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文檔簡介
半導(dǎo)體物理知識(shí)點(diǎn)總結(jié)
5、半導(dǎo)體中電子的準(zhǔn)動(dòng)量:經(jīng)典意義上的動(dòng)量是慣性質(zhì)量與速度的乘積,
即V。根據(jù)教材式(1T)和式(1T0),對(duì)于自由電子v=hk,這是自由電子的
真實(shí)動(dòng)量,而在半導(dǎo)體中hk=v;
有效質(zhì)量與慣性質(zhì)量有質(zhì)的區(qū)別,前者隱含了晶格勢(shì)場(chǎng)的作用(雖然有質(zhì)量
的量綱)。因?yàn)関與v具有相同的形式,因此稱v為準(zhǔn)動(dòng)量。
6、本征激發(fā):共價(jià)鍵上的電子激發(fā)成為準(zhǔn)自由電子,亦即價(jià)帶電子吸收能
量被激發(fā)到導(dǎo)帶成為導(dǎo)帶電子的過程,稱為本征激發(fā)。這一概念今后經(jīng)常用到。
7、載流子:晶體中荷載電流(或傳導(dǎo)電流)的粒子。金屬中為電子,半導(dǎo)
體中有兩種載流子即電子和空穴,而影響半導(dǎo)體導(dǎo)電性的主要是導(dǎo)帶電子和價(jià)帶
空穴。
8、回旋共振實(shí)驗(yàn):目的是測(cè)量電子的有效質(zhì)量,以便采用理論與實(shí)驗(yàn)相結(jié)
合的方法推出半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu)。為能觀測(cè)出明顯的共振吸收峰,就要求樣品純
度要高,而且實(shí)驗(yàn)一般在低溫下進(jìn)行,交變電磁場(chǎng)的頻率在微波甚至在紅外光的
范圍。實(shí)驗(yàn)中常是固定交變電磁場(chǎng)的頻率,改變磁感應(yīng)強(qiáng)度以觀測(cè)吸收現(xiàn)象。磁
感應(yīng)強(qiáng)度約為零點(diǎn)幾T。等能面的形狀與有效質(zhì)量密切相關(guān),對(duì)于球形等能面,
有效質(zhì)量各向同性,即只有一個(gè)有效質(zhì)量;
對(duì)于橢球等能面,有效質(zhì)量各向異性,即在不同的波矢方向?qū)?yīng)不同的有效
質(zhì)量。
9、橫向有效質(zhì)量沿橢球短軸方向,縱向有效質(zhì)量沿橢球長軸方向。
10、直接帶隙半導(dǎo)體是指導(dǎo)帶極小值與價(jià)帶極大值對(duì)應(yīng)同一波矢;
間接帶隙半導(dǎo)體是指導(dǎo)帶極小值與價(jià)帶極大值對(duì)應(yīng)不同的波矢。
本章要求掌握的內(nèi)容及考點(diǎn):一一本章要求熟練掌握基本的物理原理和概念
——考題主要涉及填空、名詞解釋和簡答題(物理過程的解釋)1、以上基本概
念和名詞術(shù)語的解釋。
2、熟悉金剛石型結(jié)構(gòu)與閃鋅礦型結(jié)構(gòu)晶胞原子的空間立體分布及硅、錯(cuò)、
碑化鐵晶體結(jié)構(gòu)特點(diǎn),晶格常數(shù),原子密度數(shù)量級(jí)(1022個(gè)原子/立方厘米)。
3、掌握能帶形成的原因及電子共有化運(yùn)動(dòng)的特點(diǎn);
掌握實(shí)際半導(dǎo)體的能帶的特點(diǎn)。
4、掌握有效質(zhì)量的意義及計(jì)算公式,速度的計(jì)算方法,正確理解半導(dǎo)體中
電子的加速度與外力及有效質(zhì)量的關(guān)系,正確理解準(zhǔn)動(dòng)量及其計(jì)算方法,準(zhǔn)動(dòng)量
的變化量應(yīng)為。
5、掌握半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu),正確理解空穴的導(dǎo)電機(jī)理。
6、掌握硅、錯(cuò)、碎化錢的能帶結(jié)構(gòu),注意它們導(dǎo)帶底和價(jià)帶頂所處的位置。
7、已留的課后作業(yè)題。
第二章半導(dǎo)體中的雜質(zhì)和缺陷能級(jí)本章各節(jié)內(nèi)容提要:
理想半導(dǎo)體:1、原子嚴(yán)格地周期性排列,晶體具有完整的晶格結(jié)構(gòu)。2、晶
體中無雜質(zhì),無缺陷。3電子在周期場(chǎng)中作共有化運(yùn)動(dòng),形成允帶和禁帶一一電
子能量只能處在允帶中的能級(jí)上,禁帶中無能級(jí)。由本征激發(fā)提供載流子。如果
晶體具有完整的(完美的)晶格結(jié)構(gòu),無任何雜質(zhì)和缺陷一一本征半導(dǎo)體。(純
凈半導(dǎo)體中,Ef的位置和載流子的濃度只是由材料本身的本征性質(zhì)決定的)實(shí)
際材料中,1、總是有雜質(zhì)、缺陷,使周期場(chǎng)破壞,在雜質(zhì)或缺陷周圍引起局部
性的量子態(tài)一一對(duì)應(yīng)的能級(jí)常常處在禁帶中,對(duì)半導(dǎo)體的性質(zhì)起著決定性的影響。
1
2、雜質(zhì)電離提供載流子。本章重點(diǎn)介紹半導(dǎo)體中主要的雜質(zhì)和缺陷及其能級(jí)。
在2.1節(jié),介紹硅、錯(cuò)中的淺能級(jí)和深能級(jí)雜質(zhì)以及和雜質(zhì)能級(jí),淺能級(jí)雜
質(zhì)電離能的計(jì)算,介紹了雜質(zhì)補(bǔ)償作用。
在2.2節(jié),介紹HI-V族化合物中的雜質(zhì)能級(jí),引入等電子陷阱、等電子絡(luò)
合物以及兩性雜質(zhì)的概念。
本章重難點(diǎn):
重點(diǎn):
1、星純凈的半導(dǎo)體中摻入一定的雜質(zhì),可以顯著地控制半導(dǎo)體地導(dǎo)電性質(zhì)。
根據(jù)摻入雜質(zhì)地分布位置可以分為替位式雜質(zhì)和受主雜質(zhì)。
2、施主雜質(zhì)電離后成為不可移動(dòng)的帶正電的施主離子,同時(shí)向?qū)峁╇?/p>
子,使半導(dǎo)體成為電子導(dǎo)電的n型半導(dǎo)體。受主雜質(zhì)電離后成為不可移動(dòng)的帶負(fù)
電的受主離子,同時(shí)向價(jià)帶提供空穴,使半導(dǎo)體成為空穴導(dǎo)電的p型半導(dǎo)體。
3、雜質(zhì)元素?fù)饺氚雽?dǎo)體后,由于在晶格勢(shì)場(chǎng)中引入微擾,使能帶極值附近
出現(xiàn)分立的能級(jí)一一雜質(zhì)能級(jí)。V族元素在靠近導(dǎo)帶底的禁帶中引入施主能級(jí),
III族元素在靠近價(jià)帶頂?shù)慕麕е幸胧苤髂芗?jí)。類氫模型對(duì)淺能級(jí)的位置給出了
比較滿意的定量描述。經(jīng)過修正后,施主雜質(zhì)的電離能和軌道半徑可表示為:
度主雜質(zhì)的電離能可表示為:式中,為氫原子的基態(tài)電離能;
為晶體的相對(duì)介電常數(shù)。
4、施主雜質(zhì)和受主雜質(zhì)有相互抵消作用,通常稱為“雜質(zhì)補(bǔ)償”?!半s質(zhì)
補(bǔ)償”是制造各種半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)。
5、非III、V族雜質(zhì)元素在半導(dǎo)體中也可能會(huì)產(chǎn)生深能級(jí)或多能級(jí)。
6、例如:金Au在硅中電離后產(chǎn)生兩個(gè)能級(jí),一個(gè)在價(jià)帶上面0.35ev處的
施主能級(jí),它在P型硅中起主要作用。另一個(gè)在導(dǎo)帶下面0.54ev處的受主能級(jí),
它在n型硅中起主要作用。
7、深能級(jí)雜質(zhì)和晶體缺陷形成的能級(jí)一般作為復(fù)合中心。
8、四族元素硅在神化線中的雙性行為,即硅的濃度較低時(shí)主要起施主雜質(zhì)
作用,當(dāng)硅的濃度較高時(shí),一部分硅原子將起到受主雜質(zhì)作用。這種雙性行為可
作如下解釋:實(shí)驗(yàn)測(cè)得硅在硅化線中引入一淺施主能級(jí)(-0.002)ev,硅應(yīng)起
施主作用,那么當(dāng)硅雜質(zhì)電離后,每一個(gè)硅原子向?qū)峁┮粋€(gè)導(dǎo)電電子,導(dǎo)帶
中的電子濃度應(yīng)隨硅雜質(zhì)濃度的增加而線性增加。但是實(shí)驗(yàn)表明,當(dāng)硅雜質(zhì)濃度
上升到一定程度之后,導(dǎo)帶電子濃度趨向飽和,施主雜質(zhì)的有效濃度降低了。這
種現(xiàn)象出現(xiàn),是因?yàn)楣桦s質(zhì)濃度較高時(shí),硅原子不僅取代錢原子起著受主雜質(zhì)的
作用,而且硅也取代了一部分V族碑原子而起著受主雜質(zhì)的作用,因而對(duì)于取代
III族原子錢的硅施主雜質(zhì)起到補(bǔ)償作用,從而降低了有效施主雜質(zhì)的濃度,電子
濃度趨于飽和。可見,在這個(gè)粒子中,硅雜質(zhì)的總效果是起施主作用,保持硅化
錢為n型半導(dǎo)體。實(shí)驗(yàn)還表明,碑化錢單晶體中硅雜質(zhì)濃度為時(shí),取代錢原子的
硅施主濃度與取代神原子的硅受主濃度之比約為5.3:1。硅取代碑所產(chǎn)生受主能
級(jí)在。ev處。
9、點(diǎn)缺陷和位錯(cuò)對(duì)半導(dǎo)體性能的影響難點(diǎn):
1、用類氫模型計(jì)算淺能級(jí)雜質(zhì)的電離能;
解釋金在銘?中產(chǎn)生多重能級(jí)的原因:金是I族元素,中性金原子(記為)只
有一個(gè)價(jià)電子,它取代錯(cuò)晶格中的一個(gè)錯(cuò)原子而位于晶格點(diǎn)上。金比錯(cuò)少三個(gè)價(jià)
電子,中性金原子的這一個(gè)價(jià)電子,可以電離而躍遷入導(dǎo)帶,這一施主能級(jí)為,
2
因此,電離能為()。因?yàn)榻鸬倪@個(gè)價(jià)電子被共價(jià)鍵所束縛,電離能很大,略小
于錯(cuò)的禁帶寬度,所以,這個(gè)施主能級(jí)靠近價(jià)帶頂。電離以后,中性金原子接受
就稱為帶一個(gè)電子電荷的正電中心。但是,另一方面,中性金原子還可以和周圍
的四個(gè)錯(cuò)原子形成共價(jià)鍵,在形成共價(jià)鍵時(shí),它可以從價(jià)帶接受三個(gè)電子,形成、、
三個(gè)受主能級(jí)。金原子接受第一個(gè)電子后變?yōu)椋鄳?yīng)的受主能級(jí)為,其電離能為
(-)o接受第二個(gè)電子后,變?yōu)?,相?yīng)的受主能級(jí)為,其電離能為e)o接受第
三個(gè)電子后,變?yōu)?,相?yīng)的受主能級(jí)為,其電離能為(-)o上述的、、分別表示
成為帶一個(gè)、兩個(gè)、三個(gè)電子電荷的負(fù)電中心。由于電子間的庫侖排斥作用,金
從價(jià)帶接受第二個(gè)電子所需要的電離能比接受第一個(gè)電子時(shí)的大,接受第三個(gè)電
子時(shí)的電離能又比接受第二個(gè)電子時(shí)的大,所以,〉>。離價(jià)帶頂相對(duì)近一些,但
是比in族雜質(zhì)引入的淺能級(jí)還是深得多,更深,就幾乎靠近導(dǎo)帶底了。于是金在
情中一共有、、、、五種荷電狀態(tài),相應(yīng)地存在著、、、四個(gè)孤立能級(jí),它們都是深
能級(jí)。以上的分析方法,也可以用來說明其它一些在硅、錯(cuò)中形成深能級(jí)的雜質(zhì),
基本上與實(shí)驗(yàn)情況相一致。
本章基本概念及名詞術(shù)語:
施主雜質(zhì)(n型雜質(zhì)):雜質(zhì)電離后能夠施放電子而產(chǎn)生自由電子并形成正
電中心的雜質(zhì)——施主雜質(zhì)。
施主雜質(zhì)電離能:雜質(zhì)價(jià)電子掙脫雜質(zhì)原子的束縛成為自由電子所需要的能
量一一雜質(zhì)電離能,用EDi表示。
正電中心:施主電離后的正離子——正電中心施主能級(jí)ED:施主電子被施
主雜質(zhì)束縛時(shí)的能量對(duì)應(yīng)的能級(jí)稱為施主能級(jí)。對(duì)于電離能小的施主雜質(zhì)的施主
能級(jí)位于禁帶中導(dǎo)帶底以下較小底距離。
受主雜質(zhì):能夠向(晶體)半導(dǎo)體提供空穴并形成負(fù)電中心底雜質(zhì)一一受主
雜質(zhì)受主雜質(zhì)電離能EAi:空穴掙脫受主雜質(zhì)束縛成為導(dǎo)電空穴所需的能量。
受主能級(jí)EA:空穴被受主雜質(zhì)束縛時(shí)的能量狀態(tài)對(duì)應(yīng)的能級(jí)。
淺能級(jí)雜質(zhì):電離能小的雜質(zhì)稱為淺能級(jí)雜質(zhì)。所謂淺能級(jí),是指施主能級(jí)
靠近導(dǎo)帶底,受主能級(jí)靠近價(jià)帶頂。室溫下,摻雜濃度不很高底情況下,淺能級(jí)
雜質(zhì)幾乎可以可以全部電離。五價(jià)元素磷(P)、錦(Sb)在硅、錯(cuò)中是淺受主雜
質(zhì),三價(jià)元素硼(B)、鋁(A1)、鉉(Ga)、錮(In)在硅、錯(cuò)中為淺受主雜質(zhì)。
雜質(zhì)補(bǔ)償:半導(dǎo)體中存在施主雜質(zhì)和受主雜質(zhì)時(shí),它們底共同作用會(huì)使載流
子減少,這種作用稱為雜質(zhì)補(bǔ)償。在制造半導(dǎo)體器件底過程中,通過采用雜質(zhì)補(bǔ)
償?shù)追椒▉砀淖儼雽?dǎo)體某個(gè)區(qū)域底導(dǎo)電類型或電阻率。
高度補(bǔ)償:若施主雜質(zhì)濃度與受主雜質(zhì)濃度相差不大或二者相等,則不能提
供電子或空穴,這種情況稱為雜質(zhì)的高等補(bǔ)償。這種材料容易被誤認(rèn)為高純度半
導(dǎo)體,實(shí)際上含雜質(zhì)很多,性能很差,一般不能用來制造半導(dǎo)體器件。
深能級(jí)雜質(zhì):雜質(zhì)電離能大,施主能級(jí)遠(yuǎn)離導(dǎo)帶底,受主能級(jí)遠(yuǎn)離價(jià)帶頂。
深能級(jí)雜質(zhì)有三個(gè)基本特點(diǎn):一是不容易電離,對(duì)載流子濃度影響不大;
二是一般會(huì)產(chǎn)生多重能級(jí),甚至既產(chǎn)生施主能級(jí)也產(chǎn)生受主能級(jí)。三是能起
到復(fù)合中心作用,使少數(shù)載流子壽命降低(在第五章詳細(xì)討論)。四是深能級(jí)雜
質(zhì)電離后以為帶電中心,對(duì)載流子起散射作用,使載流子遷移率減少,導(dǎo)電性能
下降。
等電子陷阱和等離子雜質(zhì):在某些化合物半導(dǎo)體中,例如磷化保中摻入V族
元素氮或鈿,氮或鈕將取代磷并在禁帶中產(chǎn)生能級(jí)。這個(gè)能級(jí)稱為等離子陷阱。
這種效應(yīng)稱為等離子雜質(zhì)效應(yīng)。所謂等離子雜質(zhì)是與基質(zhì)晶體原子具有同數(shù)量價(jià)
3
電子的雜質(zhì)原子,它們替代了格點(diǎn)上的同族原子后,基本上仍是電中性的。但是
由于原子序數(shù)不同,這些原子的共價(jià)半徑和電負(fù)性有差別,因而它們能俘獲某種
載流子而成為帶電中心。這個(gè)帶電中心就稱為等離子陷阱。是否周期表中同族元
素均能形成等離子陷阱呢?只有當(dāng)摻入原子與基質(zhì)晶體原子在電負(fù)性、共價(jià)半徑
方面有較大差別時(shí),才能形成等離子陷阱。一般說,同族元素原子序數(shù)越小,電
負(fù)性越大,共價(jià)半徑越小。等電子雜質(zhì)電負(fù)性大于基質(zhì)晶體原子的電負(fù)性時(shí),取
代后,它便能俘獲電子成為負(fù)電中心。反之,它能俘獲空穴成為正電中心。例如,
氮的共價(jià)半徑和電負(fù)性分別為0.070nm和3.0,磷的共價(jià)半徑和電負(fù)性分別為
0.llOnm和2.1,氮取代磷后能俘獲電子成為負(fù)電中心。這個(gè)俘獲中心稱為等離
子陷阱。這個(gè)電子的電離能△ED=0.008eV。鈾的共價(jià)半徑和負(fù)電性分別為
O146nm和1.9,韌取代磷后能俘獲空穴,它的電離能是△EA=O.038eV。
本章要求掌握的內(nèi)容及考點(diǎn):一一本章主要在于對(duì)各種概念的理解和掌握一
-考題主要涉及填空題、名詞解釋1、以上基本概念和名詞術(shù)語的解釋。
2、掌握淺能級(jí)雜質(zhì)和深能級(jí)雜質(zhì)的基本特點(diǎn)和在半導(dǎo)體中起的作用。
3、掌握等電子陷阱和等離子雜質(zhì)的概念。能解釋硅在碑化線中的雙性行為。
4、掌握點(diǎn)缺陷和位錯(cuò)缺陷對(duì)半導(dǎo)體性能的影響。
5、已留的課后作業(yè)第三章半導(dǎo)體中載流子的統(tǒng)計(jì)分布本章內(nèi)容提要:
1、本章的主要任務(wù):計(jì)算本征半導(dǎo)體和雜質(zhì)半導(dǎo)體的熱平衡載流子濃度及
費(fèi)米能級(jí)的位置,討論nO、pO、EF與ND、NA、T的關(guān)系。
2、熱平衡和熱平衡載流子:在一定溫度下,如果沒有其它外界作用半導(dǎo)體
中的導(dǎo)電電子和空穴是依靠電子的熱激發(fā)作用而產(chǎn)生的,電子從不斷熱震動(dòng)的晶
格中獲得一定的能量,就可能從低能量的量子態(tài)躍遷到高能量的量子態(tài),例如,
電子從價(jià)帶躍遷到導(dǎo)帶(這就是本征激發(fā)),形成導(dǎo)電電子和價(jià)帶空穴。電子和
空穴也可以通過雜質(zhì)電離方式產(chǎn)生,當(dāng)電子從施主能級(jí)躍遷到導(dǎo)帶時(shí)產(chǎn)生導(dǎo)帶電
子;
當(dāng)電子從價(jià)帶激發(fā)到受主能級(jí)時(shí)產(chǎn)生價(jià)帶空穴等。與此同時(shí),還存在著相反
的過程,即電子也可以從高能量的量子態(tài)躍遷到低能量的量子態(tài),并向晶格放出
一定能量,從而使導(dǎo)帶中的電子和價(jià)帶中的空穴不斷減少,這一過程稱為載流子
的復(fù)合。在一定溫度下,這兩個(gè)相反的過程之間將建立起動(dòng)態(tài)的平衡,稱為熱平
衡狀態(tài)。這時(shí),半導(dǎo)體中的導(dǎo)電電子濃度和空穴濃度都保持一個(gè)穩(wěn)定的數(shù)值,這
種處于熱平衡狀態(tài)下的導(dǎo)電電子和空穴稱為熱平衡載流子。當(dāng)溫度改變時(shí),破壞
了原來的平衡狀態(tài),又重新建立起新的平衡狀態(tài),熱平衡載流子的濃度也將發(fā)生
變化,達(dá)到另一穩(wěn)定數(shù)值。
3、解決問題的思路:熱平衡是一種動(dòng)態(tài)平衡,載流子在各個(gè)能級(jí)之間躍遷,
但它們?cè)诿總€(gè)能級(jí)上出現(xiàn)的幾率是不同的。
要討論熱平衡載流子的統(tǒng)計(jì)分布,是首先要解決下述問題:
①允許的量子態(tài)按能量的分布情況一一狀態(tài)密度;
②電子在允許的量子態(tài)中符合分布——分布函數(shù)。
然后討論n0、p0、EF與ND、NA、的關(guān)系。
本章重難點(diǎn):
重點(diǎn):
1、’7計(jì)算電子和空穴的濃度,必須對(duì)一個(gè)能帶內(nèi)的所有能量積分,而不只
是對(duì)布里淵區(qū)體積積分,為此引入狀態(tài)密度概念即單位能量間隔內(nèi)的量子態(tài)數(shù)。
4
表達(dá)式為:。可通過下述步驟計(jì)算狀態(tài)密度:首先算出單位k空間中的量子態(tài)數(shù),
即k空間中的狀態(tài)密度;
然后算出k空間中與能量E到E+dE間所對(duì)應(yīng)的k空間體積,并和k空間
中的狀態(tài)密度相乘,從而求得在能量E到E+dE間的量子態(tài)數(shù)dE;
最后,根據(jù)前式,求得狀態(tài)密度g(E)o
2、費(fèi)米分布函數(shù)的意義:它表示能量為E的量子態(tài)被一個(gè)電子占據(jù)的幾率,
它是描寫熱平衡狀態(tài)下電子在允許的量子態(tài)上如何分布的一個(gè)統(tǒng)計(jì)分布函數(shù);
費(fèi)米分布函數(shù)還給出空穴占據(jù)各能級(jí)的幾率,一個(gè)能級(jí)要么被電子占據(jù),否
則就是空的,即被空穴占據(jù),3、與對(duì)稱于可以證明:
這對(duì)研究電子和空穴的分布很方便。
4、費(fèi)米分布函數(shù)與波耳茲曼分布函數(shù)的關(guān)系:
當(dāng)時(shí),電子的費(fèi)米分布函數(shù)轉(zhuǎn)化為波耳茲曼分布函數(shù)。因?yàn)閷?duì)于熱平衡系統(tǒng)
和溫度為定值,則,這就是通常見到的波耳茲曼分布函數(shù)。
同理,當(dāng)時(shí),空穴的費(fèi)米分布函數(shù)轉(zhuǎn)化為空穴的波耳茲曼分布函數(shù)。在半導(dǎo)
體中,最常遇到的情況是費(fèi)米能級(jí)位于價(jià)帶內(nèi),而且與導(dǎo)帶底或價(jià)帶頂?shù)木嚯x遠(yuǎn)
大于,所以,對(duì)導(dǎo)帶中的所有量子態(tài)來說,被電子占據(jù)的幾率,一般都滿足,故
半導(dǎo)體電子中的電子分布可以用電子的波耳茲曼分布函數(shù)描寫。由于隨著能量E
的增大,f(E)迅速減小,所以導(dǎo)帶中絕大多數(shù)電子分布在導(dǎo)帶底附近。同理,
對(duì)半導(dǎo)體價(jià)帶中的所有量子態(tài)來說,被空穴占據(jù)的幾率,一般都滿足,故價(jià)帶中
的空穴分布服從空穴的波耳茲曼分布函數(shù)。由于隨著能量E的增大,迅速增大,
所以價(jià)帶中絕大多數(shù)空穴分布在價(jià)帶頂附近。因而和是討論半導(dǎo)體問題時(shí)常用的
兩個(gè)公式。通常把服從波耳茲曼統(tǒng)計(jì)率的電子系統(tǒng)稱為非簡并性系統(tǒng)。
5、費(fèi)米能級(jí):稱為費(fèi)米能級(jí)或費(fèi)米能量,它和溫度、半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電類
型、雜質(zhì)的含量以及能量零點(diǎn)的選取有關(guān)。是一個(gè)很重要的物理參數(shù),只要知道
了的數(shù)值,在一定溫度下,電子在各量子態(tài)上的統(tǒng)計(jì)分布就完全確定。它可以由
半導(dǎo)體中能帶內(nèi)所以量子態(tài)中被電子占據(jù)的量子態(tài)數(shù)應(yīng)等于電子總數(shù)N這一條
件來決定,即,將半導(dǎo)體中大量電子的集體看成一個(gè)熱力學(xué)系統(tǒng),由統(tǒng)計(jì)理論證
明,費(fèi)米能級(jí)是系統(tǒng)的化學(xué)勢(shì),即,代表系統(tǒng)的化學(xué)勢(shì),F(xiàn)式系統(tǒng)的自由能。上
式的意義是:當(dāng)系統(tǒng)處于熱平衡狀態(tài),也不對(duì)外界做功的情況下,系統(tǒng)中增加一
個(gè)電子所引起系統(tǒng)自由能的變化,等于系統(tǒng)的化學(xué)勢(shì),所以處于熱平衡狀態(tài)的電
子系統(tǒng)有統(tǒng)一的費(fèi)米能級(jí)。一般可以認(rèn)為,在溫度不很高時(shí),能量大于費(fèi)米能級(jí)
的電子態(tài)基本上沒有被電子占據(jù),而能量小于費(fèi)米能級(jí)的幾率在各溫度下總是
1/2,所以費(fèi)米能級(jí)的位置比較直觀的標(biāo)志了電子占據(jù)量子態(tài)的狀況,通常就說
費(fèi)米能級(jí)標(biāo)志了電子填充能級(jí)的水平。費(fèi)米能級(jí)位置越高,說明有較多的能量較
高的電子態(tài)上有電子。
6、導(dǎo)出導(dǎo)帶電子濃度和價(jià)帶空穴濃度的表達(dá)式。理解、掌握電子濃度、空
穴濃度表達(dá)式的意義。
7、利用電中性條件(所謂電中性條件,就是電中性的半導(dǎo)體,其負(fù)電數(shù)與
正電荷相等。因?yàn)殡娮訋ж?fù)電,空穴帶正電,所以對(duì)本征半導(dǎo)體,電中性條件是
導(dǎo)帶中的電子濃度應(yīng)等于價(jià)帶中的空穴濃度,即=,由此式可導(dǎo)出費(fèi)米能級(jí)。)
求解本征半導(dǎo)體的費(fèi)米能級(jí):本征半導(dǎo)體就是沒有雜質(zhì)和缺陷的半導(dǎo)體,在絕對(duì)
零度時(shí),價(jià)帶中的全部量子態(tài)都被電子占據(jù),而導(dǎo)帶中的量子態(tài)全部空著,也就
是說,半導(dǎo)體中共價(jià)鍵是飽和的、完整的。當(dāng)半導(dǎo)體的溫度大于零度時(shí),就有電
子從價(jià)帶激發(fā)到導(dǎo)帶中去,同時(shí)價(jià)帶中產(chǎn)生空穴,這就是所謂的本征激發(fā)。由于
5
電子和空穴成對(duì)產(chǎn)生,導(dǎo)帶中的電子濃度應(yīng)等于價(jià)帶中的空穴濃度,即=。
8、本征載流子濃度與溫度和價(jià)帶寬度有關(guān)。溫度升高時(shí),本征載流子濃度
迅速增加;
不同的半導(dǎo)體材料,在同一溫度下,禁帶寬度越大,本征載流子濃度越大。
9、一定溫度下,任何非簡并半導(dǎo)體的熱平衡載流子的濃度的乘積對(duì)于該溫
度時(shí)的本征載流子的濃度的平方,即,與所含雜質(zhì)無關(guān)。因此,它不僅適用于本
征半導(dǎo)體材料,而且也適用于非簡并的雜質(zhì)半導(dǎo)體材料。
10、的意義:可作為判斷半導(dǎo)體材料的熱平衡條件。熱平衡條件下,、均為
常數(shù),則也為常數(shù),這時(shí)單位時(shí)間單位體積內(nèi)產(chǎn)生的載流子數(shù)等于單位時(shí)間單位
體積內(nèi)復(fù)合掉的載流子數(shù),也就是說產(chǎn)生率大于復(fù)合率。因此,此式可作為判斷
半導(dǎo)體材料是否達(dá)到熱平衡的依據(jù)式。
11>半導(dǎo)體雜質(zhì)能級(jí)被電子占據(jù)的幾率函數(shù)與費(fèi)米分布函數(shù)不同:因?yàn)殡s質(zhì)
能級(jí)和能帶中的能級(jí)是有區(qū)別的,在能帶中的能級(jí)可以容納自旋下凡的兩個(gè)電子;
而施主能級(jí)只能或者被一個(gè)任意自旋方向的電子占據(jù),或者不接受電子(空
的)這兩種情況中的一種,即施主能級(jí)不允許同時(shí)被自旋方向相反的兩個(gè)電子所
占據(jù)。所以不能用費(fèi)米分布函數(shù)表示電子占據(jù)雜質(zhì)能級(jí)的幾率。
12、分析雜質(zhì)半導(dǎo)體摻雜濃度和溫度對(duì)載流子濃度和費(fèi)米能級(jí)的影響。摻有
某種雜質(zhì)的半導(dǎo)體的載流子濃度和費(fèi)米能級(jí)由溫度和雜質(zhì)濃度所決定。對(duì)于雜質(zhì)
濃度一定的半導(dǎo)體,隨著溫度的升高,載流子則是從以雜質(zhì)電離為主要來源過渡
到以本征激發(fā)為主要來源的過程,相應(yīng)地,費(fèi)米能級(jí)則從位于雜質(zhì)能級(jí)附近逐漸
移近禁帶中線處。譬如n型半導(dǎo)體,在低溫弱電離區(qū)時(shí),導(dǎo)帶中的電子是從施主
雜質(zhì)電離產(chǎn)生的;
隨著溫度升高,導(dǎo)帶中的電子濃度也增加,而費(fèi)米能級(jí)則從施主能級(jí)以上往
下降到施主能級(jí)以下;
當(dāng)下降到以下若干時(shí),施主雜質(zhì)全部電離,導(dǎo)帶中的電子濃度等于施主濃度,
處于飽和區(qū);
再升高溫度,雜質(zhì)電離已經(jīng)不能增加電子數(shù),但本征激發(fā)產(chǎn)生的電子迅速增
加著,半導(dǎo)體進(jìn)入過渡區(qū),這是導(dǎo)帶中的電子由數(shù)量級(jí)相近的本征激發(fā)部分和雜
質(zhì)電離部分組成,而費(fèi)米能級(jí)則繼續(xù)下降;
當(dāng)溫度再升高時(shí),本征激發(fā)成為載流子的主要來源,載流子濃度急劇上升,
而費(fèi)米能級(jí)下降到禁帶中線處這時(shí)就是典型的本征激發(fā)。對(duì)于p型半導(dǎo)體,作相
似的討論,在受主濃度一定時(shí),隨著溫度升高,費(fèi)米能級(jí)從在受主能級(jí)以下逐漸
上升到禁帶中線處,而載流子則從以受主電離為主要來源轉(zhuǎn)化到以本征激發(fā)為主
要來源。當(dāng)溫度一定時(shí),費(fèi)米能級(jí)的位置由雜質(zhì)濃度所決定,例如In型半導(dǎo)體,
隨著施主濃度的增加,費(fèi)米能級(jí)從禁帶中線逐漸移向?qū)У追较颉?duì)于p型半導(dǎo)
體,隨著受主濃度的增加費(fèi)米能級(jí)從禁帶中線逐漸移向價(jià)帶頂附近。這說明,在
雜質(zhì)半導(dǎo)體中,費(fèi)米能級(jí)的位置不但反映了半導(dǎo)體導(dǎo)電類型,而且還反映了半導(dǎo)
體的摻雜水平。對(duì)于n型半導(dǎo)體,費(fèi)米能級(jí)位于禁帶中線以上,越大,費(fèi)米能級(jí)
位置越高。對(duì)于p型半導(dǎo)體,費(fèi)米能級(jí)位于中線以下,越大,費(fèi)米能級(jí)位置越低。
13、一般情況下,半導(dǎo)體既含有施主雜質(zhì),又含有受主雜質(zhì),在熱平衡狀態(tài)
下,電中性方程為,此式的意義是:同時(shí)含有一種施主雜質(zhì)和一種受主雜質(zhì)情況
下,半導(dǎo)體單位體積內(nèi)的負(fù)電荷數(shù)(導(dǎo)帶電子濃度與電離受主濃度之和)等于單
位體內(nèi)的正電荷數(shù)(價(jià)帶空穴濃度與電離施主濃度之和)。
14、施主濃度大于受主濃度情況下,分析載流子濃度和費(fèi)米能級(jí)與溫度的關(guān)
6
系。
15、簡并半導(dǎo)體的載流子濃度:對(duì)于n型半導(dǎo)體,施主濃度很高,使費(fèi)米能
級(jí)接近或進(jìn)入導(dǎo)帶時(shí),導(dǎo)帶底附近底量子態(tài)基本上已被電子占據(jù),導(dǎo)帶中底電子
數(shù)目很多,的條件不能成立,必須考慮泡利不相容原理的作用。這時(shí),不能再用
玻耳茲曼分布函數(shù),必須用費(fèi)米分布函數(shù)來分析導(dǎo)帶中電子的分布問題。這種情
況稱為載流子的簡并化。發(fā)生載流子簡并化的半導(dǎo)體稱為基本半導(dǎo)體,對(duì)于P型
半導(dǎo)體,其費(fèi)米能級(jí)接近價(jià)帶頂或進(jìn)入價(jià)帶,也必須用費(fèi)米分布函數(shù)來分析價(jià)帶
中空穴的分布問題。
16、簡并時(shí)的雜質(zhì)濃度:對(duì)n型半導(dǎo)體,半導(dǎo)體發(fā)生簡并時(shí),摻雜濃度接近
或大于導(dǎo)帶底有效狀態(tài)密度;
對(duì)于雜質(zhì)電離能小的雜質(zhì),則雜質(zhì)濃度較小時(shí)就會(huì)發(fā)生簡并。對(duì)于p型半導(dǎo)
體,發(fā)生簡并的受主濃度接近或大于價(jià)帶頂有效狀態(tài)密度,如果受主電離能較小,
受主濃度較小時(shí)就會(huì)發(fā)生簡并。對(duì)于不同種類的半導(dǎo)體,因?qū)У子行顟B(tài)密度
和價(jià)帶頂有效密度各不相同。一般規(guī)律是有效狀態(tài)密度小的材料,其發(fā)生簡并的
雜質(zhì)濃度較小。
難點(diǎn):
1、能量狀態(tài)密度與k空間量子態(tài)的分布即等能面的形狀有關(guān)。在k空間量
子態(tài)的分布是均勻的,量子態(tài)的密度為V(立方晶體的體積)。如果計(jì)入自旋,每
個(gè)量子態(tài)可以允許兩個(gè)自旋相反的電子占據(jù)一個(gè)量子態(tài)。換言之,k空間每個(gè)量
子態(tài)實(shí)際上代表自旋方向相反的兩個(gè)量子態(tài),所以,在k空間,電子允許的量子
態(tài)密度為2V。注意:這時(shí)每個(gè)量子態(tài)最多容納一個(gè)電子。這樣,與費(fèi)米分布函數(shù)
的定義就統(tǒng)一起來了(費(fèi)米分布函數(shù)是能量為E的一個(gè)量子態(tài)被一個(gè)電子占據(jù)的
幾率)。
2、狀態(tài)密度表達(dá)式的推導(dǎo)過程作為課堂討論的課程重點(diǎn)內(nèi)容之一。
3、導(dǎo)出導(dǎo)帶電子濃度的基本思路是:和計(jì)算狀態(tài)密度是一樣,認(rèn)為能帶中
的能級(jí)是連續(xù)分布的,將能帶分成一個(gè)個(gè)很小的能量間隔來處理。對(duì)導(dǎo)帶分為無
限多的無限小的能量間隔,則在能量到之間有個(gè)量子態(tài),而電子占據(jù)能量為的量
子態(tài)的幾率是,則在到間有個(gè)被電子占據(jù)的量子態(tài),因?yàn)槊總€(gè)被占據(jù)的量子態(tài)上
有一個(gè)電子,所以在到間有個(gè)電子。然后把所有能量區(qū)間中的電子數(shù)相加,實(shí)際
上是從導(dǎo)帶底到導(dǎo)帶頂對(duì)進(jìn)行積分,就得到了能帶中底電子總數(shù),再除以半導(dǎo)體
體積就得到了導(dǎo)帶中的電子濃度。因?yàn)橘M(fèi)米能級(jí)一般在禁帶中,導(dǎo)帶中的能級(jí)遠(yuǎn)
高于費(fèi)米能級(jí),即當(dāng)時(shí),計(jì)算導(dǎo)帶電子濃度可用玻耳茲曼分布函數(shù)。
4、本征半導(dǎo)體中導(dǎo)帶電子濃度等于價(jià)帶空穴濃度,根據(jù)載流子的分布函數(shù)
及費(fèi)米年間的意義可知:本征半導(dǎo)體的費(fèi)米能級(jí)應(yīng)該位于導(dǎo)帶底和價(jià)帶頂之間的
中間位置,即禁帶中央處。只有這樣,導(dǎo)帶電子和價(jià)帶空穴才能對(duì)稱于費(fèi)米能級(jí),
分布在導(dǎo)帶和價(jià)帶中,以滿足=。但是由于導(dǎo)帶有效狀態(tài)密度()和價(jià)帶有效狀
態(tài)密度()中分別含有電子狀態(tài)濃度的有效質(zhì)量()和價(jià)帶空穴狀態(tài)有效密度()。
由于兩者數(shù)值上的差異,使本征半導(dǎo)體的費(fèi)米能級(jí)偏離禁帶中央。如果費(fèi)米能級(jí)
偏離禁帶中很小,可以認(rèn)為費(fèi)米能級(jí)基本上位于禁帶中央;
如果和相差很大,本征半導(dǎo)體的費(fèi)米能級(jí)就會(huì)偏離禁帶中央很遠(yuǎn)。具體情況
可用本征半導(dǎo)體費(fèi)米能級(jí)表達(dá)式分析(見課后第6題)5、根據(jù)電中性方程導(dǎo)出各
個(gè)溫度區(qū)間的費(fèi)米能級(jí)和載流子濃度表達(dá)式。
6、雜質(zhì)電離程度與溫度、摻雜濃度及雜質(zhì)電離能有關(guān),溫度高、電離能小,
有利于雜質(zhì)電離。但雜質(zhì)濃度過高,則雜質(zhì)不能充分電離。通常所說的室溫下雜
7
質(zhì)全部電離,實(shí)際上忽略了雜質(zhì)濃度的限制。
7、在不同的溫度區(qū)間分析載流子密度和費(fèi)米能級(jí)與溫度的關(guān)系溫度區(qū)間的
劃分不是我們傳統(tǒng)意義的以溫度的數(shù)值范圍來劃分,而是通過相關(guān)參量的比較,
把要討論的整個(gè)溫度范圍劃分為極低溫區(qū)(弱電離)、低溫區(qū)(雜質(zhì)電離)……
本征激發(fā)區(qū)。
8、注意兩個(gè)電中性方程的適用條件:雜質(zhì)全部電離,本征激發(fā)可以忽略,
即時(shí),電中性方程為,(原始方程為)。雜質(zhì)全部電離,本征激發(fā)不能忽略即摻雜
濃度與的數(shù)值相近,或由于溫度升高使數(shù)值增大而導(dǎo)致與相近時(shí),電中性方程(原
始方程,式中,)。
使用上述兩個(gè)電中性方程時(shí),關(guān)鍵要判斷是否要考慮本征激發(fā)對(duì)電中性方程
的影響。
9、導(dǎo)體發(fā)生簡并對(duì)應(yīng)一個(gè)溫度范圍:用圖解的方法可以求出半導(dǎo)體發(fā)生簡
并時(shí),對(duì)應(yīng)一個(gè)溫度范圍。這個(gè)溫度范圍的大小與發(fā)生簡并時(shí)的雜質(zhì)濃度及雜質(zhì)
電離能有關(guān):電離能一定時(shí),雜質(zhì)濃度越大,發(fā)生簡并的溫度范圍越大;
發(fā)生簡并的雜質(zhì)濃度一定時(shí),雜質(zhì)電離能越小,簡并溫度范圍越大。
本章基本物理概念和問題:
費(fèi)米分布函數(shù)、波爾茲曼分布函數(shù)、k空間狀態(tài)密度和能量狀態(tài)密度的概念。
電子濃度和空穴濃度的乘積與費(fèi)米能級(jí)無關(guān)。對(duì)一定的半導(dǎo)體材料,乘積只
決定于溫度,與所含雜質(zhì)無關(guān)。而在一定溫度下,對(duì)不同的半導(dǎo)體材料,因禁帶
寬度不同,乘積也將不同。這個(gè)關(guān)系式不論是本征半導(dǎo)體還是雜質(zhì)半導(dǎo)體,只要
是熱平衡狀態(tài)下的非簡并半導(dǎo)體,都普遍適用,在討論許多許多實(shí)際問題時(shí)常常
引用。對(duì)一定的半導(dǎo)體材料,在一定的溫度下,乘積時(shí)一定的。換言之,當(dāng)半導(dǎo)
體處于熱平衡狀態(tài)時(shí),載流子濃度的乘積保持恒定,如果電子濃度增加,空穴濃
度就要減?。?/p>
反之亦然。式和式是熱平衡載流子濃度的普遍表示式。只要確定了費(fèi)米能級(jí),
在一定溫度時(shí),半導(dǎo)體導(dǎo)帶中電子濃度、價(jià)帶中空穴濃度就可以計(jì)算出來。
半導(dǎo)體材料制成的器件都有一定的極限工作溫度,這個(gè)工作溫度受本征載流
子濃度制約:一般半導(dǎo)體器件中,載流子主要來源于雜質(zhì)電離,而將本征激發(fā)忽
略不計(jì)。在本征載流子濃度沒有超過雜質(zhì)電離所提供的載流子濃度的溫度范圍,
如果雜質(zhì)全部電離,載流子濃度是一定的,器件就能穩(wěn)定工作。但是隨著溫度的
升高,本征載流子濃度迅速地增加。例如在室溫附近,純硅的溫度每升高8K左
右,本征載流子的濃度就增加約一倍。而純錯(cuò)的溫度每升高12K左右,本征載流
子的濃度就增加約一倍。當(dāng)溫度足夠高時(shí),本征激發(fā)占主要地位,器件將不能正
常工作。因此,每一種半導(dǎo)體材料制成的器件都有一定的極限工作溫度,超過這
一溫度后,器件就失效了。例如,一般硅平面管采用室溫電阻率為1?cm左右的
原材料,它是由摻入的施主雜質(zhì)睇而制成的。在保持載流子主要來源于雜質(zhì)電離
時(shí),要求本征載流子濃度至少比雜質(zhì)濃度低一個(gè)數(shù)量級(jí),即不超過。如果也以本
征載流子濃度不超過的話,對(duì)應(yīng)溫度為526K,所以硅器件的極限工作溫度是520K
左右。楮的禁帶寬度比硅小,楮的器件工作溫度比硅低,約為370K左右。碑化
保禁帶寬度比硅大,極限工作溫度可高達(dá)720K左右,適宜于制造大功率器件。
總之,由于本征載流子濃度隨溫度的迅速變化,用本征材料制作的器件性能
很不穩(wěn)定,所以制造半導(dǎo)體器件一般都用含有適當(dāng)雜質(zhì)的半導(dǎo)體材料。
多數(shù)載流子和少數(shù)載流子(多子和少子):半導(dǎo)體中載流子為電子和空穴,
n型半導(dǎo)體以電子導(dǎo)電為主,電子濃度遠(yuǎn)大于空穴濃度,故稱電子為n型半導(dǎo)體
8
的多數(shù)載流子,簡稱多子,空穴為n型半導(dǎo)體的少數(shù)載流子,簡稱少子;
對(duì)于P型半導(dǎo)體,空穴為多子,電子為少子。平衡少子濃度正比于本征載流
子濃度的平方,對(duì)于n型半導(dǎo)體,由可得少子濃度,它強(qiáng)烈的依賴于溫度的變化。
簡并半導(dǎo)體中雜質(zhì)不能充分電離:通過分析計(jì)算,室溫下n型硅摻磷,發(fā)生
簡并的雜質(zhì)濃度,經(jīng)計(jì)算,電離施主濃度,硅中只有8.4%的雜質(zhì)是電離的,故
導(dǎo)帶電子濃度。盡管只有8.4%的雜質(zhì)電離,但摻雜濃度較大,所以電子濃度還
是較大。簡并半導(dǎo)體中雜質(zhì)不能充分電離的原因:簡并半導(dǎo)體電子濃度較高,費(fèi)
米能級(jí)較低摻雜時(shí),遠(yuǎn)在施主能級(jí)之上,使雜質(zhì)電離程度降低。
簡并化條件:簡并化條件是人們的一個(gè)約定,把與的相對(duì)位置作為區(qū)分簡并
化與非簡并化的標(biāo)準(zhǔn),一般約定:
,非簡并,弱簡并,簡并注意:在做習(xí)題時(shí),首先要判斷題目中給出的半導(dǎo)
體材料是否發(fā)生弱簡并或簡并。然后才能確定采用相應(yīng)的有關(guān)公式進(jìn)行解題。
本章要求掌握的內(nèi)容及考點(diǎn):一一本章是本課程的核心知識(shí)章節(jié)之一,不僅
要求掌握基本物理概念和原理,還要求能進(jìn)行相關(guān)參數(shù)的計(jì)算一一考題涉及所有
題型(必有一道相關(guān)的計(jì)算題)1、以上基本物理概念和問題的理解掌握。
2、掌握費(fèi)米分布函數(shù)和玻耳茲曼分布函數(shù)及費(fèi)米能級(jí)的意義。費(fèi)米能級(jí)是
一個(gè)參考能級(jí),不是電子的真實(shí)能級(jí),費(fèi)米能級(jí)的位置標(biāo)志了電子填充能級(jí)的水
平。熱平衡條件下費(fèi)米能級(jí)為定值,費(fèi)米能級(jí)的數(shù)值與溫度、半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電
類型、雜質(zhì)濃度及零點(diǎn)的選取有關(guān),它是一個(gè)很重要的物理參數(shù)。
3、掌握導(dǎo)帶電子濃度和價(jià)帶空穴濃度公式:
2、,3、,4、與分別是導(dǎo)帶與價(jià)帶底有效狀態(tài)密度,相當(dāng)于把導(dǎo)帶中所有量
子態(tài)都集中在導(dǎo)帶底,而它的狀態(tài)密度為;
同理,相當(dāng)于把價(jià)帶中所有量子態(tài)都集中在價(jià)帶頂,而它的狀態(tài)密度為。上
兩式中的指數(shù)部分是具有玻耳茲曼分布函數(shù)形式的幾率函數(shù),前者是電子占據(jù)能
量為的量子態(tài)幾率,后者是空穴占據(jù)能量為的量子態(tài)的幾率。則導(dǎo)帶中的電子濃
度是中電子占據(jù)的量子態(tài)數(shù),價(jià)帶空穴濃度是中有空穴占據(jù)的量子態(tài)數(shù)。
5、能夠?qū)懗霰菊靼雽?dǎo)體的電中性方程;
熟悉半導(dǎo)體半導(dǎo)體載流子濃度與溫度和禁帶寬度的關(guān)系;
正確使用熱平衡判斷式。經(jīng)常用到的數(shù)據(jù)最好要記住。例如,300K時(shí)硅、
錯(cuò)、碑化錢的禁帶寬度分別為1.12ev,0.67ev,L428ev0本征載流子濃度分別
為、、均為實(shí)驗(yàn)值。
6、能夠?qū)懗鲋粨诫s一種雜質(zhì)的半導(dǎo)體的一般性電中性方程,若只有施主雜
質(zhì)時(shí),為,若只有受主雜質(zhì)時(shí)為。本征激發(fā)可以忽略的情況下,例如室溫區(qū),電
中性條件為;
溫度較高,雜質(zhì)全部電離,本征激發(fā)不能忽略時(shí),電中性條件為,在這種情
況下,應(yīng)和聯(lián)立可解出和。
7、在摻雜濃度一定地情況下,能夠解釋多子濃度隨溫度地變化關(guān)系(如教
材圖3-11的解釋)。在一定的溫度和摻雜濃度條件下,判斷半導(dǎo)體所處的溫度區(qū)
域,并計(jì)算出載流子濃度和費(fèi)米能級(jí)位置。
8、掌握半導(dǎo)體同時(shí)含有施主雜質(zhì)和受主雜質(zhì)情況下電中性方程的一般表達(dá)
式,能較熟練地分析和計(jì)算補(bǔ)償型半導(dǎo)體的載流子濃度和費(fèi)米能級(jí)。
9、對(duì)簡并化半導(dǎo)體有最基本的認(rèn)識(shí),其主要特點(diǎn)是摻雜濃度高,使費(fèi)米能
級(jí)接近或進(jìn)入導(dǎo)帶或價(jià)帶。能夠熟練使用簡并化條件。
第四章半導(dǎo)體的導(dǎo)電性本章內(nèi)容提要:
9
本章主要討論載流子的運(yùn)動(dòng)規(guī)律(載流子的輸運(yùn)現(xiàn)象)、載流子在電場(chǎng)中的
漂移運(yùn)動(dòng)、遷移率、電導(dǎo)率、散射機(jī)構(gòu)及強(qiáng)電場(chǎng)效應(yīng)。
本章重難點(diǎn):
重點(diǎn):
1、微分歐姆定律:在半導(dǎo)體中,常遇到電流分布不均勻的情況,即流過不
同截面的電流強(qiáng)度不相等。所以,通常用電流密度來描述半導(dǎo)體中的電流。電流
密度是指通過垂直于電流方向的單位面積的電流,根據(jù)熟知的歐姆定律可以得到
電流密度。它把通過半導(dǎo)體中某一點(diǎn)的電流密度和該處的電導(dǎo)率及電場(chǎng)強(qiáng)度直接
聯(lián)系起來,稱為歐姆定律的微分形式。
2、漂移速度和遷移率:有外加電壓時(shí),導(dǎo)體內(nèi)部的自由電子受到電場(chǎng)力的
作用,沿著電場(chǎng)的反方向作定向運(yùn)動(dòng)構(gòu)成電流。電子在電場(chǎng)力的作用下的這種運(yùn)
動(dòng)稱為漂移運(yùn)動(dòng),定向運(yùn)動(dòng)的速度稱為漂移速度。遷移率為單位場(chǎng)強(qiáng)下電子的平
均漂移速度。因?yàn)殡娮訋ж?fù)電,所以電子的平均漂移速度的方向一般應(yīng)和電場(chǎng)強(qiáng)
度方向相反,但習(xí)慣上遷移率只取正值。
3、電離雜質(zhì)散射:施主雜質(zhì)電離后是一個(gè)帶正電的離子,受主雜質(zhì)電離后
是一個(gè)帶負(fù)電的離子。在電離施主或受主周圍形成一個(gè)庫侖勢(shì)場(chǎng)。這一庫侖勢(shì)場(chǎng)
局部地破壞了雜質(zhì)附近地周期性勢(shì)場(chǎng),它就是使載流子散射地附加勢(shì)場(chǎng)。當(dāng)載流
子運(yùn)動(dòng)到電離雜質(zhì)附近時(shí),由于庫侖勢(shì)場(chǎng)地作用,就使載流子運(yùn)動(dòng)地方向發(fā)生改
變。電離施主和電離受主對(duì)電子和空穴散射,它們?cè)谏⑸溥^程中的軌跡是以施主
或受主為一個(gè)焦點(diǎn)的雙曲線。常以散射幾率P來描述散射地強(qiáng)弱,它代表單位時(shí)
間內(nèi)一個(gè)載流子受到散射的次數(shù)。具體的分析發(fā)現(xiàn),濃度為的電離雜質(zhì)對(duì)載流子
的散射幾率與溫度的關(guān)系為:。
4、晶格散射:晶格散射主要是長縱聲學(xué)波和長縱光學(xué)波。長縱聲學(xué)波傳播
時(shí)荷氣體中的聲波類似,會(huì)造成原子分布的疏密變化,產(chǎn)生體變,即疏處體積膨
脹,密處壓縮,如圖4—10(a)所示。在一個(gè)波長中,一半處于壓縮狀態(tài),一半
處于膨脹狀態(tài),這種體變表示原子間距的減小或增大。由第一章知道,禁帶寬度
隨原子間距變化,疏處禁帶寬度減小,密度增大,使能帶結(jié)構(gòu)發(fā)生波形起伏。禁
帶寬帶的改變反映出導(dǎo)帶底和價(jià)帶頂?shù)纳吆徒档?,引起能帶極值的改變。這時(shí),
同是處于導(dǎo)帶底和價(jià)帶頂?shù)碾娮踊蚩昭?在半導(dǎo)體的不同地點(diǎn),其能量就有差別。
所以,縱波引起的能帶起伏,就其對(duì)載流子的作用講,如同產(chǎn)生了一個(gè)附加勢(shì)場(chǎng),
這一附加勢(shì)場(chǎng)破壞了原來勢(shì)場(chǎng)的嚴(yán)格周期性,就使電子從K狀態(tài)散射到K狀態(tài)。
長縱光學(xué)波散射主要發(fā)生在離子晶體中。在離子晶體中,每個(gè)原胞內(nèi)由正負(fù)兩個(gè)
離子,它們和縱聲學(xué)波一樣,形成疏密相間的區(qū)域。由于正負(fù)離子位移相反,所
以,正離子的密區(qū)和負(fù)離子的疏區(qū)相合,正離子的疏區(qū)和負(fù)離子的密區(qū)相合,從
而造成在一半個(gè)波長區(qū)域內(nèi)帶正電,另一半個(gè)波長區(qū)域內(nèi)帶負(fù)電,帶正負(fù)電的區(qū)
域?qū)a(chǎn)生電場(chǎng),對(duì)載流子增加了一個(gè)勢(shì)場(chǎng)的作用,這個(gè)勢(shì)場(chǎng)就是引起載流子散射
的附加勢(shì)場(chǎng)。
5、平均自由時(shí)間和散射幾率的關(guān)系:載流子在電場(chǎng)中作漂移運(yùn)動(dòng)時(shí),只有
在連續(xù)兩次散射之間的時(shí)間內(nèi)才作加速運(yùn)動(dòng),這段時(shí)間稱為自由時(shí)間。自由時(shí)間
長短不一,若取極多次而求得其平均值則稱為載流子的平均自由時(shí)間,它與散射
幾率互為倒數(shù)的關(guān)系。
6、遷移率與平均自由時(shí)間和有效質(zhì)量的關(guān)系:通過計(jì)算外電場(chǎng)作用下載流
子的平均漂移速度,對(duì)于有效質(zhì)量各向同性的電子和空穴,其遷移率分別為和。
對(duì)等能面為旋轉(zhuǎn)橢球的多極值半導(dǎo)體,因?yàn)檠鼐w的不同方向有效質(zhì)量不同,
10
所以遷移率與有效質(zhì)量的關(guān)系稍復(fù)雜些。例如對(duì)于硅:
稱為電導(dǎo)遷移率,其值由三個(gè)主軸方向的三個(gè)遷移率的線性組合,即,稱為
電導(dǎo)有效質(zhì)量,由下式?jīng)Q定:
遷移率與雜質(zhì)濃度和溫度的關(guān)系:
對(duì)摻雜的硅、褚半導(dǎo)體,主要散射機(jī)構(gòu)是電離雜質(zhì)散射和聲學(xué)波散射。
電離雜質(zhì)散射特點(diǎn)是隨溫度升高,遷移率增大,隨電離雜質(zhì)增加遷移率減?。?/p>
聲學(xué)波散射特點(diǎn)是隨溫度升高遷移率下降。同時(shí)存在這兩種散射機(jī)構(gòu)時(shí),就
要考慮它們的共同作用對(duì)遷移率的影響。當(dāng)摻雜濃度較低時(shí),可以忽略電離雜質(zhì)
的影響。遷移率主要受晶格散射影響,即隨溫度升高遷移率下降;
當(dāng)摻雜濃度較高時(shí),低溫時(shí)晶格振動(dòng)較弱,晶格振動(dòng)散射比電離雜質(zhì)散射作
用弱,主要是電離雜質(zhì)散射,所以隨溫度升高遷移率緩慢增大;
當(dāng)溫度較高時(shí),隨溫度升高,晶格振動(dòng)加劇,晶格散射作用,所以高溫時(shí)遷
移率隨溫度升高而降低。
8、電阻率決定于載流子的濃度和遷移率,基本表示式如下:
當(dāng)半導(dǎo)體中電子濃度遠(yuǎn)大于空穴濃度時(shí),n型半導(dǎo)體,電子濃度遠(yuǎn)大于空穴
濃度時(shí),P型半導(dǎo)體,電子濃度遠(yuǎn)小于空穴濃度時(shí),本征半導(dǎo)體,電子濃度等于
空穴濃度時(shí),電阻率與雜質(zhì)濃度的關(guān)系:
輕摻雜時(shí)(例如雜質(zhì)濃度小于),室溫下雜質(zhì)全部電離,載流子濃度近似等
于雜質(zhì)濃度,而遷移率隨雜質(zhì)濃度地變化不大,與載流子濃度(即雜質(zhì)濃度)的
變化相比較,可以認(rèn)為遷移率幾乎為常數(shù),所以隨雜質(zhì)濃度升高電阻率下降,若
對(duì)電阻率表達(dá)式取對(duì)數(shù),則電阻率和雜質(zhì)濃度的關(guān)系是線性的。
摻雜濃度較高時(shí)(雜質(zhì)濃度大于),由于室溫下雜質(zhì)不能全部電離,簡并半
導(dǎo)體中電離程度下降更多,使載流子濃度小于雜質(zhì)濃度;
又由于雜質(zhì)濃度較高時(shí)遷移率下降較大。這兩個(gè)原因使電阻率隨雜質(zhì)濃度的
升高而下降。
本征半導(dǎo)體和雜質(zhì)半導(dǎo)體的電阻率隨溫度的變化關(guān)系有很大不同:對(duì)純半導(dǎo)
體材料,電阻率主要是由本征載流子濃度決定。隨溫度上升而急劇增加,室溫附
近,溫度每增加,硅的本征載流子濃度就增加一倍,因?yàn)檫w移率只稍有下降,所
以電阻率將相應(yīng)的降低一半左右;
對(duì)楮來說,溫度每增加,本征載流子濃度增加一倍,電阻率降低一半。本征
半導(dǎo)體電阻率隨溫度增加而單調(diào)地下降,這是本征半導(dǎo)體區(qū)別于金屬的一個(gè)重要
特征。對(duì)雜質(zhì)半導(dǎo)體由雜質(zhì)電離和本征激發(fā)兩個(gè)因素存在,又有電離雜質(zhì)散射和
晶格散射兩種散射機(jī)構(gòu)的存在,因而電阻率隨溫度的變化關(guān)系要復(fù)雜些。一定雜
質(zhì)濃度的硅樣品的電阻率和溫度的關(guān)系曲線大致分為三個(gè)溫度區(qū)段:
低溫區(qū)段溫度很低,本征激發(fā)可忽略,載流子主要由雜質(zhì)電離提供,它隨溫
度升高而增加;
散射主要由雜質(zhì)電離決定,遷移率也隨溫度升高而增大,所以,電阻率隨溫
度升高而下降。
電離飽和區(qū)段,溫度繼續(xù)升高(包括室溫),雜質(zhì)已全部電離,本征激發(fā)還
不十分顯著,載流子基本上不隨溫度變化,晶格振動(dòng)散射上升為主要矛盾,遷移
率隨溫度升高而降低,所以,電阻率隨溫度升高而增大。
本征激發(fā)區(qū)段,溫度繼續(xù)升高,本征激發(fā)很快增加,大量本征載流子的產(chǎn)生
遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過遷移率的減小對(duì)電阻率的影響,這時(shí),本征激發(fā)成為矛盾的主要方面,
雜質(zhì)半導(dǎo)體的電阻率將隨溫度的升高而急劇地下降,表現(xiàn)出同本征半導(dǎo)體相似的
11
特性。
9、定性解釋強(qiáng)電場(chǎng)下歐姆定律發(fā)生偏離的原因:主要可以從載流子與晶格
振動(dòng)散射時(shí)的能量交換過程來說明。在沒有外加電場(chǎng)情況下,載流子和晶格散射
時(shí),強(qiáng)吸收聲子或發(fā)射聲子與晶格交換動(dòng)量和能量,交換的凈能量為零載流子的
平均能量與晶格的相同,兩者處于熱平衡狀態(tài)。有電場(chǎng)存在時(shí),載流子從電場(chǎng)中
獲得能量,隨后又以發(fā)射聲子的形式將能量傳給晶格,這時(shí),平均的說,載流子
發(fā)射的聲子數(shù)多于吸收的聲子數(shù)。到達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)時(shí),單位時(shí)間載流子從電場(chǎng)中獲
得的能量同給予晶格的能量相同。但是,在強(qiáng)電場(chǎng)情況下,載流子從電場(chǎng)中獲得
的能量很多,載流子的平均能量比熱平衡狀態(tài)時(shí)的大,因而載流子和晶格系統(tǒng)不
再處于熱平衡狀態(tài)。溫度是平均動(dòng)能的量度,既然載流子的能量大于晶格系統(tǒng)的
能量,人們便引進(jìn)載流子的有效溫度來描述語晶格系統(tǒng)不處于熱平衡狀態(tài)的載流
子,并稱這種狀態(tài)的載流子為熱載流子。所以,在強(qiáng)電場(chǎng)情況下,載流子溫度比
晶格溫度高,載流子的平均能量比晶格的大。熱載流子與晶格散射時(shí),由于熱載
流子能量高,速度大于熱平衡狀態(tài)下的速度,由看出,在平均自由程保持不變得
情況下,平均自由時(shí)間減小,因而遷移率降低。當(dāng)電場(chǎng)不是很強(qiáng)時(shí),載流子主要
和聲學(xué)波散射,遷移率有所降低。當(dāng)電場(chǎng)進(jìn)一步增強(qiáng),載流子能量高到可以和光
學(xué)波聲子能量相比時(shí),散射時(shí)可以發(fā)射光學(xué)波聲子,于是載流子獲得的能量大部
分又消失,因而平均漂移速度可以達(dá)到飽和。
10、耿氏效應(yīng):n型神化線兩端電極上加以電壓。當(dāng)電壓高到某一值時(shí),半
導(dǎo)體電流便以很高頻率振蕩,這個(gè)效應(yīng)稱為耿氏效應(yīng)。耿氏效應(yīng)與半導(dǎo)體的能帶
結(jié)構(gòu)有關(guān):神化像導(dǎo)帶最低能谷1位于布里淵區(qū)中心,在布里淵區(qū)邊界L處還有
一個(gè)能谷2,它比能谷1高出0.29ev。當(dāng)溫度不太高時(shí),電場(chǎng)不太強(qiáng)時(shí),導(dǎo)帶電
子大部分位于能谷1。能谷1曲率大,電子有效質(zhì)量小。能谷2曲率小,電子有
效質(zhì)量大()。由于能谷2有效質(zhì)量大,所以能谷2的電子遷移率比能谷1的電
子遷移率小,即.當(dāng)電場(chǎng)很弱時(shí),電子位于能谷1,平均漂移速度為。當(dāng)電場(chǎng)很強(qiáng)
時(shí),電子從電場(chǎng)獲得較大能量由能谷1躍遷到能谷2,平均漂移速度為,由于,
所以在速場(chǎng)特性上表現(xiàn)為不同的變化速率(實(shí)際上和是速場(chǎng)特性的兩個(gè)斜率。即
低電場(chǎng)時(shí),高電場(chǎng)時(shí))。在遷移率由變化到的過程中經(jīng)過一個(gè)負(fù)阻區(qū)。在負(fù)阻區(qū),
遷移率為負(fù)值。這一特性也稱為負(fù)阻效應(yīng)。其意義是隨著電場(chǎng)強(qiáng)度增大而電流密
度減小。
難點(diǎn):
1、'、'晶格散射主要是討論格波與載流子的作用。格波的能量是離子化的,其
能量單元稱為聲子,當(dāng)格波能量減少一個(gè)能量子(能量單元),就稱作放出一個(gè)
聲子;
增加一個(gè)能量子就稱吸收一個(gè)聲子。聲子的說法不僅生動(dòng)地表示出格波能量
的量子化特征,而且在分析晶格與物質(zhì)作用時(shí)很方便。例如,電子在晶體中被格
波散射便可以看作是電子與聲子的碰撞。
2、平均自由時(shí)間是統(tǒng)計(jì)平均值。
3、遷移率與雜質(zhì)濃度和溫度的關(guān)系比較復(fù)雜,對(duì)硅、錯(cuò)等原子半導(dǎo)體主要
是電離雜質(zhì)散射和晶格散射,抓住主要矛盾可對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果作出較好的解釋(可參
考課程重點(diǎn)中的第三條及講義圖4-13的解釋)。
4、電阻率與載流子濃度和遷移率有關(guān)。在分析電阻率與溫度的關(guān)系時(shí),要
注意載流子濃度和遷移率都與溫度有關(guān)。在考慮載流子濃度對(duì)電阻率的影響時(shí),
溫度對(duì)載流子濃度的影響可參考第三章圖3-llo
12
5、平均漂移速度與電場(chǎng)強(qiáng)度的關(guān)系:電場(chǎng)較弱時(shí),平均漂移速度與電場(chǎng)強(qiáng)
度成線性關(guān)系,即歐姆定律成立;
當(dāng)電場(chǎng)強(qiáng)度較大時(shí),平均漂移速度按電場(chǎng)強(qiáng)度的二分之一次方增大,即開始
便離歐姆定律;
當(dāng)電場(chǎng)強(qiáng)度再增大,使電子能量已高到和光學(xué)聲子能量相比擬時(shí),電子和晶
格散射時(shí)便可以發(fā)射聲學(xué)光子。穩(wěn)態(tài)時(shí),平均漂移速度與電場(chǎng)無關(guān),達(dá)到飽和。
本章基本物理概念和問題:
1、半導(dǎo)體中的電流是電子電流和空穴電流的總和:一塊均勻半導(dǎo)體,兩端
加以電壓,在半導(dǎo)體內(nèi)部就形成電場(chǎng)。因?yàn)殡娮訋ж?fù)電,空穴帶正電,所以兩者
漂移運(yùn)動(dòng)的方向不同,電子反電場(chǎng)方向漂移,空穴沿電場(chǎng)方向漂移。但是,形成
的電流都是沿著電場(chǎng)方向。因而,半導(dǎo)體中的導(dǎo)電作用應(yīng)該是電子導(dǎo)電和空穴導(dǎo)
電的總和。
2、電子遷移率比空穴遷移率大:遷移率數(shù)值大小可表示載流子在電場(chǎng)作用
下運(yùn)動(dòng)的難易程度,導(dǎo)電的電子是在導(dǎo)帶中,它們是脫離了共價(jià)鍵可以在半導(dǎo)體
中自由運(yùn)動(dòng)的電子;
而導(dǎo)電的空穴是在禁帶中,空穴電流實(shí)際上是代表了共價(jià)鍵上的電子在價(jià)鍵
間運(yùn)動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的電流。顯然,在相同的電場(chǎng)作用下,兩者的平均漂移速度不會(huì)
相同,而且,導(dǎo)帶電子平均漂移速度要大些,就是說,電子遷移率與空穴遷移率
不相等,前者要大些。
3、散射幾率:表示單位時(shí)間內(nèi)一個(gè)載流子受到輻射的次數(shù),其數(shù)值與散射
機(jī)構(gòu)有關(guān)。
4、單位電場(chǎng)作用下載流子獲得的平均漂移速度叫做漂移遷移率。在分析硅
的六個(gè)能谷中的電子對(duì)電流的貢獻(xiàn)時(shí),又引入了電導(dǎo)遷移率,實(shí)質(zhì)上它是漂移遷
移率的線性組合,因此,電導(dǎo)遷移率仍具有漂移遷移率的意義。漂移遷移率可通
過實(shí)驗(yàn)來測(cè)量。
5、對(duì)于補(bǔ)償材料,在雜質(zhì)完全電離情況下,載流子濃度決定于兩種雜質(zhì)濃
度之差,但遷移率決定于兩種雜質(zhì)濃度的總和。如果材料中摻有多種施主雜質(zhì)和
受主雜質(zhì),則遷移率決定于所有電離雜質(zhì)濃度之和。
6、總遷移率的倒數(shù)等于各散射機(jī)構(gòu)遷移率的倒數(shù)之和。
7、可以用實(shí)驗(yàn)的方法測(cè)量半導(dǎo)體樣品的電阻率,對(duì)于非補(bǔ)償和輕補(bǔ)償?shù)牟?/p>
料,其電阻率可以反映出它的雜質(zhì)濃度(基本上就是載流子濃度)。對(duì)于高度補(bǔ)
償?shù)牟牧?,因?yàn)檩d流子濃度很小,電阻率很高,并無真正說明材料很純,而是這
種材料雜質(zhì)很多,遷移率很小,不能用于制造器件。
8、熱載流子:在強(qiáng)電場(chǎng)情況下,載流子從電場(chǎng)中獲得的能量很多,載流子
的平均能量比熱平衡狀態(tài)時(shí)的大,因而載流子和晶格系統(tǒng)不再處于熱平衡狀態(tài)。
溫度是平均動(dòng)能的量度,既然載流子的能量大于晶格系統(tǒng)的能量,人們便引進(jìn)載
流子的有效溫度來描述語晶格系統(tǒng)不處于熱平衡狀態(tài)的載流子,并稱這種狀態(tài)的
載流子為熱載流子。所以,在強(qiáng)電場(chǎng)情況下,載流子溫度比晶格溫度高,載流子
的平均能量比晶格的大。
9、,此式任何情況下均成立,形式上看,平均漂移速度與電場(chǎng)強(qiáng)度成正比,
但是遷移率與場(chǎng)強(qiáng)有關(guān)。弱電場(chǎng)時(shí)遷移率為常數(shù),強(qiáng)電場(chǎng)時(shí)遷移率不是常數(shù),利
用講義圖4-17可以求出不同場(chǎng)強(qiáng)下的遷移率。
本章要求掌握的內(nèi)容及考點(diǎn):一一本章是本課程的核心知識(shí)章節(jié)之一,不僅
要求掌握基本物理概念和原理,還要求能進(jìn)行相關(guān)參數(shù)的計(jì)算一一考題涉及所有
13
題型1、正確理解并會(huì)運(yùn)用如下簡單而又重要的基本公式:
一般半導(dǎo)體的總電流:
一般半導(dǎo)體的電導(dǎo)率:
n型半導(dǎo)體(n>>p):
P型半導(dǎo)體(p>>n):
本征半導(dǎo)體(n=p=):
2、掌握基本概念:微分歐姆定律、漂移運(yùn)動(dòng)、漂移速度、漂移電流密度(能
寫出計(jì)算公式)、載流子遷移率、載流子散射(電離雜質(zhì)散射和晶格振動(dòng)散射一
一聲子散射)、熱載流子、微分負(fù)阻效應(yīng)。
3、熟悉電離雜質(zhì)散射幾率與電離雜質(zhì)濃度和溫度的關(guān)系,聲學(xué)波和光學(xué)波
散射幾率與哪些因素有關(guān)。
4、掌握遷移率與雜質(zhì)濃度和溫度的關(guān)系;
能正確地從講義圖4-13和圖4-14查出遷移率。注意:上兩圖中雜質(zhì)為材
料所含各種雜質(zhì)之和。對(duì)于摻雜濃度低于的材料,其室溫時(shí)的遷移率可近似用本
征材料(較純材料)的遷移率表。能夠熟練地計(jì)算不同導(dǎo)電類型材料的電導(dǎo)率(計(jì)
算中注意單位的轉(zhuǎn)化)。
5、掌握電阻率與雜質(zhì)濃度的關(guān)系及電阻率與溫度的關(guān)系,能熟練地計(jì)算不
同導(dǎo)電類型半導(dǎo)體的電阻率,并注意雜質(zhì)和溫度這兩個(gè)因素對(duì)電阻率的影響。圖
4-15是錯(cuò)、硅、神化線300K時(shí)電阻率與溫度關(guān)系的實(shí)驗(yàn)曲線,適用于非補(bǔ)償
與輕度補(bǔ)償?shù)牟牧稀?/p>
6、能夠定性解釋強(qiáng)電場(chǎng)下歐姆定律的偏離原因。
7、定性描述碑化線能帶結(jié)構(gòu)的特點(diǎn),掌握多能谷散射和微分負(fù)阻效應(yīng)的基
本物理原理。
8、課后作業(yè)題。
第五章非平衡載流子本章內(nèi)容提要:
本章重難點(diǎn):
重點(diǎn):
1、‘,平衡載流子及其產(chǎn)生:處于熱平衡狀態(tài)的半導(dǎo)體,在一定溫度下,載
流子濃度時(shí)一定的。這種處于熱平衡狀態(tài)下的載流子濃度,稱為平衡載流子濃度,
前面各章討論的都是平衡載流子。用和分別表示平衡電子濃度和空穴濃度,在非
簡并情況下,它們的乘積滿足:。本征載流子濃度只是溫度的函數(shù)。在非簡并情
況下,無論摻雜多少,平衡載流子濃度和必定滿足,因而它也是非簡并導(dǎo)體處于
熱平衡狀態(tài)的判據(jù)式。半導(dǎo)體的熱平衡狀態(tài)是相對(duì)的,有條件的。如果對(duì)半導(dǎo)體
施加外界作用,破壞了熱平衡的條件,這就迫使它處于與熱平衡狀態(tài)相偏離的狀
態(tài),稱為非平衡狀態(tài)。處于非平衡狀態(tài)的半導(dǎo)體,其載流子濃度也不再是和,可
以比它們多出一部分。比平衡狀態(tài)多出來的這部分載流子稱為非平衡載流子,有
時(shí)也稱過剩載流子。在一定溫度下,當(dāng)沒有光照時(shí),半導(dǎo)體中電子和空穴濃度分
別為和。假設(shè)是n型半導(dǎo)體,。當(dāng)用適當(dāng)波長的光照射該半導(dǎo)體時(shí),只要光子的
能量大于該半導(dǎo)體的禁帶寬度,那么光子就能把價(jià)帶電子激發(fā)到導(dǎo)帶上去,產(chǎn)生
電子一空穴對(duì),使導(dǎo)帶比平衡時(shí)多出一部分電子,價(jià)帶比平衡時(shí)多出一部分空穴。
和就是非平衡載流子濃度。這時(shí)把非平衡電子稱為非平衡多數(shù)載流子,而把非平
衡空穴稱為非平衡少數(shù)載流子。對(duì)P型材料則相反。用光照使得半導(dǎo)體內(nèi)部產(chǎn)生
非平衡載流子的方法,稱為非平衡載流子的光注入。光注入時(shí)。
產(chǎn)生非平衡載流子的方法除光注入外,還可以用其他方法產(chǎn)生非平衡載流子,
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例如電注入或高能粒子輻照等。
2、小注入:在一般情況下,注入的非平衡載流子濃度比平衡時(shí)的多數(shù)載流
子濃度小的多。對(duì)n型材料,,,滿足這個(gè)條件的注入稱為小注入。即使在小注入
的情況下,非平衡少數(shù)載流子濃度還是可以比平衡少數(shù)載流子濃度大的多,它的
影響就顯得十分重要了,而相對(duì)來說非平衡多數(shù)載流子的影響可以忽略。所以實(shí)
際上往往是非平衡少數(shù)載流子起著重要作用,通常說的非平衡載流子都是指非平
衡少數(shù)載流子。
3、非平衡載流子復(fù)合:以光注入為例,光照時(shí),價(jià)帶電子被光激發(fā)到導(dǎo)帶,
產(chǎn)生電子一空穴對(duì)。光照停止后,注入的非平衡載流子并不能一直存在下去,也
就是原來激發(fā)到導(dǎo)帶的電子又回到價(jià)帶,電子和空穴又成對(duì)的消失了,使半導(dǎo)體
由非平衡態(tài)恢復(fù)到平衡態(tài)。非平衡載流子逐漸消失這一過程稱為非平衡載流子的
復(fù)合。單位時(shí)間單位體積內(nèi)凈復(fù)合消失的電子一空穴對(duì)數(shù)稱為非平衡載流子的凈
復(fù)合率。類似有:單位時(shí)間單位體積內(nèi)復(fù)合消失的電子一空穴對(duì)數(shù)稱為非平衡載
流子的復(fù)合率;
單位時(shí)間單位體積內(nèi)產(chǎn)生的電子一空穴對(duì)數(shù)稱為非平衡載流子的產(chǎn)生率。
3、非平衡載流子壽命(少數(shù)載流子壽命、少子壽命、壽命):可以通過實(shí)驗(yàn),
觀察光照停止后,非平衡載流子濃度隨時(shí)間變化的規(guī)律。實(shí)驗(yàn)表明,光照停止后
隨時(shí)間按指數(shù)規(guī)律減少。這說明非平衡載流子并不是立刻全部消失,而是有一個(gè)
過程即它們?cè)趯?dǎo)帶和價(jià)帶中有一定的生存時(shí)間,有的長些,有的短些。非平衡載
流子的平均生存時(shí)間稱為非平衡載流子的壽命,用表示。由于相對(duì)于非平衡多數(shù)
載流子,非平衡少數(shù)載流子的影響處于主導(dǎo)的、決定的地位,因而非平衡載流子
的壽命常稱為少數(shù)載流子壽命。簡稱少子壽命或壽命。
4、載流子的產(chǎn)生和復(fù)合在任何情況下都是存在的。在熱平衡狀態(tài)下也存在
著產(chǎn)生與復(fù)合兩個(gè)過程,只不過這個(gè)狀態(tài)下載流子產(chǎn)生的原因是溫度,相應(yīng)的,
描述這種產(chǎn)生過程用熱產(chǎn)生率,即單位時(shí)間單位體積內(nèi)熱產(chǎn)生的電子一空穴對(duì)數(shù)
稱為熱產(chǎn)生率,當(dāng)熱產(chǎn)生率等于復(fù)合率時(shí),半導(dǎo)體就達(dá)到熱平衡狀態(tài)。如果復(fù)合
率大于熱產(chǎn)生率就存在凈復(fù)合率。凈復(fù)合率的數(shù)值等于復(fù)合率與熱產(chǎn)生率之差。
可以證明凈復(fù)合率為,這里為t時(shí)刻的非平衡載流子濃度。
5、電子準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)和空穴準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí):當(dāng)半導(dǎo)體的平衡態(tài)遭到破壞而存在
非平衡載流子時(shí),可以認(rèn)為,分別就價(jià)帶和導(dǎo)帶中的電子講,它們各自基本上處
于平衡態(tài),而導(dǎo)帶和價(jià)帶之間處于不平衡狀態(tài)。因而費(fèi)米能級(jí)和統(tǒng)計(jì)分布函數(shù)對(duì)
導(dǎo)帶和價(jià)帶各自仍然是適用的,可以分別引入導(dǎo)帶費(fèi)米能級(jí)和價(jià)帶費(fèi)米能級(jí),它
們都是局部的費(fèi)米能級(jí),稱為“準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)”。導(dǎo)帶和價(jià)帶間的不平衡就表現(xiàn)在
它們的準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)是不重合的。導(dǎo)帶的準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)也稱電子準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí),相應(yīng)地,
價(jià)帶地準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)稱為空穴準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí),分別用和表示。非平衡載狀態(tài)下地載流
子濃度公式與平衡載流子濃度類似,只是用準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)代替費(fèi)米能級(jí)在平衡載流
子濃度公式中地位置。
6、直接復(fù)合:半導(dǎo)體中的自由電子和空穴在運(yùn)動(dòng)中會(huì)有一定幾率直接相遇
而復(fù)合,使一對(duì)電子和空穴同時(shí)消失。從能帶角度講,就是導(dǎo)帶中的電子直接落
入價(jià)帶和空穴復(fù)合。這種由電子在導(dǎo)帶與價(jià)帶間直接躍遷哦引起非平衡載流子的
復(fù)合過程就是直接復(fù)合。
直接復(fù)合壽命:
小注入條件下,少子壽命T=l/r(nO+pO)。對(duì)于n型半導(dǎo)體,即nO>>pO,少
子壽命為T=l/rn0o這說明在小注入條件下,當(dāng)溫度和摻雜一定時(shí),壽命是一個(gè)
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常數(shù)。壽命與平衡多數(shù)載流子濃度成反比,或者說,半導(dǎo)體電導(dǎo)率越高,壽命就
越短。
大注入情況下,直接復(fù)合壽命T=l/rAp,可見,壽命隨非平衡載流子濃度
增大而減小,因而,在復(fù)合過程中,壽命不再是常數(shù)。一般地說,禁帶寬帶越小,
直接復(fù)合的幾率越大。所以,在錦化錮(Eg=O.18eV)和確(Eg=O.3eV)等小禁
帶寬度的半導(dǎo)體中,直接復(fù)合占優(yōu)勢(shì)。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),神化鉉的禁帶寬度Eg=l.428eV
雖然比較大一些,但直接復(fù)合機(jī)構(gòu)對(duì)壽命有著重要的影響,這和它的具體能帶結(jié)
構(gòu)有關(guān)。神化線是直接帶隙半導(dǎo)體。
7、間接復(fù)合與壽命:
深能級(jí)雜質(zhì)和缺陷在禁帶中形成深能級(jí),對(duì)非平衡載流子壽命有很大影響。
實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),這樣的雜質(zhì)和缺陷越多,壽命就越短。這說明雜質(zhì)和缺陷有促進(jìn)復(fù)合
的作用。這些促進(jìn)復(fù)合過程的雜質(zhì)和缺陷稱為復(fù)合中心。間接復(fù)合指的是非平衡
載流子通過復(fù)合中心的復(fù)合。禁帶中有了復(fù)合中心能級(jí),就好像多了一個(gè)臺(tái)階,
電子一空穴的復(fù)合可分為兩步走:第一步,導(dǎo)帶電子落入復(fù)合中心能級(jí);
第二步,這個(gè)電子再落入價(jià)帶與空穴復(fù)合。復(fù)合中心恢復(fù)了原來空著的狀態(tài),
又可以再去完成下一次的復(fù)合過程。顯然,一定還存在上述兩個(gè)過程的逆過程。
所以,間接復(fù)合仍舊是一個(gè)統(tǒng)計(jì)性的過程。相對(duì)于復(fù)合中心Et而言,共有4個(gè)
微觀過程:
甲:俘獲電子過程。復(fù)合中心能級(jí)Et從導(dǎo)帶俘獲電子,使導(dǎo)帶電子減少。
乙:發(fā)射電子過程。復(fù)合中心能級(jí)Et上電子被激發(fā)到導(dǎo)帶(甲的逆過程),
使導(dǎo)帶電子增加。
丙:俘獲空穴過程。電子由復(fù)合中心能級(jí)Et落入價(jià)帶與空穴復(fù)合。也可看
成復(fù)合中心能級(jí)從價(jià)帶俘獲了一個(gè)空穴,使價(jià)帶空穴減少。
T:發(fā)射空穴過程。價(jià)帶電子被激發(fā)到復(fù)合中心能級(jí)Et上。也可以看出復(fù)
合中心能級(jí)從價(jià)帶俘獲了一個(gè)空穴,使價(jià)帶空穴減少。
根據(jù)上述四個(gè)過程的描述,在穩(wěn)定條件下(穩(wěn)定條件是指復(fù)合中心能級(jí)上電
子數(shù)不再發(fā)生變化,既不增加也不減少),甲一乙=丙一丁,顯然,等式左端表
示單位時(shí)間單位體積內(nèi)導(dǎo)帶減少的電子數(shù),等式右端表示單位時(shí)間單位體積內(nèi)價(jià)
帶減少的空穴數(shù)。即導(dǎo)帶每損失一個(gè)電子,同時(shí)價(jià)帶也損失一個(gè)空穴,電子和空
穴通過復(fù)合中心成對(duì)地復(fù)合。因而上式正是表示電子一空穴對(duì)的凈復(fù)合率,用U
表示:
用此式可以分析各種情況的間接復(fù)合壽命。
8、表面復(fù)合及有效壽命在此之前研究非平衡載流子的壽命時(shí),只考慮了半
導(dǎo)體內(nèi)部的復(fù)合過程。實(shí)際上,少數(shù)載流子壽命在很
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