GB/Z 42624-2023真空技術真空計放氣率的測試和報告程序

ICS23160

CCSJ7.8

中華人民共和國國家標準化指導性技術文件

GB/Z42624—2023/ISO/TS201772018

:

真空技術真空計

放氣率的測試和報告程序

Vacuumtechnology—Vacuumgauges—

Procedurestomeasureandreportoutgassingrates

ISO/TS201772018IDT

(:,)

2023-05-23發(fā)布2023-05-23實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/Z42624—2023/ISO/TS201772018

:

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………2

符號和縮略語

4……………3

測試系統(tǒng)

5…………………3

一般要求

5.1……………3

應用流量法的測試系統(tǒng)

5.2……………5

累積系統(tǒng)

5.3……………10

測試方法

6…………………11

概述

6.1…………………11

推薦的樣品制備方式

6.2………………12

測試的流程和時間

6.3…………………12

測試程序

6.4……………13

測量不確定度

7……………17

概述

7.1…………………17

用作流量比較裝置的連續(xù)膨脹系統(tǒng)

7.2(5.2.2)………18

帶有可計算流導元件的流量系統(tǒng)

7.3(5.2.3)…………18

帶有可測有效抽速的流量系統(tǒng)

7.4(5.2.4)……………18

帶有可調(diào)流導元件的流量系統(tǒng)

7.5(5.2.5)……………19

基本累積系統(tǒng)

7.6(5.3.2)………………19

帶有氣體分析系統(tǒng)的累積系統(tǒng)

7.7(5.3.3)……………19

測試報告

8…………………22

附錄資料性各種測試系統(tǒng)的原理圖

A()………………23

附錄資料性不同測試系統(tǒng)的特征和適用性

B()………28

附錄資料性不同測量系統(tǒng)對的可追溯性

C()SI……………………29

參考文獻

……………………30

GB/Z42624—2023/ISO/TS201772018

:

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用真空技術真空計放氣率的測試和報告程序

ISO/TS20177:2018《》。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本文件由全國真空技術標準化技術委員會歸口

(SAC/TC18)。

本文件起草單位北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所中國航天科技集團有限公司第五研究院第五一〇研究

:、

所上海精密計量測試研究所重慶云海機械制造有限公司沈陽匯真真空技術有限公司湖南維格磁流

、、、、

體股份有限公司合肥工業(yè)大學沈陽真空技術研究所有限公司

、、。

本文件主要起草人孫立臣趙月帥綦磊袁翠平成永軍趙瀾孫雯君肖寅楓翁俊倪博唐俊聰

:、、、、、、、、、、、

何萬飛言繼春言文靜畢海林孫立志潘穎史紀軍孟冬輝劉興悅鐘亮齊嘉東郭琦汪力喻新發(fā)

、、、、、、、、、、、、、、

董猛張瑞芳宋青竹喬忠路王玲玲

、、、、。

Ⅰ

GB/Z42624—2023/ISO/TS201772018

:

引言

真空室內(nèi)壁及其內(nèi)部組件的放氣限制了真空系統(tǒng)的極限壓力及其清潔度對于科研設備如加速

。(

器需確保表面清潔的設備如分子束外延設備或在長時間無泵條件下需保持高真空的設備如含發(fā)

)、()(

射器或射線管的設備醫(yī)療儀器表面分析儀器或者絕熱板等而言可實現(xiàn)的極限壓力是一項重要

X、、),

的技術指標在很多工業(yè)應用中如鍍膜極紫外光刻催化制藥或食品工業(yè)中的干燥過程以及加速

。,、、、,

器聚變反應器等真空清潔度即完全不含某種特殊氣體或蒸氣或者它們的分壓足夠低也是一個重

、,(,)

要的技術指標因此在真空技術中放氣率的測試是一個重要的質(zhì)量保證措施本文件詳細規(guī)定了放

。,,。

氣率的測試程序使得放氣率的測量結果具有可追溯性

,。

附錄列出了各種測試系統(tǒng)的原理圖

A。

Ⅱ

GB/Z42624—2023/ISO/TS201772018

:

真空技術真空計

放氣率的測試和報告程序

1范圍

本文件規(guī)定了真空室整體及其組件的放氣率測試程序本文件適用的放氣率由應用于高真空或超

。

高真空的設備產(chǎn)生在時小于-53-1-2-1放氣產(chǎn)生的各種氣體

,23℃1×10Pa·m·s(1×10Pa·L·s),

或蒸氣的分子量均小于

300u。

總放氣率的上限-53-1與放氣材料的尺寸總表面積材質(zhì)或者狀態(tài)無關如果標

1×10Pa·m·s、、。

稱放氣率單位面積放氣率已測定則該面積采用名義幾何表面積而非包括表面粗糙度的比表面積

(),,。

當難以測定樣品如粉末多孔材料非常粗糙的表面或者復雜的設備等的名義幾何表面積時采用單

(、、),

位質(zhì)量放氣率如每克放氣率

()。

在許多實際應用中只需確定總放氣率如果使用了靈敏度與氣體種類有關的測試儀器則總放氣

,。,

率以等效氮氣放氣率的形式給出如果總放氣率很高為了改進樣品材料存在需要辨別干擾氣體的種

。,,

類和測定其放氣率的情況本文件涵蓋上述兩種情況

。。

放氣產(chǎn)生的一些分子能夠被表面吸附且滯留時間遠長于總測試時間這些分子不在直接路徑上

。

時也不能被測試儀器檢測到這可認為是一種表面效應采用表面分析研究遠比這里考慮的常規(guī)放氣

,。,

率測量更加行之有效同時受紫外光或射線照射從表面釋放的分子也不適用于本文件

。,X,。

制定本文件是為了使放氣率的測試方法標準化使得在不同實驗室和采用不同方法獲得的測試值

,

具有可比性為此對于本文件中規(guī)定的任一種方法每種方法中最重要的參數(shù)可依據(jù)計量水平溯源到

。,,

國際基本單位

(SI)。

質(zhì)量損失法是一種與氣體種類無關的放氣率測試方法主要用于航天器及衛(wèi)星材料的放氣率測試

,。

在可接受的測試時長范圍內(nèi)質(zhì)量損失法可測試的放氣率-53-1明顯高于常規(guī)高真

,(>1×10Pa·m·s)

空和超高真空組件的放氣率而且由于天平不適于在真空環(huán)境下應用考慮到真空室的重量無法原

。,,,

位測試樣品因此本文件未考慮質(zhì)量損失法

。,。

本文件適用于熟悉高真空和超高真空技術以及相應的測試儀器例如電離真空計和四極質(zhì)譜儀

(,

等