真空設(shè)備的維護(hù)和維修

真空設(shè)備的維護(hù)和維修第一部分:維護(hù)部分1.1、機(jī)械真空泵的維護(hù)和保養(yǎng):(1)泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔。(2)泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中應(yīng)保持油箱內(nèi)油量不得低于油標(biāo)中心。(3)不同種類和牌號(hào)的真空泵油不可混合使用。(4)泵在使用中溫升不能超過(guò)70?。(5)新泵在使用100h左右應(yīng)換1,2次油，待換下的油內(nèi)不再發(fā)現(xiàn)含黑色金屬粉末后，可加長(zhǎng)換油期限。根據(jù)說(shuō)明書規(guī)定和使用實(shí)際情況來(lái)確定換油期限。(6)新泵和修理后的泵應(yīng)現(xiàn)作運(yùn)轉(zhuǎn)試驗(yàn)4,6h，檢查泵是否符合使用要求。(7)泵使用較長(zhǎng)時(shí)間以后(2,3年不等)，極限真空度下降，應(yīng)進(jìn)行一次檢修。同時(shí)也應(yīng)對(duì)系統(tǒng)、管道、閥門和電動(dòng)機(jī)等加以清洗、檢修。(8)泵在使用中，因系統(tǒng)損壞等特殊事故，或進(jìn)氣口突然暴露大氣時(shí)，應(yīng)盡快停泵，并切斷與系統(tǒng)連接的真空管(關(guān)低真空閥或夾真空夾)，防止噴油，污染工作場(chǎng)地。(9)泵上所有機(jī)件，非絕對(duì)必要，切勿自行拆卸。(10)泵不用時(shí)，應(yīng)用橡皮塞(帽)把進(jìn)氣口塞好，以免贓物和硬質(zhì)東西落入泵內(nèi)。(11)經(jīng)常注意真空技術(shù)發(fā)展動(dòng)向，盡量及早地引入新技術(shù)、新材料(如新泵油等)，以改進(jìn)原有系統(tǒng)的性能。以上數(shù)點(diǎn)，可按具體情況，訂出相應(yīng)操作規(guī)程，嚴(yán)格施行。1.2、整套設(shè)備的日常維護(hù):(1)操作人員要熟悉各種儀表、泵，設(shè)備的各部分。閱讀并理解各種說(shuō)明書。(2)冷卻水水壓應(yīng)保持0.1,0.2Mpa之間，出水溫度?45?。(3)壓縮空氣壓力在0.4,0.5Mpa之間。(4)每爐開機(jī)前，要檢查保護(hù)氣的氣瓶容量，以免氣體充不足，更換氣瓶。(5)開機(jī)后如有異常情況，應(yīng)立即排除或停機(jī)查找原因。(6)經(jīng)常檢查各部分的回水量，工作時(shí)應(yīng)保證各部分有充足的冷卻水。(7)設(shè)備停止使用時(shí)，應(yīng)將爐內(nèi)氣體抽空，長(zhǎng)時(shí)間不用，要充入保護(hù)性氣體，并把設(shè)備水冷套內(nèi)的循環(huán)水放掉。(8)機(jī)械泵、羅茨泵應(yīng)定期換油加油，羅茨泵的油杯中要保持一直有油。換油時(shí)一定要把廢油放干凈。(9)擴(kuò)散泵換油時(shí)，內(nèi)部如有氧化，要把擴(kuò)散泵內(nèi)部的氧化層處理干凈，然后再換上新油。(10)充入的保護(hù)性氣體，純度不應(yīng)小于99.99%。(11)本設(shè)備不允許使用易燃易爆和具有腐蝕性氣體作為保護(hù)氣氛。(12)設(shè)備表面及儀表表面要保持清潔，擦拭爐體內(nèi)壁不允許有帶有水份及沾有非真空類用油的抹布擦拭。(13)氣動(dòng)系統(tǒng)的氣動(dòng)三連件上的油水分離器要經(jīng)常放水，油霧器內(nèi)應(yīng)注入真空擴(kuò)散泵油。(14)設(shè)備的整機(jī)電壓要保證在350,420V范圍內(nèi)。三相要平衡。(15)規(guī)管、電接點(diǎn)壓力表、熱偶等處要經(jīng)常涂上擴(kuò)散泵油，使之與座之間形成一層油膜，防止漏氣。以上各部分及法蘭連接處不允許長(zhǎng)期使用真空封泥密封。(16)各部分的螺栓定期檢查，如發(fā)現(xiàn)松動(dòng)，及時(shí)擰緊。(17)設(shè)備工作時(shí)，注意觀察各儀表的顯示情況，及各泵的聲音，以便及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常，找出問(wèn)題。(18)設(shè)備的使用環(huán)境，在相對(duì)濕度85%以下，溫度在10,40?。在拆修設(shè)備時(shí)，各部分不許用重錘敲擊，密封面、密封槽不許劃傷。(19)設(shè)備在工作時(shí)，操作人員不得長(zhǎng)時(shí)間離崗。不要壓偏了，偏了就會(huì)漏油、漏氣，軸封簧別擠進(jìn)去，沒(méi)了軸封簧軸封就失效了。注意軸封與軸的同心度，有的泵是用對(duì)輪連接的，對(duì)輪的同軸性要求很嚴(yán)格，裝配時(shí)要從軸的四面去量，保證平行一致。羅茨泵的對(duì)齒輪調(diào)整的關(guān)鍵是兩個(gè)8型齒輪不相碰。擴(kuò)散泵的內(nèi)壁和噴射塔清洗干凈后最好用電力紡擦干。由于國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的擴(kuò)散泵主要靠電爐絲的長(zhǎng)短來(lái)控制泵油的溫度，擴(kuò)散泵油的注入量就需要考慮當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)的實(shí)際情況來(lái)酌量增減。泵的口徑大小不一樣注油量也有差別，電網(wǎng)的電壓低油可以減少2mm，只要是干凈的鋼板尺或鐵絲都可以用來(lái)測(cè)量。由于制造和使用上的差別，擴(kuò)散泵注油量?jī)H供參考。維修切記不可操之過(guò)急，故障沒(méi)搞清楚就想當(dāng)然的開始動(dòng)手拆卸，舊病未除又添新病，把簡(jiǎn)單的問(wèn)題復(fù)雜化了。2.2、幾種情況下處理方式:2.2.1應(yīng)急處理(1)高溫時(shí)斷水、斷電.真空設(shè)備最怕的就是高溫時(shí)斷水、斷電。因此用戶最好在設(shè)備安裝時(shí)建有備用水箱或連有自來(lái)水管。設(shè)備在高溫時(shí)斷水、斷電，此時(shí)，泵、閥門均應(yīng)處于關(guān)閉狀態(tài)，操作人員應(yīng)馬上接通備用水或自來(lái)水，對(duì)設(shè)備進(jìn)行水冷，如不能很快來(lái)電，還應(yīng)打開充放氣系統(tǒng)的手動(dòng)充氣閥，對(duì)設(shè)備進(jìn)行充氣保護(hù)，充氣壓力為-0.02MPa左右。然后，把控制柜上的所有按鈕關(guān)至“關(guān)”的位置。同時(shí)用濕毛巾搭在電極引出接口處，定期更換，以免電極接口過(guò)熱，造成密封圈損壞。(2)更換充氣氣瓶.設(shè)備所用充氣氣瓶需更換時(shí)，拆掉穩(wěn)壓閥，換上一瓶新氣，一定要注意安裝時(shí)不許漏氣。在換上新氣瓶后，在工件沒(méi)加熱前，應(yīng)在抽空過(guò)程中對(duì)爐內(nèi)充氣，以便在換氣瓶過(guò)程中造成的管路內(nèi)存有的大氣抽出，使充氣管路保持清潔。(3)正常工作時(shí)，發(fā)現(xiàn)設(shè)備突然漏氣，如馬上能找到泄露點(diǎn)，須用真空封泥把泄露點(diǎn)封住，待工作完畢后，再做處理。如不能確定泄露處，則應(yīng)立即停止工作，然后檢修。(4)設(shè)備工作一段時(shí)間，一般50到70爐次，需清理打掃，把粉塵清出爐外，然后空爐工作一次。工作的方式是先抽空為真空度高于10-2Pa時(shí)加熱，加熱溫度一般高于正常使用溫度的20?。在最高爐溫時(shí)保溫一個(gè)小時(shí)以上，然后自然冷卻。這樣使設(shè)備內(nèi)部空間保持清潔。2.2.2機(jī)械泵的常見故障及維修:2.2.3羅茨泵的常見故障:羅茨泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?。其極限真空度可達(dá)5×10-2Pa，又稱機(jī)械增加泵。其工作原理是通過(guò)二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，通過(guò)容積的改變來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣和排氣。其工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。維修保養(yǎng):?應(yīng)經(jīng)常保持泵房環(huán)境清潔干燥。?應(yīng)經(jīng)常注意各部分潤(rùn)滑油的狀況，如發(fā)現(xiàn)不足時(shí)，應(yīng)及時(shí)補(bǔ)充。如發(fā)現(xiàn)不清潔時(shí)，應(yīng)及時(shí)更換，并注意螺塞重新旋進(jìn)去時(shí)應(yīng)保證密封。泵工作壓差應(yīng)控制在旁通閥允許的壓差范圍內(nèi)，否則易燒壞電機(jī)。?在拆修時(shí)各部件不能用重錘敲打。?拆下的零件避免碰傷、擦毛。特別要注意密封面的平整光潔，否則會(huì)引起再裝配后漏氣現(xiàn)象，泵不能恢復(fù)原有性能。?拆下的零件用汽油、四氯化碳或乙醚清洗，干燥后才能裝配。?裝配時(shí)要注意轉(zhuǎn)子兩端與左右側(cè)蓋的間隙，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子與泵體的間隙按規(guī)定要求調(diào)整。?泵體左右側(cè)蓋之間之結(jié)合面均采用107樹脂(即室溫硫化硅橡膠)密封。?裝配前必須注意螺旋套方向，主動(dòng)軸上靠近電機(jī)一側(cè)為左旋，齒輪箱一側(cè)為右旋，從動(dòng)軸上則相反。2.2.4油擴(kuò)散泵故障處理(1)擴(kuò)散泵工作過(guò)程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關(guān)閉冷卻水。(2)泵停止工作時(shí)，泵內(nèi)應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。(3)被抽氣體應(yīng)是干燥、無(wú)腐蝕、無(wú)灰塵的氣體。(4)泵如暫時(shí)不用，保管期間應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和各零件腐蝕。并將冷卻水套內(nèi)的剩水吹凈。保存場(chǎng)地的室溫應(yīng)在10?,40?之間。(5)泵在正常運(yùn)行時(shí)如突然出現(xiàn)性能變壞，應(yīng)先檢查加熱器是否正常。(6)泵在長(zhǎng)期