備目前正在客戶的中試線上進(jìn)行驗(yàn)證，已經(jīng)獲取訂單。江西漢可成立于2021年，團(tuán)隊(duì)在Cat-CVD非晶硅薄膜工藝技術(shù)與半導(dǎo)體真空工藝設(shè)備技術(shù)潛心積累多年，形成了基礎(chǔ)研發(fā)型、量產(chǎn)研發(fā)型設(shè)備，以及TOPCon、異質(zhì)結(jié)電池的技術(shù)解決方案，具有多項(xiàng)Cat-CVD相關(guān)的專利布局。捷佳偉創(chuàng)率先布局，持續(xù)研發(fā)技術(shù)。根據(jù)捷佳偉創(chuàng)的專利布局，通過在鍍膜腔內(nèi)間隔地設(shè)置有三個以上具有第一熱絲的鍍膜部，各相鄰的兩個所述鍍膜部之間分別容許單塊所述基板流過，且相鄰的兩個鍍膜部設(shè)置為分別對流過它們之間的所述基板的與其相對的一面進(jìn)行鍍膜，實(shí)現(xiàn)了在同一鍍膜腔內(nèi)分別對至少兩塊基板的各兩面進(jìn)行鍍膜，解決了傳統(tǒng)Cat-CVD中電池片翻面的工藝問題；通過熱絲裝置和保持器裝置，使熱絲能夠在鍍膜腔內(nèi)水平地延伸，避免使用固定器件導(dǎo)致遮蔽襯底，一定程度上擴(kuò)大鍍膜對象物的鍍膜面積，并且解決了臥式Cat-CVD裝置中熱絲軟化的問題。通過使用一條獨(dú)立的工藝線對襯底的一面鍍P型摻雜硅基薄膜，防止了在對襯底的一面鍍P型摻雜硅基薄膜時和其他鍍膜工藝之間產(chǎn)生交叉污染問題。三、技術(shù)持續(xù)突破，設(shè)備廠商獲益明顯真空設(shè)備端，雙面微晶已成主流。邁為股份、捷佳偉創(chuàng)已獲得行業(yè)內(nèi)頭部企業(yè)的整線訂單，采用雙面微晶PECVD工藝，設(shè)備需求量較大，積極擴(kuò)張產(chǎn)能；金辰股份PECVD設(shè)備已獲驗(yàn)證，定增10億（其中3.4億）用于擴(kuò)產(chǎn)和PVD產(chǎn)業(yè)化建設(shè)。串焊機(jī)端，即將完成中試，下半年可能量產(chǎn)。奧特維在2023年已拿到行業(yè)龍頭企業(yè)的小批量0BB串焊機(jī)訂單，預(yù)計(jì)今年下半年0BB可能會有量產(chǎn)，若未來0BB工藝成為行業(yè)主流，則奧特維的串焊機(jī)業(yè)務(wù)有望迎來量利齊升的階段；邁為股份采用前焊接的技術(shù)，爭取兩三個月之內(nèi)完成中試階段，在Q4提供量產(chǎn)設(shè)備。銅電鍍-圖形化設(shè)備端，多廠商多方案爭奇斗艷。芯碁微裝提供量產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)最小15μm的銅柵線直寫曝光方案，產(chǎn)能達(dá)到6,000片/小時，且積極擴(kuò)產(chǎn)280臺/套應(yīng)對產(chǎn)能瓶頸；蘇大維格采用掩膜投影曝光方式，正在積極與光伏廠商進(jìn)行深度對接和測試，在曝光均勻度、槽型形貌、分辨率等方面均有較好的效果，測試進(jìn)展順利；帝爾激光開發(fā)的激光高精超細(xì)圖形化設(shè)備已應(yīng)用于TOPCon/XBC量產(chǎn)工藝，截至目前已有量產(chǎn)訂單交付，正在研發(fā)HJT圖形化工藝；邁為股份突破了曝光顯影和激光開槽的圖形化步驟，主要瓶頸在電鍍方面，預(yù)計(jì)下半年會有一條中試線在客戶端開始驗(yàn)證。金屬化設(shè)備端，水平電鍍?yōu)橹饕较?，VDI添加變數(shù)。羅博特科VDI電鍍設(shè)備已交付國電投，開啟第二階段驗(yàn)證，力爭三季度建成銅柵線異質(zhì)結(jié)產(chǎn)線；東威科技第二代設(shè)備已經(jīng)驗(yàn)收確認(rèn)收入，正在制造第三代設(shè)備，擁有8000片/小時以上產(chǎn)能和破片率低于0.1%、均勻性好、高效節(jié)能、清潔環(huán)保等優(yōu)勢，價(jià)值量為1500~2000萬元/臺，1GW電鍍設(shè)備大概在5000萬左右，與國電投有進(jìn)一步合作，年底可能量產(chǎn)。（一）邁為股份：HJT設(shè)備領(lǐng)先企業(yè)，持續(xù)推動行業(yè)進(jìn)步邁為股份成立于2010年，是一家集機(jī)械設(shè)計(jì)、電氣研制、軟件算法開發(fā)、精密制造裝備于一體的高端智能裝備制造商。公司憑借多年來優(yōu)異的自主研發(fā)能力、產(chǎn)品質(zhì)量與售后服務(wù)體系，打破了外國廠商在光伏絲網(wǎng)印刷設(shè)備領(lǐng)域的壟斷，成為全球光伏絲網(wǎng)印刷設(shè)備的龍頭企業(yè)，實(shí)現(xiàn)了光伏絲網(wǎng)印刷制造設(shè)備領(lǐng)域的國產(chǎn)化替代。邁為股份的主要業(yè)務(wù)為面向太陽能光伏、顯示、半導(dǎo)體三大行業(yè)，研發(fā)、制造、銷售智能化高端裝備，主要產(chǎn)品包括全自動太陽能電池絲網(wǎng)印刷生產(chǎn)線、異質(zhì)結(jié)高效電池制造整體解決方案、OLED柔性屏激光切割設(shè)備、Mini/MicroLED晶圓設(shè)備、半導(dǎo)體晶圓封裝設(shè)備等。公司收入和凈利潤穩(wěn)中有升，凈利率和毛利率持續(xù)回升。公司實(shí)現(xiàn)2022年收入41.48億元，同比增長34.01%，2023Q1季度實(shí)現(xiàn)收入11.57億元，同比增長38.64%，收入增速逐漸穩(wěn)定，呈上升趨勢，歸母凈利潤增速有所減緩。公司2022年毛利率為38.31%，凈利率為20.78%，2023Q1毛利率為34.03%，凈利率為19.10%，自2019年起毛利率與凈利率持續(xù)回升，盈利能力較強(qiáng)。根據(jù)4月25日投資者調(diào)研記錄，公司在110μm硅片、雙面微晶、0BB、銀包銅、銅電鍍、異質(zhì)結(jié)/鈣鈦礦疊層等關(guān)鍵技術(shù)均有涉及，將在異質(zhì)結(jié)鈣鈦礦疊層電池技術(shù)上布局研發(fā)；根據(jù)公司5月26日發(fā)布的公眾號，邁為自主研制的雙面微晶異質(zhì)結(jié)高效電池制造整體解決方案，是異質(zhì)結(jié)電池整線裝備國產(chǎn)化持續(xù)創(chuàng)新、成功升級的第三代產(chǎn)品，應(yīng)用了PECVD雙面微晶工藝，已于2022年12月開始交付客戶，經(jīng)過高效有序的安裝與調(diào)試，雙面微晶技術(shù)的顯著提效優(yōu)勢已在多家客戶的量產(chǎn)線、試量產(chǎn)線上得到驗(yàn)證。2023年，邁為已累計(jì)取得華晟14條整線訂單。（二）捷佳偉創(chuàng)：多路線布局，HJT設(shè)備獲頭部客戶訂單捷佳偉創(chuàng)成立于2007年，是國內(nèi)領(lǐng)先的從事晶體硅太陽能電池設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的國家高新技術(shù)企業(yè)。公司憑借自身的技術(shù)研發(fā)實(shí)力在太陽能電池設(shè)備生產(chǎn)領(lǐng)域行業(yè)地位突出。公司的主要業(yè)務(wù)為晶體硅太陽能電池設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，主要產(chǎn)品包括PECVD及擴(kuò)散爐等半導(dǎo)體摻雜沉積工藝光伏設(shè)備、清洗、刻蝕、制絨等濕法工藝光伏設(shè)備以及自動化（配套）設(shè)備、全自動絲網(wǎng)印刷設(shè)備等晶體硅太陽能電池和鈣鈦礦/晶硅-鈣鈦礦疊層電池生產(chǎn)工藝流程中的主要及配套設(shè)備的研發(fā)、制造和銷售。公司收入和凈利潤穩(wěn)中有升。公司2022年實(shí)現(xiàn)收入60.05億元，同比增長18.98%，2023Q1季度實(shí)現(xiàn)收入19.31億元，同比增長41.73%，收入增速有一定恢復(fù)，歸母凈利潤增速呈現(xiàn)波動下降的趨勢。公司2022年毛利率為25.44%，凈利率為17.44%，相較于2019年均出現(xiàn)下滑，2023Q1季度毛利率為22.78%，凈利率為17.40%，毛利率呈現(xiàn)一定波動，凈利率維持較高水平。根據(jù)公司5月3日發(fā)布的公眾號，捷佳偉創(chuàng)近期中標(biāo)全球頭部光伏企業(yè)量產(chǎn)型HJT整線訂單，采用最新的板式PECVD雙面微晶工藝，同時中標(biāo)境內(nèi)外多家新能源頭部企業(yè)HJT領(lǐng)域制絨/板式PECVD/Cat-CVD/PAR/PVD/印刷等十余項(xiàng)單機(jī)設(shè)備及重復(fù)訂單。公司HJT電池全路線全工藝裝備在技術(shù)和工藝上持續(xù)獲得突破。（三）奧特維：串焊機(jī)龍頭，硅片設(shè)備、電池片設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備多點(diǎn)開花奧特維成立于2010年，是從事高端裝備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，具有自主研發(fā)能力和持續(xù)創(chuàng)新能力的高新技術(shù)企業(yè)，致力于為客戶提供性能優(yōu)異、性價(jià)比高的高端設(shè)備和解決方案。公司產(chǎn)品主要應(yīng)用于光伏行業(yè)、鋰電行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)封測環(huán)節(jié)，包括大尺寸超高速多主柵串焊機(jī)、大尺寸超高速硅片分選機(jī)、激光劃片機(jī)、絲網(wǎng)印刷線、光注入退火爐、單晶爐等光伏設(shè)備；圓柱電芯外觀檢測、動力（儲能）模組PACK線等鋰電設(shè)備；和應(yīng)用于半導(dǎo)體封測環(huán)節(jié)的鋁線鍵合機(jī)等；還為客戶提供已有設(shè)備的改造、升級服務(wù)和備品備件。公司收入與凈利潤增速呈上升趨勢。公司2022年實(shí)現(xiàn)收入35.4億元，同比增長72.94%，2023Q1季度實(shí)現(xiàn)收入10.39億元，同比增長66.27%，近年來收入增速呈上升趨勢，歸母凈利潤增速有一定波動，但保持較高水平。公司2022年毛利率為38.92%，凈利率為20.14%，2023Q1季度毛利率為36.60%，凈利率為21.27%，毛利率和凈利率穩(wěn)步上升。公司在4月28日的投資者關(guān)系公告中表示，2023年公司已拿到行業(yè)龍頭企業(yè)的小批量0BB串焊機(jī)訂單，相較于SMBB串焊機(jī)，0BB串焊機(jī)會疊加點(diǎn)膠、覆膜等工藝，控制難度比SMBB串焊機(jī)高，單GW的價(jià)值量也更高，若未來0BB工藝成為行業(yè)主流，則公司的0BB串焊機(jī)設(shè)備的價(jià)值量有望得到進(jìn)一步的提升。預(yù)計(jì)23年下半年0BB可能會有量產(chǎn)。（四）羅博特科：開創(chuàng)電鍍VDI技術(shù)，光伏半導(dǎo)體多點(diǎn)開花羅博特科成立于2011年，是一家研制高端自動化裝備和基于工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的智能制造執(zhí)行系統(tǒng)軟件的高新技術(shù)企業(yè)。公司擁有完整的研發(fā)、設(shè)計(jì)、裝配、測試、銷售和服務(wù)體系，為光伏、電子及半導(dǎo)體等領(lǐng)域提供柔性、智能、高效的高端自動化裝備及R2Fab系統(tǒng)軟件，目前公司產(chǎn)品主要應(yīng)用于光伏電池領(lǐng)域。公司主要業(yè)務(wù)包括工業(yè)自動化設(shè)備及執(zhí)行系統(tǒng)和高效電池解決方案，其中工業(yè)自動化設(shè)備包括智能自動化設(shè)備、智能裝配、測試設(shè)備及系統(tǒng)。根據(jù)公司的整體發(fā)展戰(zhàn)略，公司已逐步切入光伏電池工藝設(shè)備業(yè)務(wù)領(lǐng)域。公司收入和凈利潤呈現(xiàn)恢復(fù)趨勢。公司2022年實(shí)現(xiàn)收入9.03億元，同比減少16.83%，2023Q1季度實(shí)現(xiàn)收入2.59億元，同比增長30.51%，主要原因是2022年上半年，公司在采購、制造、運(yùn)輸、安裝等環(huán)節(jié)均受到不同程度的負(fù)面影響，下半年開始形勢有所好轉(zhuǎn)，收入增速自2021年起有一定恢復(fù)，利潤實(shí)現(xiàn)扭虧轉(zhuǎn)盈。公司2022毛凈利率為22.17%，凈利率為2.88%，2023Q1季度毛利率為20.24%，凈利率為1.54%，相較于2020年均有較大幅度恢復(fù)。根據(jù)公司5月29日發(fā)布的公眾號，羅博特科已逐步切入光伏電池工藝設(shè)備業(yè)務(wù)領(lǐng)域。前端布局了濕法工藝設(shè)備，后端布局了光伏銅電鍍設(shè)備，具備制絨、清洗、堿拋及銅電鍍工藝設(shè)備等系列產(chǎn)品，獨(dú)創(chuàng)的銅柵線異質(zhì)結(jié)電池VDI/HDI電鍍技術(shù)方案，具有產(chǎn)能大、占地小、柔性強(qiáng)、功耗低和易維護(hù)等優(yōu)勢，首臺VDI電鍍設(shè)備已于2月28日交付國電投，將進(jìn)行第二階段的驗(yàn)證，力爭三季度成功建成行業(yè)內(nèi)首條大產(chǎn)能銅柵線異質(zhì)結(jié)電池生產(chǎn)線。（五）蘇大維格：光刻技術(shù)翹楚，掩膜、光刻圖形化同步開發(fā)中蘇大維格成立于2001年，公司是國內(nèi)領(lǐng)先的微納結(jié)構(gòu)產(chǎn)品制造和技術(shù)服務(wù)商，通過自主研發(fā)微納光學(xué)關(guān)鍵制造設(shè)備——光刻機(jī)，建立了微納光學(xué)研發(fā)與生產(chǎn)制造的基礎(chǔ)技術(shù)平臺體系，為客戶提供不同用途微納光學(xué)產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、開發(fā)與制造服務(wù)。公司深耕高端微納光學(xué)材料及反光材料制品多年，已發(fā)展形成了公共安全和新型印材、消費(fèi)電子新材料、反光材料、高端智能裝備四大事業(yè)群，并憑借強(qiáng)大的技術(shù)研發(fā)實(shí)力，在納米波導(dǎo)光場鏡片（AR/AR-HUD）、裸眼3D顯示、無掩膜光刻等領(lǐng)域持續(xù)研發(fā)，進(jìn)行技術(shù)與專利布局，不斷開發(fā)新產(chǎn)品，拓展新領(lǐng)域，致力于將公司打造成具備持續(xù)創(chuàng)新能力，行業(yè)影響力大，產(chǎn)品豐富，服務(wù)優(yōu)質(zhì)的微納結(jié)構(gòu)產(chǎn)品領(lǐng)先企業(yè)。公司收入保持穩(wěn)定，凈利潤恢復(fù)中。公司2022年實(shí)現(xiàn)收入17.16億元，同比減少1.21%，2023Q1季度實(shí)現(xiàn)收入3.93億元，同比減少1.05%，收入基本維持穩(wěn)定，有一定下降，凈利潤2021年大幅下降，主要系因子公司華日升業(yè)績未達(dá)預(yù)期計(jì)提長期資產(chǎn)減值損失所致，2023Q1扭虧為盈。公司2022年毛利率為15.33%，凈利率為-16.26%，2023Q1季度毛利率為18.35%，凈利率為0.25%，相較于2021年開始逐漸恢復(fù)，但仍低于2020年水平。公司5月12日在互動平臺表示，公司自行開發(fā)的光伏銅電鍍曝光設(shè)備采用了掩模投影曝光的方式，有利于協(xié)助下游廠商的降本增效。目前，公司正在積極與光伏廠商進(jìn)行深度對接和測試，在曝光均勻度、槽型形貌、分辨率等方面均有較好的效果。（六）芯碁微裝：微納直寫光刻龍頭，產(chǎn)品應(yīng)用場景不斷擴(kuò)展芯碁微裝成立于2015年，是光刻技術(shù)領(lǐng)域里擁有關(guān)鍵核心技術(shù)PCB直接成像設(shè)備及泛半導(dǎo)體直寫光刻設(shè)備的國產(chǎn)供應(yīng)商之一，是國內(nèi)最早從事直寫光刻設(shè)備開發(fā)的企業(yè)之一和首家光刻設(shè)備上市公司。核心技術(shù)團(tuán)隊(duì)成員具備三十多年的高端裝備開發(fā)經(jīng)驗(yàn)，深耕行業(yè)多年。憑借著產(chǎn)品技術(shù)、服務(wù)及品牌優(yōu)勢，公司在泛半導(dǎo)體領(lǐng)域打破了國際壟斷，產(chǎn)品性能已比肩國際廠商，產(chǎn)品技術(shù)及市場份額國內(nèi)領(lǐng)先。公司主營業(yè)務(wù)為以微納直寫光刻為技術(shù)核心的直接成像設(shè)備及直寫光刻設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售以及相應(yīng)的維保服務(wù)，主要產(chǎn)品及服務(wù)包括PCB直接成像設(shè)備及自動線系統(tǒng)、泛半導(dǎo)體直寫光刻設(shè)備及自動線系統(tǒng)、其他激光直接成像設(shè)備以及上述產(chǎn)品的售后維保服務(wù)，產(chǎn)品功能涵蓋微米到納米的多領(lǐng)域光刻環(huán)節(jié)。公司收入、利潤均保持高速增長。公司2022年實(shí)現(xiàn)收入6.52億元，同比增長50.29