國家標準電子工廠潔凈廠房設計規(guī)范

國家標準電子工廠潔凈廠房設計規(guī)范當前第1頁\共有65頁\編于星期二\19點1、電子工廠潔凈廠房特點2、章節(jié)內(nèi)容簡介3、強制性條文等介紹4、結語當前第2頁\共有65頁\編于星期二\19點1、電子工廠潔凈廠房特點電子產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展迅猛

IC特征尺寸0.05μm,12〞～16〞，64GTFT第六代產(chǎn)品對化學污染物的嚴格要求大面積、大體量、組合式、多層潔凈廠房投資大、能量消耗大當前第3頁\共有65頁\編于星期二\19點1、電子工廠潔凈廠房特點集成電路對化學污染物的控制指標當前第4頁\共有65頁\編于星期二\19點電子工廠潔凈廠房的特點：微?？刂剖謬栏?、要求控制0.02μm甚至更小粒徑

ISO1級或更嚴格。高純物質(zhì)，包括高純水、高純氣體高純化學品的供應、輸送。對微振控制十分嚴格、需制定切實可行的規(guī)定對防靜電、電磁兼容等大體量、多層單向流潔凈室，二層/三層布置數(shù)萬m2。1、電子工廠潔凈廠房特點當前第5頁\共有65頁\編于星期二\19點1、電子工廠潔凈廠房特點項目位置狀況規(guī)格（㎜）潔凈生產(chǎn)區(qū)面積（㎡）建筑高度芯片廠1大陸生產(chǎn)運行200（8"）870020.0芯片廠2臺灣生產(chǎn)運行300/200（12"/8"）1400026.8芯片廠3臺灣生產(chǎn)運行300（12"）900029.4芯片廠4臺灣生產(chǎn)運行300（12"）900026.8芯片廠5韓國生產(chǎn)運行200（8"）1000031.0芯片廠6韓國生產(chǎn)運行200（8"）1000031.0芯片廠7韓國生產(chǎn)運行200（8"）1000037.0芯片廠8韓國生產(chǎn)運行200（8"）1000037.0芯片廠9愛爾蘭生產(chǎn)運行200（8"）889225.4芯片廠10美國生產(chǎn)運行200（8"）1581022.00芯片廠11美國生產(chǎn)運行200（8"）1581022.00芯片廠12美國生產(chǎn)運行300（12"）1385717.00芯片廠13愛爾蘭生產(chǎn)運行300（12"）1218317.00芯片廠14磁力生產(chǎn)運行300（12"）874020.40芯片廠15臺灣生產(chǎn)運行200（8"）790050.30芯片廠16法國生產(chǎn)運行200（8"）650021.00芯片廠17新加坡生產(chǎn)運行200（8"）800025.00表1國內(nèi)外一些微電子潔凈廠房的高度和潔凈生產(chǎn)區(qū)面積當前第6頁\共有65頁\編于星期二\19點1、電子工廠潔凈廠房特點項目位置狀況規(guī)格（㎜）潔凈生產(chǎn)區(qū)面積（㎡）建筑高度芯片廠18上海生產(chǎn)運行300（12"）1200029.00芯片廠19上海生產(chǎn)運行300（12"）940030.00芯片廠20成都生產(chǎn)運行200（8"）7408.821芯片廠21上海生產(chǎn)運行200（8"）1032128.55芯片廠22蘇州生產(chǎn)運行200（8"）1200024.4芯片廠23重慶建設中200（8"）150028芯片廠24浙江生產(chǎn)運行150（6"）516019TFT-LCD/1北京生產(chǎn)運行5代，110000TFT-LCD/2上海生產(chǎn)運行5代，1100×130022000＋1400020.30TFT-LCD/3昆山試生產(chǎn)5代，1100×1300～300026.50TFT-LCD/4深圳正在建設5代，1100×1300～3300026.50TFT-LCD/5臺灣生產(chǎn)運行6代，1500×1800～36000～27TFT-LCD/6上海正籌建6代，1500×1800～34000～27TFT-LCD/7北京正籌建6代，1500×1800～36000～27TFT-LCD/8日本生產(chǎn)運行8代，2160×2460～9000030.00表1國內(nèi)外一些微電子潔凈廠房的高度和潔凈生產(chǎn)區(qū)面積當前第7頁\共有65頁\編于星期二\19點1、電子工廠潔凈廠房特點表22幾類電子產(chǎn)品所需氣體品種當前第8頁\共有65頁\編于星期二\19點1、電子工廠潔凈廠房特點表25集成電路芯片（64M）生產(chǎn)過程部分化學品的質(zhì)量要求微粒（PC/CC）化學品種類0.1μm0.2μm金屬離子H3PO4HClH2SO4H2O2NH4OH<40<30<20<20<20<20<20<10<10<10<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9HNO349%HF5%HF1%HF<30<30<30<30<20<20<20<20<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9當前第9頁\共有65頁\編于星期二\19點1、電子工廠潔凈廠房特點表128″大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用高純水質(zhì)量指標（前工序）當前第10頁\共有65頁\編于星期二\19點1、電子工廠潔凈廠房特點當前第11頁\共有65頁\編于星期二\19點集中新風處理+各種循環(huán)新風集中送風方式

FFU隧道送風

1、電子工廠潔凈廠房特點當前第12頁\共有65頁\編于星期二\19點

美國消防標準（強制性標準）NFPA318《潔凈室消防標準》（StandardfortheProtectionofCleanrooms,2000）

第1章總則，范圍、目的、適用性、等同性、術語等；第2章消防自動滅火系統(tǒng)、報警系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)(煙感、可燃氣體等);第3章通風和排風系統(tǒng),送風和循環(huán)風,局部排風,排煙系統(tǒng)；第4章土建、潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的分隔等；第5章化學品貯存和處理,對危險化學品貯存、分配間的設計、建造要求等；第6章危險氣體鋼瓶的存放、分配；第7章大宗硅烷系統(tǒng)，管式拖車、集裝氣瓶；第8章生產(chǎn)與輔助設備、工藝液體加熱設備、電氣設備、真空泵等；第9章出入口方式，按NFPA101生命安全規(guī)范進行設計；第10章參照出版物，所列NFPA或ASTM或SEMI等，被認為是標準的一部分。1、電子工廠潔凈廠房特點當前第13頁\共有65頁\編于星期二\19點2、章節(jié)內(nèi)容安排1、總則2、術語3、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求3.1一般規(guī)定3.2生產(chǎn)環(huán)境設計要求

4、總體設計4.1位置選擇和總平面布置4.2潔凈室形式4.3潔凈室布置和綜合協(xié)調(diào)5、工藝設計5.1一般規(guī)定5.2工藝布局5.3人員凈化5.4物料凈化5.5設備及工器具

6、潔凈建筑設計6.1一般規(guī)定6.2防火與疏散6.3室內(nèi)裝修7、空氣凈化7.1一般規(guī)定7.2氣流流型和送風量7.3凈化空調(diào)系統(tǒng)7.4空氣凈化設備7.5采暖通風7.6排煙7.7風管、附件8、給水排水設計8.1一般規(guī)定8.2給水當前第14頁\共有65頁\編于星期二\19點8.3排水8.4雨水8.5消防給水和滅火設備9、純水9.1一般規(guī)定9.2純水系統(tǒng)9.3管材、閥門和附件10、氣體供應10.1一般規(guī)定10.2常用氣體系統(tǒng)10.3干燥壓縮空氣系統(tǒng)10.4特種氣體系統(tǒng)11、化學品供應11.1一般規(guī)定11.2化學品儲存、輸送11.3管材、閥門12、電氣設計12.1配電12.2照明12.3通信及安全保護裝置12.4自動控制

12.5接地13、防靜電與接地設計13.1一般規(guī)定13.2防靜電措施13.3防靜電接地14、噪聲控制14.1一般規(guī)定14.2噪聲控制設計15、微振控制15.1一般規(guī)定15.2容許振動值15.3微振動控制設計2、章節(jié)內(nèi)容安排當前第15頁\共有65頁\編于星期二\19點附錄A

各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對潔凈度等級的要求附錄B電子產(chǎn)品生產(chǎn)間/工序火災危險性分類舉例附錄C一些精密設備、儀器儀表的允許振動值附錄D

潔凈室（區(qū)）性能測試和認證本規(guī)范用詞說明附：條文說明2、章節(jié)內(nèi)容安排當前第16頁\共有65頁\編于星期二\19點3、強制性條文等介紹1.0.2本規(guī)范適用于新建、擴建和改建的電子工業(yè)潔凈廠房設計。1.0.3電子工業(yè)潔凈廠房的設計應滿足需潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，并應根據(jù)具體情況為今后產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展或生產(chǎn)工藝改進的需要預留條件。1.0.5電子工業(yè)潔凈廠房設計除應執(zhí)行本規(guī)范外，尚應符合國家現(xiàn)行有關標準的規(guī)定。當前第17頁\共有65頁\編于星期二\19點3．2．2各種電子產(chǎn)品/有關工序的空氣潔凈度等級根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定；無要求時，可參照附錄A要求確定。3.2.3潔凈室（區(qū)）的溫度和相對濕度應按表確定。

房間類別溫度（℃）相對濕度（%）冬季夏季冬季夏季生產(chǎn)工藝有要求的潔凈室按具體生產(chǎn)工藝要求確定生產(chǎn)工藝無要求的潔凈室≤22～2430～5040～70人員凈化及生活用室～18～28--3.2.5單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的的噪聲級（空態(tài)）不應大于65dB（A），非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級（空態(tài)）不應大于60dB（A）。表3.2.3潔凈室(區(qū))溫度和相對濕度要求

3、強制性條文等介紹當前第18頁\共有65頁\編于星期二\19點4.2.2電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時，宜采用微環(huán)境等型式。4.3.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)應少分隔，但下列情況應設隔墻：1按火災危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時；2在電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段或房間之間；3生產(chǎn)過程中排放影響產(chǎn)品質(zhì)量的有害氣體或化學污染物的工序、設備，宜分隔設獨立房間。3、強制性條文等介紹當前第19頁\共有65頁\編于星期二\19點5.4.2物料凈化用室與潔凈室（區(qū)）之間應設置氣閘室或傳遞窗。5．5．6電子工廠潔凈廠房內(nèi)，設置真空泵時，應符合下列規(guī)定：1．使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣排入排氣系統(tǒng)。2．對傳輸含有可燃氣體的真空泵，若可燃氣體濃度超過爆炸下限的20%時應設尾氣處理裝置，去除（稀釋）可燃氣體組份后才能排入排氣系統(tǒng)。3．傳輸易燃、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃，吹掃控制閥與生產(chǎn)工藝設備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。3、強制性條文等介紹當前第20頁\共有65頁\編于星期二\19點6.2.l潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。6.2.3潔凈廠房內(nèi)防火分區(qū)的劃分，應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室（區(qū)），在關鍵生產(chǎn)設備設有火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后，其每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。6.2.4潔凈室的上技術夾層、下技術夾層和潔凈生產(chǎn)層，當按其構造特點和用途作為同一防火分區(qū)時，上、下技術夾層的面積可不計入防火分區(qū)的建筑面積，但應分別采取相應的消防措施。3、強制性條文等介紹當前第21頁\共有65頁\編于星期二\19點微電子潔凈廠房消防設施現(xiàn)狀－－火災報警系統(tǒng)：熱感型、煙感型、早期煙霧探測器等3、強制性條文等介紹當前第22頁\共有65頁\編于星期二\19點微電子潔凈廠房消防設施現(xiàn)狀－－火災報警系統(tǒng)：熱感型、煙感型、早期煙霧探測器等3、強制性條文等介紹當前第23頁\共有65頁\編于星期二\19點（高靈敏度早期煙霧探測裝置（VESDA，VeryEarlySmokeDetectorApparatus）或空氣取樣式煙霧探測系統(tǒng)（AirSamplingTypeSmokeDetectionSystem）

空氣采樣煙霧報警裝置

3、強制性條文等介紹當前第24頁\共有65頁\編于星期二\19點3、強制性條文等介紹當前第25頁\共有65頁\編于星期二\19點VESDA與一般煙霧探測器的比較3、強制性條文等介紹當前第26頁\共有65頁\編于星期二\19點6.2.6在綜合性廠房的一個防火分區(qū)內(nèi)，潔凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應設置不燃燒體隔斷設施。不燃燒體隔斷設施應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定。6.2.7潔凈廠房的安全出口的設置，應符合下列規(guī)定：1每一生產(chǎn)層、每個防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定；

2安全出口應分散布置，并應設有明顯的疏散標志；安全疏散距離應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。安全疏散用門應向疏散方向開啟，并應設觀察玻璃窗；

3丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房，在關鍵生產(chǎn)設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。

注：對于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/m2，其疏散距離應按工藝需要確定，但不得大于120m。3、強制性條文等介紹當前第27頁\共有65頁\編于星期二\19點6.2.8潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應設置專用消防口，并應符合下列規(guī)定：1潔凈區(qū)各層專用消防口的設計，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定；2潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗，均不應作為專用消防口。6.2.9潔凈廠房內(nèi)有爆炸危險的房間應靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄爆面積等應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。3、強制性條文等介紹當前第28頁\共有65頁\編于星期二\19點6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內(nèi)裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現(xiàn)行國家標準《建筑內(nèi)部裝修設計防火規(guī)范》GB50222的有關規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應大于50，材料的煙密度等級應符合現(xiàn)行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關規(guī)定。6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求，且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。3、強制性條文等介紹當前第29頁\共有65頁\編于星期二\19點7.1.6潔凈室（區(qū)）與周圍的空間應保持一定的靜壓差，靜壓差應符合下列規(guī)定：1各潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應按生產(chǎn)工藝要求確定；2不同等級的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應大于等于5Pa；3潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應大于5Pa；潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應大于10Pa。7.2.1氣流流型的設計，應符合下列要求：1氣流流型應滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級的要求?？諝鉂崈舳鹊燃墳?～5級時，應采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6～9級時，宜采用非單向流；2潔凈室工作區(qū)的氣流流速應滿足生產(chǎn)工藝和工作人員健康的要求。3、強制性條文等介紹當前第30頁\共有65頁\編于星期二\19點7.2.2潔凈室的送風量，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定。7.2.3潔凈室（區(qū)）所需的滿足空氣潔凈度等級的潔凈送風量和氣流流型，宜按表計算?？諝鉂崈舳鹊燃墯饬髁餍推骄L速（m/s）換氣次數(shù)（h-1）1～5單向流或混合流0.2～0.45—6非單向流—50～607非單向流—15～258～9非單向流—10～15表7.2.3潔凈送風量（靜態(tài)）和氣流流型注：1換氣次數(shù)適用于層高小于4.0m的潔凈室。2室內(nèi)人員少、熱源少時，宜采用下限值。3、強制性條文等介紹當前第31頁\共有65頁\編于星期二\19點7.3.3凈化空調(diào)系統(tǒng)新風的室外吸入口位置，應遠離本建筑或其它建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。7.3.5凈化空調(diào)系統(tǒng)設計應合理利用回風，但下列情況不得回風：1在生產(chǎn)過程中向車間內(nèi)散發(fā)的有害物質(zhì)超過規(guī)定時；2采用局部處理不能滿足衛(wèi)生要求時；3對其它工序有危害或不能避免交叉污染時。3、強制性條文等介紹當前第32頁\共有65頁\編于星期二\19點7.5.1空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室（區(qū)）不應采用散熱器采暖。7.5.3潔凈室（區(qū)）的排風系統(tǒng)設計，應符合下列要求：1應防止室外氣流倒灌；2含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風系統(tǒng)應按其物理化學性質(zhì)采取相應防火防爆措施；3局部排風系統(tǒng)排出的有害氣體，當其有害物質(zhì)濃度超過排放標準時，應采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應滿足國家現(xiàn)行有關排放標準的規(guī)定；4對含有水蒸汽或凝結物質(zhì)的排風系統(tǒng)，應設置坡度及排放口；5排風介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時，應設置備用排風機和處理設備，并應設置應急電源；6排風介質(zhì)中含易燃、易爆等危險物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時，應設置備用排風機，并應設置應急電源；7排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，其風量應按在正常運行和事故情況下，風管內(nèi)爆炸危險的氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計；8排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，應設置消除靜電的接地裝置。3、強制性條文等介紹當前第33頁\共有65頁\編于星期二\19點7.5.4對排風系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險性物質(zhì)的排氣管路，應保持相對于路由區(qū)域一定的負壓值。7.5.6潔凈室（區(qū)）事故排風系統(tǒng)的設計，應符合下列規(guī)定：1事故排風區(qū)域的換氣次數(shù)不應小于12次/h；2應設置自動和手動控制開關，手動控制開關應分別設置在潔凈室（區(qū)）和潔凈室（區(qū)）外便于操作的地點；3應設置應急電源。3、強制性條文等介紹當前第34頁\共有65頁\編于星期二\19點7.6.1潔凈廠房中的疏散走廊，應設置機械排煙設施。7.6.2潔凈廠房排煙設施的設置應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定，當同一防火分區(qū)的丙類潔凈室（區(qū)）人員密度小于0.02人/m2，且安全疏散距離小于80m時，潔凈室（區(qū)）可不設機械排煙設施。3、強制性條文等介紹當前第35頁\共有65頁\編于星期二\19點7.7.2凈化空調(diào)系統(tǒng)的風管的防火閥的設置，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定。含有可燃、有毒氣體或化學品的排風管道，不得設置熔片式防火閥。7.7.3凈化空調(diào)系統(tǒng)的風管、配件、過濾器以及密封材料等，應根據(jù)輸送空氣的潔凈度要求確定，并不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。7.7.7風管附件及輔助材料的防火性能，應符合下列規(guī)定：1凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風系統(tǒng)的風管應采用不燃材料制作，但接觸腐蝕性介質(zhì)的風管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作；2排煙系統(tǒng)的風管應采用不燃材料制作；3附件、保溫材料和消聲材料等均應采用不燃材料或難燃材料。3、強制性條文等介紹當前第36頁\共有65頁\編于星期二\19點8.1.1潔凈廠房的給水排水干管應敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi)，并宜敷設在通行的技術夾層內(nèi)。條件合適時，也可埋地敷設。潔凈室（區(qū)）內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無關的管道不應穿過。8.3.1生產(chǎn)、生活排水系統(tǒng)應分別設置。生產(chǎn)排水系統(tǒng)應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)設備排出的廢水性質(zhì)、污染物濃度和水量等特點確定。有害廢水應經(jīng)廢水處理達到國家或地方排放標準后排放。8.3.2潔凈室（區(qū)）內(nèi)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)設備相連接的重力排水管道，應在排出口以下部位設置水封裝置。排水系統(tǒng)應有完善的通氣系統(tǒng)。3、強制性條文等介紹當前第37頁\共有65頁\編于星期二\19點8.5.1潔凈廠房必須設置消防給水系統(tǒng)。消防給水系統(tǒng)的設置應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。8.5.2潔凈廠房消火栓的設置應符合下列規(guī)定：1潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)層及上下技術夾層（不含不通行的技術夾層），應設置室內(nèi)消火栓；2室內(nèi)消火栓的用水量不應小于10L/s，同時使用水槍數(shù)不應少于2支，水槍充實水柱不應小于10m，每只水槍的出水量不應小于5L/s；3潔凈廠房室外消火栓的用水量不應小于15L/s。8.5.3潔凈室（區(qū)）設置的固定滅火設施，應符合下列規(guī)定：1設置的自動噴水滅火系統(tǒng)，應符合現(xiàn)行國家標準《自動噴水滅火系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50084的有關規(guī)定。噴水強度不應小于8L/min?m2，作用面積不應小于160m2；2設置的氣體滅火系統(tǒng)，應符合現(xiàn)行國家標準《氣體滅火系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50193和《二氧化碳滅火系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50193的有關規(guī)定；3存放可燃氣體鋼瓶的特氣柜中應設置自動滅火設施。3、強制性條文等介紹當前第38頁\共有65頁\編于星期二\19點9.2.3純水系統(tǒng)應采用循環(huán)供水方式，宜采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)或設有獨立回水管的雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)，并應符合下列規(guī)定：1循環(huán)回流水量應大于設計供水量的30%；2干管流速應大于等于1.5m/s；3不循環(huán)支管的長度不應大于管徑的6倍；4干管應設置清洗口；5管道系統(tǒng)必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象；6應配備在線水質(zhì)檢測儀表；對純水水質(zhì)要求嚴格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝，應采用雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)。9.3.1純水系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應符合下列要求：1應滿足純水水質(zhì)指標的要求；2材料的化學穩(wěn)定性應好；3管道內(nèi)壁光潔度應好；4不得有滲氣現(xiàn)象。3、強制性條文等介紹當前第39頁\共有65頁\編于星期二\19點10.1.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)的可燃氣體管道和有毒氣體管道應明敷，穿過潔凈室（區(qū)）的墻壁或樓板處的管段應設置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應采取密封措施。10.1.6可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間；當必須穿過時應設套管或雙層管。10.1.7高純氣體管道設計應符合下列規(guī)定：1管徑應按氣體容許流量、壓力或生產(chǎn)工藝設備確定，管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm;2不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間；3管道系統(tǒng)應設置吹掃口和取樣口。3、強制性條文等介紹當前第40頁\共有65頁\編于星期二\19點10.1.8潔凈廠房的可燃氣體管道系統(tǒng)應設置下列安全設施：1可燃氣體管道設置閥門時應設置閥門箱，閥門箱應設置氣體泄漏報警和事故排風裝置，報警裝置應與相應的事故排風機聯(lián)鎖；2接至用氣設備的支管和放散管，宜設置阻火設施；3引至室外的放散管，應設置防雷保護設施；應設置導除靜電的接地設施。10.2.5氣體純化間（站）或氣體入口室內(nèi)，設有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時，氣體純化間（站）或氣體入口室的火災危險性應按甲類確定，并應符合下列規(guī)定：1應靠外墻設置，并應設置防爆泄壓設施；2氫氣等可燃氣體引入管道上應設置自動切斷閥；3應具有良好的自然通風，并應設置事故排風裝置；4應設置氣體泄漏報警裝置，并應與事故排風裝置聯(lián)鎖；5應設置導除靜電的接地設施。3、強制性條文等介紹當前第41頁\共有65頁\編于星期二\19點10.2.6潔凈廠房內(nèi)的氧氣管道等，應采取下列安全技術措施：1管道及閥門附件應經(jīng)嚴格的脫脂處理；2應設置導除靜電的接地設施；氧氣引入管道上應設置自動切斷閥。10.2.8氣體管道和閥門應根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，宜符合下列規(guī)定：1氣體純度大于或等于99.999999%時，應采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管，閥門應采用隔膜閥；2氣體純度大于或等于99.999%、露點低于-76℃時，宜采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光的不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥；3氣體純度大于或等于99.99%、露點低于-60℃時，宜采用內(nèi)壁拋光的不銹鋼管，除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥；4氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。3、強制性條文等介紹當前第42頁\共有65頁\編于星期二\19點10.4.2潔凈廠房內(nèi)的特種氣體的儲存分配間應采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室（區(qū)）分隔，隔墻上的門窗應為甲級防火門窗。10.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)可燃或有毒的特種氣體分配系統(tǒng)的設置，應符合下列規(guī)定：1特種氣體鋼瓶（含硅烷或硅烷混合物）應設置在具有連續(xù)機械排風的特氣柜中；2排風機、泄漏報警、自動切斷閥均應設置應急電源；3一個特氣分配系統(tǒng)供多臺生產(chǎn)設備使用時，應設置多路閥門箱；4可燃性、氧化性特種氣體管道的設置應符合本規(guī)范第10.1和10.2節(jié)的有關規(guī)定。3、強制性條文等介紹當前第43頁\共有65頁\編于星期二\19點10.4.4特種氣體分配系統(tǒng)應設置吹掃盤，并應符合下列規(guī)定：1應設置應急切斷裝置；2應設置過流量控制裝置；3應設置手動隔離閥；4吹掃氣源不宜采用常用氣體系統(tǒng)；5不相容特種氣體的吹掃盤不得共用吹掃氣瓶。10.4.5硅烷或硅烷混合物的氣瓶應存放在潔凈廠房建筑外的儲存區(qū)內(nèi)。儲存區(qū)的設置應符合下列規(guī)定：1儲存區(qū)應至少三面敞開，氣瓶應固定在鋼制框架上；2氣瓶或氣瓶組與周圍的構筑物或圍欄的間距應大于3.0m；3儲存區(qū)頂棚的高度應大于3.5m。3、強制性條文等介紹當前第44頁\共有65頁\編于星期二\19點11.2.1潔凈廠房內(nèi)各種化學品儲存間（區(qū)）的設置，應符合下列規(guī)定：1化學品儲存間（區(qū)）的儲量不應超過該化學品24h的消耗量；2化學品應按物化特性分類儲存，當物化性質(zhì)不容許同庫儲存時，應采用實體墻分隔；3危險化學品應儲存在單獨的儲存間或儲存分配間內(nèi)，與相鄰房間應采用耐火極限大于1.50h的隔墻分隔；4危險化學品儲存、分配間宜靠外墻布置；5各類化學品儲存、分配間應設置機械排風。機械排風應采用應急電源；6易爆化學品儲存、分配間，應采用不發(fā)生火花的防靜電地面；7輸送易燃、易爆化學品的管道，應設置導除靜電的接地設施；8接至用戶的輸送易燃、易爆化學品的總管上，應設置自動和手動切斷閥。3、強制性條文等介紹當前第45頁\共有65頁\編于星期二\19點11.2.2潔凈廠房內(nèi)采用容器傳送危險化學品時，應符合下列規(guī)定：1嚴禁在出入口、疏散走廊儲存和分配危險化學品。潔凈廠房內(nèi)運送易燃化學品的走廊應設置自動滅火系統(tǒng)；2運送危險化學品的推車運載量不得超過250L；單個容器的容量不應超過20L；3物理化學特性不相容的危險化學品不得采用同一推車運送。11.2.3當采用壓力罐輸送危險化學品時，應符合下列規(guī)定：1輸送系統(tǒng)設備、管道應采用與所輸送的化學品相容的材質(zhì)；2壓力罐應設置減壓通風口，減壓通風口的排氣管應接至安全區(qū)域；3輸送系統(tǒng)應只容許采用氮氣增壓；4在分配和使用處應設置手動切斷閥；5應設置液位監(jiān)控和自動關閉裝置，并應設置溢流應對設施。3、強制性條文等介紹當前第46頁\共有65頁\編于星期二\19點11.2.5液態(tài)危險化學品的儲存、分配間，應設置溢出保護設施，并應符合下列規(guī)定：1儲存罐或罐組應設置保護堤，保護堤堤內(nèi)容積應大于最大儲罐的容積或20min消防用水量；保護堤的高度不應低于500mm；2化學品相互接觸引起化學反應的可燃液體儲罐或罐組之間，應設置隔堤，隔堤不得滲漏；管道穿過隔堤時應采用不燃材料密封。隔堤高度不應低于400mm；3應設置液體泄露報警；4應設置緊急淋浴和洗眼器。11.3.1化學品供應系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應按所輸送的化學品的物理化學性質(zhì)確定，并應選擇化學穩(wěn)定性能良好和相容性好的材料。3、強制性條文等介紹當前第47頁\共有65頁\編于星期二\19點12.1.6潔凈室（區(qū)）內(nèi)的配電設備，應選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設備，不宜設置落地安裝的配電設備。配電設備宜設置在下技術夾層，并應在頂部設擋水設施。12.1.7潔凈廠房的電氣管線宜敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi)，宜采用低煙、無鹵型電纜，穿線導管應采用不燃材料。潔凈生產(chǎn)區(qū)的電氣管線宜暗敷，電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設備與墻體接縫處應采取密封措施。12.1.8潔凈廠房內(nèi)，可燃氣體或液體的儲存、分配間的電氣設計，應根據(jù)可燃氣體或液體的特性確定，并應符合現(xiàn)行國家標準《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB50058的有關規(guī)定。3、強制性條文等介紹當前第48頁\共有65頁\編于星期二\19點12.2.3潔凈廠房備用照明的設置應符合下列規(guī)定：1潔凈室（區(qū)）內(nèi)應設備用照明；2備用照明宜作為正常照明的一部份，且不應低于該場所一般照明照度值的20%；3備用照明的電源宜由變電所專線供電。12.2.4潔凈廠房內(nèi)應設置供人員疏散用應急照明，其照度不應低于5.0lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處應設置疏散標志。在專用消防口應設置紅色應急照明指示燈。3、強制性條文等介紹當前第49頁\共有65頁\編于星期二\19點12.3.2潔凈廠房應設置火災自動報警系統(tǒng)，其防護等級應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50116的有關規(guī)定。當防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016規(guī)定的最大建筑面積允許值時，保護等級應提高為一級。12.3.4潔凈廠房內(nèi)火災探測器的設置應符合下列規(guī)定：1潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術夾層、機房、站房等均應設置火災探測器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術夾層應設置智能型探測器；2當潔凈廠房防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的規(guī)定時或頂部安裝點式探測器不能滿足現(xiàn)行規(guī)范設計要求時，在潔凈室（區(qū)）內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風前的回風氣流中應設置靈敏度嚴于0.01%obs/m的早期煙霧報警探測器；3硅烷儲存、分配間（區(qū)），應設置紅外線—紫外線火焰探測器；4潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術夾層（不包括不通行的技術夾層）應設置手動報警按鈕和聲光報警裝置。3、強制性條文等介紹當前第50頁\共有65頁\編于星期二\19點12.3.6潔凈廠房內(nèi)下列場所應設置氣體泄漏報警裝置：1易燃、易爆、有毒氣體的儲存分配間（區(qū)）；2易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內(nèi)；3工藝設備的氣體分配箱和排風管內(nèi)。12.3.7潔凈廠房內(nèi)氣體報警裝置的聯(lián)動控制，應符合下列規(guī)定：1應自動啟動相應的事故排風裝置；2應自動關閉相關部位的進氣閥；3應自動關閉相關部位的電動防火門、防火卷簾門；4報警信號應發(fā)送至消防控制室和氣體控制室。應自動啟動泄漏現(xiàn)場的聲光警報裝置和應急廣播。12.3.8潔凈廠房內(nèi)易燃、易爆、有毒氣體泄漏報警值應為其爆炸下限值或允許濃度值的20%。3、強制性條文等介紹當前第51頁\共有65頁\編于星期二\19點凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯(lián)鎖控制,并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。12.5.2當電子設備的功能接地要求分開設置時，應設有防止雷電反擊設施。分開設置的接地系統(tǒng)接地極應與共用接地系統(tǒng)接地極保持20m以上的間距。3、強制性條文等介紹當前第52頁\共有65頁\編于星期二\19點13.1.2防靜電環(huán)境設計應按電子產(chǎn)品或生產(chǎn)工序（設備）進行分級。防靜電環(huán)境內(nèi)靜電電位絕對值應小于電子產(chǎn)品的靜電電位安全值。防靜電環(huán)境設計應分為三級，防靜電環(huán)境設計分級適用場所應符合表13.1.2的要求。防靜電級別靜電電位絕對值V適用場所一級≤1001、半導體器件、集成電路、平板顯示器制造和測試的場所2、電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中操作1級靜電敏感器件制造和測試的場所二級≤2001、靜電敏感精密電子儀器的測試和維修場所2、靜電敏感電子器件制造和測試的場所三級≤1000除一級、二級場所以外的電子器件和整機的組裝、調(diào)試場所表13.1.2防靜電環(huán)境設計分級適用場所3、強制性條文等介紹當前第53頁\共有65頁\編于星期二\19點13.2.1潔凈廠房防靜電環(huán)境中，防靜電地面的面層結構和材料應符合下列要求：1防靜電地面的面層的選擇,應滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求;2防靜電地面的表層應采用靜電耗散性材料，靜電耗散性材料表面電阻率應為2.5×104~1×109Ω；3防靜電地面應設置導靜電泄放設施和接地連接，其地面對地泄放電阻值應為1×105～1×108Ω。13.2.3潔凈廠房防靜電環(huán)境的門窗設計，應符合下列要求：1應選用靜電耗散材料制作門窗或采用耗散材料貼面；2金屬門窗表面應涂刷靜電耗散性涂層，并應接地；室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時，玻璃表面應粘貼靜電耗散性透明薄膜或噴涂靜電耗散性涂層。13.3.4對電子產(chǎn)品生產(chǎn)工程中產(chǎn)生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災危險的設備、管道應符合現(xiàn)行國家標準《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB50058的有關規(guī)定。3、強制性條文等介紹當前第54頁\共有65頁\編于星期二\19點14.2.3凈化空調(diào)系統(tǒng)、公用動力設備和輸送管道等潔凈廠房的主要噪聲源，應采取隔聲、消聲、隔振等噪聲控制措施?？照{(diào)機房、動力站房宜采取下列措施：1圍護結構宜采取吸聲和隔聲處理；2對輻射噪聲值超過規(guī)定的設備，應設置隔聲屏、隔聲罩或懸掛吸聲體等；3機房、站房內(nèi)的控制室的圍護結構，宜采用隔聲性能良好的材料。14.2.4潔凈室（區(qū)）內(nèi)的各類排風系統(tǒng)（不包括事故排風系統(tǒng)）應設置消聲器等降噪設施。3、強制性條文等介紹當前第55頁\共有65頁\編于星期二\19點

設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規(guī)定：1總平面布置時，應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響；2設有精密設備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計；3對設有精密設備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設備及其管道，應采取主動隔振措施；4潔凈室（區(qū)）內(nèi)精密設備、儀器，經(jīng)測試確認受到周圍振動影響時，應采取被動隔振措施。15.2.1微振動控制設計應根據(jù)精密儀器、設備的特性，采取綜合隔振措施。3、強制性條文等介紹當前第56頁\共有65頁\編于星期二\19點15.2.3精密儀器、設備的容許振動值，應由制造商提供。無法確定時，可按附錄C或根據(jù)其工作特性確定。15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區(qū)），其建筑結構的微振動控制設計，應符合下列規(guī)定：1建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度；2應設置獨立的建筑結構微振動控制體系，并應與廠房主體結構分隔；3主體結構應根據(jù)微振控制的要求，適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。3、強制性條文等介紹當前第57頁\共有65頁\編于星期二\19點1、GB50472是依據(jù)電子工廠潔凈廠房特點，參照國際標準，經(jīng)過國內(nèi)調(diào)研后制定。2、強制性標準中的“強條”必須嚴格遵守。許多推薦性條文也是行之有效