氦質(zhì)譜檢漏規(guī)程 - 副本

作業(yè)文件版本： 頁次 第1頁共14頁文件編號(hào)：CBVAC-文件名稱氦質(zhì)譜檢漏測試規(guī)程初版日期：修訂日期：生效日期：修訂記錄版本號(hào)修訂日期（年-月-日）修訂人修訂簡述編制日期審核日期批準(zhǔn)日期作業(yè)文件版本：頁次第2頁共14頁文件編號(hào)：CBVAC-文件名稱氦質(zhì)譜檢漏測試規(guī)程初版日期：修訂日期：生效日期：1、 目的：為了確保產(chǎn)品符合技術(shù)要求，特制定檢驗(yàn)文件指導(dǎo)現(xiàn)場進(jìn)行檢漏工作。2、 范圍：車2.1適用于公司所有真空產(chǎn)品的檢漏作業(yè)。3、 引用標(biāo)準(zhǔn)：QJ3123-2000氦質(zhì)譜真空檢漏方法QJ2861-96氦質(zhì)譜檢漏最小可檢漏率檢驗(yàn)方法JHFM.00-YG核安全級(jí)真空閥門項(xiàng)目出廠驗(yàn)收測試大綱JHFM.00-SG002核安全級(jí)真空閥門項(xiàng)目功能性試驗(yàn)大綱LH/3S-9S-05/01（D）-E-03-A0核安全級(jí)真空氣氛閥技術(shù)規(guī)格書3.6GB/T15823-2009氦泄露檢測方法作業(yè)文件版本：頁次第3頁共14頁文件編號(hào)：CBVAC-文件名稱氦質(zhì)譜檢漏測試規(guī)程初版日期：修訂日期：生效日期：4、定義：4.1真空檢漏技術(shù)：就是用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術(shù)，相應(yīng)的儀器稱為檢漏儀。在真空系統(tǒng)、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術(shù)確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統(tǒng)、容器、器件中的真空狀態(tài)得以維持。4.2漏率：漏率的大小需進(jìn)行校準(zhǔn)后方能確定。一般采用比較法，即將被檢漏孔與標(biāo)準(zhǔn)漏孔在檢漏儀上進(jìn)行比較，就可得出被檢漏孔的漏率。檢測真空系統(tǒng)或其零部件的漏孔的方法。對(duì)一定的容器進(jìn)行足夠長時(shí)間的抽氣后，容器壓力不再變化，這時(shí)的抽氣量必定與容器的漏氣量和放氣量之和相等，即puSe=qL+q0，式中pu為容器的極限壓力，Se為容器排氣口處的有效抽作業(yè)文件版本：頁次第4頁共14頁文件編號(hào)：CBVAC-文件名稱氦質(zhì)譜檢漏測試規(guī)程初版日期：修訂日期：生效日期：氣速率，qL和q0分別為容器的漏氣量和放氣量。如放氣量少到可以不計(jì)，則平衡式變?yōu)閜uSe=qL，或pu=qL/Se。這說明容器的極限壓力由漏氣量與有效抽氣速率的比值決定。如抽氣速率一定（常數(shù)），要得到低的極限壓力便應(yīng)降低漏氣量，檢漏便是關(guān)鍵的措施。4.3漏孔：漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器內(nèi)外的壓力差會(huì)使氣體通過漏孔從容器的一側(cè)通向大氣側(cè)。漏孔一般很微小，實(shí)際上不能測出漏孔的具體大小，所以漏孔大小都用漏率（在規(guī)定的條件下氣體流過漏孔的流量）來表示。漏孔兩側(cè)存在著壓力差，即可利用氣體流動(dòng)引起的效應(yīng)來檢漏。為便于檢漏和易于檢測出漏孔的位置，一般盡可能縮小檢測的面積范圍，所以先側(cè)重于對(duì)零部件的檢漏。零部件經(jīng)過嚴(yán)格的檢漏，組裝后就可避免漏氣。5、分類:作業(yè)文件版本：頁次第5頁共14頁文件編號(hào)：CBVAC-文件名稱氦質(zhì)譜檢漏測試規(guī)程初版日期：修訂日期：生效日期：5.1負(fù)壓法檢漏負(fù)壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口，用噴槍連續(xù)向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進(jìn)入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關(guān)管、氧化鋅、避雷器等都應(yīng)采用這種方法檢漏。根據(jù)產(chǎn)品的不同，需要選擇不同尺寸的夾具或輔助工具。舉個(gè)例子，比如管殼的檢漏。檢漏儀正常工作后，用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行漏率校準(zhǔn)，就可以對(duì)管殼作噴吹檢漏，先將夾具固定在檢漏口，待測管殼放在夾具上面的橡皮板上，輔助抽氣系統(tǒng)將其抽至預(yù)定真空后自動(dòng)接至儀器的測量系統(tǒng)。然后用噴槍連續(xù)向管殼噴氦氣，時(shí)間一般1?3秒，當(dāng)管殼存在漏孔時(shí)，氦氣將通過漏孔進(jìn)入儀器的質(zhì)譜分析部分，漏量大小在漏率表上作業(yè)文件版本：頁次第6頁共14頁文件編號(hào)：CBVAC-文件名稱氦質(zhì)譜檢漏測試規(guī)程初版日期：修訂日期：生效日期：直接顯示出來，這種方法既能判斷漏孔的位置也可測量漏孔的大小。整個(gè)檢測周期較快5.2、正壓法檢漏正壓法檢漏與負(fù)壓法檢漏相反，吸槍接在檢漏儀的檢測口，而被檢件充入規(guī)定壓力的示蹤氣體，漏孔泄漏出來氦氣被吸槍吸入檢漏儀被檢測。大型容器或內(nèi)部放氣管量很大的容器做負(fù)壓檢漏很不經(jīng)濟(jì)，而且檢漏速度慢，一般采取正壓檢漏。這種正壓檢漏法應(yīng)注意事項(xiàng)：首先必須校準(zhǔn)儀器的吸槍靈敏度，再向容器內(nèi)充入比一個(gè)大氣壓高的氦氣；其次有些容器是薄板結(jié)構(gòu)，建議在容器外面做夾具防止高壓時(shí)變形損壞器件；最后吸槍沿焊縫移動(dòng)時(shí)速度不要太快，離開表面1mm左右，以保證吸入靈敏度，將探頭做成喇叭口形效果更好。作業(yè)文件版本：頁次第7頁共14頁文件編號(hào)：CBVAC-文件名稱氦質(zhì)譜檢漏測試規(guī)程初版日期：修訂日期：生效日期：5.3、壓氦法檢漏壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經(jīng)檢漏儀檢測總泄漏量。一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調(diào)整好，再將器件放入加壓罐內(nèi)壓入氦氣，氦氣進(jìn)入有漏孔的器件內(nèi)部，無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時(shí)間根據(jù)GB2423，2328文件而定，器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空，待真空抽至設(shè)定值后自動(dòng)將夾具連至儀器的測量系統(tǒng)。作業(yè)文件版本：頁次第8頁共14頁文件編號(hào)：CBVAC-文件名稱氦質(zhì)譜檢漏測試規(guī)程初版日期：修訂日期：生效日期：這時(shí)壓入存在漏孔器件內(nèi)部的氦氣泄漏出來被檢測，其漏率在漏率表上顯示出來。一般壓氦法檢漏時(shí)采用排除法。在夾具中放一定數(shù)量的器件，這一批的總漏率沒超過報(bào)廢預(yù)定值，說明這一批合格；總漏率超過報(bào)廢預(yù)定值可以取出一半，剩下的一半繼續(xù)檢漏，這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中，依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。6.1環(huán)境要求a） 環(huán)境溫度為5-35°C之間，相對(duì)濕度為20%-80%。b） 檢漏場所應(yīng)應(yīng)通風(fēng)、氣流平穩(wěn)，無腐蝕性氣體，潔凈空氣。c） 附近無強(qiáng)電磁場，無劇烈震動(dòng)。作業(yè)文件版本：頁次第9頁共14頁文件編號(hào)：CBVAC-文件名稱氦質(zhì)譜檢漏測試規(guī)程初版日期：修訂日期：生效日期：6.2測試條件與設(shè)備a） 氣源條件：0.5-0.7Mpab） 電源電壓：A.C.220X（1±10%）c） 試驗(yàn)設(shè)備：氦質(zhì)譜檢漏儀、氦氣噴槍、機(jī)械泵6.3測試前準(zhǔn)備a） 校準(zhǔn)：檢漏前，應(yīng)確認(rèn)檢漏儀已經(jīng)過校準(zhǔn)且結(jié)果合格；b） 工裝/工具準(zhǔn)備：準(zhǔn)備好檢漏的工裝、工具，調(diào)整氦噴槍的流量。c） 清潔檢查：對(duì)被檢件表面和內(nèi)腔的清潔進(jìn)行檢查并清理。d） 被檢部位了解：查看圖紙和實(shí)物，熟知被檢件需檢漏的部位。e） 真空度范圍：1x10-5—105Paf） 漏率：殼體、閥體、閥座漏率均為W5x10-7pa?L/S（等同于5x10-10Pa?m3/S）6.4檢漏測試作業(yè)文件版本：頁次第10頁共14頁文件編號(hào)：CBVAC-文件名稱氦質(zhì)譜檢漏測試規(guī)程初版日期：修訂日期：生效日期：6.4.1按照工藝及管理要求，每臺(tái)閥門殼體制造后，應(yīng)開展檢漏測試。6.4.2按照出廠檢驗(yàn)測試大綱及管理要求，每臺(tái)閥門完成裝配后，應(yīng)對(duì)閥體和閥座進(jìn)行漏率測試。6.4.3測試過程中基本按照下列步驟開展漏率檢驗(yàn)：1設(shè)備校準(zhǔn)；1.1設(shè)備預(yù)熱：用以檢定的標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行校準(zhǔn)之前應(yīng)先通電預(yù)熱。預(yù)熱時(shí)間參照廠家要求。1.2校準(zhǔn)按照儀器制造廠商操作手冊(cè)，使用校準(zhǔn)過的標(biāo)準(zhǔn)漏孔確認(rèn)儀器是否處于最佳狀態(tài)或有足夠的靈敏度。儀器對(duì)氦的靈敏度最小靈敏度為1x10-10m3/s1.3系統(tǒng)校準(zhǔn)泄露標(biāo)準(zhǔn)漏孔大小用于系統(tǒng)計(jì)算的。將經(jīng)校準(zhǔn)含有100%氦濃度的型標(biāo)準(zhǔn)漏孔與部件鏈接.響應(yīng)時(shí)間：作業(yè)文件版本：頁次第11頁共14頁文件編號(hào)：CBVAC-文件名稱氦質(zhì)譜檢漏測試規(guī)程初版日期：修訂日期：生效日期：將部件抽空至足以允許氦質(zhì)譜儀與系統(tǒng)里阿杰的絕度壓力，以檢定的泄露標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)向系統(tǒng)打開。泄露標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)保持開啟，直至儀器信號(hào)穩(wěn)定。經(jīng)檢定的泄露標(biāo)準(zhǔn)漏孔向部件開啟的時(shí)間，以及輸出信號(hào)的增大到穩(wěn)定的時(shí)間應(yīng)予以記錄，兩個(gè)度數(shù)之間所經(jīng)歷的時(shí)間即為響應(yīng)時(shí)間，記錄穩(wěn)定的儀器度數(shù)M1.背景讀數(shù)；背景讀數(shù)M2是在測定響應(yīng)時(shí)間后確定的.校準(zhǔn)泄露標(biāo)準(zhǔn)漏孔將檢測系統(tǒng)關(guān)閉，當(dāng)一起讀數(shù)達(dá)到穩(wěn)定時(shí)，記錄儀器的讀數(shù)M2初始校準(zhǔn)初始系統(tǒng)靈敏度S1應(yīng)按下公式計(jì)算：S1=Q/(M1-M2)公式中：S1：初始被檢系統(tǒng)靈敏度。Pam3/s作業(yè)文件版本：頁次第12頁共14頁文件編號(hào)：CBVAC-文件名稱氦質(zhì)譜檢漏測試規(guī)程初版日期：修訂日期：生效日期：Q:校準(zhǔn)漏孔率。Pam3/sM1:校準(zhǔn)漏孔向被檢系統(tǒng)開啟后的讀數(shù)。M2:背景讀數(shù)檢驗(yàn)；用噴槍對(duì)被檢部位噴氦氣噴槍嘴與被檢部位的距離保持小于6mm噴槍掃描速度應(yīng)小于8mm/s檢漏掃描從被檢件最上部分開始逐漸向下掃描有效可檢漏率按下公式確定：Q.=（I/（I-I））Q 1、min mso 、sQmin:最小可檢漏率Pam3/sIs:標(biāo)準(zhǔn)漏孔打開后打開后穩(wěn)定的輸出刻度。I。：本底數(shù)值作業(yè)文件版本：頁次第13頁共14頁文件編號(hào)：CBVAC-文件名稱氦質(zhì)譜檢漏測試規(guī)程初版日期：修訂日期：生效日期：Im:噪聲或最小可讀信號(hào)Qs：標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱值。被檢件漏率按下公式計(jì)算：Q=((I-I)/(I-I)).Q.(1/D)oso、sQ：背檢件漏率Pam3/sIs：被檢工件穩(wěn)定輸出刻度值D：測定或估計(jì)氦氣濃度7、注意事項(xiàng):7.1粗檢方法：粗檢時(shí)可將噴嘴氣開口調(diào)大使氦氣流的覆蓋面積較大些，找出漏孔所在的區(qū)域后，將噴嘴氦氣流調(diào)小，去尋找漏孔的準(zhǔn)確位置;作業(yè)文件版本：頁次第14頁共14頁文件編號(hào)：CBVAC-文件名稱氦質(zhì)譜檢漏測試規(guī)程初版日期：修訂日期：生效日期：7.2先大漏后小漏：檢出的大漏也要經(jīng)過修補(bǔ)后再去找小漏點(diǎn)；7.3漏點(diǎn)排查：當(dāng)存在兩個(gè)相距很近的可疑的漏孔點(diǎn)時(shí)，應(yīng)先把一個(gè)點(diǎn)蓋住，再噴另一點(diǎn)；7.4大漏孔判定：當(dāng)噴嘴噴吹某點(diǎn)時(shí)，如果檢漏儀指示有變化，但其上升速度很慢且指示值很不一致，則表明鄰近的其它地方有大漏孔；7.5以上檢漏測試步驟中引用其余同類型閥門，操作步驟一致。7.6在檢漏過程中.應(yīng)注意調(diào)節(jié)儀器工作壓力和氦峰，注意經(jīng)常校準(zhǔn)儀器靈敏度，注意降低儀器本底和本底噪聲，以便保證氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏法的靈敏度。3.檢漏方法的選擇及對(duì)檢漏人員的要求（1）檢漏方法的選擇比較理想的檢漏方法應(yīng)滿足下列要求：合適的檢漏靈敏度在具體的檢漏